JP2023120187A - ヒータペデスタル上の基板の位置を測定するための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ウエハを加熱ペデスタル上に中心合わせするための方法および装置を提供する。【解決手段】方法は、ペデスタル100上にセンサウエハ110を配置することを含む。センサウエハは、ペデスタルによって支持される第1の表面と、第1の表面に対向する第2の表面と、第1の表面を第2の表面に接続する端面とを備え、複数のセンサ領域が端面に形成される。ペデスタルは、主要面151と、センサウエハを取り囲む環状リング152と、を備える。方法はまた、複数のセンサ領域の各々と環状壁との間の間隙距離を特定することと、環状リングの中心点154に対するセンサウエハの中心点114の中心点オフセットを間隙距離から特定することと、を含む。【選択図】図1B
Description
関連出願の相互参照
本願は、2018年9月4日出願の米国特許仮出願第62/726,887号の利益を主張する、2019年8月20日出願の米国特許出願第16/545,824号の優先権を主張し、その全内容は参照によって本明細書に組み込まれる。
本願は、2018年9月4日出願の米国特許仮出願第62/726,887号の利益を主張する、2019年8月20日出願の米国特許出願第16/545,824号の優先権を主張し、その全内容は参照によって本明細書に組み込まれる。
実施形態は、半導体製造の分野に関し、具体的には、ウエハを加熱ペデスタル上に中心合わせするための方法および装置に関する。
関連技術の説明
半導体ウエハなどの基板の処理では、基板が、様々な製造工程のために加熱ペデスタル上に配置され得る。典型的には、加熱ペデスタルは、基板が載置される平坦な表面および基板を取り囲む環状リング(ポケットとも称される)を備える。環状リングは、一般に、処理される基板よりも厚い。
半導体ウエハなどの基板の処理では、基板が、様々な製造工程のために加熱ペデスタル上に配置され得る。典型的には、加熱ペデスタルは、基板が載置される平坦な表面および基板を取り囲む環状リング(ポケットとも称される)を備える。環状リングは、一般に、処理される基板よりも厚い。
理想的には、基板の端から端まで均一な処理を提供するために、基板は環状リングの中心に置かれるべきである。すなわち、基板の中心点は、環状リングの中心点と一致するべきである。現在、基板の環状リングへの位置合わせは目測で行われており、これは均一な処理を保証するために必要な精度を提供しない。基板の配置が適切であることを確認するために、ウエハ上均一性検査(on-wafer uniformity test)を行うことができる。かかる検査は、実施するのに数時間必要とし、検査ウエハの経費のために費用がかかる。
本明細書に開示される実施形態は、ペデスタルに対するセンサウエハの位置を特定する方法を含む。一実施形態では、本方法は、ペデスタル上にセンサウエハを配置することを含み、該センサウエハは、ペデスタルによって支持される第1の表面と、第1の表面の反対側の第2の表面と、第1の表面を第2の表面に接続する端面とを備え、複数のセンサ領域が端面に形成され、ペデスタルは、主要面とセンサウエハを取り囲む環状壁とを備える。一実施形態では、本方法は、複数のセンサ領域の各々と環状壁との間の間隙距離を特定することをさらに含む。一実施形態では、本方法は、環状壁の中心点に対するセンサウエハの中心点の中心点オフセットを間隙距離から特定することをさらに含み得る。
本明細書に開示される実施形態は、配置コントローラを含む。一実施形態では、配置コントローラは、センサインターフェースを備え、センサインターフェースは、センサウエハの端面に沿って複数の外向きセンサを備えるセンサウエハからセンサ情報を受信する。一実施形態では、配置コントローラはさらに中心点モジュールを備え、中心点モジュールは、センサ情報を利用して、センサウエハが載置される加熱ペデスタルの中心点に対するセンサウエハの中心点を特定し、配置コントローラは、ペデスタル上にセンサウエハを配置する位置決めロボットを制御する。
