JPH0376247A - ウエハの移し替え方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は例えば集積回路の基板となるシリコンウェハ
のような円形などの任意形状のウェハの上部に粘着テー
プを貼り付け、このテープをウェハの外周に沿ってカッ
トしたのち、ウェハ上に貼着された部分以外のテープを
剥離する装置のようなウェハの処理装置におけるウェハ
の移し替え方法に関する。

〔従来の技術〕

従来のウェハ処理装置として、例えば特開昭６４−４３
４５８号公報により開示されているものは、巾の広い粘
着テープをウェハに貼着して、この貼着したテープをウ
ェハの周縁に沿ってカットするものである。

この公知技術では上記のような処理を行う処理部の両端
前部にロード部とアンロード部を設け、ロード部のカセ
ットの下部から一枚づつ取出したウェハを処理部で処理
したのち、この処理ずみのウェハをアンロード部の後方
まで移送し、アンロード部のカセット内の上部から一枚
づつ収容せしめるものである。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記のような公知の技術では、ロード部のカセットの下
部から一枚づつ取出したウェハをアンロード部のカセッ
トの上部から一枚づつ収容せしめるものであるから、ロ
ード部のカセットの最下部のウェハがアンロード部のカ
セット内においては最上部となって、カセットの収容順
序が逆になり、このままのカセットをつぎの工程に送る
と都合が悪い場合、元の順序にするためには移し替え装
置が必要となる。

また、ロード部とアンロード部のカセットは別のもので
あるため、処理後のウェハをロード部のカセットに戻す
ためには特殊な移し替え装置が必要である。

この発明の課題は上記のような従来技術の問題点を解決
するために、処理後にカセット間でウェハを移し替える
必要のないウェハの移し替え方法を提供することである
。

〔課題を解決するための手段〕

上記の課題を解決するために、この発明は、カセットに
収容した複数のウェハを下部から一枚づつ取出して処理
部に送り出すロード部と、上記処理部において処理ずみ
のウェハをカセットに上部から一枚づつ収容するアンロ
ード部とを設けたウェハの処理装置において、アンロー
ド部の後方にプール部を設けて、ロード部のカセ−／　
トの下部から一枚づつ取出して、処理部において処理し
たのちのウェハを一たんプール部のカセットに上部から
一枚づつ収容せしめたのち、このプール部のカセットを
下部から一枚づつ取出してアンロード部のカセットに上
部から一枚づつ収容せしめるウェハの移し替え方法を提
供する。

〔実施例〕

以下にこの発明方法を実施する処理装置の一例としての
ウェハにテープを貼着する装置について説明する。

第１図の１はロード部でウェハ３を入れたカセット２を
載せる左右一対の台１４を有する。第３図のようにこの
左右の台１４上のカセット２には多数のウェハ３が素子
形成面を上にして適当間隔で積み上げられ、無端搬送ベ
ルト４．５．６によりカセット２内の最下位のウェハ３
をガイド台７上に送り込む、ガイド台７は第１図のよう
に複数に分割され、その間に前記ベルト６とこのベルト
６に直交する方向の無端搬送ベルト８を配置し、かつ複
数のガイドバー９を固定しである。

上記ベルト８は第２図に示すように複数のプーリにより
屈曲されてベルト６と干渉しないようにし、ベルト６に
より台７上へ送り込まれてベルト６が停止し、ベルト８
がモータ１０および伝動ベルト１１より第２図の矢印の
方向に駆動されるとウェハ３はつぎのウェハアライメン
ト手段１５に送り込まれる。

前記各台１４は図示省略しである昇降手段により昇降す
るもので、ウェハ３が１枚取り出される毎にカセット２
を下げてつぎのウェハ３をベルト４上に載せる。

左右に台１４を設けたのは一方の台１４上のカセット２
が空になると、他方のカセット２内のウェハ３を取り出
して運転を続行し、この間に空のカセット２をウェハ３
の入ったカセット２と交換し、装置の稼動率を上げるた
めである。

