JP3467063B2 - 座標測定装置 - Google Patents

座標測定装置

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JP3467063B2 JP30613093A JP30613093A JP3467063B2 JP 3467063 B2 JP3467063 B2 JP 3467063B2 JP 30613093 A JP30613093 A JP 30613093A JP 30613093 A JP30613093 A JP 30613093A JP 3467063 B2 JP3467063 B2 JP 3467063B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【従来の技術】今日、座標測定装置は様々に異なる構成
形態や自動化レベルをもって存在している。種々の工作
物について自動制御の下に複雑な測定プログラムを処理
してゆくＣＮＣ制御装置に加えて、いわゆる手動操作方
式の、すなわち、全く電動化されていないか又はごく一
部が電動化されている座標測定装置も使用されている。
そのような装置の場合、操作担当者は手でセンサを工作
物の測定すべき箇所へ誘導する。
【０００２】２番目に挙げた装置は、多くの場合、空気
軸受けにより支持されており、また、誘導すべき可動質
量は適切な構造によりできる限り最小限に抑えられてい
るが、操作担当者は機械の測定キャリッジを加速／減速
するに際して、質量慣性にまさる力を得るために、さら
に一部では著しく大きな力を加えなければならない。こ
の力がセンサの付近へ伝えられると、機械の座標系を変
形させ、その結果、大きな測定誤差を生じる場合が多
い。たとえば、そのような手動操作誘導方式の座標測定
装置において形状試験を目的として剛性のセンサを使用
し、その場合に、測定ポイントを移動させながら、セン
サを１つの幾何学要素、すなわち、１つの面又は１つの
孔の内壁に沿ってセンサを走らせ続ければ、この方式に
より、非常に迅速に、大きな負担なく、ごく的確に、非
常に多くの測定ポイント（たとえば、直径５０mmの孔に
ついて、２〜３秒の間に１０００個のポイント）を得る
ことができる。しかしながら、操作担当者の技量や、セ
ンサの剛性によって、先に述べた反動力のために１０μ
ｍないし１００μｍの測定誤差が発生する。
【０００３】機械をできる限り測定アーム（ピノーレ）
で案内するのではなく、機械を支持している横方向キャ
リッジで案内することによって、上記の誤差を排除する
ことが試みられている。ところが、この場合、ピノーレ
を電動化するか、又は両手で操作することが必要であ
る。工作物に加わる測定力を小さく保持することを目的
として、剛性センサの代わりに電子センサを使用しても
同じことがいえる。さらに、これにより負担は著しく増
すということになり、個別のポイントに対応する構成で
しかない。
【０００４】従って、手動操作誘導方式の座標測定装置
では、剛性センサを使用する走査によって工作物の幾何
学形状を検出する。それ自体非常にすぐれた方法は、今
日では、要求される精度がさほど高くないときの平坦な
曲線の測定に際して使用されるにすぎない。
【０００５】英国特許第１４９８００９号には、センサ
が相前後して配置された回転軸を介して多くの空間方向
へ移動するように支承されるような座標測定装置が記載
されている。ところが、この公知の装置の場合、装置の
２つの互いに離間する垂直な回転軸に対して角度をもっ
て位置する対称軸をもつ、たとえば、孔、平面などの幾
何学要素を走査すべき場合には、それは相対的に厳し
く、負担も生じる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、剛性
センサを使用する手動操作誘導方式の走査の動作モード
において、操作担当者に特別の要求を課さずに数μｍの
測定精度を達成できるような座標測定装置を提供するこ
とである。さらに、この装置は単純な構造を有し且つ容
易に操作しうると共に、様々に異なる向きをもつ幾何学
要素の測定に適するものでなければならないであろう。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、センサが
相前後して配置された回転軸を介して多くの自由度へ容
易に移動自在であるように取り付けられており、装置
は、少なくとも２つの軸に関して回転又は傾斜自在であ
る工作物台を有する座標測定装置により解決される。
【０００８】この新たな座標測定装置により、多数の測
定ポイントを非常に迅速に高い精度をもって検出するこ
とができる。幾何学要素の対称軸のセンサ軸に対するア
ライメントは、装置の回転・傾斜自在の工作物台の利用
によって迅速且つ容易に得られる。向きを新たに定める
たびに、付加的な測定手段の必要なく、座標測定装置の
センサのみを利用して工作物の位置を確定できるよう
に、この装置はセンサにより走査可能な中心位置合わせ
要素を有しているので好都合である。
【０００９】本発明のその他の利点は、添付の図面の図
１〜図３を参照する以下の一実施例の説明から明白にな
るであろう。
【００１０】
【実施例】図示されている座標測定装置は、上から見る
とほぼ二股の形状を呈する土台１を有し、その土台の上
に垂直の支柱２が取り付けられている。支柱２は身長測
定装置にならった構成であり、スピンドル３を有する。
このスピンドルはモータ２７と、伝動装置２８とを介し
