JP3468056B2 - 基板検出装置 - Google Patents
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- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ等の
基板の存否と位置ずれを検出する基板検出装置に関す
る。
基板の存否と位置ずれを検出する基板検出装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体ウエハ等の基板に対して
処理装置において所定の処理を行なう場合には、この基
板を複数枚収容することができるカセットから基板を取
り出してこれを真空引き可能になされた小容量のロード
ロック室内に一旦搬入し、そして、このロードロック室
内を真空引きした後に予め真空状態に維持された真空搬
送室を介して処理装置内へこの基板を搬入することにな
る。また、処理済み基板の搬出時には上記したと逆の経
路をたどることになる。このように基板の搬入搬出時に
ロードロック室を介在させた理由は、大気圧状態に晒さ
れているカセットと、真空状態に維持されている真空搬
送室や処理装置との間で基板の受け渡しを行なうため
に、真空状態と大気圧復帰との間を迅速且つ容易に行な
うことができるロードロック室を介在させることによ
り、真空搬送室や処理装置の真空を破ることなく、ウエ
ハの迅速な搬入・搬出操作を行なうことができるからで
ある。
処理装置において所定の処理を行なう場合には、この基
板を複数枚収容することができるカセットから基板を取
り出してこれを真空引き可能になされた小容量のロード
ロック室内に一旦搬入し、そして、このロードロック室
内を真空引きした後に予め真空状態に維持された真空搬
送室を介して処理装置内へこの基板を搬入することにな
る。また、処理済み基板の搬出時には上記したと逆の経
路をたどることになる。このように基板の搬入搬出時に
ロードロック室を介在させた理由は、大気圧状態に晒さ
れているカセットと、真空状態に維持されている真空搬
送室や処理装置との間で基板の受け渡しを行なうため
に、真空状態と大気圧復帰との間を迅速且つ容易に行な
うことができるロードロック室を介在させることによ
り、真空搬送室や処理装置の真空を破ることなく、ウエ
ハの迅速な搬入・搬出操作を行なうことができるからで
ある。
【０００３】ところで、上述のような理由で、ロードロ
ック室内の容量はできるだけ小さく設定されており、ま
た、ロードロック室には基板の搬入搬出口にこれを気密
に密閉するゲートバルブが設けられるが、ロードロック
室内に上記基板が許容量以上に位置ずれした状態で収容
されると、搬送アームがこれを保持できなかったり、或
いは最悪の場合には、位置ずれした基板がゲートバルブ
に挟み込まれてこれを破損してしまう。このような欠点
を解消するために、ロードロック室内に、基板の存否や
許容量以上の位置ずれの有無を確認するための基板検出
装置が設けられている。
ック室内の容量はできるだけ小さく設定されており、ま
た、ロードロック室には基板の搬入搬出口にこれを気密
に密閉するゲートバルブが設けられるが、ロードロック
室内に上記基板が許容量以上に位置ずれした状態で収容
されると、搬送アームがこれを保持できなかったり、或
いは最悪の場合には、位置ずれした基板がゲートバルブ
に挟み込まれてこれを破損してしまう。このような欠点
を解消するために、ロードロック室内に、基板の存否や
許容量以上の位置ずれの有無を確認するための基板検出
装置が設けられている。
【０００４】図１３はロードロック室とその中に設けら
れた基板検出装置を示す平面図、図１４はロードロック
室の内部を示す斜視図である。ロードロック室２は例え
ばステンレススチールにより方形状の薄い真空引き可能
な容器として構成される。一方の対向壁には、半導体ウ
エハのような基板Ｗを搬入搬出する搬入搬出口４、６が
形成され、それぞれに気密に開閉されるゲートバルブＧ
１、Ｇ２が設けられる。
れた基板検出装置を示す平面図、図１４はロードロック
室の内部を示す斜視図である。ロードロック室２は例え
ばステンレススチールにより方形状の薄い真空引き可能
な容器として構成される。一方の対向壁には、半導体ウ
エハのような基板Ｗを搬入搬出する搬入搬出口４、６が
形成され、それぞれに気密に開閉されるゲートバルブＧ
１、Ｇ２が設けられる。
【０００５】このロードロック室２内には、例えば３本
の上下動可能な支持ピン８が略正三角形状に起立させて
設けられており、この上に基板Ｗを支持し得るようにな
っている。そして、基板Ｗの略中央部に対応する部分に
は、上下に基板の存在確認用の一対の発光素子９と受光
素子１０が設けられる。また、基板Ｗの外周端よりも僅
かな間隔Ｌ１だけ外側へ離間した位置には、上下に位置
ずれ確認用の一対の発光素子１１と受光素子１２が設け
られる。図示例では、この位置ずれ確認用の発光素子１
１と受光素子１２は、基板Ｗの周方向に略等間隔で３組
設けられている。これにより、基板Ｗが許容量（Ｌ１）
以上位置ずれすると、位置ずれ方向に位置する位置ずれ
確認用の発光素子１１からの光が遮断されることにな
り、これにより位置ずれの確認を行なうようになってい
る。
の上下動可能な支持ピン８が略正三角形状に起立させて
設けられており、この上に基板Ｗを支持し得るようにな
っている。そして、基板Ｗの略中央部に対応する部分に
は、上下に基板の存在確認用の一対の発光素子９と受光
素子１０が設けられる。また、基板Ｗの外周端よりも僅
かな間隔Ｌ１だけ外側へ離間した位置には、上下に位置
ずれ確認用の一対の発光素子１１と受光素子１２が設け
られる。図示例では、この位置ずれ確認用の発光素子１
１と受光素子１２は、基板Ｗの周方向に略等間隔で３組
設けられている。これにより、基板Ｗが許容量（Ｌ１）
以上位置ずれすると、位置ずれ方向に位置する位置ずれ
確認用の発光素子１１からの光が遮断されることにな
り、これにより位置ずれの確認を行なうようになってい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな従来の基板検出装置にあっては、全部で最小でも４
対の発光素子と受光素子を必要とするのでコスト高を招
来するのみならず、基板Ｗの外周端よりも外側に位置ず
れ確認用の発光素子１１と受光素子１２を設けることか
ら、その分、ロードロック室２内のスペース或いは容量
が大きくなり、設置スペースが大きくなるばかりか、真
空引きに要する時間も多くなってしまうという問題点が
あった。本発明は、以上のような問題点に着目し、これ
を有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目
的は、数少ない基板検出センサ部により基板の存否と位
置ずれの有無を検出することができる基板検出装置を提
供することにある。
うな従来の基板検出装置にあっては、全部で最小でも４
対の発光素子と受光素子を必要とするのでコスト高を招
来するのみならず、基板Ｗの外周端よりも外側に位置ず
れ確認用の発光素子１１と受光素子１２を設けることか
ら、その分、ロードロック室２内のスペース或いは容量
が大きくなり、設置スペースが大きくなるばかりか、真
空引きに要する時間も多くなってしまうという問題点が
あった。本発明は、以上のような問題点に着目し、これ
を有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目