ロード部に１カセツトのみをセットするようにした装置
の場合は、台１４は１ケ所でよく、その位置はベルト８
上に対向する部分の任意の位置とすればよい。

ウェハアライメント手段１５には左右の受台１６の外側
上部にガイドバー１７を設け、両受台１６間には左右一
対の無端搬送ベルト１８を配置しである。

上記搬送ベルト１８は第２図に示すように伝動ベルト２
０．２１によって前記搬送ベルト８と同期走行するがベ
ルト１８は機台２２上の昇降フレーム２３上に設けてあ
り、このフレーム２３はエアシリンダ１９により昇降す
る。

ウェハアライメント手段１５は、第２図および第４図な
いし第６図に示すようなものである。

すなわち、前記フレーム２３に横軸２４を中心に揺動す
るレバー２５を設け、このレバー２５上に、モータによ
り縦軸の回りに回転する溝プーリ２７を設け、レバー２
５上の取付台２８には第６図のように３本の回転棒３１
−５３２．３３を設け、これら各棒の下端の溝プーリと
前記溝プーリ２７に無端ベルト２６を係合させて、回転
棒３１．３２．３３が第６図矢印のように回転するよう
に構威し、中央の回転棒３２を若干前寄りにしておく。

また、前記レバー２５はエアシリンダ３５により上下に
揺動させ得るようにする。

第２図、第５図の３６は前記横軸２４と同軸で、かつレ
バー２５とは別個に揺動するレバーで、このレバー３６
にストッパ３７が取付けである。

このストッパ３７はウェハ３の直線縁すなわち、オリフ
ラ１２の精密な位置決めを行なうもので、回転軸３９を
中心に回転して任意の角度に固定することにより当たり
面を微調整できる機構を有している。

また、上記のレバー３６はエアシリンダ３８で上下に揺
動される。

上記のアライメント手段１５において、最初は第２図、
第４図のように３本の回転棒３１．３２．３３およびス
トッパ３７はベルト１８の搬送面上に突出している。従
ってベルト１８で搬送されてきたウェハ３の外周が棒３
１．３２．３３の外周に接する。ウェハ３の弧状の縁の
場合は全ての捧３１．３２．３３がウェハ３に接するが
ウェハ３は、同じ方向に回っている隣接した２本の棒３
２．３３との摩擦により回される。こうしてウェハ３が
回り、そのオリフラ１２が棒３１．３２．３３の部分へ
くると中央の捧３２は第６図のようにオリフラ１２から
離れ、オリフラ１２には相反する方向に回転している棒
３１．３３が接するのでウェハ３はオリフラ１２を前向
きとして停止する。

前記のようにウェハ３がアライメント手段１５の位置に
あることを検出し、回転棒３１．３２．３３を回転させ
、ウェハ３のオリフラ合わせ完了、すなわち、オリフラ
１２が回転棒３１．３３に接したことを検出して、回転
棒３１．３２．３３の回転を止め、同時にシリンダ３５
により下降させる。このときウェハ３はベルト１８に乗
って前進し、その前部のオリフラ１２を第１図の鎖線お
よび第５図のようにストッパ３７に接触してここでさら
に精密に位置決めされる。

このストッパ３７は前記した微調整機能によりきわめて
精度の高い角度合せができる。

ウェハ３がここまできたことを光電検出器などで検出す
るとエアシリンダ１Ｓが働いてフレーム２３とともにベ
ルト１８を下げ、ウェハ３を移動ステージ４０上に移す
、ステージ４０でウェハ確認後にエアシリンダ３８を作
用させてストッパ３７を第５図鎖線のように下降させる
。

移動ステージ４０は第１図に示すように左右のベルト１
８間にあって上面に多数の真空吸引孔を有する中空の真
空吸引式で、送りネジ４１の正逆転により進退するアー
ム４２の先端に取付けたものである。

また、送りネジ４１は基台２２上の軸受により支持され
、正逆転モータ４３により駆動される。

従って前記のようにベルト１８が下りウェハ３が移動ス
テージ４０上に移されて真空吸引されストッパ３７が下
った条件でモータ４３によりネジ４１が正転し、アーム
４２を第１図に向かって左方に移動させてウェハ３をつ
ぎの貼り合わせローラ４５．４６間へ移動させる。