て、支柱２に沿って上下に摺動自在である支持体４を駆
動する。支持体４の垂直位置を測定するために、支柱３
には増分目盛１３と、支持体４に取り付けられた光電読
取りヘッド１４とが設けられている。支持体４の側面形
状はＵ字形である。「Ｕ」の２つの脚部には垂直軸６の
軸受が収納されており、その垂直軸を介して第１のレバ
ー部材５を水平に旋回させることができる。その旋回運
動は軸に取り付けられた目盛円盤１６と、光電読取りシ
ステム１５とによって検出される。レバー部材５の末端
部に、垂直軸６と平行の第２の軸８を介して第２のレバ
ー部材７が同様に回転自在に支承されている。この第２
の回転軸８の回転運動を検出する働きをするのは、読取
りヘッド１７と持続する目盛円盤１８である。２つの回
転軸６及び８は互いに離間しており、ほぼ垂直方向に向
いている。
【００１１】第２のレバー部材７は平行四辺形のばね９
ａ，９ｂとして形成されており、その平行四辺形の前端
には剛性センサピン１１の支持体１０が取り付けられて
いる。この平行四辺形ばね９ａ，９ｂによってセンサピ
ン１１は垂直に移動自在である。図を見やすくするため
に、ここでは、平行四辺形ばね９ａ，９ｂを水平の向き
に保持する重量釣り合わせシステムと、平行四辺形ばね
を、たとえば、中間位置にクランプすることができる付
加的手段とをごく略して示してある。言うまでもなく、
平行四辺形ばねの代わりに、別の種類の直線誘導手段を
使用しても良い。
【００１２】可動部品５，７及び１０は、たとえば、炭
素繊維補強プラスチック（ＣＦＫ）から製造されている
ため、非常に小形であるにもかかわらず構造の安定性は
高く、同時に熱の影響を受けにくい。センサピン１１の
垂直方向の動きは図には単純化して示されている目盛２
３と、読取りヘッド２４とから成る光電測定システムに
より検出される。しかしながら、このシステムの代わり
に、たとえば、誘導センサなども容易に使用できる。
【００１３】この測定システム２３，２４の出力信号
は、特に、支持体４を垂直方向に駆動するモータ２７を
制御する目的のために使用される。この目的を達成する
ために、測定システム２３，２４は座標測定装置の電子
装置２５と接続している。この電子装置には、角度測定
システム１５，１６及び１７，１８の双方の信号と、支
持体４の垂直方向の摺動を測定する増分測定システム１
３，１４の信号とがさらに供給される。電子装置２５
は、測定システム１３〜１６，２３，２４の信号から、
測定軸の位置座標をさらに作成し、それらの座標は装置
のコンピュータ２６へと伝送されて、そこで周知のよう
に処理される。たとえば、加工中の製品の座標系におい
てセンサボール１２の位置を計算するために使用される
のである。
【００１４】センサピン１１を測定システム２３，２４
の零位置から手動操作で動かすと、モータ２７は支持体
４を摺動させ、それに伴って、センサピン１１の懸架部
分は測定システム２３，２４が再び零位置に戻るまで高
さに関して同一の方向に同じ長さだけ摺動する。このよ
うに、走査運動の経過中にセンサピンが動いても、ｚ方
向の反動力は発生しない。水平面ｘ，ｙにおける反動力
も、軽く動く継手構造と、運動させるべき部品５〜１１
のきわめて小さな質量とによって、同様に非常に小さ
い。
【００１５】装置の二股状の土台１の２つの脚部は、装
置の工作物台の支持体２０に支承されている水平傾斜軸
１９の軸受３９ａ，３９ｂを収納している。さらに、工
作物台の固定板２１は水平傾斜軸１９に対して垂直な、
支持体２０の垂直軸２９に回転自在に支承されている。
このように構成された回転−傾斜台を使用すると、走査
によって測定すべき様々な幾何学要素をセンサ軸と整列
するように、台上に固定された工作物２２を空間内の様
々な位置をアライメントすることができるのである。工
作物の考えうるあらゆる空間方向へのアライメントを保
証するために、軸１９及び２９に対して垂直に向いた第
３の軸である旋回軸をさらに設けても良い。工作物を装
置の外側で固定取り付けするための取り付け板にこの旋
回軸を一体化することができる。この取り付け板は回転
−傾斜台上の工作物に固定される。
【００１６】たとえば、孔３０を走査するときには、そ
の孔の対称軸がセンサピンの長手方向軸と平行に向い
た、破線で示した位置まで工作物台を傾斜させることに
なる。そこで、孔の内壁を、センサボール１２を孔の内
壁に接触させ続けながら、センサのシャフトが孔の壁に
衝突することなく水平面内で動かすことができる。
【００１７】装置の回転−傾斜軸２０，２１は、たとえ
ば、高い安定性と支持強度を有すると共に、熱の影響を
受けにくいセラミック成形部品から形成されている。
【００１８】工作物台の回転自在な固定板２１は台の下
部２０と直線状縁部を形成し、さらに、４つの面の全て
にＶ字形の溝３１を有する。図２ｂに示す通り、工作物
の位置を確定するために、それらの溝をセンサボール１
２又はそれより直径の小さいセンサボール１２ａによっ
て走査し且つ監視することができる。
【００１９】支持体２０が前方へ９０°までの相対的に
大きな角度をもって傾斜したときにも支持体２０の傾斜
位置を確定することができるように、支持体２０の背面
に、さらに一対の溝３２を設けてある。支持体が傾斜位
置にあるとき、センサピン１１はそれらの溝に容易に到
達することができる。
【００２０】図示する座標測定位置において、工作物２
２の形状試験を手動操作で、すなわち、剛性のセンサピ
ン１１を手で誘導しながら実行すべき場合には、次のよ
うな操作を行う。