本明細書に開示される実施形態は、ペデスタル上にウエハを配置するためのウエハ位置決めロボットを較正するための方法を含む。一実施形態では、本方法は、ウエハ位置決めロボットでペデスタル上の第1の位置にセンサウエハを配置することを含み、センサウエハは、ペデスタルによって支持される第1の表面と、第1の表面の反対側の第2の表面と、第1の表面を第2の表面に接続する端面とを備え、複数のセンサ領域が端面に形成され、ペデスタルは、主要面とセンサウエハを取り囲む環状壁とを備える。一実施形態では、本方法は、複数のセンサ領域の各々と環状壁との間の間隙距離を特定することをさらに含む。一実施形態では、本方法は、環状壁の中心点に対するセンサウエハの中心点の中心点オフセットを間隙距離から特定することをさらに含む。一実施形態では、本方法は、中心点オフセットによって第1の位置を修正することによって、第2の位置を生成することをさらに含む。一実施形態では、本方法は、ウエハ位置決めロボットでペデスタルからセンサウエハを取り外すことをさらに含む。一実施形態では、本方法は、ウエハ位置決めロボットでペデスタル上の第2の位置にウエハを配置することをさらに含む。
エッジセンサを有するセンサウエハを含むシステム、およびかかるセンサウエハを使用して、ペデスタルに対するセンサウエハのオフセットを測定する方法が、様々な実施形態に従って説明される。以下の説明においては、実施形態の網羅的な理解を提供するために多数の特定の詳細事項が明記される。当業者には、これらの特定の詳細事項がなくとも実施形態が実践され得ることが明らかであろう。他の事例では、実施形態が不必要に不明瞭にならないように、周知の態様については詳細に説明していない。さらに、添付の図に示す様々な実施形態が例示的な表現であり、必ずしも縮尺通りには描かれないことを理解されたい。
上述のように、ヒータペデスタル上のウエハの位置合わせは、現在、目測により確認されている。多くの検査ウエハが処理された後にのみ、処理キットがペデスタルの環状リングに対して適切に中心に置かれていることを確認することが可能であろう。このプロセスは、処理ツールのために数時間の休止時間(down time)を必要とし、費用がかかる。
したがって、本明細書に開示される実施形態は、ペデスタルに対するセンサウエハのオフセットを直接測定することができるセンサウエハを含む。このように、センサウエハが所望の許容範囲内に中心合わせされていることを確認するために、単一の検査手順が実施され得る。センサウエハの配置が所望の許容範囲外であることが見出された場合、ペデスタル上にセンサウエハを配置するために使用される位置決めロボットに、広範な検査を必要とせずに、後に配置されるウエハを適切に位置合わせすることを可能にするオフセットを提供することができる。したがって、本明細書に開示される実施形態は、ウエハの中心合わせの精度が向上され得るので、処理ツールの休止時間を短縮し、処理ツールによって実施されるプロセスの均一性を向上させる。
ここで図1Aを参照すると、一実施形態によるペデスタル100上に支持されるセンサウエハ110の平面図が示される。一実施形態では、ペデスタル100は、処理のためにウエハが配置される任意の表面であり得る。例えば、ペデスタル100は加熱ペデスタルであり得る。一実施形態では、ペデスタル100は、ウエハが配置される主要面151およびウエハを取り囲む環状リング152を備え得る。
一実施形態では、センサウエハ110は、ペデスタル100に対するセンサウエハ110のオフセットを特定するために使用される複数の外向きセンサを備え得る。図1Aに示されるように、センサウエハ110の直径は、環状リング152の内径を下回るだろう。一実施形態では、センサウエハ110は、製造ウエハと実質的に同じ寸法を有し得る。例えば、センサウエハ110は、標準的なウエハ直径(例えば、300mmなど)である直径を有し得る。したがって、センサウエハ110が環状リング152と位置ずれする可能性がある。例えば、センサウエハ110の中心点114は、環状リング152の中心点154と一致しないことがある。
ここで図1Bを参照すると、センサウエハ110の位置ずれをより明確に示すために、ペデスタル100およびセンサウエハ110の断面図が示される。図示されるように、センサウエハ110の第1(すなわち、底部)の表面113は、ペデスタル100の主要面151上に載置される。環状リング152は、環状リングの内面153がセンサウエハ110の端面112と対向するように、センサウエハ110を取り囲む。一実施形態では、内面153の高さは、センサウエハ110の厚さより高くてもよい。すなわち、センサウエハ110の第2(すなわち、上部)の表面111は、環状リング152の上面の下にあってもよい。