的は、数少ない基板検出センサ部により基板の存否と位
置ずれの有無を検出することができる基板検出装置を提
供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に規定する発明
は、真空可能なロードロック室内において、基板載置部
上に載置された円形基板の存否と位置ずれとを検出する
基板検出装置であって、前記基板載置部の両側に、前記
基板から前記基板の最大許容位置ずれ量だけ離間させて
前記基板の載置位置を規制するように対向させて配置し
た一対の基板規制壁と、前記基板載置部上の所定の位置
に配置された基板の外周端から所定の距離離れた内側の
位置に、前記一対の基板規制壁の対向方向に略直交する
方向に設けられた２つの基板検出センサ部と、前記２つ
の基板検出センサ部の出力に基づいて、基板の存否と位
置ずれの有無とを判断する判断制御部と、を備え、前記
所定の距離は、基板に対して許容される最大の位置ずれ
量であるとともに、前記判断制御部は、前記２つの基板
検出センサ部の内、少なくとも１つの基板検出センサ部
が基板有りを検出したときに、基板有りと判断し、１つ
の基板検出センサ部が基板有りを検出し、且つ他の基板
検出センサ部が基板を検出しなかったときに、基板が前
記所定の位置からずれていると判断するように構成した
ものである。これにより、２つの基板検出センサ部が基
板の外周端よりも僅かに内側に対応する部分であって、
一対の基板規制壁の対向方向と直交する方向に配置され
ているので、判断制御部は、これらのセンサ部の出力に
基づいて基板の存否と許容量以上の位置ずれの有無を判
断することができる。
は、真空可能なロードロック室内において、基板載置部
上に載置された円形基板の存否と位置ずれとを検出する
基板検出装置であって、前記基板載置部の両側に、前記
基板から前記基板の最大許容位置ずれ量だけ離間させて
前記基板の載置位置を規制するように対向させて配置し
た一対の基板規制壁と、前記基板載置部上の所定の位置
に配置された基板の外周端から所定の距離離れた内側の
位置に、前記一対の基板規制壁の対向方向に略直交する
方向に設けられた２つの基板検出センサ部と、前記２つ
の基板検出センサ部の出力に基づいて、基板の存否と位
置ずれの有無とを判断する判断制御部と、を備え、前記
所定の距離は、基板に対して許容される最大の位置ずれ
量であるとともに、前記判断制御部は、前記２つの基板
検出センサ部の内、少なくとも１つの基板検出センサ部
が基板有りを検出したときに、基板有りと判断し、１つ
の基板検出センサ部が基板有りを検出し、且つ他の基板
検出センサ部が基板を検出しなかったときに、基板が前
記所定の位置からずれていると判断するように構成した
ものである。これにより、２つの基板検出センサ部が基
板の外周端よりも僅かに内側に対応する部分であって、
一対の基板規制壁の対向方向と直交する方向に配置され
ているので、判断制御部は、これらのセンサ部の出力に
基づいて基板の存否と許容量以上の位置ずれの有無を判
断することができる。
【０００８】判断制御部は、２つの基板検出センサ部の
内、少なくとも１つの基板検出センサ部が基板有りを検
出した時に基板有りと判断し、この状態で、少なくとも
１つの基板検出センサ部が基板有りを検出しなかった時
には位置ずれ有りと判断する。この場合、略基板中心か
ら基板有りを検出したセンサ部が位置する方向に対して
基板が位置ずれしていることになる。このような基板検
出センサ部は、基板の存否と位置ずれの有無を確認で
き、センサ数を減少できるのみならず、スペースも抑制
することができる。このような基板検出装置は、通常は
真空引き可能になされたロードロック室に設けられる
が、ロードロック室の壁面を基板の外周端に接近させて
設けて、これを位置規制部材として兼用することによ
り、上述したように基板検出センサ部は、位置規制部材
の対向方向に対して略直交する方向に２個設けるだけで
よい。
内、少なくとも１つの基板検出センサ部が基板有りを検
出した時に基板有りと判断し、この状態で、少なくとも
１つの基板検出センサ部が基板有りを検出しなかった時
には位置ずれ有りと判断する。この場合、略基板中心か
ら基板有りを検出したセンサ部が位置する方向に対して
基板が位置ずれしていることになる。このような基板検
出センサ部は、基板の存否と位置ずれの有無を確認で
き、センサ数を減少できるのみならず、スペースも抑制
することができる。このような基板検出装置は、通常は
真空引き可能になされたロードロック室に設けられる
が、ロードロック室の壁面を基板の外周端に接近させて
設けて、これを位置規制部材として兼用することによ
り、上述したように基板検出センサ部は、位置規制部材
の対向方向に対して略直交する方向に２個設けるだけで
よい。
【０００９】ロードロック室には、この内部を気密に開
閉するゲートバルブが設けられるが、判断制御部が基板
の位置ずれを確認した場合には、ゲートバルブの閉動作
を禁止してこれに基板が挟み込まれて破損することを防
止する。また、基板としては、略円形状の基板に限ら
ず、例えばＬＣＤ基板等の方形状の基板にも適用するこ
とができる。この場合には、基板検出センサ部は、方形
状の基板の対角隅よりも僅かに内側に対応する部分に配
置すればよい。
閉するゲートバルブが設けられるが、判断制御部が基板
の位置ずれを確認した場合には、ゲートバルブの閉動作
を禁止してこれに基板が挟み込まれて破損することを防
止する。また、基板としては、略円形状の基板に限ら
ず、例えばＬＣＤ基板等の方形状の基板にも適用するこ
とができる。この場合には、基板検出センサ部は、方形
状の基板の対角隅よりも僅かに内側に対応する部分に配
置すればよい。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る基板検出装
置の一実施例を添付図面に基づいて詳述する。図１は本
発明の基板検出装置を設けるクラスタツール型の処理装
置を示す概略構成図、図２は本発明の第１の実施例の基
板検出装置を示す斜視図、図３は図２に示す装置の基板
検出センサ部を示す側面図、図４は図２に示す装置の基
板センサ部を示す平面図、図５は判断制御部の回路構成
図である。図２及び図３においては位置ずれのない適正
な位置に載置された基板を一点鎖線で示しており、図４
においては、適正な位置の基板を実線で示しており、位
置ずれした基板を一点鎖線で示している。
置の一実施例を添付図面に基づいて詳述する。図１は本
発明の基板検出装置を設けるクラスタツール型の処理装
置を示す概略構成図、図２は本発明の第１の実施例の基
板検出装置を示す斜視図、図３は図２に示す装置の基板
検出センサ部を示す側面図、図４は図２に示す装置の基
板センサ部を示す平面図、図５は判断制御部の回路構成
図である。図２及び図３においては位置ずれのない適正
な位置に載置された基板を一点鎖線で示しており、図４
においては、適正な位置の基板を実線で示しており、位
置ずれした基板を一点鎖線で示している。
【００１１】まず、クラスタツール型の処理装置につい
て説明する。図１に示すように、この処理装置１４は、
真空搬送室１６に開閉ドアとしてのゲートバルブＧ３、
Ｇ４を介して連結された２つの真空処理室１８、２０を
有しており、各真空処理室１８、２０内にて半導体ウエ
ハよりなる基板Ｗに成膜や酸化拡散などの所望の処理を
施すようになっている。上記真空搬送室１６には、ここ
ではゲートバルブＧ５、Ｇ６を介して２つのロードロッ
ク室２２、２４が連結されている。このロードロック室