【００２１】まず、工作物２２をその測定すべき幾何学
要素に関して、この場合には、たとえば、測定すべき孔
３０に関して、回転−傾斜台を使用しながら、孔の軸が
センサの長手方向軸とほぼ平行に向くようにアライメン
トする。このために、回転−傾斜台を図１に破線で示す
位置まで移動させ、この位置で、台の軸１９及び２９を
ここには詳細に図示されていない手段によってクランプ
する。
【００２２】続いて、孔３０を走査するのであるが、こ
のとき、前記の測定システムの多数の測定値を形状試験
のためにコンピュータ２６によって処理する。孔３０に
関連して、別の平面に位置するか又は工作物の別の側面
に位置する工作物の別の幾何学的要素を測定すべき場合
には、その後に、センサボール１２を固定板２１の溝の
中で少なくとも２つの方向へ、すなわち、少なくとも２
つの辺に沿って案内してゆくことにより、回転−傾斜台
の空間位置を確定する。ここで、座標測定装置のコンピ
ュータ２６は測定された２本の直線から固定板２１の空
間位置を確定し、それにより、工作物の空間位置を確定
する。
【００２３】次に、回転−傾斜台を使用して、センサピ
ン１１が次の測定平面に対して垂直になるか又は次の孔
の軸と平行になるように工作物の位置を変える。そこ
で、固定板２１の変更後の位置を前述のように新たに確
定する。これにより、回転−傾斜台の２つの軸１９及び
２９の位置の再現性又は正確さをそこなう必要なく、ま
た、軸位置を確定するために付加的な測定システムを使
用する必要なく、工作物座標システムの様々に異なる傾
斜位置又は回転位置での位置どりは保証される。その
後、対称軸を別の向きに定めながら幾何学要素に対して
先に説明した測定プロセスを繰り返す。
【００２４】以上説明した座標測定装置は手動操作とい
う概念に基づいて構成されている。しかしながら、たと
えば、軸６及び８にウォーム歯車装置を設けると共に、
剛性のセンサピン１１の代わりに、少なくとも２つの座
標に沿って旋回自在であるセンサピンを有する電子セン
サを使用することにより、座標測定装置の全体又はその
一部を電動化することも同様に可能である。
【００２５】また、水平面におけるセンサの位置を測定
するための角度測定システム１５，１６及び１７，１８
の代わりに、たとえば、センサの位置を少なくとも２つ
の離間する固定した位置から測定するシステムのような
別の測定システムを使用することもできる。そのような
測定システムは、たとえば、米国特許第４，９６１，２
６７号に記載されている。さらに、座標測定装置を別個
の独立した装置として構成するのではなく、工作機械の
製造領域で直接に測定するための構成とすることも可能
である。
【図面の簡単な説明】
【図１】新たな座標測定装置の側面図。
【図２】図１の座標測定装置を示す正面図。
【図３】図１の座標測定装置を示す平面図。
【符号の説明】
４ 支持体 ５ 第１のレバー部材 ６ 垂直軸 ７ 第２のレバー部材 ８ 第２の回転軸 ９ａ，９ｂ 平行四辺形ばね １０ 支持体 １１ センサピン １２ センサボール １５ 光電読取りシステム １６ 目盛円盤 １７ 読取りヘッド １８ 目盛円盤 １９ 水平傾斜軸 ２０ 支持体 ２１ 固定板 ２２ 工作物 ２３ 目盛 ２４ 読取りヘッド ２５ 電子装置 ２６ コンピュータ ２７ モータ ２８ 伝動装置 ２９ 垂直軸 ３０ 孔 ３１ Ｖ字形溝 ３２ 溝
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 5/20 101 G01B 5/24 G01B 21/00

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 センサ（１１、１２）が２つの相前後し
    て配置された、互いに平行な回転軸（６、８）を介して
    水平面で自由に動くことができ、それらの回転軸には回
    転運動を検出する手段（１５〜１８）が取り付けられ、
    支持体の長手方向軸は回転軸（６、８）に対してほぼ平
    行に配向しており、センサ（１１、１２）は手動操作で
    垂直に偏向自在である座標測定装置において、 センサの垂直偏向を検出する手段（２３／２４）と、 回転軸（６、８）と連結している支持体（４）の高さを
    調整することのできる駆動装置（２７／２８）と、 センサ偏向を検出する手段（２３／２４）および駆動装
    置（２７／２８）と連結しており、センサ（１１、１
    ２）の手動操作による偏向を支持体（４）の電動動作に
    より駆動装置と共に復帰させる制御手段（２５）とを備
    えることを特徴とする座標測定装置。
  2. 【請求項２】 少なくとも２つの軸（１９、２９）に関
    して回転または傾斜自在である工作物台（２１）をさら
    に備えることを特徴とする請求項１に記載の座標測定装
    置。
  3. 【請求項３】 少なくとも２つの固定した、離間する位
    置からセンサの位置を測定する測定システムが設けられ
    ている請求項１記載の座標測定装置。
  4. 【請求項４】 センサは、直線ガイド（９ａ，９ｂ）を
    介して垂直に操縦自在である剛性センサピン（１１，１
    ２）である請求項１記載の座標測定装置。
  5. 【請求項５】 センサはセンサピンが操縦自在な電子セ
    ンサである請求項１記載の座標測定装置。
  6. 【請求項６】 工作物台（２１）はセンサ（１１，１
    ２）により走査可能な中心位置合わせ用要素（３１，３