図1Bに示されるように、環状リング152の内面153は、第1の間隙G1および第2の間隙G2だけセンサウエハの端面112から離間している。第1の間隙G1と第2の間隙G2が等しくないとき、センサウエハ110は位置ずれしている。例えば、センサウエハ110の中心点114は、環状リング152の中心点154から距離Dだけオフセットしている。
一実施形態では、オフセット距離Dは、センサウエハ110のエッジ112と環状リング152の内面153との間の間隙Gを複数の箇所で測定することによって特定され得る。特定の実施形態では、間隙Gは、センサウエハ110のエッジに形成された複数のセンサ領域で測定される。図2から図4Cは、様々な実施形態によるエッジセンサ領域を有するセンサウエハ110の例示的な図を提供する。
ここで図2を参照すると、一実施形態による複数のエッジセンサ領域2351~235nを有するセンサウエハ210の平面図が示される。一実施形態では、エッジセンサ領域235は、センサウエハ210の外周周辺に分散されている。各センサ領域235は、センサウエハ210のエッジとセンサウエハ210を取り囲むペデスタルの環状リングとの間の間隙を測定するために使用される一以上のセンサを備える。エッジセンサ領域235内の一以上のセンサは、容量センサ(capacitive sensor)であり得る。特定の実施形態では、エッジセンサ領域235は、自己参照容量センサ(self-referencing capacitive sensor)を備え得る。
図示の実施形態では、90度の間隔で位置決めされた4つのエッジセンサ領域235が示される。しかし、センサウエハ210の中心に対する処理キットの中心のオフセットを測定するために、3つ以上のエッジセンサ領域235が使用され得ることを理解されたい。当業者は、より多くのエッジセンサ領域235を提供することにより、より正確な測定値がもたらされることを認識するであろう。一実施形態では、センサウエハ210はノッチ216も含み得る。センサ領域235に対するノッチ216の位置は、センサウエハ210によって知ることができる。したがって、センサウエハ210の回転方向もまた、特定され得る。
一実施形態では、エッジセンサ領域235の各々は、配線237を有するセンサウエハ210のコンピューティングモジュール238に通信可能に接続され得る。一実施形態では、コンピューティングモジュール238は、電源232(例えば、バッテリ)、プロセッサ/メモリ234(例えば、エッジセンサ領域235で行われる測定を実施および/または記憶するための回路、メモリ等)、ならびに無線通信モジュール233(例えば、Bluetooth、WiFi等)のうちの一以上を備え得る。一実施形態では、コンピューティングモジュール238は、センサウエハ210内にはめ込まれてもよい。さらに、センサウエハ210の中央に示されているが、コンピューティングモジュール238は、センサウエハ210内の任意の好都合な箇所に位置付けられてもよいことを理解されたい。
ここで図3を参照すると、一実施形態による例示的なエッジセンサ領域335の詳細を強調したセンサウエハ310の斜視図が示される。一実施形態では、センサウエハ310は、第1の表面313(例えば底面)、第2の表面311(例えば上面)、および第1の表面313を第2の表面311に接続する端面312を備え得る。一実施形態では、ノッチ316は、センサウエハ310の中に形成されてもよい。
一実施形態では、エッジセンサ領域335は、第1の表面313を第2の表面311に接続する端面312に沿って形成され得る。特定の一実施形態では、各エッジセンサ領域315は、プローブ341を備え得る。プローブ341(すなわち、各エッジセンサ領域内のプローブ)は、自己参照容量プローブであり得る。すなわち、第1のエッジセンサ領域335内の第1のプローブ341に供給される電流の出力位相は、隣接する第2のエッジセンサ領域335内の第2のプローブ341に供給される電流の出力位相から180度オフセットされてよい。このように、端面312から環状リング(図示せず)の内面までの距離測定は、ペデスタルを接地する必要なく行うことができる。図示の実施形態では、エッジセンサ領域335は、単一のプローブを有するものとして示される。しかし、いくつかの実施形態では、各エッジセンサ領域335は、一以上のプローブ341を備え得る。本書では、特に自己参照容量センサを参照するが、本明細書に開示される実施形態は、任意の適切なセンサ技術(例えば、レーザセンサ、光学センサ等)を含むことを理解されたい。