２２、２４内は、真空引き可能になされると共に大気圧
に復帰するために、例えばＮ2 ガスのパージが可能にな
されている。このロードロック室２２、２４内には、基
板載置部２６として底部より起立した３本の石英製の上
下動可能な支持ピン２８が略正三角形状に設けられてい
る。そして、この支持ピン２８上に略円形状の基板Ｗを
載置して支持することになる。
て説明する。図１に示すように、この処理装置１４は、
真空搬送室１６に開閉ドアとしてのゲートバルブＧ３、
Ｇ４を介して連結された２つの真空処理室１８、２０を
有しており、各真空処理室１８、２０内にて半導体ウエ
ハよりなる基板Ｗに成膜や酸化拡散などの所望の処理を
施すようになっている。上記真空搬送室１６には、ここ
ではゲートバルブＧ５、Ｇ６を介して２つのロードロッ
ク室２２、２４が連結されている。このロードロック室
２２、２４内は、真空引き可能になされると共に大気圧
に復帰するために、例えばＮ2 ガスのパージが可能にな
されている。このロードロック室２２、２４内には、基
板載置部２６として底部より起立した３本の石英製の上
下動可能な支持ピン２８が略正三角形状に設けられてい
る。そして、この支持ピン２８上に略円形状の基板Ｗを
載置して支持することになる。
【００１２】上記真空搬送室１６内には、屈伸及び旋回
可能になされた搬送アーム２９が設けられており、上記
各ロードロック室２２、２４と上記２つの真空処理室１
８、２０との間で基板Ｗの搬入及び搬出を行なうように
なっている。また、上記ロードロック室２２、２４の表
側には、大気側との間を開閉するゲートバルブＧ７、Ｇ
８が設けられており、このバルブＧ７、Ｇ８を開いた状
態で基板Ｗの出し入れを行なうようになっている。ロー
ドロック室２２、２４のフロント側には、複数枚の基板
を収容できるカセットＣを載置するためのカセット台３
０が設けられている。そして、このカセット台３０とロ
ードロック室２２、２４との間に、上下動、屈伸及び旋
回可能に設けた受け渡しアーム３２により、カセットＣ
とロードロック室２２、２４との間で基板Ｗの受け渡し
を行なうようになっている。尚、ここでは２つの受け渡
しアーム３２で２つのロードロック室２２、２４に対応
するために、このアーム３２は、ロードロック室２２、
２４の前面にてスライド可能になされている。
可能になされた搬送アーム２９が設けられており、上記
各ロードロック室２２、２４と上記２つの真空処理室１
８、２０との間で基板Ｗの搬入及び搬出を行なうように
なっている。また、上記ロードロック室２２、２４の表
側には、大気側との間を開閉するゲートバルブＧ７、Ｇ
８が設けられており、このバルブＧ７、Ｇ８を開いた状
態で基板Ｗの出し入れを行なうようになっている。ロー
ドロック室２２、２４のフロント側には、複数枚の基板
を収容できるカセットＣを載置するためのカセット台３
０が設けられている。そして、このカセット台３０とロ
ードロック室２２、２４との間に、上下動、屈伸及び旋
回可能に設けた受け渡しアーム３２により、カセットＣ
とロードロック室２２、２４との間で基板Ｗの受け渡し
を行なうようになっている。尚、ここでは２つの受け渡
しアーム３２で２つのロードロック室２２、２４に対応
するために、このアーム３２は、ロードロック室２２、
２４の前面にてスライド可能になされている。
【００１３】さて、各ロードロック室２２、２４内は、
略方形状の空間として形成されており、このロードロッ
ク室２２、２４内に本発明の係る基板検出装置が設けら
れる。具体的には、図２及び図３に示すように、この基
板検出装置は複数、ここでは３つの基板検出センサ部３
４、３６、３８と、これらの出力に基づいて基板の存否
と許容量以上の位置ずれの有無を判断する判断制御部４
０とにより主に構成される。各基板検出センサ部３４、
３６、３８は、発光素子３４Ａ、３６Ａ、３８Ａと、こ
れからの光を受ける受光素子３４Ｂ、３６Ｂ、３８Ｂの
対よりなり、支持ピン２８上に載置される基板Ｗの上下
に、基板Ｗを挟み込むようにして配置されている。図示
例では、発光素子３４Ａ、３６Ａ，３８Ａが基板Ｗの下
方に、受光素子３４Ｂ、３６Ｂ，３８Ｂが基板Ｗの上方
に設けられるが、両者は逆に配置してもよい。
略方形状の空間として形成されており、このロードロッ
ク室２２、２４内に本発明の係る基板検出装置が設けら
れる。具体的には、図２及び図３に示すように、この基
板検出装置は複数、ここでは３つの基板検出センサ部３
４、３６、３８と、これらの出力に基づいて基板の存否
と許容量以上の位置ずれの有無を判断する判断制御部４
０とにより主に構成される。各基板検出センサ部３４、
３６、３８は、発光素子３４Ａ、３６Ａ、３８Ａと、こ
れからの光を受ける受光素子３４Ｂ、３６Ｂ、３８Ｂの
対よりなり、支持ピン２８上に載置される基板Ｗの上下
に、基板Ｗを挟み込むようにして配置されている。図示
例では、発光素子３４Ａ、３６Ａ，３８Ａが基板Ｗの下
方に、受光素子３４Ｂ、３６Ｂ，３８Ｂが基板Ｗの上方
に設けられるが、両者は逆に配置してもよい。
【００１４】ここで重要な点は、各発光素子３４Ａ、３
６Ａ、３８Ａ及び受光素子３４Ｂ、３６Ｂ、３８Ｂは、
略円形状の基板Ｗの外周端の外側ではなく、位置ずれな
く載置される基板Ｗの外周端の内側に配置されている点
である。すなわち、図４にも示すように、各発光素子３
４Ａ、３６Ａ、３８Ａ及び受光素子３４Ｂ、３６Ｂ、３
８Ｂは、基板Ｗの周方向に略等間隔で配置されており、
しかも位置ずれの無い基板Ｗ（図４中では実線で示され
る）の外周端よりも、僅かな間隔Ｌ２だけ内側に位置さ
せている。この間隔Ｌ２は、基板Ｗに許容される最大の
位置ずれ量であり、例えば１２インチサイズの基板の場
合には、間隔Ｌ２は５〜１０ｍｍ程度である。基板が存
在する時には、発光素子からの光は遮断されて対応する
受光素子の出力は”０”になる。各受光素子３４Ｂ、３
６Ｂ、３８Ｂの出力は、例えばマイクロコンピュータ等
よりなる判断制御部４０へ入力されて、ここで基板Ｗの
存否の判断及び許容量以上の位置ずれの有無の判断を行
なう。尚、基板Ｗの周縁部に形成された小さな切り欠き
４８は、基板Ｗの方向を示すノッチである。
６Ａ、３８Ａ及び受光素子３４Ｂ、３６Ｂ、３８Ｂは、
略円形状の基板Ｗの外周端の外側ではなく、位置ずれな
く載置される基板Ｗの外周端の内側に配置されている点
である。すなわち、図４にも示すように、各発光素子３
４Ａ、３６Ａ、３８Ａ及び受光素子３４Ｂ、３６Ｂ、３
８Ｂは、基板Ｗの周方向に略等間隔で配置されており、
しかも位置ずれの無い基板Ｗ（図４中では実線で示され
る）の外周端よりも、僅かな間隔Ｌ２だけ内側に位置さ
せている。この間隔Ｌ２は、基板Ｗに許容される最大の
位置ずれ量であり、例えば１２インチサイズの基板の場
合には、間隔Ｌ２は５〜１０ｍｍ程度である。基板が存
在する時には、発光素子からの光は遮断されて対応する
受光素子の出力は”０”になる。各受光素子３４Ｂ、３
６Ｂ、３８Ｂの出力は、例えばマイクロコンピュータ等
よりなる判断制御部４０へ入力されて、ここで基板Ｗの
存否の判断及び許容量以上の位置ずれの有無の判断を行
なう。尚、基板Ｗの周縁部に形成された小さな切り欠き
４８は、基板Ｗの方向を示すノッチである。
【００１５】この判断制御部４０は、図５に示すよう
に、各受光素子３４Ｂ、３６Ｂ、３８Ｂの出力を入力す
るナンド回路４２と、同じく各受光素子３４Ｂ、３６
Ｂ、３８Ｂの出力を入力するオア回路４４と、このオア