    ２）を有する請求項２記載の座標測定装置。
  7. 【請求項７】 可動部分（５，７，１０）は少なくとも
    部分的に炭素繊維補強プラスチック（ＣＦＫ）又はイン
    バールから形成される請求項１記載の座標測定装置。
  8. 【請求項８】 工作物台（２０，２１）はセラミック成
    形部品から構成されている請求項２記載の座標測定装
    置。
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Families Citing this family (84)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4410195C1 (de) * 1994-03-24 1995-11-09 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zum Messen kegliger Gewinde
DE4434014A1 (de) 1994-09-23 1996-03-28 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Kalibrierung eines Koordinatenmeßgerätes mit zwei rotatorischen Achsen
DE4433917A1 (de) * 1994-09-23 1996-03-28 Zeiss Carl Fa Verfahren zur Messung von Werkstücken mit einem handgeführten Koordinatenmeßgerät
EP0729005B1 (de) * 1995-02-23 1998-08-05 Institut Für Fertigungstechnik Der Tu Graz Messvorrichtung zur Kontrolle der geometrischen und dynamischen Genauigkeit von NC-Werkzeugmaschinen und Industrierobotern
WO1996036847A1 (en) * 1995-05-16 1996-11-21 Brown & Sharpe Manufacturing Company Coordinate measuring machine having articulated arm
DE29514892U1 (de) * 1995-09-16 1995-11-23 Fa. Carl Zeiss, 89518 Heidenheim Kollisionsschutz für den Meßarm eines Koordinatenmeßgerätes
DE19534425A1 (de) * 1995-09-16 1997-03-20 Zeiss Carl Fa Koordinatenmeßgerät, dessen Taster über mehrere Drehachsen beweglich gelagert ist
SE9600078L (sv) * 1996-01-09 1997-05-12 Johansson Ab C E Anordning för dimensionsbestämning av tredimensionella mätobjekt
DE19604354A1 (de) * 1996-02-07 1997-08-14 Zeiss Carl Fa Verfahren zur koordinatenmäßigen Vermessung von Werkstücken auf Bearbeitungsmaschinen
DE29612475U1 (de) * 1996-07-18 1996-09-19 Fa. Carl Zeiss, 89518 Heidenheim Tastkopf
US6026582A (en) * 1996-12-20 2000-02-22 General Electric Company Methods and apparatus for mapping pipe and valve bores in a nuclear reactor
US6202316B1 (en) 1998-04-14 2001-03-20 Timothy J. Swift Coordinate measuring machine guideway composite structure and method of manufacture
US5978748A (en) * 1998-07-07 1999-11-02 Faro Technologies, Inc. Host independent articulated arm
FR2801965A1 (fr) * 1999-12-02 2001-06-08 Mecalix Controle Et Mesure Dispositif de mesure en deux dimensions d'un profil d'une piece
US6718647B2 (en) * 2000-06-14 2004-04-13 Renishaw Plc Force sensing probe
DE10053033A1 (de) * 2000-10-26 2002-05-16 Zett Mess Technik Gmbh Höhenmess- und Anreißgerät
