JP2642317B2 - フィルム剥離方法及び装置 - Google Patents

フィルム剥離方法及び装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、プリント配線基板等
に張付けられたフィルムを剥離する方法及び装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】コンピュータ等の電子器具に使用される
プリント配線基板は、銅等の所定パターンの配線が絶縁
性パネルの両面又は片面に形成されたものである。
【０００３】この種のプリント配線基板は、次のような
工程により製造されている。
【０００４】まず、絶縁性基板上に設けられた導電層上
に感光性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透
光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層体をローラ
により熱圧着ラミネートする。次いで、配線パターンフ
ィルムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光
性樹脂フィルムを通して前記フォトレジスト層を所定時
間露光する。
【０００５】次いで、透光性樹脂フィルムを剥離した
後、露光されたフォトレジスト層を現像してエッチング
マクスパターンを形成し、この後、前記導電層の不必要
部分をエッチングにより除去し、これにより、所定の配
線パターンを有するプリント配線基板が形成される。
【０００６】前記プリント配線基板の製造工程におい
て、前記カバーフィルムを自動的に剥離するフィルム剥
離装置あるいは方法が提案され且つ実施されている。
【０００７】その１つとして、例えば特開平５−３３８
０４１号公報に開示されるように（図１３参照）、「帯
状支持体１上に感光層２を設けた積層体フィルム３をシ
ート基板４の供給方向の長さに対応して切断し、該シー
ト基板４上に圧着した後、支持体１と感光層２の界面で
剥離して感光層２のみをシート基板４上に転写する際
に、積層体フィルム３をシート基板４の長さより大きく
はみ出させて圧着し、」このはみ出した部分３Ａを装置
あるいは人手により挾持して帯状支持体１（フィルム）
を剥し易くした方法がある。
【０００８】この場合、カッター刃が感光層２及び中間
層の深さまで入り込みこれらをカットするが、帯状支持
体１まではカットしないようにされ、感光層２及び中間
層がシート基板４上に残り、帯状支持体１のみが剥され
ることになる。図１３の符号５はカバーフィルムを示
す。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記のように基板上
に、その一端がはみ出して張り付けられたフィルムを装
置によって剥そうとする場合、該はみ出し端部は、通常
基板の送り方向後端側に位置されるので、剥離装置は、
基板の後端から前端方向に基板送りラインに沿って移動
させることになるが、剥離装置は少なくともフィルム長
さ分だけ基板よりも前方に移動して剥離しなければなら
ず、又、剥離装置は、戻り工程で基板と干渉しないよう
に経路を設定しなければならない。
【００１０】これらの要件を充足させるためには基板前
方に少なくともフィルム長さ分のスペースをとって、前
方の装置との干渉を防止しなければならないので送り方
向のスペースが大きくなってしまうという問題点が生じ
る。
【００１１】又、剥離装置は、戻り工程で、基板送りラ
インの上方あるいは側方に経路をずらさなければならな
いので基板送り装置を含んだ装置全体の高さ、幅が大き
くなってしまうという問題点が生じる。
【００１２】又、近年、この種プリント配線基板等の精
細度が向上し、基板上に僅かな埃等が付着しても不良品
となってしまうので、フィルム剥離の際のフィルムの運
動をできるだけ抑制しなければならないという問題点が
ある。
【００１３】更に、従来は、基板から剥離したフィルム
は、装置下方の収納部に向けて自由落下させるようにし
ていたが、このようにすると埃発生の機会が増大するた
め、自由落下方式を採用することができないという問題
点がある。
【００１４】この発明は上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、基板の送り方向前後の装置と干渉す
ることなくフィルムを剥離させることができるフィルム
剥離方向及び装置を提供することを目的とする。
【００１５】又、この発明は、剥離するフィルムの運動
量を抑制し、埃の発生を防止したフィルム剥離方法及び
装置を提供することを目的とする。
【００１６】更に又、この発明は、剥離したフィルム
を、埃が発生し難い状態で収容できるようにしたフィル
ム剥離方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】この発明は、一端部が基
板の一端からはみ出して該基板に張付けられているフィ
ルムを剥離する方法において、前記基板を吸着して位置
固定する工程と、該位置固定された基板からはみ出して
いるフィルムの一端部を、これと平行のピールハンドに
より挾持する工程と、このピールハンドをフィルム一端
部を挾持したまま基板と直交する面内で、基板面近傍を
円弧中心とし、ピールハンドを前記円弧中心に向けて姿
勢を調節しつつ、基板面から離間し、且つ、基板の他端
方向にフィルム一端部を捲り上げる円弧運動をさせる工
程と、捲り上げたフィルムの一端部をピールハンドによ