回路４４の出力と上記ナンド回路４２の出力をとるアン
ド回路４６を有している。これにより、３つの受光素子
３４Ｂ、３６Ｂ、３８Ｂの内、いずれか１つでも基板有
りを検出すると、上記ナンド回路４２の出力が”１”と
なって基板が存在すると判断する。また、基板が存在す
ると判断した状態において、すなわちナンド回路４２の
出力が”１”の状態において、上記３つの受光素子３４
Ｂ、３６Ｂ、３８Ｂの内、いずれか１つでも基板無しを
検出すると、上記アンド回路４６の出力が”１”となっ
て基板の位置ずれ有りと判断するようになっている。
に、各受光素子３４Ｂ、３６Ｂ、３８Ｂの出力を入力す
るナンド回路４２と、同じく各受光素子３４Ｂ、３６
Ｂ、３８Ｂの出力を入力するオア回路４４と、このオア
回路４４の出力と上記ナンド回路４２の出力をとるアン
ド回路４６を有している。これにより、３つの受光素子
３４Ｂ、３６Ｂ、３８Ｂの内、いずれか１つでも基板有
りを検出すると、上記ナンド回路４２の出力が”１”と
なって基板が存在すると判断する。また、基板が存在す
ると判断した状態において、すなわちナンド回路４２の
出力が”１”の状態において、上記３つの受光素子３４
Ｂ、３６Ｂ、３８Ｂの内、いずれか１つでも基板無しを
検出すると、上記アンド回路４６の出力が”１”となっ
て基板の位置ずれ有りと判断するようになっている。
【００１６】次に、以上のように構成された装置の動作
について説明する。まず、基板Ｗの全体の流れについて
説明すると、図１において、処理装置１４の外側に位置
するカセット台３０上には複数枚の基板Ｗを収容するカ
セットＣが載置されており、受け渡しアーム３２は、上
下動、屈伸及び旋回を行なうことによって、カセットＣ
内の基板Ｗを受け取り、これを開放されたゲートバルブ
Ｇ７或いはＧ８を介してロードロック室２２或いは２４
内に搬入し、支持ピン２８上にこれを載置する。
について説明する。まず、基板Ｗの全体の流れについて
説明すると、図１において、処理装置１４の外側に位置
するカセット台３０上には複数枚の基板Ｗを収容するカ
セットＣが載置されており、受け渡しアーム３２は、上
下動、屈伸及び旋回を行なうことによって、カセットＣ
内の基板Ｗを受け取り、これを開放されたゲートバルブ
Ｇ７或いはＧ８を介してロードロック室２２或いは２４
内に搬入し、支持ピン２８上にこれを載置する。
【００１７】そして、開いていたゲートバルブＧ７或い
はＧ８を閉じて室内を密封状態とし、ロードロック室２
２或いは２４内を真空引きすることにより所定の真空状
態とする。次に、反対側のゲートバルブＧ５或いはＧ６
を開いてロードロック室２２或いは２４を、予め真空状
態に維持されている真空搬送室１６内と連通し、ここに
設けた搬送アーム２９を上下動、屈伸及び旋回させるこ
とによりロードロック室２２或いは２４内の基板Ｗを保
持し、これを真空処理室１８或いは２０内にロードす
る。この後、基板Ｗに対して所定の処理が施されること
になる。処理済みの基板Ｗを搬出する場合には、前記し
た経路を逆に辿ればよい。この際、ロードロック室２２
と２４を搬入側と搬出側とに分けておくようにしてもよ
い。
はＧ８を閉じて室内を密封状態とし、ロードロック室２
２或いは２４内を真空引きすることにより所定の真空状
態とする。次に、反対側のゲートバルブＧ５或いはＧ６
を開いてロードロック室２２或いは２４を、予め真空状
態に維持されている真空搬送室１６内と連通し、ここに
設けた搬送アーム２９を上下動、屈伸及び旋回させるこ
とによりロードロック室２２或いは２４内の基板Ｗを保
持し、これを真空処理室１８或いは２０内にロードす
る。この後、基板Ｗに対して所定の処理が施されること
になる。処理済みの基板Ｗを搬出する場合には、前記し
た経路を逆に辿ればよい。この際、ロードロック室２２
と２４を搬入側と搬出側とに分けておくようにしてもよ
い。
【００１８】さて、このような搬入搬出過程において、
ロードロック室２２或いは２４内においては基板検出装
置によって基板Ｗの存否と許容量以上の基板の位置ずれ
の有無が判断されている。図２乃至図４に示すように基
板Ｗが、ロードロック室内の３本の支持ピン２８上に載
置された場合、この基板Ｗが適正な、位置ずれのない状
態の時には（図４中の実線で示す基板）、基板Ｗの周縁
部が各基板検出センサ部３４、３６、３８における発光
素子３４Ａ、３６Ａ、３８Ａと受光素子３４Ｂ、３６
Ｂ、３８Ｂとの間に入り込んで光を遮断することにな
る。
ロードロック室２２或いは２４内においては基板検出装
置によって基板Ｗの存否と許容量以上の基板の位置ずれ
の有無が判断されている。図２乃至図４に示すように基
板Ｗが、ロードロック室内の３本の支持ピン２８上に載
置された場合、この基板Ｗが適正な、位置ずれのない状
態の時には（図４中の実線で示す基板）、基板Ｗの周縁
部が各基板検出センサ部３４、３６、３８における発光
素子３４Ａ、３６Ａ、３８Ａと受光素子３４Ｂ、３６
Ｂ、３８Ｂとの間に入り込んで光を遮断することにな
る。
【００１９】この時、図５に示す判断制御部４０におい
て、ナンド回路４２の出力は”１”となって基板存在の
信号を出力する。また、オア回路４４の出力は”０”で
あるから、これとナンド回路４２の出力を入力するアン
ド回路４６の出力は”０”となって、位置ずれなしの信
号を出力することになる。このような正常な状況下で
は、例えばゲートバルブを閉じるなどして基板Ｗの搬入
搬出操作が続行される。支持ピン２８上に保持される基
板Ｗが僅かに位置ずれしてもこの位置ずれ量が許容量以
内ならば、上記判断制御部４０の出力は変化せず、正常
状態を示す。
て、ナンド回路４２の出力は”１”となって基板存在の
信号を出力する。また、オア回路４４の出力は”０”で
あるから、これとナンド回路４２の出力を入力するアン
ド回路４６の出力は”０”となって、位置ずれなしの信
号を出力することになる。このような正常な状況下で
は、例えばゲートバルブを閉じるなどして基板Ｗの搬入
搬出操作が続行される。支持ピン２８上に保持される基
板Ｗが僅かに位置ずれしてもこの位置ずれ量が許容量以
内ならば、上記判断制御部４０の出力は変化せず、正常
状態を示す。
【００２０】これに対して、支持ピン２８上に保持され
る基板Ｗが許容量（Ｌ２）以上位置ずれして、例えば図
４中の一点鎖線で示す基板Ｗのように基板検出センサ部
３４側にシフトして他の２つの基板検出センサ部３６、
３８から基板Ｗが外れたと仮定すると、この２つのセン
サ部３６、３８の受光素子３６Ｂ、３８Ｂからの出力
が”１”となって基板無しを示すことになる。この際、
受光素子３４Ｂへの光は遮断されたままなので、この出
力は基板有りを示す”０”を維持し、故にナンド回路４
２の出力は”１”が維持されて基板存在状態を示す。
る基板Ｗが許容量（Ｌ２）以上位置ずれして、例えば図
４中の一点鎖線で示す基板Ｗのように基板検出センサ部
３４側にシフトして他の２つの基板検出センサ部３６、
３８から基板Ｗが外れたと仮定すると、この２つのセン
サ部３６、３８の受光素子３６Ｂ、３８Ｂからの出力
が”１”となって基板無しを示すことになる。この際、
受光素子３４Ｂへの光は遮断されたままなので、この出
力は基板有りを示す”０”を維持し、故にナンド回路４
２の出力は”１”が維持されて基板存在状態を示す。
【００２１】これに対して、受光素子３６Ｂ、３８Ｂの
出力は”１”に反転したので、オア回路４４の出力は”
１”に反転し、従って、アンド回路４６の出力も”１”
に反転して位置ずれ有りを示すことになる。ここでは２