WO2002090878A1 (en) * 2001-05-10 2002-11-14 Koninklijke Philips Electronics N.V. Precision measuring apparatus provided with a metrology frame with a thermal shield consisting of at least two layers
JP2004535580A (ja) * 2001-07-16 2004-11-25 ベルス・メステヒニーク・ゲーエムベーハー 表面特性の測定方法及び座標測定装置
TW550375B (en) * 2001-09-07 2003-09-01 Olympus Optical Co Apparatus for measuring a surface profile
US6973734B2 (en) * 2002-02-14 2005-12-13 Faro Technologies, Inc. Method for providing sensory feedback to the operator of a portable measurement machine
AU2003223173A1 (en) 2002-02-14 2003-09-04 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US7073271B2 (en) * 2002-02-14 2006-07-11 Faro Technologies Inc. Portable coordinate measurement machine
US7881896B2 (en) 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US7519493B2 (en) * 2002-02-14 2009-04-14 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US6952882B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-11 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine
US6957496B2 (en) 2002-02-14 2005-10-25 Faro Technologies, Inc. Method for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
USRE42082E1 (en) * 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
US7246030B2 (en) * 2002-02-14 2007-07-17 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
KR20040005149A (ko) * 2002-07-08 2004-01-16 현대자동차주식회사 차량의 패널 검사장치
US6742273B2 (en) * 2002-08-30 2004-06-01 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Workpiece measuring apparatus
DE10240700A1 (de) * 2002-09-04 2004-03-25 Leitz Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät sowie Verfahren zur Rundheitsmessung an einem Werkstück mit diesem Koordinatenmessgerät
JP4031375B2 (ja) * 2003-01-24 2008-01-09 株式会社ミツトヨ 測定機
US6817108B2 (en) * 2003-02-05 2004-11-16 Homer L. Eaton Articulation measuring arm having rotatable part-carrying platen
DE10312789A1 (de) * 2003-03-21 2004-10-07 Stephan Huber Verfahren und Vorrichtung zum Erfassen einer Länge oder Form eines Werkstücks
JP4323212B2 (ja) * 2003-05-08 2009-09-02 株式会社ミツトヨ 表面性状測定機の校正方法、表面性状測定機の校正プログラム、この校正プログラムを記録した記録媒体および表面性状測定機
DE10351049B3 (de) * 2003-10-31 2005-08-18 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Koordinatenmesssystem
US7152456B2 (en) 2004-01-14 2006-12-26 Romer Incorporated Automated robotic measuring system
US7693325B2 (en) 2004-01-14 2010-04-06 Hexagon Metrology, Inc. Transprojection of geometry data