り挾持したまま、基板の他端方向に移動し、更に、前記
他端を越えて、少なくともフィルムの他端部が基板から
剥離する位置まで基板外に搬送する工程と、基板外位置
で、前記フィルムを解放する工程と、を有してなるフィ
ルム剥離方法により上記目的を達成したものである。
【００１８】請求項２のように、前記フィルム一端部を
捲り上げる円弧運動の円弧中心を、前記基板の一端と平
行で、該一端近傍を通る直線上に配置するようにしても
よい。
【００１９】請求項３のように、前記基板は、前記フィ
ルムの一端部を先端又は後端として送りラインに沿って
一方向に搬送されるものであり、前記ピールハンドによ
り挾持する前に、基板の送りを停止し、且つ、これを吸
着した後に基板と平行な面内で９０°回転して、前記フ
ィルムの一端部を、基板送りラインの側方に配置された
ピールハンドに対向する位置に移動させるようにしても
よい。
【００２０】更に、請求項４のように、前記ピールハン
ドにより基板外に移動されたフィルムを、解放時に押え
込み、順次積重ねて、収容するようにしてもよい。
【００２１】請求項５の発明は、基板に張付けられたフ
ィルムの一端部が、該基板の一端からはみ出しているフ
ィルムの剥離装置において、前記基板を吸着して水平に
位置固定する吸着装置と、一対の開閉自在の挾持片を備
え、前記吸着装置により固定された基板からはみ出てい
る前記フィルム一端部を挾持すると共に、挾持したま
ま、基板と直交する面内で、基板表面から剥離方向に離
間しつつ、基板の他端方向に略円弧状に移動し、このと
き、前記一対の挾持片が、前記円弧の略中心に向けられ
るピールハンドと、このピールハンドを、フィルム一端
部を挾持したまま、前記基板上方を、該基板の他端を越
えて、該他端から少なくとも基板長さよりも離間した位
置まで略水平に送るピールハンド送り装置と、を設けた
ことを特徴とするフィルム剥離装置により上記目的を達
成するものである。
【００２２】請求項６のように、前記吸着装置は、基板
を吸着した状態で水平面内で回転させる回転機構を含ん
で構成され、前記ピールハンドの一対の挾持片は、開状
態で、前記回転機構による基板の回転時に、前記フィル
ム一端部の回転軌跡の上下の高さに位置されるようにし
てもよい。
【００２３】請求項７のように、前記回転機構と前記ピ
ールハンドの間の位置に、該回転機構による基板の回転
時に、前記フィルム一端部に下方から相対的摺動自在に
接触して、該フィルム一端部の水平面内回転軌跡の上下
の高さ位置を決定するフィルム端部支持台を設けるよう
にしてもよい。
【００２４】請求項８のように、前記ピールハンドは、
前記フィルム端部支持台上のフィルム一端部に対して、
該フィルム一端部を挾持する位置と待機位置との間で進
退自在とし、且つ、前記フィルム端部支持台は、前記ピ
ールハンドが進退を許容する進退溝を備えるようにして
もよい。
【００２５】又、請求項９のように、前記ピールハンド
は、水平、且つ、前記フィルム一端部と平行な回転中心
軸廻りに回転する回転部材と、この回転部材に、前記回
転中心軸方向に向けて取付けられた前記一対の挾持片
と、を含んで構成されるようにしてもよい。
【００２６】請求項１０のように、前記回転部材の回転
中心軸は、前記基板の一端近傍を通るように配置される
ようにしてもよい。
【００２７】請求項１１のように、前記吸着装置に対し
て、前記ピールハンドによるフィルム剥離方向側に配置
され、ピールハンドにより剥離されて略水平に搬送され
てきたフィルムを順次重ねて押え込む積重ね装置を設け
るようにしてもよい。
【００２８】更に、請求項１２のように、前記積重ね装
置は、前記ピールハンドによる剥離フィルムの略水平移
動軌跡の下方に、上下方向位置調節自在に配置された水
平のフィルム受けテーブルと、このフィルム受けテーブ
ルの上方で、水平、且つ、前記剥離フィルムの移動方向
に直交する方向に延在され、上下方向移動自在の第１フ
ィルム押えと、前記フィルム受けテーブルの上方で、前
記第１フィルム押えの両側に離間して、これと平行且つ
水平に配置され、上下方向移動自在の一対の第２フィル
ム押えと、前記第１フィルム押え及び第２フィルム押え
をそれぞれ上下方向に駆動する第１駆動装置及び第２駆
動装置と、を有してなるようにしてもよい。
【００２９】更に又、請求項１３のように、前記第１駆
動装置及び第２駆動装置は、前記剥離されたフィルムが
ピールハンドによりフィルム受けテーブル上に移動して
くるとき、第１フィルム押えをフィルム移動軌跡よりも
上に、第２フィルム押えをフィルム移動軌跡よりも下
に、それぞれ位置させ、該フィルムが解放されフィルム
受けテーブル及び第２フィルム押えの上方に落下した後
に、第１フィルム押えが降下されてフィルムを押え、第
２フィルム押えが落下したフィルムの両端を持ち上げて
フィルムの上方に抜け出し、次に第２フィルム押えが降
下してフィルムを押え、第１フィルム押えが上昇してフ
ィルムとの間に隙間を作るようにしてもよい。
【００３０】又、請求項１４のように、前記基板は、フ
ィルムのはみ出し一端部を先端又は後端にして送り装置
により搬送されるものであり、前記吸着装置は、該送り
装置による送りライン下方に配置され、前記基板を吸着
し、且つ、送りラインから持ち上げて水平面内で９０°
回転させるターンテーブルを含んで構成され、前記ピー
ルハンドは９０°回転したフィルムの一端部に対向する
位置に配置され、前記ピールハンド送り装置は、前記ピ
ールハンドを、前記基板上方を越えて、前記送りライン
