JP2020170411A - 加工装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】加工装置のログによる解析を容易に実行すること。【解決手段】本発明に係る加工装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、加工状況を監視するための項目として事前に設定された監視項目ごとに時系列で記録された該加工状況を示す情報をログ情報として記録する記録部と、データ処理部とを備える。該データ処理部は、該記録部に記録された該ログ情報を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換する変換部を備えることを特徴とする。【選択図】図2

Description

本発明は、加工装置に関する。
半導体ウエーハやパッケージ基板等の被加工物をチャックテーブルで保持し、切削、レーザー加工、研削などを行う加工装置が各種存在する。これらの加工装置において、作業の効率化を図ることを目的として、装置の稼働状況などを示す文字及び数値データ等をログとして記録する技術が知られている。
特開2018−41136号公報
上述した技術では、加工装置の稼働状況などを解析するために、オペレータ自らが、ログから解析用のデータを作成する必要があり、手間が発生する。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、加工装置のログによる解析を容易に実行できる加工装置を提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、加工状況を監視するための項目として事前に設定された監視項目ごとに時系列で記録された該加工状況を示す情報をログ情報として記録する記録部と、データ処理部とを備える加工装置であって、該データ処理部は、該記録部に記録された該ログ情報を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換する変換部を備えることを特徴とする。
本発明の構成によれば、記録されたログ情報(文字及び数値データ)を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換するので、オペレータ自らが解析用のデータを作成する必要がなく、加工装置のログによる解析を容易に実行できる。
また、本発明に係る加工装置は、ログ情報(文字及び数値データ)をグラフまたは表に変換してもよい。この構成によれば、監視項目に対応する加工装置の状況をオペレータに容易に把握させることができる。
また、本発明に係る加工装置において、監視項目は、加工装置の稼働状況、被加工物、加工手段、及び加工装置にて発生したエラー信号のうちの少なくともいずれか一つに関するものであってよい。この構成によれば、加工装置の稼働状況、被加工物、加工手段、エラーに関する解析用データをオペレータに提供できる。
また、本発明に係る加工装置は、外部記録媒体を該加工装置に接続可能にする接続部を更に備え、データ処理部は、解析用データを外部記録媒体に出力する出力部をさらに備えてもよい。この構成によれば、加工装置のログによる解析用データを持ち運び容易な状態でオペレータに提供できる。
また、本発明に係る加工装置は、任意の情報機器にネットワークを経由して接続され、データ処理部は、解析用データの送信先を登録する送信先登録部と、該送信先に該解析用データを送信する自動送信部とを更に備えてもよい。この構成によれば、加工装置のログによる解析用データを、オペレータが希望する送信先に提供できる。
また、本発明に係る加工装置において、データ処理部は、該解析用データの送信要求日時と、該解析用データの解析対象期間と、該解析用データの解析対象項目とを自動送信設定情報として事前に登録する自動送信設定登録部と、該自動送信設定登録部に登録されている該自動送信設定情報に従って、該記録部に記録された該ログ情報を該解析用データに変換する自動変換部とを更に備えてもよい。そして、該自動送信部は、該自動変換部により変換された該解析用データを該送信先登録部に登録された該送信先へ送信してもよい。この構成によれば、加工装置のログによる解析用データを、オペレータが希望する日時に、オペレータが希望する内容で自動的に提供できる。
本発明によれば、加工装置のログによる解析を容易に実行できるという効果を奏する。
