JP2021091024A5 - - Google Patents
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Description
第１導電部材２１の一端が、第１支持部２１Ｓに接続される。第１導電部材２１は、第１支持部２１Ｓにより支持される。第１導電部材２１の他端が、第１可動電極２０Ｅに接続される。第２導電部材２２の一端が、第２支持部２２Ｓに接続される。第２導電部材２２は、第２支持部２２Ｓにより支持される。第２導電部材２２の他端が、第１可動電極２０Ｅに接続される。この例では、第１支持部２１Ｓと第２支持部２２Ｓとの間に第１可動電極２０Ｅがある。第１支持部２１Ｓと第１可動電極２０Ｅとの間に第１導電部材２１がある。この例では、第１可動電極２０Ｅと第２支持部２２Ｓとの間に第２導電部材２２がある。
例えば、第２導電部材２２の電位（例えば、第２端子Ｔ２の電位）が固定され、第１固定電極１１の電位が、制御部７０により、制御可能である。実施形態において、第１固定電極１１の電位が実質的に固定され、第２導電部材２２の電位が、制御部７０により、制御可能でも良い。以下では、１つの例として、第２導電部材２２の電位（例えば、第２端子Ｔ２の電位）が固定される場合について説明する。この場合、第１固定電極１１の電位が制御部７０により制御される。第２導電部材２２と第１固定電極１１との間の電位差の極性は、任意である。
第１導電部材２１及び第２導電部材２２の一方を破断させる参考例が考えられる。例えば、第１参考例において、第１電気信号Ｓｇ１が第１固定電極１１に印加されたときに、第１可動電極２０Ｅの第２導電部材２２の側が第１固定電極１１に接する。この場合、第１電気信号Ｓｇ１による電流により、第２導電部材２２がジュール熱により破断する。一方、第１導電部材２１の他端（第１端子Ｔ１）はフローティングである。このため、第１電気信号Ｓｇ１が第１固定電極１１に印加されたときに第１導電部材２１には電流が流れずに、第１導電部材２１が破断しない。このような第１参考例においても、第１端子Ｔ１と第２端子Ｔ２との間に流れる電流を遮断できる。
図１９及び図２０は、実施形態に係るＭＥＭＳ素子に用いられる制御回路を例示する模式図である。
図１９に示すように、制御回路３１０は、昇圧回路３２１、論理回路３２２、及び、スイッチングマトリクス３２３を含む。昇圧回路３２１には、電源電圧Ｖｃｃが供給される。昇圧回路３２１は、スイッチングマトリクス３２３に高電圧Ｖｈを出力する。論理回路３２２からスイッチングマトリクス３２３に供給された信号３２２ａに応じて、スイッチングマトリクス３２３は、複数の制御信号Ｖｐｐを出力する。複数の制御信号Ｖｐｐの１つが、複数の素子部５１の１つに供給される。
図１９に示すように、制御回路３１０は、昇圧回路３２１、論理回路３２２、及び、スイッチングマトリクス３２３を含む。昇圧回路３２１には、電源電圧Ｖｃｃが供給される。昇圧回路３２１は、スイッチングマトリクス３２３に高電圧Ｖｈを出力する。論理回路３２２からスイッチングマトリクス３２３に供給された信号３２２ａに応じて、スイッチングマトリクス３２３は、複数の制御信号Ｖｐｐを出力する。複数の制御信号Ｖｐｐの１つが、複数の素子部５１の１つに供給される。
（構成１４）
前記素子部は、前記第１部材に固定された第２固定電極をさらに含み、
前記第１可動電極は、第１電極領域及び第２電極領域を含み、
前記第１電極領域と前記第１導電部材との間の距離は、前記第２電極領域と前記第１導電部材との間の距離よりも短く、
前記第１電極領域は、前記第１固定電極と対向し、
前記第２電極領域は、前記第２固定電極と対向し、
前記第１状態は、前記第２導電部材と前記第２固定電極との間に第２電気信号が印加される前であり、
前記第１状態において、前記第１導電部材及び前記第２導電部材は、前記第１可動電極を前記第２固定電極から離して支持し、
前記第２状態は、前記第２導電部材と前記第２固定電極との間に前記第２電気信号が印加された後であり、
前記第２状態において、前記第１導電部材及び前記第２導電部材が破断状態である、構成１～１３のいずれか１つに記載のＭＥＭＳ素子。