ここで図4Aから図4Cを参照すると、様々な実施形態によるセンサウエハ410の例示的な部分断面図が示される。図4Aにおいて、部分断面図は、センサ領域435が端面412と実質的に同一平面上にあることを描いている。一実施形態では、センサ領域435は端面412から電界449を放出し、その結果、センサは端面412と処理キットの表面との間の間隙を測定することができる。
ここで図4Bを参照すると、一実施形態による電界ガード447を有するセンサウエハ410の部分断面図が示される。一実施形態では、電界ガード447は、センサウエハ410の底面413とエッジセンサ領域435との間に形成される導電層であり得る。エッジセンサ領域435の電界449は、電界ガード447によって修正され得る。特に、電界ガード447はエッジセンサ領域435の電界449を修正して、端面412から環状リングの内面に向かって横方向に電界449を延伸させることができる。したがって、電界ガード447は、エッジセンサ領域435内のセンサが、センサウエハ410が支持されるペデスタルの主要面を検出するのを防止し、誤った読み取り値が除外される。
ここで図4Cを参照すると、一実施形態による上面凹部448を有するセンサウエハ410の部分断面図が示される。一実施形態では、上面凹部448は、センサ領域435に直接隣接する第2の表面411の中に形成され得る。上面凹部448は、センサ領域435のセンサが上面411を感知し、誤った読み取り値を提供するのを防止するために作製され得る。一実施形態では、上面凹部448は、距離Rだけ後方に延在し得る。例えば、距離Rはエッジ感知領域435の最大感知距離にほぼ等しくてもよい。例えば、Rは、約5mm以下であり得る。
ここで図5を参照すると、一実施形態によるペデスタル上のセンサウエハのオフセットを測定するプロセスを実施するための配置コントローラ570を有する処理ツール590の概略ブロック図が示される。一実施形態では、ペデスタル500は、処理ツール590内に位置付けられてもよい。ペデスタルは、ウエハを支持する主要面551およびウエハを取り囲む環状リング552を備え得る。
一実施形態では、配置コントローラ570は、ペデスタル500の主要面551上にセンサウエハ510を配置するための命令を位置決めロボット576に提供し得る。センサウエハ510は、上述のセンサウエハに類似したセンサウエハであってもよい。例えば、センサウエハ510は、センサウエハ510のエッジと環状リング552の内面553との間の間隙G1~Gnを測定するための複数のエッジセンサ領域を含み得る。
一実施形態では、センサウエハ510からのセンサ情報は、配置コントローラ570のセンサインターフェース571によって取得され得る。例えば、センサインターフェース571は、センサウエハ510から(例えば、無線通信モジュールを用いて無線で)センサ情報を受信し得る。配置コントローラ570は、ウエハ中心点モジュール572内のセンサ情報(例えば、間隙G1~Gn)を利用して、環状リング552の中心点に対するセンサウエハ510の中心点を特定し得る。配置コントローラ570は、ウエハ中心点モジュール572からの結果を使用して、データベース575に供給されるオフセット値574を生成し得る。一実施形態では、総オフセット値574が所定の閾値を超えると、オフセット値574を配置コントローラ570が使用して、位置決めロボットがペデスタル500上のどこに基板を配置するかを修正し得る。一実施形態では、閾値は+/-200ミクロンのオフセットであり得る。
ここで図6を参照すると、一実施形態によるペデスタルの環状リングの中心点に対するセンサウエハの中心点オフセットを特定するためのプロセス680のプロセスフロー図が示される。
一実施形態では、プロセス680は、ペデスタル上に複数のエッジセンサ領域を有するセンサウエハを配置することを含む動作681(例えば、位置決めロボット576によって実施される)から始まる。センサウエハは、本明細書に開示される実施形態にしたがって説明される任意のセンサウエハであってもよい。一実施形態では、センサウエハは、図5に関して説明した実施形態と同様に、配置コントローラによって制御される位置決めロボットを用いて支持面上に配置され得る。
