JP5690123B2 - スイッチ構造体及び関連回路 - Google Patents
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 24
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 3
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000011946 reduction process Methods 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
- H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H1/00—Contacts
- H01H1/0036—Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H9/00—Details of switching devices, not covered by groups H01H1/00 - H01H7/00
- H01H9/54—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the switching device and for which no provision exists elsewhere
- H01H9/541—Contacts shunted by semiconductor devices
- H01H9/542—Contacts shunted by static switch means
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03K—PULSE TECHNIQUE
- H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
- H03K17/51—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used
- H03K17/56—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices
- H03K17/687—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices the devices being field-effect transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H71/00—Details of the protective switches or relays covered by groups H01H73/00 - H01H83/00
- H01H2071/008—Protective switches or relays using micromechanics
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Description
102 微小電気機械システム(MEMS)スイッチ
104 負荷回路
106 電気負荷
108 電源
110 片持梁
112 接点
114 基板
116 電極
118 ゲート電圧源
120 転流回路
122 平衡ダイオードブリッジ
124 平衡ダイオードブリッジの第1分岐
126 平衡ダイオードブリッジの第2分岐
128 第1ダイオード
130 第2ダイオード
132 第3ダイオード
134 第4ダイオード
136 電圧スナバ回路
138、140 平衡ダイオードブリッジの中点
142 パルス回路
144 パルススイッチ
146 パルスキャパシタ
148 ダイオード
150、152 パルス電流IPULSEの電流方向
154、156、158、160 電流ベクトル
162、164 電気接続
166 方向
168 パルス回路ダイオード
200 スイッチモジュール
202a、202b 電気機械スイッチ
203 端子
222 平衡ダイオードブリッジ
238、240 平衡ダイオードブリッジの中点
242 パルス回路
300 スイッチモジュール
302a、302b 電気機械スイッチ
303 端子
322 平衡ダイオードブリッジ
338、340 平衡ダイオードブリッジの中点
342 パルス回路
400 スイッチモジュール
402a、402b、402c、402d 電気機械スイッチ
403 端子
422 平衡ダイオードブリッジ
438、440 平衡ダイオードブリッジの中点
442 パルス回路
500 スイッチモジュール
502a 第1電気機械スイッチ構造体
502b 第2電気機械スイッチ構造体
502c、502d、502e、502f 第3、第4、第5、第6電気機械スイッチ構造体
503 端子
504 負荷回路
506 電気負荷
508 電源
520a〜f 転流回路
522a〜f 平衡ダイオードブリッジ
542a〜f パルス回路
600 スイッチモジュール
602a〜f 複数の電気機械スイッチ
603 端子
622a〜f 平衡ダイオードブリッジ
642a〜c パルス回路
700 等価回路
Claims (10)
- 第1特性時間にわたって開放構成と完全閉鎖構成との間で移動するように構成された第1電気機械スイッチ構造体(102)であって、完全閉鎖構成にあるときに第1最低特性抵抗を有する第1電気機械スイッチ構造体と;
第2特性時間にわたって開放構成と完全閉鎖構成との間で移動するように構成され、完全閉鎖構成にあるときに第2最低特性抵抗を有する第2電気機械スイッチ構造体と、
前記第1及び第2電気機械スイッチ構造体と並列接続された転流回路(120)であって、
前記第1電気機械スイッチ構造体の接点間のアーク形成を抑制するように構成された第1平衡ダイオードブリッジ(122)と、
前記第2電気機械スイッチ構造体の接点間のアーク形成を抑制するように構成された第2平衡ダイオードブリッジと、
前記第1及び第2平衡ダイオードブリッジの各々を通るパルス電流の流れを発生させるためにパルス信号を形成するように構成されたパルスキャパシタ(146)を含むパルス回路(142)であって、前記パルス信号は前記第1及び第2電気機械スイッチ構造体の切り替え事象に関連して発生するパルス回路と、を含む転流回路とを備え、
前記第1及び第2電気機械スイッチ構造体は負荷回路に並列接続するように構成されており、
前記第1及び第2電気機械スイッチ構造体並びに前記第1及び第2平衡ダイオードブリッジは、前記パルス回路及び前記第1平衡ダイオードブリッジに関する合計インダクタンスが前記第1特性時間と前記第1最低特性抵抗との積以下となり、前記パルス回路及び前記第2平衡ダイオードブリッジに関する合計インダクタンスが前記第2特性時間と前記第2最低特性抵抗との積以下となるように配置されている、
装置。 - 前記負荷回路が、電気負荷及び電源を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記第1及び第2電気機械スイッチ構造体の各々が微小電気機械スイッチを含む、請求項1または2に記載の装置。
- 前記第1及び第2電気機械スイッチ構造体の各々が1つ以上の接点(112)及び1つ以上の可動要素(110)を含み、前記1つ以上の可動要素の各々は、前記第1及び第2電気機械スイッチ構造体が完全閉鎖構成に配置されているときには前記1つ以上の接点のうち少なくとも1つと最大接触し、