図1は、実施形態に係る加工装置を示す斜視図である。 図2は、実施形態に係る加工装置の機能構成の一例を模式的に示す図である。 図3は、実施形態に係る加工状況格納部に記憶される加工状況ログ情報の一例を示す図である。 図4は、実施形態に係るエラー発生状況格納部に記憶されるエラーログ情報の一例を示す図である。 図5は、実施形態に係るログ解析ウィンドウの構成例を示す図である。 図6は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。 図7は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。 図8は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。 図9は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。 図10は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。 図11は、実施形態に係る送信先情報の一例を示す図である。 図12は、実施形態に係る加工装置による処理の手順の一例を示すフローチャートである。 図13は、変形例に係る加工装置の機能構成の一例を模式的に示す図である。 図14は、変形例に係る自動送信設定情報の一例を示す図である。
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態を詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
以下に説明する実施形態において、XYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の一方向をX軸方向、水平面内においてX軸方向と直交する方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向のそれぞれと直交する方向をZ軸方向とする。X軸及びY軸を含むXY平面は、水平面と平行である。XY平面と直交するZ軸方向は、鉛直方向である。
図面を参照しつつ、実施形態に係る加工装置1の概要を説明する。図1は、実施形態に係る加工装置1を示す斜視図である。図2は、実施形態に係る加工装置1の機能構成の一例を模式的に示す図である。
図1に示すように、実施形態に係る複数の加工装置1は、チャックテーブル10と、切削ブレード21を有する加工ユニット20と、加工送り手段(移動ユニット)30と、割り出し送り手段(移動ユニット)40と、切り込み送り手段(移動ユニット)50と、カセットエレベータ60と、洗浄ユニット70と、制御ユニット80とを備えて構成される。加工装置1は、チャックテーブル10で被加工物301を保持し、この被加工物301を加工ユニット20で切削加工する。
被加工物301は、たとえばシリコン、サファイア、ガリウムなどを基板とする半導体ウエーハや光デバイスウエーハであり、図1に示すように、例えば、円板形状に形成される。被加工物301の表面(上面)側は格子状に配列された分割予定ラインにより複数の領域に区画されており、各領域にデバイスが形成されている。また、被加工物301の裏面(下面)側には、被加工物301より径の大きいテープ303が貼り付けられている。テープ303の外周部分は、環状のフレーム305に固定されている。すなわち、被加工物301は、テープ303を介してフレーム305に支持されている。
チャックテーブル10は、図1に示すように、装置本体2の上面に設けられた開口部2aをX軸方向に沿って移動可能に配設されている。チャックテーブル10は、保持面11と、複数(4つ)のクランプ12とを備えている。チャックテーブル10は円板状に形成され、図示しない回転手段によりZ軸方向(鉛直方向)に概ね平行な回転軸の周りに回転する。保持面11は、チャックテーブル10の鉛直方向の上端面であり、水平面に対して平坦に形成されている。保持面11は、例えばポーラスセラミック等で構成されており、図示しない真空吸引源の負圧により被加工物301を吸引保持する。複数のクランプ12は、保持面11の周囲に4箇所配設され、フレーム305を挟持して固定する。
加工ユニット20は、たとえば切削ユニットであり、チャックテーブル10に保持された被加工物301を切削加工する。装置本体2の上面には開口部2aをY軸方向に跨ぐように支持構造3が設けられる。加工ユニット20は、支持構造3に割り出し送り手段40及び切り込み送り手段50を介して固定されている。
加工ユニット20は、回転駆動される図示しないスピンドルに装着された切削ブレード21を備える。加工ユニット20は、この切削ブレード21が回転しつつ、チャックテーブル10をX軸方向に加工送りすることにより、チャックテーブル10に保持された被加工物301をX軸方向に沿って切削する。その後、加工ユニット20は、割り出し送り手段40によって、Y軸方向に所定ピッチで順次割り出し送りされ、このピッチ間隔で被加工物301をX軸方向に沿って切削することを繰り返し実行する。