と直交する方向に案内するように配置されたガイドと、
このガイドに沿って前記ピールハンドを往復動させるピ
ールハンド駆動装置とを備えるようにしてもよい。
【００３１】
【作用及び効果】請求項１の発明によれば、基板の一端
からはみ出して張り付けられているフィルムの一端部を
ピールハンドにより挾持して、且つこのピールハンドを
円弧運動させつつ、円弧中心に向けて姿勢を調節するの
で、ピールハンドによりフィルム一端部を捲り上げる際
に、該フィルム一端部に無理な力が作用することがな
く、従ってフィルムの変形は最小限度に押えられる。
又、ピールハンドは、捲り上げたフィルム端部をそのま
ま基板外にまで移動して引張り、基板外位置でフィルム
を解放するので、その個所に積層すれば、剥離したフィ
ルムの自由落下による埃発生を防止することができる。
【００３２】請求項２の発明によれば、基板の一端から
はみ出しているフイルム一端部が、該基板の一端近傍を
中心として捲り上げられるので、この捲り上げ動作中に
フィルム一端部が基板に対して無理に引張られたりする
ことがない。従って、基板がその平面方向あるいは上下
方向にピールハンドによって引張られて無理な荷重がか
かったりすることがない。
【００３３】請求項３の発明によれば、フィルムが張り
付けられた基板が、送りが停止された後に９０°回転さ
れることによって、自動的にピールハンドに対向する位
置に移動してくるので、ピールハンドによるフィルム一
端部の挾持が容易確実であり、又フィルム剥離方向を基
板の送り方向と直交させることによって、基板送り方向
の装置との干渉を避けることができると共に、送りの距
離を短くすることができる。
【００３４】請求項４の発明によれば、ピールハンドに
より基板外に剥離移動させたフィルムが順次積重ねられ
ることによって収納され、フィルム自由落下による埃発
生を抑制することができる。
【００３５】請求項５の発明によれば、ピールハンドに
より、はみ出して張り付けられたフィルム一端部を挾持
し、且つフィルムに無理な力を発生させることなく捲り
上げ、且つそのまま基板外に略水平方向に送るので、フ
ィルムを容易確実に剥離させ、且つこのときに基板側に
損傷を与えたりすることがなく、剥離に際してフィルム
からの埃の発生を最小限にすることができる。
【００３６】請求項６の発明によれば、吸着装置は基板
を吸着した状態でこれを回転させる回転機構を含んでい
るので、基板の送り方向に対して、吸着した基板を９０
°回転させ、送りライン側方のピールハンドによるフィ
ルム一端部の挾持を容易とすし、又、ピールハンドによ
るフィルム一端部の剥離方向は、基板の送り方向と９０
°直交しているので、ピールハンドを含む剥離装置と、
基板送り方向の装置とが干渉することがない。従って干
渉を避けるべくフィルム送り距離を大きくしたり、ピー
ルハンドを送り装置の上方に設けたりする必要がない。
【００３７】請求項７の発明によれば、基板からはみ出
して垂れ下がるフイルム一端部をフィルム端部支持台に
より一定高さに支持するので、ピールハンドの挾持片に
よる該フィルム一端部の挾持が容易となる。
【００３８】請求項８の発明によれば、フィルム端部支
持台により支持されているフィルム一端部を、進退溝内
を進んでくる挾持片により一定高さ位置で確実に挾持す
ることができる。又このとき、フィルム一端部は進退溝
両側のフィルム端部支持台により確実に水平に保持され
ているので、挾持片による挾持ミスがない。
【００３９】請求項９の発明によれば、ピールハンドは
フィルム一端部と平行な回転中心軸回りに回転する回転
部材及びこれに支持された一対の挾持片を含んで構成さ
れているので、該挾持片によってフィルム一端部を挾持
した後、鉛直面内で円弧運動してフィルム一端部を剥離
させる際に、挾持片を円弧運動の回転中心方向に向け
て、フィルムに掛る無理な力が発生することを防止し、
通常、人手による剥離する際の指先と同様の運動により
剥離することができる。
【００４０】請求項１０の発明によれば、回転部材の回
転中心軸が基板の一端近傍を通るので、回転部材により
支持された挾持片によりフィルム一端部を挾持して捲り
上げる際に、フィルム一端部のはみ出し基点を中心とし
て該フィルム一端部が回転され捲り上げられることにな
るので、フィルム一端部が基板に対して引張られたりす
ることがなく、従って基板の位置ずれや、フィルムに無
理な応力が生じたりすることがない。
【００４１】請求項１１の発明によれば、ピールハンド
により剥離され略水平に搬送されてきたフィルムを積重
ね装置により順次重ねて押え込むので、剥離されたフィ
ルムの送り範囲が最小限であり積重ねる前の埃の発生を
最小限にすることができる。
【００４２】請求項１２の発明によれば、積重ね装置に
おける第１及び第２フィルム押えを交互に上下方向に駆
動することによって、剥離され、且つピールハンドによ
って送り込まれてきたフィルムを順次水平に積重ねて押
え込むことができる。
【００４３】請求項１３の発明によれば、第１フィルム
押えにより押え付けていた中心部が押え付けられていた
フィルムの下側にある第２フィルム押えがフィルムの両
端を持ち上げつつ上昇することによってフィルムを第２
フィルム押えの下側に位置させ、更に、第２フィルム押
えによってフィルムを押え、且つ第１フィルム押えを上
方に戻すことによって、その間に剥離されたフィルム搬
入を可能とし、搬入されたフィルムの中心を、両端が第
２フィルム押えの上側となるように押えつけ、以下順次