つの受光素子３６Ｂ、３８Ｂの出力が共に”１”に反転
しているが、いずれか一方でも出力が”１”に反転して
いれば、アンド回路４６の出力は”１”に反転して位置
ずれ有りを示すことになる。上述のように、２つの受光
素子３６Ｂ、３８Ｂの出力が同時に基板無しを示した時
には、基板Ｗは、残りの受光素子３６Ｂ側へ位置ずれし
ており、また、受光素子の内、１つの受光素子、例えば
３６Ｂの出力が基板無しを示した時には、基板Ｗは残り
の２つの受光素子３４Ｂ、３８Ｂの略中間の方向に対し
て位置ずれしていることになる。
出力は”１”に反転したので、オア回路４４の出力は”
１”に反転し、従って、アンド回路４６の出力も”１”
に反転して位置ずれ有りを示すことになる。ここでは２
つの受光素子３６Ｂ、３８Ｂの出力が共に”１”に反転
しているが、いずれか一方でも出力が”１”に反転して
いれば、アンド回路４６の出力は”１”に反転して位置
ずれ有りを示すことになる。上述のように、２つの受光
素子３６Ｂ、３８Ｂの出力が同時に基板無しを示した時
には、基板Ｗは、残りの受光素子３６Ｂ側へ位置ずれし
ており、また、受光素子の内、１つの受光素子、例えば
３６Ｂの出力が基板無しを示した時には、基板Ｗは残り
の２つの受光素子３４Ｂ、３８Ｂの略中間の方向に対し
て位置ずれしていることになる。
【００２２】すなわち、３つの基板検出センサ部３４、
３６、３８の内、１つでも基板有りを検出すると、基板
が存在すると判断され、この状態で、３つの各センサ部
の内、１つでも基板無しを検出すると許容量以上の位置
ずれが有るものと判断されることになる。このように基
板の許容量以上の位置ずれが有ると判断されると、基板
Ｗを破損する等の恐れがあるので例えばゲートバルブの
閉動作を禁止するなどして基板の搬入搬出動作をそこで
中断し、例えばオペレータ等が状況を確認してリカバー
することになる。
３６、３８の内、１つでも基板有りを検出すると、基板
が存在すると判断され、この状態で、３つの各センサ部
の内、１つでも基板無しを検出すると許容量以上の位置
ずれが有るものと判断されることになる。このように基
板の許容量以上の位置ずれが有ると判断されると、基板
Ｗを破損する等の恐れがあるので例えばゲートバルブの
閉動作を禁止するなどして基板の搬入搬出動作をそこで
中断し、例えばオペレータ等が状況を確認してリカバー
することになる。
【００２３】このような一連の流れを図６に示すフロー
を参照して総括的に説明する。まず、基板検出装置が動
作すると、３つの基板検出センサ部３４、３６、３８の
内、１つでも基板有りを検出するセンサ部が有るか否か
を判断し（Ｓ１）、これを基板有りを検出するセンサ部
が発生するまで繰り返す。１つでも基板有りを検出する
センサ部が有った場合には、判断制御部４０は基板Ｗが
存在していると判断する（Ｓ２）。そして、更にこの状
態で、基板無しを検出する基板検出センサ部が有るか否
かを判断し（Ｓ３）、ここでＮＯの場合、すなわち全て
のセンサ部が基板有りを検出している時には、判断制御
部４０は基板の位置ずれ無しと判断する（Ｓ４）。これ
に対して、ＹＥＳの場合、すなわち１つでも基板無しを
検出しているセンサ部が有る時には、判断制御部４０は
基板の位置ずれ有りと判断することになる（Ｓ５）。
を参照して総括的に説明する。まず、基板検出装置が動
作すると、３つの基板検出センサ部３４、３６、３８の
内、１つでも基板有りを検出するセンサ部が有るか否か
を判断し（Ｓ１）、これを基板有りを検出するセンサ部
が発生するまで繰り返す。１つでも基板有りを検出する
センサ部が有った場合には、判断制御部４０は基板Ｗが
存在していると判断する（Ｓ２）。そして、更にこの状
態で、基板無しを検出する基板検出センサ部が有るか否
かを判断し（Ｓ３）、ここでＮＯの場合、すなわち全て
のセンサ部が基板有りを検出している時には、判断制御
部４０は基板の位置ずれ無しと判断する（Ｓ４）。これ
に対して、ＹＥＳの場合、すなわち１つでも基板無しを
検出しているセンサ部が有る時には、判断制御部４０は
基板の位置ずれ有りと判断することになる（Ｓ５）。
【００２４】このように実施例では、最低３個程度の基
板検出センサ部３４、３６、３８を設けるだけで、基板
の存否とこの位置ずれの有無を判断することができ、使
用するセンサ数を削減することができる。また、各基板
検出センサ部３４、３６、３８は、位置ずれのない基板
Ｗの外周端よりも、例えば位置ずれ許容量（Ｌ２）程度
だけ内側に位置する部分に設けるようにしたので、その
分だけ設置スペースが少なくて済み、図１３及び図１４
に示す場合と比較してロードロック室内のスペース或い
は容量を削減することが可能となる。上記実施例では、
ロードロック室の側壁と基板との間に十分な余裕を取っ
た場合の例を説明したが、ロードロック室の側壁間を狭
くしてこれを基板の位置ずれを規制する位置規制部材と
して兼用させることによりセンサ部の数を更に減らすこ
とができる。
板検出センサ部３４、３６、３８を設けるだけで、基板
の存否とこの位置ずれの有無を判断することができ、使
用するセンサ数を削減することができる。また、各基板
検出センサ部３４、３６、３８は、位置ずれのない基板
Ｗの外周端よりも、例えば位置ずれ許容量（Ｌ２）程度
だけ内側に位置する部分に設けるようにしたので、その
分だけ設置スペースが少なくて済み、図１３及び図１４
に示す場合と比較してロードロック室内のスペース或い
は容量を削減することが可能となる。上記実施例では、
ロードロック室の側壁と基板との間に十分な余裕を取っ
た場合の例を説明したが、ロードロック室の側壁間を狭
くしてこれを基板の位置ずれを規制する位置規制部材と
して兼用させることによりセンサ部の数を更に減らすこ
とができる。
【００２５】次にそのような第２の実施例について説明
する。図７はロードロック室内に設けた第２の実施例の
基板検出装置を示す斜視図、図８は図７の平面図、図９
は判断制御部を示す回路構成図、図１０は基板の位置ず
れを説明するための図である。尚、先に説明した第１の
実施例と同一部分については同一符号を付して説明を省
略する。図７においては、説明を簡略化するために、一
方のロードロック室、例えば２２内の装置のみを記す
が、図示しない他方のロードロック室２４内の装置も同
様に構成される。尚、図８中において一点鎖線で示す基
板Ｗは、位置ずれ有りの時の状態を示す。
する。図７はロードロック室内に設けた第２の実施例の
基板検出装置を示す斜視図、図８は図７の平面図、図９
は判断制御部を示す回路構成図、図１０は基板の位置ず
れを説明するための図である。尚、先に説明した第１の
実施例と同一部分については同一符号を付して説明を省
略する。図７においては、説明を簡略化するために、一
方のロードロック室、例えば２２内の装置のみを記す
が、図示しない他方のロードロック室２４内の装置も同
様に構成される。尚、図８中において一点鎖線で示す基
板Ｗは、位置ずれ有りの時の状態を示す。
【００２６】ここでは、ロードロック室２２の両側壁２
２Ａ、２２Ａは、基板Ｗの横方向への位置ずれを規制す
る位置規制部材、すなわち基板規制壁として兼用されて
いる。すなわち、図８にも示すように位置ずれのない基
板Ｗの外周端と両側壁２２Ａ、２２Ａの内面との間の距
離Ｌ３は、基板Ｗに許される最大位置ずれ量となるよう
に設定されており、この距離Ｌ３は、前述のように１２
インチサイズのウエハの場合には５〜１０ｍｍ程度であ
る。このように、両側壁２２Ａ、２２Ａ間の距離を設定