切削ブレード21は、例えば、ダイヤモンドやCBN(Cubic Boron Nitride)等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材とからなり所定厚みに形成された切り刃を有する。被加工物301の種別(密度や硬さなど)によって、チッピングやクラックが適正値内の適切な切り刃(例えば、樹脂ボンドやメタルボンド、ポーラスボンドなど)を有する切削ブレード21が選択される。
また、加工ユニット20には、被加工物301を撮像する撮像部22が一体的に移動するように固定されている。撮像部22は、チャックテーブル10に保持された被加工物301の上面を撮像するCCDカメラを備えて構成され、例えば、被加工物301の切削予定ラインと切削ブレード21とのアライメントを行うための画像を取得する。加工ユニット20は、加工手段の一例である。
加工送り手段30は、チャックテーブル10と加工ユニット20とをX軸方向に相対移動させるものである。加工送り手段30は、X軸方向に延在される図示しないボールねじやモータ等の駆動源を有しており、チャックテーブル10を支持する移動基台31をX軸方向に移動させる。また、加工送り手段30は、開口部2aに配設されて移動基台31の前後に連結されてX軸方向に延在する蛇腹部材32と備える。また、移動基台31には、切削ブレード21の刃先の切り込み送り方向での先端位置(下端位置)を検出する刃先検出ユニット33が設けられている。
割り出し送り手段40は、チャックテーブル10と加工ユニット20とをY軸方向に相対移動させるものである。割り出し送り手段40は、Y軸方向に延在された一対のガイドレール41と、ガイドレール41と平行に配設されたボールねじ42と、ボールねじ42に螺合された図示しないナットに固定され、ガイドレール41にスライド自在に配設されたY軸移動基台43と、ボールねじ42を回転させる図示しないモータとを備えている。割り出し送り手段40は、モータによりボールねじ42を回転させることにより、加工ユニット20及び切り込み送り手段50を支持するY軸移動基台43をY軸方向に移動させる。
切り込み送り手段50は、チャックテーブル10の保持面11と直交するZ軸方向に加工ユニット20を移動させるものである。切り込み送り手段50は、Z軸方向に延在され、Y軸移動基台43に固定された一対のガイドレール51と、ガイドレール51と平行に配設されたボールねじ52と、ボールねじ52に螺合された図示しないナットに固定され、ガイドレール51にスライド自在に配設されたZ軸移動基台53と、ボールねじ52を回転させるモータ54とを備えている。切り込み送り手段50は、モータ54によりボールねじ52を回転させることにより、加工ユニット20を支持するZ軸移動基台53をZ軸方向に移動させる。
カセットエレベータ60は、装置本体2に対して、複数の被加工物301が収容されるカセット61を鉛直方向に昇降可能に支持している。洗浄ユニット70は、加工ユニット20により切削加工された被加工物301をスピンナテーブル71で保持して洗浄する。
制御ユニット80は、プロセッサと、記憶装置と、入出力インタフェース装置とを備え、コンピュータプログラムを実行可能なコンピュータである。制御ユニット80は、CPU(Central Processing Unit)、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、DSP(Digital Signal Processor)、システムLSI(Large Scale Integration)などのプロセッサを有する。制御ユニット80は、RAM(Random Access Memory)、ROM(Read Only Memory)、フラッシュメモリ、EPROM(Erasable Programmable Read Only Memory)、EEPROM(登録商標)(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)などの不揮発性または揮発性の半導体メモリなどの記憶装置を有する。
制御ユニット80は、CPU(Central Processing Unit)やMPU(Micro Processing Unit)等によって、各種プログラムがRAMを作業領域として実行されることにより実現される。制御ユニット80は、各種プログラムにより提供される機能により、後述するデータ記録部81及びデータ処理部82による各種処理を実現又は実行する。各種プログラムは、制御ユニット80が備える記憶装置に記憶される。各種プログラムは、後述する解析用データの変換ツールを含む。なお、制御ユニット80は、例えば、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)やFPGA(Field Programmable Gate Array)等の集積回路により実現されてもよい。
制御ユニット80は、図1に示すように、データ記録部81とデータ処理部82とを備え、以下に説明する加工装置1の処理の機能や作用を実現または実行する。