同様の動作を繰返して、剥離されたフィルムを確実に押
え込んで積重ねることができる。
【００４４】請求項１４の発明によれば、ピールハンド
送り装置は基板上方を越えて送りラインと直交する方向
に配置されているので、基板送り方向の各種装置と干渉
することがなく、スペース効率を増大させることができ
ると共に、フィルム剥離の際の基板停止時間を短くする
ことができる。
【００４５】
【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
【００４６】図１及び図２に示されるように、この実施
例に係るフィルム剥離装置１０は、基板１２に張付けら
れたフィルム１４の一端部１４Ａが、基板１２の一端１
２Ａからはみ出している該フィルム１４を剥離する装置
であって、前記基板１２を吸着して水平に位置固定する
吸着装置１６と、一対の開閉自在の挾持片１８Ａ、１８
Ｂを備え、前記吸着装置１６により固定された基板１２
からはみ出しているフィルム１４の一端部１４Ａを挾持
すると共に、挾持したまま基板１２と直交する面内で基
板１２表面から剥離方向に離間しつつ、基板１２の他端
１２Ｂ方向に略円弧状に移動し、このとき、前記一対の
挾持片１８Ａ、１８Ｂが、前記円弧の略中心に向けられ
るピールハンド１８と、このピールハンド１８を、フィ
ルム一端部１４Ａを挾持したまま、前記基板１２上方
を、該基板１２の他端１２Ｂを越えて、該他端１２Ｂか
ら基板１２長さよりも離間した位置まで略水平に送るピ
ールハンド送り装置２０と、ピールハンド１８により剥
離されたフィルム１４を順次積重ねて押え込む積重ね装
置２２を設けて構成されている。
【００４７】前記基板１２は、送り装置２４により、基
板送りライン２４Ａに沿って、図１において下側から上
方に、図２において左から右方向に送られるようになっ
ている。
【００４８】前記吸着装置１６は、シリンダ１６Ａと、
これにより上下動され、下方から前記送り装置２４上の
基板１２に接触、吸着し、且つこれを水平面内で９０°
方向転換できるように回転されるターンテーブル１６Ｂ
とを備えて構成されている。前記ターンテーブル１６Ｂ
の上面は平板状であり、該上面には、径の異なる同心の
二重円状の円周溝３４Ａ、３４Ｂと、これらの円の中心
位置に形成された吸引口３６と、この吸引口３６から放
射状に円周溝３４Ａ、３４Ｂにまで延在してこれらを吸
引口３６に連通する６本の放射溝３４Ｃと、が設けられ
ている。前記吸引口３６は、途中に開閉弁を備えたパイ
プを介してバキューム発生源（共に図示省略）に連通さ
れ、開閉弁の切替により吸着の作動、非作動を選択でき
るようにされている。ターンテーブル１６Ｂは基板送り
ライン２４Ａより下側の位置に待機され、上昇時には基
板１２を基板送りライン２４Ａよりも高く持ち上げるよ
うにされている。
【００４９】図の符号２４Ｂは送り装置２４における送
りローラ、２４Ｃはこの送りローラ２４Ｂのスプロケッ
トホイール（図示省略）に巻き掛けられ、モータ２４Ｄ
からの回転を伝達するためのチェーンをそれぞれ示す。
【００５０】前記ピールハンド送り装置２０は、前記吸
着装置１６の、送り方向入側に、基板送りライン２４Ａ
と直交する方向に配置された無端帯２０Ａと、この無端
帯２０Ａに支持されると共に、前記ピールハンド１８の
基端を支持するスライダー２０Ｂと、無端帯２０Ａを駆
動するモータ２０Ｃによって構成されている。
【００５１】前記積重ね装置２２は、前記送り装置２４
に横方向に隣接して配置され、前記ピールハンド送り装
置２０の無端帯２０Ａは、スライダー２０Ｂに固定され
たピールハンド１８を、図１において、送り装置２４の
右側から、送り装置２４の上方を越えて、基板送りライ
ン２４Ａと直交する方向に、前記積重ね装置２２の、送
り装置２４と反対側の端部にまで往復駆動できるように
されている。
【００５２】前記ピールハンド１８を含むピールハンド
装置１９は、図３に示されるように、前記ピールハンド
送り装置２０の無端帯２０Ａによって駆動されるスライ
ダー２０Ｂと、このスライダー２０Ｂの上端に取付けら
れ、前記基板送りライン２４Ａと平行な回転中心軸線廻
りに出力軸を９０°の範囲で往復揺動させるロータリー
シリンダ１９Ａと、このロータリーシリンダ１９Ａの出
力軸に固着されたＬ字状アーム１９Ｂと、このＬ字状ア
ーム１９Ｂの先端に固着された前記ピールハンド１８と
から構成されている。
【００５３】前記ピールハンド１８は、フィルム端検出
センサー（図示省略）を備え、挾持片１８Ａ、１８Ｂが
フィルムの一端部１４Ａに接近し、これを挾持できる位
置となったときにフィルム端検出信号を出力して、アク
チュエータ１８Ｃにより挾持片１８Ａ、１８Ｂを閉じる
ようにされている。
【００５４】前記ピールハンド１８は、Ｌ字状アーム１
９Ｂの長辺先端に取付けられ、又ロータリーシリンダ１
９Ａは、Ｌ字の短辺の先端に、その出力軸が長辺と平行
となるように取付けられている。
【００５５】従って、前記ピールハンド１８の挾持片１
８Ａ、１８Ｂは、ロータリーシリンダ１９Ａの出力軸を
通る中心軸線に対して、これと直交する方向の距離と等
しい半径で回転するように取付けられている。
【００５６】又、前記ピールハンド装置１９は、フィル
ム一端部１４Ａに対して離間した待機状態にあるとき
に、Ｌ字状アーム１９Ｂが、図３に示されるように、同
一水平面内にあるようにされている。
【００５７】前記送り装置２４の、前記積重ね装置２２
と反対側に隣接した位置には、進退溝３８を間にして一