一実施形態では、プロセス680は、動作682(例えば、配置コントローラ570のセンサインターフェース571によって実施される)を継続し得、これは、複数のエッジセンサ領域の各々を用いて、センサウエハのエッジとペデスタルの環状リングの内面との間の間隙距離を特定することを含む。例えば、エッジセンサ領域は、自己参照容量センサを含み得る。エッジセンサ領域は、容量センサがセンサウエハを支持している主要面を読み取ることを防止するために、容量センサの電界を修正するようにエッジセンサ領域の下方に電界ガードを有してもよい。さらなる実施形態は、センサウエハの上面の誤った測定を排除するために、エッジセンサ領域に近接する上面凹部を含んでもよい。
一実施形態では、プロセス680は、動作683(例えば、配置コントローラ570のウエハ中心点モジュール572によって実施される)を継続し得、これは、複数のエッジセンサ領域からの間隙距離を使用して、環状リングの中心点に対するセンサウエハの中心点オフセットを特定することを含む。一実施形態では、中心点オフセットは、位置決めコントローラによって特定され、データベースに記憶され得る。
ここで図7を参照すると、一実施形態によるセンサウエハを用いてウエハ位置決めロボットを較正するためのプロセス780の処理フロー図が示される。
一実施形態では、プロセス780は、ウエハ位置決めロボットでペデスタル表面上の第1の位置にセンサウエハを配置することを含む動作781(例えば、位置決めロボット576によって実施される)から始まり得る。一実施形態では、センサウエハは、本明細書に記載されるものなどの、外向きセンサを有する任意のセンサウエハであってよい。一実施形態では、ペデスタルは、センサウエハが載置される主要面およびセンサウエハの周囲の環状リングを備え得る。
一実施形態では、プロセス780は、動作782(例えば、配置コントローラ570のセンサインターフェース571によって実施される)を継続し得、これは、複数のエッジセンサ領域を用いて、センサウエハとペデスタルの環状リングの内面との間の複数の間隙距離を特定することを含む。例えば、センサウエハのエッジセンサ領域は、自己参照容量センサを備え得る。エッジセンサ領域は、容量センサがセンサウエハを支持している主要面を読み取ることを防止するために、容量センサの電界を修正するようにエッジセンサ領域の下方に電界ガードを有してもよい。さらなる実施形態は、センサウエハの上面の誤った測定を排除するために、エッジセンサ領域に近接する上面凹部を含んでもよい。
一実施形態では、プロセス780は、動作783(例えば、配置コントローラ570のウエハ中心点モジュール572によって実施される)を継続し得、これは、複数のエッジセンサ領域からの間隙距離を使用して、環状リングの中心点に対するセンサウエハの中心点オフセットを特定することを含む。
一実施形態では、プロセス780は、動作784(例えば、配置コントローラ570によって実施される)を継続し得、これは、中心点オフセット(例えば、オフセット値574)によって第1の位置を修正することによって第2の位置を生成することを含む。一実施形態では、動作784は、後にペデスタル上に配置されるウエハの中心点オフセットを低減させるために実施され得る。いくつかの実施形態では、中心点オフセットが所定の閾値を超えたときに、第2の位置が生成される。例えば、中心点オフセットが200ミクロン未満である場合、ウエハ位置決めロボットをさらに較正する必要はないだろう。一実施形態では、オフセット値574は、将来の使用のためにデータベース575に記憶され得る。
一実施形態では、プロセス780は、動作785(例えば、位置決めロボット576によって実施される)を継続し得、これは、ウエハ位置決めロボットでペデスタルからセンサウエハを取り外すことを含む。
一実施形態では、プロセス780は、次いで動作786(例えば、位置決めロボット576によって実施される)を継続し得、これは、ウエハ位置決めロボットでペデスタル上の第2の位置にウエハを配置することを含む。一実施形態では、ウエハは、製造ウエハ(すなわち、デバイスが製造されるウエハ)であり得る。ウエハ位置決めロボットが較正されているので、結果として生じる第2の位置にウエハを配置することは、高い精度を有すると推測され得る。例えば、後に配置されるデバイスウエハは、+/-200ミクロンの精度で配置され得る。