データ記録部81は、加工装置1における加工に関する監視項目の状況を時系列で記録する。すなわち、データ記録部81は、加工装置1の加工状況を監視するための項目としてオペレータにより事前に設定された監視項目ごとに、時系列で記録された加工状況を示す情報をログ情報として記録する。監視項目は、加工装置1にオペレータなどにより予め設定される。監視項目は、たとえば加工装置1の稼働状況、被加工物301、加工ユニット20、及び加工装置1にて発生したエラー信号のうちの少なくともいずれか一つに関する。ログ情報は、以下に説明するように、日時と、監視項目に対応する装置が行った動作や監視項目に関して測定した数値データ、並びに加工装置1において発生したエラー内容を示す文字データとが紐付いて、加工状況を示す情報として記録される。データ記録部81は、記録部の一例である。
データ記録部81は、図2に示すように、加工状況格納部811と、エラー発生状況格納部812とを備える。
加工状況格納部811は、加工装置1の加工状況を示す情報として、稼働状況に関するログ情報、被加工物301に関するログ情報、加工ユニット20に関するログ情報を記憶する。図3は、実施形態に係る加工状況格納部811に記憶される加工状況ログ情報の一例を示す図である。
図3に示す加工状況ログ情報は、たとえばログ情報LG1−1,LG1−2、ログ情報LG2−1、及びログ情報LG3−1,LG3−2を含む。図3に示すように、ログ情報LG1−1,LG1−2、ログ情報LG2−1、及びログ情報LG3−1,LG3−2は、記録された日時と、かかる日時に紐付く文字データ及び数値データで構成される。
ログ情報LG1−1,LG1−2は、加工装置1の稼働状況に関するログ情報の一例である。ログ情報LG1−1,LG1−2は、加工装置1の稼働状況を監視項目として設定することにより記録される。稼働状況に関するログ情報は、生産時間、スタンバイ時間、アンスケジュールダウン時間、スケジュールダウン時間、並びにエラーによる稼働停止時間及びエラーからの復旧時間等の各情報で構成される。ログ情報LG1−1に含まれる生産時間は、例えば被加工物301の加工開始から加工終了までの時間を示す。ログ情報LG1−1に含まれるスタンバイ時間は、加工開始までに要した時間を示す。ログ情報LG1−1に含まれるアンスケジュールダウン時間は、予期せずに加工処理が停止した時間を示す。ログ情報LG1−1に含まれるスケジュールダウン時間は、予定された装置点検等によって、加工処理が停止した時間を示す。
ログ情報LG2−1は、被加工物301に関するログ情報の一例である。ログ情報LG2−1は、被加工物301を監視項目として設定することにより記録される。ログ情報LG2−1は、たとえば被加工物301の枚数、並びに被加工物301を収容するカセットの個数の情報等で構成される。被加工物301に関するログ情報は、被加工物301の種類を含んでよい。
ログ情報LG3−1,LG3−2は、加工ユニット20に関するログ情報の一例である。ログ情報LG2−1は、加工ユニット20を監視項目として設定することにより記録される。ログ情報LG3−1,LG3−2は、ブレード交換回数、切削長さ、切削ライン数、並びに切削ブレード21の使用開始時間及び使用終了時間等の情報で構成される。加工ユニット20に関するログ情報は、所定の頻度で計測される切削ブレード21の刃先出し量や、切削ブレード21の交換開始時間及び交換終了時間等を含んでよい。
エラー発生状況格納部812は、加工装置1の加工状況を示す情報として、加工装置1におけるエラー発生状況を時系列で記録する。図4は、実施形態に係るエラー発生状況格納部812に記憶されるエラーログ情報の一例を示す図である。
図4に示すエラーログ情報は、日付の項目と、エラー名の項目とを備え、これらの項目が互いに対応付けられている。図4に示すエラーログ情報は、エラー内容に応じて異なるエラー信号の種類およびその時間を監視項目として設定することにより記録される。日付の項目には、エラー信号の発生日時が記憶される。エラー名の項目には、エラー信号が示すエラーの内容が記憶される。図4に示すように、エラー発生状況格納部812に記憶されるエラーログ情報は、エラー信号が発生した日時と、かかる日時に紐付くエラーの内容(文字データ)とで構成される。図4に示す例によれば、「2018年12月1日16時14分13秒」に「カーフ幅エラー(広い)」が発生したことがエラーログ情報として記録されている。
図2に戻り、データ処理部82は、変換部821と、出力部822と、送信先登録部823と、自動送信部824とを備える。