対のフィルム端部支持台４０が配置されている。このフ
ィルム端部支持台４０は、上面が水平で、且つ、その高
さが、前記送り装置２４における送りローラ２４Ｂより
も高く、又ターンテーブル１６Ｂに吸着支持され、且つ
上方に持ち上げられた状態での基板１２下面よりも下側
位置となるようにされている。
【００５８】又前記進退溝３８は、前記ピールハンド１
８が送り装置２４により基板１２方向に進むとき、該ピ
ールハンド１８がフィルム端部支持台４０と干渉しない
ようにするためのものであり、且つ、基板１２からはみ
出したフィルム１４の一端部１４Ａをフィルム端部支持
台４０により一定高さに維持したとき、その状態のま
ま、ピールハンド１８の挾持片１８Ａ、１８Ｂにより上
下から挟み込むことができるようにするものである。
【００５９】ここで、前記ピールハンド装置１９におけ
るＬ字状アーム１９Ｂの長辺の下側面は、フィルム端部
支持台４０の上端面よりも上側位置となるようにされて
いる。
【００６０】又、待機状態にあるとき、ピールハンド１
８の上下に開いた挾持片１８Ａ、１８Ｂの中間高さが、
基板１２の上面高さ位置となり、下側の挾持片１８Ｂ
が、フィルム端部支持台４０の上面よりも僅かに低い位
置となるようにされている。
【００６１】更に、前記ピールハンド装置１９における
ロータリーシリンダ１９Ａの出力軸即ちＬ字状アーム１
９Ｂの回転中心軸は、前記挾持片１８Ａ、１８Ｂにより
フィルム１４の一端部１４Ａを挟み込むときに、基板１
２の一端１２Ａ近傍を通る、該一端１２Ａと平行な直線
上にあるようにされている。
【００６２】従って、挾持片１８Ａ、１８Ｂは、フィル
ム一端部１４Ａを挟む前の待機状態から挟むまでの間は
図３で実線で示されるようにフィルム一端部１４Ａに対
向し、ロータリーシリンダ１９ＡによってＬ字状アーム
１９Ｂがロータリーシリンダ１９Ａの回転中心軸廻りに
揺動されたとき、一端１２Ａに向けて下向きとなるよう
にされている。
【００６３】前記積重ね装置２２は、図１及び図８にも
示されるように、前記ピールハンド１８による剥離フィ
ルムの水平移動軌跡１５の下方に、モータ２３により上
下方向位置調節自在に配置された水平のフィルム受けテ
ーブル２２Ａと、このフィルム受けテーブル２２Ａの上
方で、水平、且つ、前記剥離フィルムの移動方向に直交
する方向に延在され、上下方向移動自在の第１フィルム
押え２２Ｂと、前記フィルム受けテーブル２２Ａの上方
で、前記第１フィルム押え２２Ｂの両側に離間して、こ
れと平行且つ水平に配置され、上下方向移動自在の一対
の第２フィルム押え２２Ｃと、前記第１フィルム押え２
２Ｂ及び第２フィルム押え２２Ｃをそれぞれ上下動方向
に駆動するエアシリンダからなる第１駆動装置２２Ｄ、
第２駆動装置２２Ｅとを備えて構成されている。
【００６４】前記第１駆動装置２２Ｄ及び第２駆動装置
２２Ｅは、剥離されたフィルム１４がピールハンド１８
によりフィルム受けテーブル２２Ａ上に移動してくると
き、第１フィルム押え２２Ｂをフィルム移動軌跡１５よ
りも上方に、第２フィルム押え２２Ｃをフィルム移動軌
跡１５よりも下に、それぞれ位置させ、該フィルム１４
がピールハンド１８により、一端部が挾持された状態
で、フィルム受けテーブル２２Ａ及び第２フィルム押え
２２Ｃの上方に落下した後に、第１フィルム押え２２Ｂ
が下降されてフィルム１４を押え、更にピールハンド１
８がフィルムを解放してから第２フィルム押え２２Ｃが
落下したフィルム１４の両端を持ちあげてフィルム１４
の上方に抜け出し、次に第２フィルム押え２２Ｃが下降
してフィルム１４を押え、第１フィルム押え２２Ｂが上
昇してフィルム１４との間に隙間を作るようにされてい
る。
【００６５】図１及び図２の符号２６は、前記送り装置
２４から、図２において右側に隣接する装置（図示省
略）にフィルム１４が剥離された基板１２を送り込むた
めの受け渡し部を示す。
【００６６】この受け渡し部２６は、モータ２６Ａによ
りチェーン２６Ｂを介して駆動される、前記送り装置２
４の送りローラ２４Ｂと整列した２列の送りローラ２６
Ｃを備えている。
【００６７】図１に示されるように、前記左右２列の送
りローラ２６Ｃの間には、該送りローラ２６Ｃと直交す
る方向に回転自在の複数の昇降式フリーローラ２８が配
置されている。これら昇降式フリーローラ２８は、エア
ーシリンダ２８Ａにより上下動されるようになってい
る。
【００６８】更に、前記左右２列の送りローラ２６Ｃの
両外側には、シリンダ３０Ａによって駆動されるセンタ
リング装置３０が配置され、エアーシリンダ２８Ａによ
り駆動された昇降式フリーローラ２８によって持ち上げ
られた状態の基板１２を、基板送りライン２４Ａの幅方
向両側から押して、センタリングを行うようにされてい
る。
【００６９】又、図２の符号３２は静電気発生防止のた
めの塩化ビニールカバー、３３はステンレスカバー、を
それぞれ示す。
【００７０】次に、上記実施例に係るフィルム剥離装置
１０の作用について説明する。
【００７１】送り装置２４によって一端部１４Ａを後側
にして送られてきた、フィルム１４が張付けられた基板
１２の送りを停止し、同時に、吸着装置１６のターンテ
ーブル１６Ｂをシリンダ１６Ａで上昇させつつ、基板１
２の裏面を吸着する。吸着して、送り装置２４の送りロ
ーラ２４Ｂ上方に持上げた後は、ターンテーブル１６Ｂ
を図１において反時計方向に９０°回転させて、基板１
２の一端１２Ａからはみ出しているフィルム１４の一端
部１４Ａが、基板送りライン２４Ａと平行、且つ、該一