ここで図8を参照すると、一実施形態による処理ツールの例示的なコンピュータシステム860のブロック図が示される。一実施形態では、コンピュータシステム860が配置コントローラとして使用され得る。一実施形態において、コンピュータシステム860は処理ツールに連結され、処理ツールでの処理を制御する。コンピュータシステム860は、ネットワーク861(例えばローカルエリアネットワーク(LAN)、イントラネット、エクストラネット、またはインターネット)において、他のマシンに接続され(例えばネットワーク化され)得る。コンピュータシステム860は、クライアント-サーバネットワーク環境においてはサーバもしくはクライアントマシンの役割で、または、ピアツーピア(または分散)ネットワーク環境においてはピアマシンとして動作し得る。コンピュータシステム860は、パーソナルコンピュータ(PC)、タブレットPC、セットトップボックス(STB)、パーソナルデジタルアシスタント(PDA)、携帯電話、ウェブアプライアンス、サーバ、ネットワークルータ、スイッチもしくはブリッジ、または、そのマシンによって行われる動作を特定する(連続したまたは別様な)命令セットを実行可能な任意のマシンであり得る。さらに、コンピュータシステム860として単一のマシンのみを示しているが、「マシン」という用語は、本明細書に記載の方法のうちの任意の一以上を実施するために、命令セット(または複数のセット)を個々に、または連携的に実行するマシン(例えば、コンピュータ)の任意の集合体を含むとも解釈すべきである。
コンピュータシステム860は、命令が記憶された非一過性のマシン可読媒体を有するコンピュータプログラム製品、またはソフトウエア822を含んでよく、これらの命令は、実施形態によるプロセスを実施するコンピュータシステム860(または、他の電子デバイス)をプログラムするために使用され得る。マシン可読媒体は、マシン(例えばコンピュータ)によって読み出し可能な形態で情報を記憶または送信するための、任意の機構を含む。例えば、マシン可読(例えばコンピュータ可読)媒体は、マシン(例えばコンピュータ)可読記憶媒体(例えば、読み出し専用メモリ(ROM)、ランダムアクセスメモリ(RAM)、磁気ディスク記憶媒体、光学記憶媒体、フラッシュメモリ装置等)、マシン(例えばコンピュータ)可読伝送媒体(伝播信号(例えば赤外線信号、デジタル信号等)の電気的形態、光学的形態、音響的形態、またはその他の形態)等を含む。
一実施形態では、コンピュータシステム860は、バス830を介して互いに通信し合う、システムプロセッサ802、メインメモリ804(例えば、読み出し専用メモリ(ROM)、フラッシュメモリ、シンクロナスDRAM(SDRAM)またはランバスDRAM(RDRAM)等のダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)、スタティックメモリ806(例えば、フラッシュメモリ、スタティックランダムアクセスメモリ(SRAM)等)、および二次メモリ818(例えば、データ記憶装置)を含む。
システムプロセッサ802は、マイクロシステムプロセッサ、中央処理ユニットなどの一以上の汎用処理装置を表す。より詳細には、システムプロセッサは、複合命令セット演算(CISC)マイクロシステムプロセッサ、縮小命令セット演算(RISC)マイクロシステムプロセッサ、超長命令語(VLIW)マイクロシステムプロセッサ、他の命令セットを実装するシステムプロセッサ、または、命令セットの組み合わせを実装するシステムプロセッサであり得る。システムプロセッサ802は、特定用途向け集積回路(ASIC)、フィールドプログラマブルゲートアレイ(FPGA)、デジタル信号システムプロセッサ(DSP)、ネットワークシステムプロセッサなどの、一以上の特殊用途処理装置でもあり得る。システムプロセッサ802は、本明細書に記載の工程を実施するための処理ロジック826を実行するように構成される。
コンピュータシステム860は、他の装置またはマシンと通信するためのシステムネットワークインターフェース装置808をさらに含み得る。コンピュータシステム860は、ビデオディスプレイユニット810(例えば、液晶ディスプレイ(LCD)、発光ダイオードディスプレイ(LED)、または陰極線管(CRT)、英数字入力装置812(例えば、キーボード)、カーソル制御装置814(例えば、マウス)、および信号生成装置816(例えば、スピーカ)も含み得る。