上記貼り合わせローラ４５．４６はゴムのような柔軟な
弾性体からなり、上部のローラ４５は図示省略しである
バランスウェイト機構により適宜の圧下刃が加えられ、
下部のローラ４６はモータを含む駆動制御ユニット４７
で駆動または制動する。すなわち、ローラ４６の駆動軸
には図示省略しである電磁クラッチとトルクダンパを設
けてクラッチをつなぐとローラ４６にブレーキがかかる
ようにしてあり、また、クラッチとモータを設置するこ
とにより間歇駆動も可能となる。

また、第２図のように、機台２２上の機箱４８には、粘
着テープ５１の繰り出しリール５０と、同巻取り−ル５
２を設け、リール５０から繰り出されたテープ５１はガ
イドローラ５３を経て粘着面を下にした状態で上下のロ
ーラ４５．４６間を通り、後記するテープ剥離手段５４
の下部のピーリングローラ５５と上下一対のピーリング
ローラ６６間を通り機箱４８に設けたガイドローラ５７
、テンシランローラ５８を経て巻取リール５２に巻取ら
れる。

また、セパレータ６０はセパレータ巻上ローラ６１、ピ
ンチローラ６２を経て巻取リール６３に巻取らせる。

上記のように移動ステージ４０で貼り合わせローラ４５
．４６間にウェハ３が挿入されると同時に、同ステージ
４０の真空吸引は解除されモータ４３は逆転してステー
ジ４０を元に戻し、フレーム２３やレバー２５．３６も
元の位置まで上がってつぎのウェハ受人状態となる。

一方、上記のように貼り合わせローラ４５．４６間に送
り込まれたウェハ３はその上面に粘着テープ５１が貼着
されてテープカット手段６５へ移動し、出没自在のアー
ム６８の先端に設けた複数の光電検出器６９により位置
決めされて停止する。

テープカット手段６５は機箱４８の側壁内面に固定した
垂直のエアシリンダで昇降される第２図の昇降枠６７に
設けられる。

昇降枠６７の下部にはエアシリンダによりウェハ３の搬
送方向と直交する方向に進退する可動台７１を設け、こ
の可動台７１には下方に向けて垂直の筒体７２を固定す
る。

７５は前記筒体７２の下端に設けた回転支持板で、この
支持板７５の下部にガイドに沿って水平方向に移動可能
の調節板７６を設ける。この調節板７６を水平方向に移
動させて任意の個所で固定することによりカット寸法に
合わせるものである。

上記調節板７６の下部に送りネジにより移動する摺動体
７７を設け、この摺動体７７の側部に枠７８を設け、こ
の枠７８の下端に刃物７９を設けて、真空吸引式のステ
ージ８０上のウェハ３に貼着された粘着テープ５１をウ
ェハ３の周囲に沿ってカットするものである。上記ステ
ージ８０は上面に多数の吸引孔または吸引溝を設けて、
その上に移動してきたウェハ３を真空吸引により固定す
るものであり、第２図のエアシリンダ８１により昇降す
ることもできるが固定でもよい。

また、ステージ８０の上面にはウェハ３の進行方向と平
行の２条の溝８５を設け、ウニへの搬送用の無端搬送ベ
ルト８２がこの溝８５内に入るようにし、第２図のよう
に、この搬送ベルト８２を取付けた可動フレーム８３を
エアシリンダ８４により昇降させるようにしてベルト８
２の搬送面がステージ８０の上面に出没するようにしで
ある。

ただし、エアの浮力による搬送方式を用いる場合には溝
８５は不要となり、ベルト８２も短いものでよい、この
場合、ステージ８０には吸引孔とは別の搬送用のエア吹
出ノズルを設けるか、吸引孔とエア吹き出しノズルを兼
用にしてエア回路で切り替えるようにする。

また、ステージ８０の周囲には第１図のようにガイド台
２９．３０を設け、ガイド台３０の両側にはガイドバー
３４を設ける。

前記テープ剥離手段５４は第１図に示すように送りネジ
８６の正逆転により進退する移動台８７に前記ピーリン
グローラ５５と上下のピーリングローラ５６を設けたも
ので、上下のローラ５６はギヤにより相反する方向に回
転するように連動される。