端部１４Ａが、基板送りライン２４Ａを間にして、前記
積重ね装置２２と反対側に位置するようにさせる。
【００７２】フィルム１４の一端部１４Ａが水平面内で
９０°回転されると、前記フィルム端部支持台４０上に
垂れ下がることになる。このとき、フィルム端部支持台
４０は、フィルム１４の一端部１４Ａを下方から支えて
水平状態に維持し、フィルム端部支持台４０の間の進退
溝３８の位置においても、フィルム１４の一端部１４Ａ
が該進退溝３８上方を横断して水平に維持されている。
【００７３】図３に実線で示されるように、前記ピール
ハンド１８は、Ｌ字状アーム１９Ｂが同一水平面内にあ
る状態で、予めピールハンド送り装置２０を操作して、
回転してきたフィルム１４の一端部１４Ａと対向する位
置に配置しておく。
【００７４】ピールハンド１８は、図４に示されるよう
に、その挾持片１８Ａ、１８Ｂを上下方向に開いた状態
としておき、この状態で、ピールハンド送り装置２０の
モータ２０Ｃにより無端帯２０Ａを駆動して、ピールハ
ンド１８を、基板送りライン２４Ａと直交する方向に徐
々に、フィルム１４の一端部１４Ａに向けて移動させ
る。
【００７５】ピールハンド１８は、挾持片１８Ａ、１８
Ｂを上下方向に開いた状態のまま、前記フィルム端部支
持台４０における進退溝３８内に入り込み、そのまま一
端部１４Ａに向けて進行する。ピールハンド１８の挾持
片１８Ａ、１８Ｂはフィルム検出センサを内蔵している
ので、フィルム一端部１４Ａが挾持片１８Ａ、１８Ｂの
間の位置にくると、フィルム検出センサからの信号によ
り直ちにモータ２０Ｃが停止され次に挾持片１８Ａ、１
８Ｂが閉じられ、これによって一端部１４Ａが挾持片１
８Ａ、１８Ｂにより挾持されることになる（図５参
照）。
【００７６】次に、この状態で、ピールハンド装置１９
におけるロータリーシリンダ１９Ａを作動させ、Ｌ字状
アーム１９Ｂを９０°回転させると、ピールハンド１８
の挾持片１８Ａ、１８Ｂは、図５、図６に示されるよう
にフィルム１４の一端部１４Ａを基板１２から捲り上げ
る円弧運動をする。この円弧運動は、前記基板１２の一
端１２Ａを中心としているので、挾持片１８Ａ、１８Ｂ
は常にこの一端１２Ａ方向に向けた状態に維持される。
即ち、挾持片１８Ａ、１８Ｂが、水平横向きから下向き
となるように姿勢が変更される。又、一端１２Ａから挾
持片１８Ａ、１８Ｂまでの距離が変化しないので、基板
１２に対してフィルム１４の一端部を無理に引張ること
がない。
【００７７】前記状態のまま、ピールハンド送り装置２
０によりピールハンド１８を、基板１２の上方を通って
積重ね装置２２の反対側の端部にまで移動すると、図７
に示されるようにフィルム１４が感光層１３を残して基
板１２から剥離され、更に図８に示されるように、積重
ね装置２２の、上下に開いた第１フィルム押え２２Ｂと
第２フィルム押え２２Ｃとの間の位置に入り込むことに
なる。
【００７８】従って、前記円弧運動の間は挾持片１８
Ａ、１８Ｂが常時回転中心に向けられていて、且つその
回転半径が変更しないので、フィルム１４の一端部１４
Ａが引張られたりすることがない。このため、前記吸着
装置１６のターンテーブル１６Ｂで吸着されている基板
１２は引張り力を受けて移動してしまうようなことがな
い。
【００７９】この状態で、フィルム１４は図８に示され
るように、既に収容されているフィルム１４を上方から
押え込んでいる状態の第２フィルム押え２２Ｃ上に略水
平に垂れ下がる。
【００８０】次に、第１フィルム押え２２Ｂが図９に示
されるように下降して、フィルム１４を押え込んでフィ
ルム受けテーブル２２Ａ上に固定する。フィルム１４が
固定されると、その一端を挾持していたピールハンド１
８の挾持片１８Ａ、１８Ｂが該一端部１４Ａを解放す
る。
【００８１】次に、第２フィルム押え２２Ｃが図１０に
示されるように上昇し、フィルム１４の両端を持ち上
げ、更に上昇して、図１１に示されるようにフィルム１
４両端の上側に抜け出す。
【００８２】このとき、フィルム１４の両端は、中央部
が第１フィルム押え２２Ｂに押えられているために弾性
及び重力によってフィルム受けテーブル２２Ａ上に下降
する。
【００８３】次に、上昇していた第２フィルム押え２２
Ｃが下降して、図１２に示されるようにフィルム１４を
フィルム受けテーブル２２Ａ上に押え込み、次いで、中
央の第１フィルム押え２２Ｂが上昇され、図８に示され
る、次のフィルム１４を受け入れる待機状態とされる。
【００８４】この間に、前記吸着装置１６のターンテー
ブル１６Ｂは９０°回転して元に戻り、更に降下してバ
キュームを解放することによって、基板１２を送り装置
２４の送りローラ２４Ｂに戻し、送り装置２４は受け渡
し部２６方向に基板１２を送り出すことになる。
【００８５】一方、フィルム１４の一端部１４Ａを解放
した後のピールハンドは、図１２に示される、第１及び
第２フィルム押え２２Ｂ、２２Ｃの両方がフィルムを押
え込んでいる状態のとき、原位置に戻され、次のフィル
ム端部１４Ａを挾持するように待機される。前記フィル
ム受けテーブル２２Ａは、剥離したフィルムを一定量受
け取ると、次のフィルムのために、シリンダ装置により
下降され、一定のスペースを形成する。
【００８６】上記のように、送り装置２４により順次送
られてくる基板１２を、該送り装置２４の一側方からピ
ールハンド１８によってフィルム１４を剥がして、該送
り装置２４の他側方に位置している積重ね装置２２に収
容させるので、ピールハンド１８を、基板送りライン２