二次メモリ818は、本明細書に記載の方法または機能のうちの任意の一以上を実現する、一以上の命令セット(例えば、ソフトウエア822)が記憶される、マシンアクセス可能記憶媒体831(またはより具体的にはコンピュータ可読記憶媒体)を含み得る。ソフトウエア822はまた、コンピュータシステム860による実行中、完全にまたは少なくとも部分的に、メインメモリ804および/またはシステムプロセッサ802内に属してもよく、メインメモリ804およびシステムプロセッサ802も、マシン可読記憶媒体を構成し得る。ソフトウエア822は、システムネットワークインターフェース装置808を介してネットワーク861上でさらに送信または受信され得る。
例示的な実施形態において、マシンアクセス可能記憶媒体831を単一の媒体であると示したが、「マシン可読記憶媒体」という用語は、一以上の命令セットを記憶する単一の媒体または複数の媒体(例えば集中データベースもしくは分散データベース、ならびに/または関連キャッシュおよびサーバ)を含むと解釈すべきである。「マシン可読記憶媒体」という用語はまた、マシンによって実行される命令セットを記憶または符号化することが可能であり、かつ、方法のうちの任意の一以上をマシンに実施させる任意の媒体を含むとも解釈すべきである。したがって、「マシン可読記憶媒体」という用語は、固体メモリ、光媒体、および磁気媒体を含むがそれらに限定されないと解釈すべきである。
前述の明細書において、特定の例示的な実施形態を説明してきた。以下の特許請求の範囲を逸脱することなく、例示的な実施形態に様々な変更を加えられ得ることが明らかとなろう。したがって、本明細書および図面は、限定を意味するのではなく、例示を意味すると見なすべきである。
Claims (15)
- ペデスタルに対するセンサウエハの位置を特定する方法であって、
前記ペデスタルによって支持される第1の表面、前記第1の表面の反対側の第2の表面、および、前記第1の表面を前記第2の表面に接続する端面であって複数のセンサ領域が形成された端面を備える、センサウエハを、主要面と前記センサウエハを取り囲む環状壁とを備える前記ペデスタル上に配置すること、
前記複数のセンサ領域の各々と前記環状壁との間の間隙距離を特定すること、ならびに
前記環状壁の中心点に対する前記センサウエハの中心点の中心点オフセットを前記間隙距離から特定すること、
を含む、方法。 - 前記複数のセンサ領域が自己参照容量センサを備える、請求項1に記載の方法。
- 前記自己参照容量センサが第1のプローブおよび第2のプローブを含み、前記第1のプローブに供給される電流の出力位相が前記第2のプローブに供給される電流の出力位相から180度オフセットされている、請求項2に記載の方法。
- 前記センサウエハが前記センサ領域の各々の下方に電界ガードをさらに備える、請求項1に記載の方法。
- 前記センサ領域の各々に近接した前記センサウエハの前記第2の表面の中に凹部が形成される、請求項1に記載の方法。
- 測定される前記間隙距離のうちの最大のものが1mm未満である、請求項1に記載の方法。
- 前記中心点オフセットを使用して、前記ペデスタル上に後続のウエハを配置することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 後続して配置された前記ウエハが、前記環状壁の前記中心点から200μm以内である中心点を有する、請求項7に記載の方法。
- 前記複数のセンサ領域が少なくとも3つのセンサ領域を含む、請求項1に記載の方法。
- 配置コントローラであって、
センサウエハの端面に沿って複数の外向きセンサを備える前記センサウエハから、センサ情報を受信するセンサインターフェースと、
前記センサ情報を利用して、前記センサウエハが載置される加熱ペデスタルの中心点に対する前記センサウエハの中心点を特定する、中心点モジュールとを備え、
前記配置コントローラが、前記ペデスタル上に前記センサウエハを配置する位置決めロボットを制御する、配置コントローラ。 - 前記配置コントローラが、データベースに記憶される位置オフセット値を生成する、請求項10に記載の配置コントローラ。
- 前記位置オフセットを使用して、前記位置決めロボットが前記ペデスタル上にウエハを配置する際に、前記位置決めロボットを制御する、請求項11に記載の配置コントローラ。
- 前記ペデスタルがヒータペデスタルである、請求項10に記載の配置コントローラ。
- 前記センサウエハの前記センサが、自己参照容量センサである、請求項10に記載の配置コントローラ。
- 前記複数の外向きセンサが、少なくとも3つの外向きセンサを含む、請求項10に記載の配置コントローラ。
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