DE102005036126A1 (de) * 2005-07-26 2007-02-01 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Sensormodul für einen Tastkopf eines taktilen Koordinatenmessgerätes
GB2431723A (en) * 2005-07-26 2007-05-02 Makex Ltd Coordinate measuring machine
WO2007033273A2 (en) * 2005-09-13 2007-03-22 Romer Incorporated Vehicle comprising an articulator of a coordinate measuring machine
US7191540B1 (en) * 2005-10-31 2007-03-20 Mitutoyo Corporation Work piece holder for surface measuring apparatus
JP4933775B2 (ja) 2005-12-02 2012-05-16 独立行政法人理化学研究所 微小表面形状測定プローブ
JP4820681B2 (ja) * 2006-04-13 2011-11-24 株式会社ミツトヨ 形状測定機
US7568293B2 (en) * 2006-05-01 2009-08-04 Paul Ferrari Sealed battery for coordinate measurement machine
US7805854B2 (en) 2006-05-15 2010-10-05 Hexagon Metrology, Inc. Systems and methods for positioning and measuring objects using a CMM
CA2669878C (en) * 2006-11-20 2017-01-03 Hexagon Metrology Ab Coordinate measurement machine with improved joint
CN101542227A (zh) * 2006-11-30 2009-09-23 法罗技术股份有限公司 便携式坐标测量机
JP5511387B2 (ja) * 2006-12-22 2014-06-04 ヘキサゴン メトロロジー，インコーポレイテッド 座標測定機のための改良された継ぎ手軸
US7546689B2 (en) * 2007-07-09 2009-06-16 Hexagon Metrology Ab Joint for coordinate measurement device
US7774949B2 (en) * 2007-09-28 2010-08-17 Hexagon Metrology Ab Coordinate measurement machine
US8122610B2 (en) * 2008-03-28 2012-02-28 Hexagon Metrology, Inc. Systems and methods for improved coordination acquisition member comprising calibration information
US7779548B2 (en) 2008-03-28 2010-08-24 Hexagon Metrology, Inc. Coordinate measuring machine with rotatable grip
US7640674B2 (en) * 2008-05-05 2010-01-05 Hexagon Metrology, Inc. Systems and methods for calibrating a portable coordinate measurement machine
US7908757B2 (en) 2008-10-16 2011-03-22 Hexagon Metrology, Inc. Articulating measuring arm with laser scanner
EP3620762A1 (en) * 2009-06-30 2020-03-11 Hexagon Technology Center GmbH Coordinate measurement machine with vibration detection
KR101005595B1 (ko) * 2009-09-30 2011-01-05 (주)세화아이엠씨 타이어 제조용 분할 금형의 진원도 측정 장지
US8151477B2 (en) 2009-11-06 2012-04-10 Hexagon Metrology Ab CMM with modular functionality
JP5297999B2 (ja) * 2009-12-21 2013-09-25 デクセリアルズ株式会社 リール部材検査装置及びこれを用いたフランジ間隔検査方法
DE102009060932B4 (de) * 2009-12-23 2011-09-29 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zum Bestimmen von Raumkoordinaten
US20110213247A1 (en) * 2010-01-08 2011-09-01 Hexagon Metrology, Inc. Articulated arm with imaging device