４Ａと直交して移動させることにより、基板送りライン
２４Ａ方向のスペースを大きくとる必要がなく、又装置
の高さ方向の寸法を大きくする必要がない。更に、剥離
の際のフィルム１４の変形及び移動量が少ないので、埃
の発生が少ない。更に、積重ね装置２２は、剥離したフ
ィルム１４を積層する積層状態で押え付けるので、フィ
ルム収容部の容積を小さくすることができる。
【００８７】なお、上記実施例において、ピールハンド
１８の挾持片１８Ａ、１８Ｂは、ロータリーシリンダ１
９ＡによるＬ字状アーム１９Ｂの回転に伴ってその姿勢
を変更するようにされているが、本発明はこれに限定さ
れるものでなく、例えば、Ｌ字状アーム１９Ｂに対して
ピールハンド１８を揺動自在に設け、Ｌ字状アーム１９
Ｂが回転されたとき、ピールハンド１８が、挾持片１８
Ａ、１８Ｂを介してフィルム１４側から力を受け、その
引張り方向に姿勢が変更されるようにしてもよい。
【００８８】又、積重ね装置２２の第１及び第２フィル
ム押え２２Ｂ、２２Ｃはそれぞれ第１駆動装置２２Ｄ及
び第２駆動装置２２Ｅにより、上下方向に駆動されるよ
うにになっているが、これは、フィルム受けテーブル２
２Ａ上に、剥離されたフィルム１４を側方にずれたり落
下したりすることなく順次押え込み、且つピールハンド
１８の通過を許容できるものであればよく、従って、例
えば第２フィルム押え２２Ｃを側方あるいは前後方向に
移動させてフィルム１４の下側から抜け出すようにして
もよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係るフィルム剥離装置を示す
平面図
【図２】同実施例の側面図
【図３】同実施例の要部を拡大して示す斜視図
【図４】ピールハンドによりフィルム一端部を挾持する
最初の過程を示す拡大断面図
【図５】ピールハンドによりフィルム一端部を剥離する
最初の過程を示す断面図
【図６】ピールハンドによりフィルムを剥離する途中過
程を示す断面図
【図７】ピールハンドによりフィルムを剥離する最終過
程を示す断面図
【図８】剥離したフィルムをフィルム積重ね装置に搬入
する過程を示す断面図
【図９】搬入された剥離フィルムを押え込む最初の過程
を示す断面図
【図１０】第２フィルム押えを上昇させる過程を示す断
面図
【図１１】第２フィルム押えが剥離されたフィルム下方
から抜け出す途中過程を示す断面図
【図１２】剥離されたフィルムを押え込む最終過程を示
す断面図
【図１３】本発明方法及び装置によって剥離すべきフィ
ルム及びこのフィルムが張付けられた基板を示す断面図
【符号の説明】
１０…フィルム剥離装置 １２…基板 １２Ａ…一端 １２Ｂ…他端 １４…フィルム １４Ａ…一端部 １６…吸着装置 １６Ａ…シリンダ １６Ｂ…ターンテーブル １８…ピールハンド １８Ａ、１８Ｂ…挾持片 １９…ピールハンド装置 １９Ａ…ロータリーシリンダ ２０…ピールハンド送り装置 ２２…積重ね装置 ２２Ａ…フィルム受けテーブル ２２Ｂ…第１フィルム押え ２２Ｃ…第２フィルム押え ２２Ｄ…第１駆動装置 ２２Ｅ…第２駆動装置 ２４…送り装置 ２４Ａ…基板送りライン ２６…受け渡し部 ３８…進退溝 ４０…フィルム端部支持台

Claims (14)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】一端部が基板の一端からはみ出して該基板
    に張付けられているフィルムを剥離する方法において、
    前記基板を吸着して位置固定する工程と、該位置固定さ
    れた基板からはみ出しているフィルムの一端部を、これ
    と平行のピールハンドにより挾持する工程と、このピー
    ルハンドをフィルム一端部を挾持したまま基板と直交す
    る面内で、基板面近傍を円弧中心とし、ピールハンドを
    前記円弧中心に向けて姿勢を調節しつつ、基板面から離
    間し、且つ、基板の他端方向にフィルム一端部を捲り上
    げる円弧運動をさせる工程と、捲り上げたフィルムの一
    端部をピールハンドにより挾持したまま、基板の他端方
    向に移動し、更に、前記他端を越えて、少なくともフィ
    ルムの他端部が基板から剥離する位置まで基板外に搬送
    する工程と、基板外位置で、前記フィルムを解放する工
    程と、を有してなるフィルム剥離方法。
  2. 【請求項２】請求項１において、前記フィルム一端部を
    捲り上げる円弧運動の円弧中心を、前記基板の一端と平
    行で、該一端近傍を通る直線上に配置したことを特徴と
    するフィルム剥離方法。
  3. 【請求項３】請求項１又は２において、前記基板は、前
    記フィルムの一端部を先端又は後端として送りラインに
    沿って一方向に搬送されるものであり、前記ピールハン
    ドにより挾持する前に、基板の送りを停止し、且つ、こ
    れを吸着した後に基板と平行な面内で９０°回転して、
    前記フィルムの一端部を、基板送りラインの側方に配置
    された前記ピールハンドに対向する位置に移動させるこ
    とを特徴とするフィルム剥離方法。
  4. 【請求項４】請求項１、２又は３において、前記ピール
    ハンドにより基板外に移動されたフィルムを、解放時に
    押え込み、順次積重ねて、収容することを特徴とするフ
    ィルム剥離方法。
  5. 【請求項５】基板に張付けられたフィルムの一端部が、
    該基板の一端からはみ出しているフィルムの剥離装置に
    おいて、前記基板を吸着して水平に位置固定する吸着装