することにより、側壁２２Ａ方向への許容量以上の基板
の位置ずれの発生を抑制することができる。従って、ゲ
ートバルブＧ５及びＧ７方向への位置ずれに対する対策
のみを考慮すればよいことになる。そこで、この第２の
実施例では、上記側壁２２Ａ、２２Ａの対向方向に対し
て略直交する方向、すなわち、図示例ではゲートバルブ
Ｇ５、Ｇ７が配置される方向に沿って２つの基板検出セ
ンサ部５０、５２を配置している。従って、これらのセ
ンサ部５０、５２は、基板Ｗの中心に対して互いに１８
０度反対方向に略点対称の状態で配置される。
２Ａ、２２Ａは、基板Ｗの横方向への位置ずれを規制す
る位置規制部材、すなわち基板規制壁として兼用されて
いる。すなわち、図８にも示すように位置ずれのない基
板Ｗの外周端と両側壁２２Ａ、２２Ａの内面との間の距
離Ｌ３は、基板Ｗに許される最大位置ずれ量となるよう
に設定されており、この距離Ｌ３は、前述のように１２
インチサイズのウエハの場合には５〜１０ｍｍ程度であ
る。このように、両側壁２２Ａ、２２Ａ間の距離を設定
することにより、側壁２２Ａ方向への許容量以上の基板
の位置ずれの発生を抑制することができる。従って、ゲ
ートバルブＧ５及びＧ７方向への位置ずれに対する対策
のみを考慮すればよいことになる。そこで、この第２の
実施例では、上記側壁２２Ａ、２２Ａの対向方向に対し
て略直交する方向、すなわち、図示例ではゲートバルブ
Ｇ５、Ｇ７が配置される方向に沿って２つの基板検出セ
ンサ部５０、５２を配置している。従って、これらのセ
ンサ部５０、５２は、基板Ｗの中心に対して互いに１８
０度反対方向に略点対称の状態で配置される。
【００２７】両センサ部５０、５２は、先の実施例と同
様にそれぞれ真中に基板Ｗの周縁部を挟むようにして上
下に配置される発光素子５０Ａ、５２Ａと受光素子５０
Ｂ、５２Ｂを有しており、基板Ｗの外周端よりも所定の
間隔Ｌ２だけ内側に位置される。この間隔Ｌ２は、基板
Ｗに対して許される最大位置ずれ量に対応しており、例
えば５〜１０ｍｍ程度である。また、上記２つの基板検
出センサ部５０、５２の各受光素子５０Ｂ、５２Ｂの出
力を処理する判断制御部４０は、図５に示すナンド回路
４２、オア回路４４及びアンド回路４６に加えて位置ず
れ方向決定部５６を有している。ここでは、各受光素子
５０Ｂ、５２Ｂの出力を入力して、基板の位置ずれが生
じた時にどちらの方向へ位置ずれが生じているかを判断
するようになっている。尚、図７において、５６、５８
は、それぞれゲートバルブＧ５、Ｇ７を開閉駆動するバ
ルブ駆動部である。
様にそれぞれ真中に基板Ｗの周縁部を挟むようにして上
下に配置される発光素子５０Ａ、５２Ａと受光素子５０
Ｂ、５２Ｂを有しており、基板Ｗの外周端よりも所定の
間隔Ｌ２だけ内側に位置される。この間隔Ｌ２は、基板
Ｗに対して許される最大位置ずれ量に対応しており、例
えば５〜１０ｍｍ程度である。また、上記２つの基板検
出センサ部５０、５２の各受光素子５０Ｂ、５２Ｂの出
力を処理する判断制御部４０は、図５に示すナンド回路
４２、オア回路４４及びアンド回路４６に加えて位置ず
れ方向決定部５６を有している。ここでは、各受光素子
５０Ｂ、５２Ｂの出力を入力して、基板の位置ずれが生
じた時にどちらの方向へ位置ずれが生じているかを判断
するようになっている。尚、図７において、５６、５８
は、それぞれゲートバルブＧ５、Ｇ７を開閉駆動するバ
ルブ駆動部である。
【００２８】さて、このように構成された第２の実施例
においては、３本の支持ピン２８上に基板Ｗを載置した
時、ロードロック室２２の両側壁２２Ａ、２２Ａの方向
に関しては、これらが位置規制部材として機能するの
で、許容量以上の位置ずれが発生することはない。ま
た、基板ＷがゲートバルブＧ５或いはＧ７方向に許容量
以上の位置ずれを生ずると、これは基板検出センサ部５
０、５２により検出されることになる。図１０におい
て、一点鎖線の基板は位置ずれの無い状態を示し、実線
の基板は、許容量以上にセンサ部５２側へ位置ずれした
状態を示す。この時の図９に示す判断制御部４０の各回
路の論理動作は、入力が３つから２つになった点を除
き、図５において説明した場合と同じである。すなわ
ち、２つの受光素子５０Ｂ、５２Ｂの内、少なくともい
ずれか一方が基板有りを検出すると判断制御部４０は基
板が存在すると判断する。そして、この状態で、いずれ
か一方の受光素子が基板無しを検出した時には判断制御
部４０は許容量以上の位置ずれ有りと判断することにな
る。
においては、３本の支持ピン２８上に基板Ｗを載置した
時、ロードロック室２２の両側壁２２Ａ、２２Ａの方向
に関しては、これらが位置規制部材として機能するの
で、許容量以上の位置ずれが発生することはない。ま
た、基板ＷがゲートバルブＧ５或いはＧ７方向に許容量
以上の位置ずれを生ずると、これは基板検出センサ部５
０、５２により検出されることになる。図１０におい
て、一点鎖線の基板は位置ずれの無い状態を示し、実線
の基板は、許容量以上にセンサ部５２側へ位置ずれした
状態を示す。この時の図９に示す判断制御部４０の各回
路の論理動作は、入力が３つから２つになった点を除
き、図５において説明した場合と同じである。すなわ
ち、２つの受光素子５０Ｂ、５２Ｂの内、少なくともい
ずれか一方が基板有りを検出すると判断制御部４０は基
板が存在すると判断する。そして、この状態で、いずれ
か一方の受光素子が基板無しを検出した時には判断制御
部４０は許容量以上の位置ずれ有りと判断することにな
る。
【００２９】そして、位置ずれ方向決定部５４は、許容
量以上の位置ずれが発生した場合には、両受光素子５０
Ｂ、５２Ｂの出力に基づいて、どちらの方向に位置ずれ
が発生しているかを決定することになる。例えば図１０
に示すようにゲートバルブＧ７の方向へ位置ずれが生じ
ている場合には、反対側の受光素子５２Ｂは、基板無し
を検出しているので、基板ＷがゲートバルブＧ７の受光
素子５２Ｂ側へ位置ずれしていると判断することができ
る。この状態で、このゲートバルブＧ７を閉じると、基
板Ｗを挟んでこれを破損するので、位置ずれ方向決定部
５４は、対応するゲートバルブの閉動作を禁止する動作
禁止信号を出力することになる。
量以上の位置ずれが発生した場合には、両受光素子５０
Ｂ、５２Ｂの出力に基づいて、どちらの方向に位置ずれ
が発生しているかを決定することになる。例えば図１０
に示すようにゲートバルブＧ７の方向へ位置ずれが生じ
ている場合には、反対側の受光素子５２Ｂは、基板無し
を検出しているので、基板ＷがゲートバルブＧ７の受光
素子５２Ｂ側へ位置ずれしていると判断することができ
る。この状態で、このゲートバルブＧ７を閉じると、基
板Ｗを挟んでこれを破損するので、位置ずれ方向決定部
５４は、対応するゲートバルブの閉動作を禁止する動作
禁止信号を出力することになる。
【００３０】このような一連の流れを図１１に示すフロ
ーを参照して総括的に説明する。尚、このフローは、図
６に示すフローにＳ２６を加えただけである。まず、基
板検出装置が動作すると、２つの基板検出センサ部５
０、５２の１つでも基板有りを検出するセンサ部が有る
か否かを判断し（Ｓ２１）、この操作を基板有りを検出
するセンサ部が発生するまで繰り返す。基板有りを検出
するセンサ部が有った場合には、判断制御部４０は基板
Ｗが存在していると判断する（Ｓ２２）。そして、更
に、この状態で、基板無しを検出する基板検出センサ部
が有るか否かを判断し（Ｓ２３）、ここでＮＯの場合、
すなわち全てのセンサ部が基板有りを検出している時に