また、前記送りネジ８６は正逆転モータ（図示省略）に
より駆動する。

第１図、゛第２図のように、剥離手段５４が位置決め停
止位置で停止し、貼り合わせローラ４５．４６とピーリ
ングローラ５５間に貼られたテープ５１の下部にウェハ
３が貼着され、かつ、このウェハ３が、上昇中のステー
ジ８０上に載っており、ベルト８２は下降中でその搬送
面がステージ４０の上面より下にある条件で、図示省略
のエアシリンダが働いて昇降枠６７を下げ、枠７８が旋
回して刃物７９によりウェハ３上のテープをカットする
。

上記の作用により刃物７９がテープ５１を完全にカット
し、昇降枠６７とともに刃物７９を上昇させると同時に
刃物７９が原点に戻り、ローラ４６にブレーキをかけて
テープ５１の移動を止めた条件で、送りネジ８６が正転
し、剥離手段５４を第１図、第２図に向かって右方へ移
動させる。

これにより、テープ５１はウェハ３上に貼着されたテー
プを残して剥離される。

ついで、シリンダ８１．８４が働きステージ８０が下り
、フレーム８３が上昇してウェハ３がステージ８０から
ベルト８２上へ移される。同時にベルト８２が駆動され
てウェハ３をつぎのアンロード部８８とプール部８９の
間へ搬送する。

アンロード部８８は前記ロード部１の逆の作用を有して
いるもので、第１図のようにロード部１からのカセット
２を載せる左右一対の台９０とその昇降装置からなり、
後方にはガイド台９１を有する。

ガイド台９１は複数に分割され、その間に前記無端搬送
ベルト８２に続く左右一対の無端搬送ベルト９２を設け
、さらに、このベルトＳ２と前記各台９０間にはベル）
９２と直交する左右一対の無端搬送ベルト９３．９４．
９５を順次配置してその上のウェハ３を台９０上のカセ
ット２へ送り込むようにする。

上記ベルト９２はその搬送側を第２図に示すように複数
のプーリにより屈曲させて、ベルト９３と干渉しないよ
うにし、モータ８６により伝動ベルト９７を介して第２
図の矢印方向に駆動する。

また、前記無端搬送ベルト８２は無端の伝動ベル）９８
．９９によりベルト９２に連動さ炊る。

上記プール部８９応も第１図のように左右一対の台１０
１を設ける。そして前記各ベルト９３の後方に左右一対
の無端搬送ベルト１０２．１０３を順次配置してベルト
９３上のウェハ３を台１０１上のカセット１０５へ送り
込むようにする。

上記の、各ベルト９３．９４．９５．１０２．１０３の
駆動装置は正逆転自在とする。

上記カセット１０５はウェハ３を一時収容する目的のも
のであるからこのカセット１０５は移動する必要がない
ので、台１０１と一体のカセット状収容部としてもよい
。

上記のようにアンロード部８８とプール部８９間に送り
こまれてきたウェハ３が、第１図、第２図に向って右ま
たは左の所定のベルト９３上にきた条件で、ベルト９２
が停止し、ベルト９３、Ｓ４．１０２．１０３．１０４
が後方へ回転を始めて、ウェハ３を所定の台１０１上の
カセット１０５へ送り込む。

番台１０１はカセット１０５内にウェハ３が１枚送り込
まれる毎に上昇していく公知のもので、例えば第１図の
左側の台１０１上のカセッ）１０５が−ばいになると、
右側の台１０１上のカセット１０５ヘウエハ３を送り込
み、その間に左側の台１０１に属するベルト１０３．１
０２．９３．９４．９５が逆に走行を始め、左側の台１
０１内のウェハ３を下側のものから一枚づつ取出し、最
下降位置の左側の手前の台９０上のカセット２内に上部
から一枚づつ送り込む。

右側の台１０１上のカセット１０５が−ばいになった場
合は、左側の台１０１上のカセット１０５に収納する動
作と干渉する場合がある。

このときは、ロフト終了時に一時的にワークの処理を停
止して移し替えを行う。

従って右側の台１０１はウェハ３をカセット１０５の下
部から一枚取り出す毎に一ピッチ下降し、右側の台９０
はカセット２内の上部に一枚送り込まれる毎に一ピッチ
上昇する。