前記1つ以上の可動要素の各々は、前記第1及び第2電気機械スイッチ構造体が開放構成に配置されているとき前記1つ以上の接点から開離している、請求項1乃至3のいずれかに記載の装置。 - 前記第1及び第2電気機械スイッチ構造体の各々が、可動要素(110)、接点(112)、及び、前記可動要素との電位差を確立するように選択的に電荷を受け取ることで、前記可動要素が前記接点と最大接触する最大接触位置と、前記可動要素が前記接点から開離している非接触位置との間で、前記可動要素を前記特性時間にわたって移動させるように構成された電極(116)を含む、請求項1乃至4のいずれかに記載の装置。
- 前記第1及び第2電気機械スイッチ構造体の各々が、約15マイクロ秒以下の特性時間にわたって開放構成と完全閉鎖構成との間で移動するように構成されている、請求項1乃至5のいずれかに記載の装置。
- 前記第1及び第2電気機械スイッチ構造体の各々が、完全閉鎖構成にあるときに最低特性実効アレイ抵抗を有する電気機械スイッチのアレイを含む、請求項1乃至6のいずれかに記載の装置。
- 前記第1及び第2電気機械スイッチ構造体の各々のアレイが、並列接続された少なくとも2つの電気機械スイッチを含む、請求項7に記載の装置。
- 前記第1及び第2電気機械スイッチ構造体の各々のアレイが、直列接続された少なくとも2つの電気機械スイッチを含む、請求項7又は8に記載の装置。
- 前記転流回路が、前記第1電気機械スイッチ構造体と並列接続された第1転流回路と、前記第2電気機械スイッチ構造体と並列接続された第2転流回路とを含む、請求項1乃至9のいずれかに記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/639,060 | 2009-12-16 | ||
US12/639,060 US8054589B2 (en) | 2009-12-16 | 2009-12-16 | Switch structure and associated circuit |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011129516A JP2011129516A (ja) | 2011-06-30 |
JP2011129516A5 JP2011129516A5 (ja) | 2014-01-23 |
JP5690123B2 true JP5690123B2 (ja) | 2015-03-25 |
Family
ID=43736102
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010273081A Active JP5690123B2 (ja) | 2009-12-16 | 2010-12-08 | スイッチ構造体及び関連回路 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8054589B2 (ja) |
EP (1) | EP2337043B1 (ja) |
JP (1) | JP5690123B2 (ja) |
KR (1) | KR101737120B1 (ja) |
CN (1) | CN102103945B (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010100622A1 (en) * | 2009-03-04 | 2010-09-10 | Nxp B.V. | Mems devices |
US8779886B2 (en) * | 2009-11-30 | 2014-07-15 | General Electric Company | Switch structures |
US8570713B2 (en) | 2011-06-29 | 2013-10-29 | General Electric Company | Electrical distribution system including micro electro-mechanical switch (MEMS) devices |
US20130027817A1 (en) * | 2011-07-25 | 2013-01-31 | General Electric Company | Micro electro-mechanical switch (mems) based over current motor protection system |
US9320481B2 (en) | 2014-03-31 | 2016-04-26 | General Electric Company | Systems and methods for X-ray imaging |
US10068733B2 (en) * | 2015-10-22 | 2018-09-04 | General Electric Company | Micro-electromechanical system relay circuit |
US9997317B2 (en) * | 2015-10-22 | 2018-06-12 | General Electric Company | Isolated control circuit and driver for micro-electromechanical system switch |
CN105488987B (zh) * | 2016-01-19 | 2018-12-28 | 东南大学 | 一种无源无线微机械开关阵列控制*** |
CN105655204B (zh) * | 2016-01-19 | 2018-04-24 | 东南大学 | 一种无源无线微机械开关 |
US10211622B2 (en) * | 2016-06-29 | 2019-02-19 | General Electric Company | System and method for fault interruption with MEMS switches |
DE102016215001A1 (de) | 2016-08-11 | 2018-02-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Schaltzelle mit Halbleiterschaltelement und mikroelektromechanischem Schaltelement |
DE102016117005A1 (de) | 2016-09-09 | 2018-03-15 | Eaton Industries (Austria) Gmbh | Schutzschaltgerät |
GB2564434B (en) | 2017-07-10 | 2020-08-26 | Ge Aviat Systems Ltd | Power distribution switch for a power distribution system |
GB2587810B (en) * | 2019-10-02 | 2022-04-06 | Siemens Ag | Subsea Connector |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3943473A (en) * | 1974-04-29 | 1976-03-09 | Square D Company | Current limiting circuit breaker |
DE4234122C1 (de) | 1992-10-09 | 1994-02-17 | Siemens Ag | Schaltungsanordnung zur Verminderung der Materialwanderung bei Schaltkontakten |
FR2797359A1 (fr) | 1999-08-02 | 2001-02-09 | Gen Electric | Pont de diodes faiblement inductif pour transfert rapide de courant |