は、判断制御部４０は基板の位置ずれ無しと判断する
（Ｓ２４）。これに対して、ＹＥＳの場合、すなわち他
方のセンサ部が基板無しを検出している時には、判断制
御部４０は基板の位置ずれ有りと判断することになる
（Ｓ２５）。
ーを参照して総括的に説明する。尚、このフローは、図
６に示すフローにＳ２６を加えただけである。まず、基
板検出装置が動作すると、２つの基板検出センサ部５
０、５２の１つでも基板有りを検出するセンサ部が有る
か否かを判断し（Ｓ２１）、この操作を基板有りを検出
するセンサ部が発生するまで繰り返す。基板有りを検出
するセンサ部が有った場合には、判断制御部４０は基板
Ｗが存在していると判断する（Ｓ２２）。そして、更
に、この状態で、基板無しを検出する基板検出センサ部
が有るか否かを判断し（Ｓ２３）、ここでＮＯの場合、
すなわち全てのセンサ部が基板有りを検出している時に
は、判断制御部４０は基板の位置ずれ無しと判断する
（Ｓ２４）。これに対して、ＹＥＳの場合、すなわち他
方のセンサ部が基板無しを検出している時には、判断制
御部４０は基板の位置ずれ有りと判断することになる
（Ｓ２５）。
【００３１】そして、この状態で基板有りを検出するセ
ンサ部側のゲートバルブの閉動作を禁止する（Ｓ２
６）。これにより、ゲートバルブにおいて位置ずれして
いる基板Ｗの挟み込みによる破損を防止することにな
る。この第２の実施例によれば、ロードロック室の側壁
２２Ａ、２２Ａを位置規制部材として兼用させることに
より、この方向における基板の許容量以上の位置ずれを
なくすことができるので、２つの基板検出センサ部を設
けるだけで基板の存否及びこの許容量以上の位置ずれ
（ゲートバルブ方向）の有無を判断することができる。
ンサ部側のゲートバルブの閉動作を禁止する（Ｓ２
６）。これにより、ゲートバルブにおいて位置ずれして
いる基板Ｗの挟み込みによる破損を防止することにな
る。この第２の実施例によれば、ロードロック室の側壁
２２Ａ、２２Ａを位置規制部材として兼用させることに
より、この方向における基板の許容量以上の位置ずれを
なくすことができるので、２つの基板検出センサ部を設
けるだけで基板の存否及びこの許容量以上の位置ずれ
（ゲートバルブ方向）の有無を判断することができる。
【００３２】また、この場合には、ロードロック室の側
壁２２Ａ、２２Ａ間を可能な限り狭くしたので、ロード
ロック室内のスペース或いは容量を非常に小さくするこ
とが可能となる。尚、上記実施例では、クラスタツール
型の処理装置のロードロック室に本発明装置を適用した
場合を例にとって説明したが、これに限定されず、通常
の単独の真空処理室に連結されたロードロック室にも本
発明装置を適用し得るのは勿論である。また、ここでは
基板として略円形状の半導体ウエハを例にとって説明し
たが、これに限定されず、ＬＣＤ基板等の方形状の基板
を用いるようにしてもよい。
壁２２Ａ、２２Ａ間を可能な限り狭くしたので、ロード
ロック室内のスペース或いは容量を非常に小さくするこ
とが可能となる。尚、上記実施例では、クラスタツール
型の処理装置のロードロック室に本発明装置を適用した
場合を例にとって説明したが、これに限定されず、通常
の単独の真空処理室に連結されたロードロック室にも本
発明装置を適用し得るのは勿論である。また、ここでは
基板として略円形状の半導体ウエハを例にとって説明し
たが、これに限定されず、ＬＣＤ基板等の方形状の基板
を用いるようにしてもよい。
【００３３】図１２はこの時の実施例を示す斜視図であ
る。この場合には、方形状の基板７０の２対ある対角線
方向の内、一方の対角線方向の２つの対角隅に、これよ
りも僅かな間隔（位置ずれ許容量に相当）だけ内側に位
置させて基板検出センサ部３４、３６を設けている。こ
の場合にも、先の略円形状の基板と同様に、２つのセン
サ部３４、３６により、基板７０の存否及びこの許容量
以上の位置ずれの有無を判断することができる。また、
センサ部は、基板の外側ではなく、この対角隅の上下に
配置したので、ロードロック室内のスペース或いは容量
も小さくすることができる。尚、上記各発光素子及び受
光素子は、ロードロック室内に設けてもよいし、或いは
ロードロック室の壁面に、内部を見通すことができるビ
ューポートを設けて、この外側に各素子を設けるように
してもよい。
る。この場合には、方形状の基板７０の２対ある対角線
方向の内、一方の対角線方向の２つの対角隅に、これよ
りも僅かな間隔（位置ずれ許容量に相当）だけ内側に位
置させて基板検出センサ部３４、３６を設けている。こ
の場合にも、先の略円形状の基板と同様に、２つのセン
サ部３４、３６により、基板７０の存否及びこの許容量
以上の位置ずれの有無を判断することができる。また、
センサ部は、基板の外側ではなく、この対角隅の上下に
配置したので、ロードロック室内のスペース或いは容量
も小さくすることができる。尚、上記各発光素子及び受
光素子は、ロードロック室内に設けてもよいし、或いは
ロードロック室の壁面に、内部を見通すことができるビ
ューポートを設けて、この外側に各素子を設けるように
してもよい。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の基板検出
装置によれば、次のように優れた作用効果を発揮するこ
とができる。請求項１に規定する発明によれば、ロード
ロック室内に略円形の基板の位置ずれを防止する一対の
位置規制部材（基板規制壁）を設け、この基板規制壁の
対向方向に略直交する方向であって、略円形状の基板の
外周端よりも内側に２個の基板検出センサ部を設けるこ
とにより、基板の存否とこれの許容量以上の位置ずれの
有無を判断することができる。従って、従来装置と比較
してセンサ部の数を削減できるのみならず、これを収容
するロードロック室のスペース或いは容量を小さくする
ことができる。
装置によれば、次のように優れた作用効果を発揮するこ
とができる。請求項１に規定する発明によれば、ロード
ロック室内に略円形の基板の位置ずれを防止する一対の
位置規制部材（基板規制壁）を設け、この基板規制壁の
対向方向に略直交する方向であって、略円形状の基板の
外周端よりも内側に２個の基板検出センサ部を設けるこ
とにより、基板の存否とこれの許容量以上の位置ずれの
有無を判断することができる。従って、従来装置と比較
してセンサ部の数を削減できるのみならず、これを収容
するロードロック室のスペース或いは容量を小さくする
ことができる。
【００３５】請求項２に規定する発明によれば、略方形
状の基板に対して、この基板の対角隅よりも僅かに内側
に対応する部分に基板検出センサ部を設けるようにした
ので、例えば２個のセンサ部で基板の存否とこれの許容
量以上の位置ずれの有無を判断することができる。従っ
て、センサ部の数を削減するのみならず、これを収容す
る空間、例えばロードロック室のスペース或いは容量も
削減することができる。請求項３に規定する発明によれ
ば、ロードロック室内に方形基板の位置ずれを防止する
一対の位置規制部材（基板規制壁）を設け、この基板規
制壁の対向方向に略直交する方向であって、方形基板の
外周端よりも内側に２個の基板検出センサ部を設けるこ
とにより、基板の存否とこれの許容量以上の位置ずれの
有無を判断することができる。 従って、従来装置と比較
してセンサ部の数を削減できるのみならず、これを収容
するロードロック室のスペース或いは容量を小さくする
ことができる。
状の基板に対して、この基板の対角隅よりも僅かに内側