前記素子部は、前記第１部材に固定された第２固定電極をさらに含み、
前記第１可動電極は、第１電極領域及び第２電極領域を含み、
前記第１電極領域と前記第１導電部材との間の距離は、前記第２電極領域と前記第１導電部材との間の距離よりも短く、
前記第１電極領域は、前記第１固定電極と対向し、
前記第２電極領域は、前記第２固定電極と対向し、
前記第１状態は、前記第２導電部材と前記第２固定電極との間に第２電気信号が印加される前であり、
前記第１状態において、前記第１導電部材及び前記第２導電部材は、前記第１可動電極を前記第２固定電極から離して支持し、
前記第２状態は、前記第２導電部材と前記第２固定電極との間に前記第２電気信号が印加された後であり、
前記第２状態において、前記第１導電部材及び前記第２導電部材が破断状態である、構成１～１３のいずれか１つに記載のＭＥＭＳ素子。
（構成２０）
前記第１可動電極は、第２延在領域を含み、
前記延在方向において、前記第１延在領域と前記第２延在領域との間に前記第３電極領域があり、
前記素子部は、前記第１部材に固定された第４支持部をさらに含み、
前記第２延在領域の一部は、前記第３電極領域と接続され、前記第２延在領域の他の一部は、前記第４支持部と接続された、構成１９に記載のＭＥＭＳ素子。
前記第１可動電極は、第２延在領域を含み、
前記延在方向において、前記第１延在領域と前記第２延在領域との間に前記第３電極領域があり、
前記素子部は、前記第１部材に固定された第４支持部をさらに含み、
前記第２延在領域の一部は、前記第３電極領域と接続され、前記第２延在領域の他の一部は、前記第４支持部と接続された、構成１９に記載のＭＥＭＳ素子。
Claims (1)
- 前記素子部は、前記第１部材に固定された第２固定電極をさらに含み、
前記第１可動電極は、第１電極領域及び第２電極領域を含み、
前記第１電極領域と前記第１導電部材との間の距離は、前記第２電極領域と前記第１導電部材との間の距離よりも短く、
前記第１電極領域は、前記第１固定電極と対向し、
前記第２電極領域は、前記第２固定電極と対向し、
前記第１状態は、前記第２導電部材と前記第２固定電極との間に第２電気信号が印加される前であり、
前記第１状態において、前記第１導電部材及び前記第２導電部材は、前記第１可動電極を前記第２固定電極から離して支持し、
前記第２状態は、前記第２導電部材と前記第２固定電極との間に前記第２電気信号が印加された後であり、
前記第２状態において、前記第１導電部材及び前記第２導電部材が破断状態である、請求項１～６のいずれか１つに記載のＭＥＭＳ素子。
Priority Applications (2)
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| JP2019222325A JP7297653B2 (ja) | 2019-12-09 | 2019-12-09 | Ｍｅｍｓ素子及び電気回路 |
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Applications Claiming Priority (1)
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| JP2019222325A JP7297653B2 (ja) | 2019-12-09 | 2019-12-09 | Ｍｅｍｓ素子及び電気回路 |
Publications (3)
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| JP7297653B2 JP7297653B2 (ja) | 2023-06-26 |
Family
ID=76210108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019222325A Active JP7297653B2 (ja) | 2019-12-09 | 2019-12-09 | Ｍｅｍｓ素子及び電気回路 |
Country Status (2)
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