US6630725B1 (en) * | 2000-10-06 | 2003-10-07 | Motorola, Inc. | Electronic component and method of manufacture |
US6815739B2 (en) * | 2001-05-18 | 2004-11-09 | Corporation For National Research Initiatives | Radio frequency microelectromechanical systems (MEMS) devices on low-temperature co-fired ceramic (LTCC) substrates |
US6649852B2 (en) * | 2001-08-14 | 2003-11-18 | Motorola, Inc. | Micro-electro mechanical system |
KR100434153B1 (ko) * | 2002-04-12 | 2004-06-04 | 엘지산전 주식회사 | 하이브리드 직류 전자 접촉기 |
US6873223B2 (en) * | 2002-12-16 | 2005-03-29 | Northrop Grumman Corporation | MEMS millimeter wave switches |
WO2005041231A1 (ja) * | 2003-10-28 | 2005-05-06 | Noboru Wakatsuki | 電気接点開閉デバイスおよび消費電力抑制回路 |
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US7119943B2 (en) * | 2004-08-19 | 2006-10-10 | Teravicta Technologies, Inc. | Plate-based microelectromechanical switch having a three-fold relative arrangement of contact structures and support arms |
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US7741936B1 (en) * | 2004-09-09 | 2010-06-22 | University Of South Florida | Tunable micro electromechanical inductor |
JP2006331742A (ja) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気機械スイッチ |
US7688167B2 (en) * | 2006-10-12 | 2010-03-30 | Innovative Micro Technology | Contact electrode for microdevices and etch method of manufacture |
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US9076607B2 (en) | 2007-01-10 | 2015-07-07 | General Electric Company | System with circuitry for suppressing arc formation in micro-electromechanical system based switch |
US7542250B2 (en) | 2007-01-10 | 2009-06-02 | General Electric Company | Micro-electromechanical system based electric motor starter |
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US7612971B2 (en) | 2007-06-15 | 2009-11-03 | General Electric Company | Micro-electromechanical system based switching in heating-ventilation-air-conditioning systems |
US7589942B2 (en) | 2007-06-15 | 2009-09-15 | General Electric Company | MEMS based motor starter with motor failure detection |
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US7554222B2 (en) | 2007-11-01 | 2009-06-30 | General Electric Company | Micro-electromechanical system based switching |
US7839611B2 (en) | 2007-11-14 | 2010-11-23 | General Electric Company | Programmable logic controller having micro-electromechanical system based switching |
US8362654B2 (en) * | 2007-11-21 | 2013-01-29 | Nokia Corporation | Electronic device interface switching system |
-
2009
- 2009-12-16 US US12/639,060 patent/US8054589B2/en active Active
-
2010
- 2010-12-08 JP JP2010273081A patent/JP5690123B2/ja active Active
- 2010-12-10 EP EP10194449.4A patent/EP2337043B1/en active Active
- 2010-12-16 KR KR1020100129440A patent/KR101737120B1/ko active IP Right Grant
- 2010-12-16 CN CN201010615732.3A patent/CN102103945B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2337043A1 (en) | 2011-06-22 |
US8054589B2 (en) | 2011-11-08 |
JP2011129516A (ja) | 2011-06-30 |
US20110140546A1 (en) | 2011-06-16 |
CN102103945B (zh) | 2014-01-01 |
KR101737120B1 (ko) | 2017-05-17 |
KR20110068940A (ko) | 2011-06-22 |
CN102103945A (zh) | 2011-06-22 |
EP2337043B1 (en) | 2016-03-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131203 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131203 |
|
A977 | Report on retrieval |
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