左ｌｌの台１０１上のカセット１０５へのウェハ３の送
り込みや、左側のカセット１０５内のウェハ３を左側の
カセット２内へ送り込む作用も上記と同様とする。

上記のようにウェハ３が右または左の台１０５上のカセ
ット１０５へ正しく送り込まれるようにするために、左
右のベルト９２間にはエアシリンダ１０６で昇降するス
トッパ１０７を設け、さらに左端のガイド台９１上にス
トッパ１０８を設けるとともに、左右のガイド台９１上
にはガイドバー１０９を設け、左側のカセット１０５に
ウェハ３を送り込む場合はストッパ１０７を下げること
によりウェハ３がストッパ１０？上を素通りしてストッ
パ１０８で止められ、右側のカセット１０５に送り込む
ときはストッパ１０７を上げてウェハ３がストッパ１０
７で止められるようにする。

上記アンロード部８８やプール部８９も前記ロード部１
と同様に、１カセツトのみの場合はベルト９２上に対向
する部分の任意の位置の１個所に台９０，１０１を設け
ることができる。

上記の装置によるウェハの移し替えの方法を第７図の■
、■、■にもとづいてさらに詳しく説明する。

すなわち、第７図の■のように、最上昇位置にあるロー
ド部の台１４上のカセット２内にウェハが下から３ａ、
３ｂ、３Ｃ・・・・・・の順序で収容されている場合、
−枚のウェハを送り出す毎に−ピッチ下降するカセット
２の下部から３ａ、３ｂ、３Ｃ・・・・・・の順序でウ
ェハが順次取出されて処理されたのち、第７図■のよう
に最下降位置から−ピッチ毎に上昇する台１０１上のカ
セット１０５内に３ａ、３ｂ、３Ｃ・・・・・・の順序
で上から順次収容されていく。

この間にロード部で空になったカセット２をアンロード
部の最下降位置の台９０上に載せておき、前記カセット
１０５内の処理ずみのウェハを、最上昇位置から下降し
ていくカセット１０５の下から一枚づつ取出して、−ピ
ッチづつ上昇していく台９０上のカセット２内に上から
順に収容せしめていくと、第７図■のように最初ロード
部にあったカセット２内のウェハと同じ順序でアンロー
ド部のカセット２内に処理ずみのウェハが収容される。

〔発明の効果〕

この発明は上記のようにロード部のカセットの下部から
一枚づつ取出したウェハに粘着テープの貼着およびカッ
トなどの処理を施したのち、処理ずみのウェハを一たん
プール部のカセット内に上部から一枚づつ順次送り込み
、プール部のカセットが−ばいになると、プール部の下
部から一枚づつ取出した処理ずみのウェハをアンロード
部のカセット内に上部から順次送り込むことにより別の
移し替え装置を用いずに、最初のカセット内に収容しで
ある処理前のウェハと同じ順序で同じカセット内に処理
ずみのウェハを収容できるものである。

従って、従来方法のように別の移し替え装置やアンロー
ド部専用のカセットが不要になるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明方法を実施する装置の一実施例を示す
平面図、第２図は同上の正面図、第３図はロード部にお
けるカセット付近の拡大縦断側面図、第４図、第５図は
アライメント手段の各状態を示す一部縦断拡大正面図、
第６図は同上要部の平面図、第７図■、■、■はウェハ
移し替えの順序を示す縦断側面図である。 １・・・・・・ロード部、　　　　２．１０５・・・・
・・カセット、３・・・・・・ウェハ、 １５・・・・・・ウェハアライメント手段、５１・・・
・・・粘着テープ、　５４・・・・・・テープ剥離手段
、６５・・・・・・テープカット手段、 ８８・・・・・・アンロード部、８９・・・・・・プー
ル部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）カセットに収容した複数のウェハを下部から一枚
   づつ取出して処理部に送り出すロード部と、上記処理部
   において処理ずみのウェハをカセットに上部から一枚づ
   つ収容するアンロード部とを設けたウェハの処理装置に
   おいて、アンロード部の後方にプール部を設けて、ロー
   ド部のカセットの下部から一枚づつ取出して、処理部に
   おいて処理したのちのウェハを一たんプール部のカセッ
   トに上部から一枚づつ収容せしめたのち、このプール部
   のカセットを下部から一枚づつ取出してアンロード部の
   カセットに上部から一枚づつ収容せしめることを特徴と
   するウェハの移し替え方法。