USD643319S1 (en) 2010-03-29 2011-08-16 Hexagon Metrology Ab Portable coordinate measurement machine
US8127458B1 (en) 2010-08-31 2012-03-06 Hexagon Metrology, Inc. Mounting apparatus for articulated arm laser scanner
DE102011054932B4 (de) 2011-10-28 2013-06-27 Klingelnberg Gmbh Koordinatenmessgerät
US8763267B2 (en) 2012-01-20 2014-07-01 Hexagon Technology Center Gmbh Locking counterbalance for a CMM
US9003670B2 (en) * 2012-03-08 2015-04-14 United Technologies Corporation System and method for measuring a workpiece relative to a common measurement coordinate system
US9069355B2 (en) 2012-06-08 2015-06-30 Hexagon Technology Center Gmbh System and method for a wireless feature pack
US9250214B2 (en) 2013-03-12 2016-02-02 Hexagon Metrology, Inc. CMM with flaw detection system
JP6168946B2 (ja) * 2013-09-24 2017-07-26 株式会社ミツトヨ 送り機構、形状測定機
US9163921B2 (en) 2013-12-18 2015-10-20 Hexagon Metrology, Inc. Ultra-portable articulated arm coordinate measurement machine
US9594250B2 (en) 2013-12-18 2017-03-14 Hexagon Metrology, Inc. Ultra-portable coordinate measurement machine
US9759540B2 (en) 2014-06-11 2017-09-12 Hexagon Metrology, Inc. Articulating CMM probe
CN105043324B (zh) * 2015-08-25 2018-12-04 青岛星华智能装备有限公司 旋转测头、测量机及旋转测头的实现方法
IT201700062117A1 (it) * 2017-06-07 2017-09-07 Itaca S R L Metodo e sistema di controllo e misura dimensionale
DE102017113699B3 (de) 2017-06-21 2018-06-28 Carl Mahr Holding Gmbh Messsystem mit einer Kugelführungseinheit für ein Messgerät
DE102017113695B3 (de) * 2017-06-21 2018-12-27 Carl Mahr Holding Gmbh Wippenloses Messsystem für ein Messgerät
US20190056210A1 (en) * 2017-08-16 2019-02-21 Agathon AG, Maschinenfabrik Measuring device
JP7193992B2 (ja) * 2018-11-28 2022-12-21 株式会社日立製作所 形状測定システム、プローブ先端部、形状測定方法、及びプログラム
CN110207628A (zh) * 2019-06-14 2019-09-06 成都和鸿科技有限公司 一种重型燃机涡轮叶片气膜孔位置度确定方法
DE102020105871B4 (de) 2020-03-04 2023-01-26 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Drehtischmodul und koordinatenmessgerät mit drehtischmodul und verfahren zum betrieb derselben
DE102020105870B4 (de) 2020-03-04 2023-12-07 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Koordinatenmessgerät mit einer überwachungseinrichtung sowie verfahren zum betrieb derselben
CN111504165B (zh) * 2020-04-25 2022-11-04 王娜娜 一种物理量检查装置
CN111595230B (zh) * 2020-06-19 2021-11-05 嘉兴巨腾信息科技有限公司 一种金属圆环生产加工抽样检测装置