    置と、一対の開閉自在の挾持片を備え、前記吸着装置に
    より固定された基板からはみ出ている前記フィルム一端
    部を挾持すると共に、挾持したまま、基板と直交する面
    内で、基板表面から剥離方向に離間しつつ、基板の他端
    方向に略円弧状に移動し、このとき、前記一対の挾持片
    が、前記円弧の略中心に向けられるピールハンドと、こ
    のピールハンドを、フィルム一端部を挾持したまま、前
    記基板上方を、該基板の他端を越えて、該他端から少な
    くとも基板長さよりも離間した位置まで略水平に送るピ
    ールハンド送り装置と、を設けたことを特徴とするフィ
    ルム剥離装置。
  6. 【請求項６】請求項５において、前記吸着装置は、基板
    を吸着した状態で水平面内で回転させる回転機構を含ん
    で構成され、前記ピールハンドの一対の挾持片は、開状
    態で、前記回転機構による基板の回転時に、前記フィル
    ム一端部の回転軌跡の上下の高さに位置されることを特
    徴とするフィルム剥離装置。
  7. 【請求項７】請求項６において、前記回転機構と前記ピ
    ールハンドの間の位置に、該回転機構による基板の回転
    時に、前記フィルム一端部に下方から相対的摺動自在に
    接触して、該フィルム一端部の水平面内回転軌跡の上下
    の高さ位置を決定するフィルム端部支持台を設けたこと
    を特徴とするフィルム剥離装置。
  8. 【請求項８】請求項７において、前記ピールハンドは、
    前記フィルム端部支持台上のフィルム一端部に対して、
    該フィルム一端部を挾持する位置と待機位置との間で進
    退自在とされ、且つ、前記フィルム端部支持台は、前記
    ピールハンドの進退を許容する進退溝を備えたことを特
    徴とするフィルム剥離装置。
  9. 【請求項９】請求項５乃至８のいずれかにおいて、前記
    ピールハンドは、水平、且つ、前記フィルム一端部と平
    行な回転中心軸廻りに回転する回転部材と、この回転部
    材に、前記回転中心軸方向に向けて取付けられた前記一
    対の挾持片と、を含んで構成されたことを特徴とするフ
    ィルム剥離装置。
  10. 【請求項１０】請求項９において、前記回転部材の回転
    中心軸は、前記基板の一端近傍を通るように配置された
    ことを特徴とするフィルム剥離装置。
  11. 【請求項１１】請求項５乃至１０のいずれかにおいて、
    前記吸着装置に対して、前記ピールハンドによるフィル
    ム剥離方向側に配置され、ピールハンドにより剥離さ
    れ、略水平に搬送されてきたフィルムを順次重ねて押え
    込む積重ね装置を設けたことを特徴とするフィルム剥離
    装置。
  12. 【請求項１２】請求項１１において、前記積重ね装置
    は、前記ピールハンドによる剥離フィルムの略水平移動
    軌跡の下方に、上下方向位置調節自在に配置された水平
    のフィルム受けテーブルと、このフィルム受けテーブル
    の上方で、水平、且つ、前記剥離フィルムの移動方向に
    直交する方向に延在され、上下方向移動自在の第１フィ
    ルム押えと、前記フィルム受けテーブルの上方で、前記
    第１フィルム押えの両側に離間して、これと平行且つ水
    平に配置され、上下方向移動自在の一対の第２フィルム
    押えと、前記第１フィルム押え及び第２フィルム押えを
    それぞれ上下方向に駆動する第１駆動装置及び第２駆動
    装置と、を有してなることを特徴とするフィルム剥離装
    置。
  13. 【請求項１３】請求項１２において、前記第１駆動装置
    及び第２駆動装置は、前記剥離されたフィルムがピール
    ハンドによりフィルム受けテーブル上に移動してくると
    き、第１フィルム押えをフィルム移動軌跡よりも上に、
    第２フィルム押えをフィルム移動軌跡よりも下に、それ
    ぞれ位置させ、該フィルムが解放されフィルム受けテー
    ブル及び第２フィルム押えの上方に落下した後に、第１
    フィルム押えが降下されてフィルムを押え、第２フィル
    ム押えが落下したフィルムの両端を持ち上げてフィルム
    の上方に抜け出し、次に第２フィルム押えが降下してフ
    ィルムを押え、第１フィルム押えが上昇してフィルムと
    の間に隙間を作るようにされたことを特徴とするフィル
    ム剥離装置。
  14. 【請求項１４】請求項５乃至１３のいずれかにおいて、
    前記基板は、フィルムのはみ出し一端部を先端又は後端
    にして送り装置により搬送されるものであり、前記吸着
    装置は、該送り装置による送りライン下方に配置され、
    前記基板を吸着し、且つ、送りラインから持ち上げて水
    平面内で９０°回転させるターンテーブルを含んで構成
    され、前記ピールハンドは９０°回転したフィルムの一
    端部に対向する位置に配置され、前記ピールハンド送り
    装置は、前記ピールハンドを、前記基板上方を越えて、
    前記送りラインと直交する方向に案内するように配置さ
    れたガイドと、このガイドに沿って前記ピールハンドを
    往復動させるピールハンド駆動装置とを備えたことを特
    徴とするフィルム剥離装置。
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