に対応する部分に基板検出センサ部を設けるようにした
ので、例えば２個のセンサ部で基板の存否とこれの許容
量以上の位置ずれの有無を判断することができる。従っ
て、センサ部の数を削減するのみならず、これを収容す
る空間、例えばロードロック室のスペース或いは容量も
削減することができる。請求項３に規定する発明によれ
ば、ロードロック室内に方形基板の位置ずれを防止する
一対の位置規制部材（基板規制壁）を設け、この基板規
制壁の対向方向に略直交する方向であって、方形基板の
外周端よりも内側に２個の基板検出センサ部を設けるこ
とにより、基板の存否とこれの許容量以上の位置ずれの
有無を判断することができる。 従って、従来装置と比較
してセンサ部の数を削減できるのみならず、これを収容
するロードロック室のスペース或いは容量を小さくする
ことができる。
【図１】本発明の基板検出装置を設けるクラスタツール
型の処理装置を示す概略構成図である。
型の処理装置を示す概略構成図である。
【図２】本発明の第１の実施例の基板検出装置を示す斜
視図である。
視図である。
【図３】図２に示す装置の基板検出センサ部を示す側面
図である。
図である。
【図４】図２に示す装置の基板センサ部を示す平面図で
ある。
ある。
【図５】判断制御部の回路構成図である。
【図６】第１の実施例の動作を説明するためのフローチ
ャートである。
ャートである。
【図７】ロードロック室内に設けた第２の実施例の基板
検出装置を示す斜視図である。
検出装置を示す斜視図である。
【図８】図７の平面図である。
【図９】判断制御部を示す回路構成図である。
【図１０】基板の位置ずれを説明するための図である。
【図１１】第２の実施例の動作を説明するためのフロー
チャートである。
チャートである。
【図１２】本発明を方形状の基板に適用した時の状態を
示す図である。
示す図である。
【図１３】ロードロック室とその中に設けられた基板検
出装置を示す平面図である。
出装置を示す平面図である。
【図１４】ロードロック室の内部を示す斜視図である。
１６ 真空搬送室
１８，２０ 真空処理室
２２，２４ ロードロック室
２２Ａ 側壁（位置規制部材）
２６ 基板載置部
２８ 支持ピン
３４，３６，３８ 基板検出センサ部
３４Ａ，３６Ａ，３８Ａ 発光素子
３４Ｂ，３６Ｂ，３８Ｂ 受光素子
４０ 判断制御部
５０，５２ 基板検出センサ部
５０Ａ，５２Ａ 発光素子
５０Ｂ，５２Ｂ 受光素子
５４ 位置ずれ方向決定部
７０ 基板
Ｇ１〜Ｇ８ ゲートバルブ（開閉ドア）
Ｗ 半導体ウエハ（基板）
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/68
B65G 49/06 - 49/07
G01B 21/00
G01B 11/00
G01V 8/10 - 8/20
Claims (4)
- 【請求項１】 真空可能なロードロック室内において、
基板載置部上に載置された円形基板の存否と位置ずれと
を検出する基板検出装置であって、前記基板載置部の両側に、前記基板から前記基板の最大
許容位置ずれ量だけ離間させて前記基板の載置位置を規
制するように対向させて配置した一対の基板規制壁と、 前記基板載置部上の所定の位置に配置された基板の外周
端から所定の距離離れた内側の位置に、前記一対の基板
規制壁の対向方向に略直交する方向に設けられた２つの
基板検出センサ部と、 前 記２つの基板検出センサ部の出力に基づいて、基板の
存否と位置ずれの有無とを判断する判断制御部と、を備
え、 前記所定の距離は、基板に対して許容される最大の位置
ずれ量であるとともに、前記判断制御部は、前記２つの
基板検出センサ部の内、少なくとも１つの基板検出セン
サ部が基板有りを検出したときに、基板有りと判断し、 １ つの基板検出センサ部が基板有りを検出し、且つ他の
基板検出センサ部が基板を検出しなかったときに、基板
が前記所定の位置からずれていると判断することを特徴
とする基板検出装置。 - 【請求項２】 真空可能なロードロック室内において、
基板載置部上に載置された方形基板の存否と位置ずれと
を検出する基板検出装置であって、 前記基板載置部上の所定の位置に配置された基板の外周
端から所定の距離離れた内側の位置であって、前記基板
のコーナー部の内、対角線方向に位置する２つのコーナ
ー部に配置された少なくとも２つの基板検出センサ部
と、 前記少なくとも２つの基板検出センサ部の出力に基づい
て、基板の存否と位置ずれの有無とを判断する判断制御
部と、を備え、 前記所定の距離は、基板に対して許容される最大位置ず
れ量であるとともに、前記判断制御部は、前記少なくと
も２つの基板検出センサ部の内、少なくとも１つの基板
検出センサ部が基板有りを検出した時に、基板有りと判
断し、 少なくとも１つの基板検出センサ部が基板有りを検出
し、且つ他の少なくとも１つの基板検出センサ部が基板
を検出しなかった時に、基板が前記所定の位置からずれ
ていると判断することを特徴とする基板検出装置。 - 【請求項３】 真空可能なロードロック室内において、
基板載置部上に載置された方形基板の存否と位置ずれと
を検出する基板検出装置であって、前記基板載置部の両側に、前記基板の載置位置をその内
側に規制するために前記基板との間隔が、前記基板に対
して許容される最大の位置ずれ量に設定されて対向する
ように配置された一対の基板規制壁と、 前記基板載置部上の所定の位置に配置された基板の外周
端から所定の距離離れた内側の位置に、前記一対の基板
規制壁の対向方向に略直交する方向に設けられた２つの
基板検出センサ部と、 前記２つの基板検出センサ部の出力に基づいて、基板の
存否と位置ずれの有無とを判断する判断制御部と、を備
え、 前記所定の距離は、基板に対して許容される最大位置ず
れ量であるとともに、前記判断制御部は、前記２つの基
板検出センサ部の内、少なくとも１つの基板検出センサ
部が基板有りを検出した時に、基板有りと判断し、１ つの基板検出センサ部が基板有りを検出し、且つ他の
基板検出センサ部が基板を検出しなかった時に、基板が
前記所定の位置からずれていると判断することを特徴と
する基板検出装置。 - 【請求項４】 前記判断制御部は、基板の位置ずれを検
出した時に、前記ロードロック室に設けられた基板を搬
入、搬出させる開閉ドアの閉動作を禁止することを特徴
とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板検出装
置。
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|---|---|---|---|
| JP27507997A JP3468056B2 (ja) | 1997-09-23 | 1997-09-23 | 基板検出装置 |
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| US09/509,075 US6499367B1 (en) | 1997-09-23 | 1998-09-21 | Device and method for detecting substrate |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27507997A JP3468056B2 (ja) | 1997-09-23 | 1997-09-23 | 基板検出装置 |
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