DE102021108015B3 (de) 2021-03-30 2022-09-08 Audi Aktiengesellschaft Messplatte für ein Messsystem

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2753634A (en) * 1951-03-28 1956-07-10 Clarence H Tamplin Precision measuring machines
DE2248535C3 (de) * 1972-10-03 1978-04-20 Bjuro Vsajmosamenjajemosti V Metalloobrabatyvajuschei Promyschlennosti, Moskau Tisch zum Prufteilauflegen in Geraten zur Kontrolle linearer Größen
GB1479621A (en) * 1974-08-07 1977-07-13 Rank Organisation Ltd Measuring apparatus
GB1498009A (en) * 1975-05-29 1978-01-18 Newall Eng Measuring device
DE3310345A1 (de) * 1983-03-22 1984-09-27 M.A.N. Maschinenfabrik Augsburg-Nürnberg AG, 8000 München Verfahren und vorrichtung zum messen von werkstuecken in drei dimensionen
JPS60170709A (ja) * 1984-02-16 1985-09-04 Toshiba Corp 形状測定装置
DE3419546C2 (de) * 1984-05-25 1986-07-10 Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart Einrichtung zur Ermittlung der Schwerpunktlage eines Prüfkörpers
GB8605324D0 (en) * 1986-03-04 1986-04-09 Rank Taylor Hobson Ltd Metrological apparatus
DE3769350D1 (de) * 1986-03-04 1991-05-23 Rank Taylor Hobson Ltd Positionskontrolle eines zu bearbeitenden werkstuecks.
DE3637410A1 (de) * 1986-11-03 1988-05-11 Zeiss Carl Fa Verfahren zur messung von drehtischabweichungen
CA1299362C (en) * 1986-12-10 1992-04-28 Gregory James Mcdonald Coordinate measuring system
IT1214292B (it) * 1987-05-05 1990-01-10 Garda Impianti Srl Apparecchiatura per la misura e/o il controllo della posizione edella orientazione di punti o zone caratteristiche di strutture, in particolare di scocche di autoveicoli.
DE3717459A1 (de) * 1987-05-23 1988-12-01 Zeiss Carl Fa Handgefuehrtes koordinatenmessgeraet
US5189806A (en) * 1988-12-19 1993-03-02 Renishaw Plc Method of and apparatus for scanning the surface of a workpiece
DE3914849A1 (de) * 1989-05-05 1990-11-08 Mauser Werke Oberndorf Messeinrichtung
DE4005292A1 (de) * 1990-02-20 1991-08-22 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet
FR2662793B1 (fr) * 1990-05-30 1994-03-18 Renault Installation de mesure en continu des defauts de forme d'une piece, et procede de mesure mis en óoeuvre dans cette installation.

Also Published As

Publication number Publication date
DE59306508D1 (de) 1997-06-26
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EP0597299A2 (de) 1994-05-18
JPH06207802A (ja) 1994-07-26

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