変換部821は、データ記録部81に記録されたログ情報(文字データ及び数値データ)を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換する。変換部821は、オペレータの操作に応じて、タッチパネル100にログ解析ウィンドウ100Wを表示する。続いて、変換部821は、ログ解析ウィンドウ100Wを介して、たとえば解析用データの出力を要求する解析対象項目の選択をオペレータから受け付ける。そして、変換部821は、かかる解析対象項目に対応するログ情報(文字データ及び数値データ)をデータ記録部81から取得し、オペレータによる解析が可能な解析用データに変換する。
図5は、実施形態に係るログ解析ウィンドウ100Wの構成例を示す図である。図5に示すように、ログ解析ウィンドウ100Wは、項目選択領域101と、期間設定領域102と、出力データ形式選択領域103と、実行ボタン104と、キャンセルボタン105とを備える。
項目選択領域101は、解析用データの出力を要求する解析対象項目の選択をオペレータから受け付けるための領域である。解析対象項目は、加工装置1の加工状況を監視するための項目としてオペレータにより事前に設定された監視項目にそれぞれ対応している。項目選択領域101は、解析対象項目ごとに、オペレータからの選択を受け付けるためのチェックボックスb1〜b4をそれぞれ有する。たとえば、加工装置1の稼働状況に関する解析用データの出力を要求する場合、オペレータは、チェックボックスb1にチェックを入れる。解析用データの出力を実行する際、ログ情報からどのデータを抽出するかについては、解析用データの変換ツールの作成時にオペレータが任意に設定できる。たとえば、オペレータの設定により、生産時間、スタンバイ時間、アンスケジュールダウン時間、スケジュールダウン時間、エラーによる稼働停止時間及びエラーからの復旧時間を、稼働状況に関する解析用データに変換するログ情報として抽出できる。
期間設定領域102は、オペレータから解析用データの出力を要求する解析対象期間の設定を受け付けるための領域である。期間設定領域102は、解析期間の設定を実施する場合にオペレータが指定するチェックボックスb5と、開始日時入力ボックスk1と、終了日時入力ボックスk2とを有する。オペレータは、解析対象期間の設定を行う場合、チェックボックスb5にチェックを入れ、開始日時入力ボックスk1に期間の開始日時を入力し、終了日時入力ボックスk2に期間の終了日時を入力する。期間の設定は、日単位や月単位などの任意の単位で設定できる。期間の設定は、たとえば日を最小単位とすることができる。
出力データ形式選択領域103は、オペレータから解析用データの出力データ形式の選択を受け付けるための領域である。出力データ形式選択領域103は、出力データ形式ごとに、出力データ形式を選択するためのチェックボックスb6〜b8をそれぞれ有する。たとえば、円グラフでの出力を要求する場合、オペレータは、オペレータは、チェックボックスb6にチェックを入れる。
実行ボタン104は、解析用データの変換処理を開始させるためのボタンである。変換部821は、少なくとも項目選択領域101における解析対象項目の選択、及び出力データ形式選択領域103における出力データ形式の選択が完了していることを、実行ボタン104を操作可能な状態に制御するための条件とできる。また、変換部821は、解析用データの変換を行う際、解析対象期間の設定が必要であるとき、期間の設定が必要である旨のポップアップを表示できる。たとえば解析対象項目として「稼働状況」が選択されている場合、期間の設定が必要である旨を表示できる。また、変換部821は、解析用データの変換を行う際、解析対象期間の設定が行われていない場合、記録された全期間のログを解析用データに変換してもよい。キャンセルボタン105は、解析用データの変換処理をキャンセルするためのボタンである。
変換部821は、ログ解析ウィンドウ100Wにおいて実行ボタン114の操作を検出すると、データ記録部81から対応するログ情報(文字データ及び数値データ)を読み込み、読み込んだログ情報を解析して、解析用データに変換する。図6〜図10は、実施形態に係る解析用データの一例を示す図である。
図6は、ログ解析ウィンドウ100Wにおいて、解析対象項目として「稼働状況」が選択され、期間として2018年8月1日から2018年8月31日が設定され、出力データ形式として円グラフが選択された場合の解析用データの例を示している。変換部821は、加工状況格納部811から、たとえば2018年8月1日から8月31日に記録された生産時間、スタンバイ時間、アンスケジュールダウン時間、スケジュールダウン時間のログ情報を読み込む。そして、変換部821は、読み込んだログ情報(文字データ及び数値データ)を解析し、生産時間、スタンバイ時間、アンスケジュールダウン時間、及びスケジュールダウン時間を円グラフのデータ形式に変換する。図6に示す例では、2018年の8月1日〜8月31までにおける各時間の占める割合が円グラフとして示されている。
図7は、ログ解析ウィンドウ100Wにおいて、解析対象項目として「稼働状況」が選択され、期間として2018年12月1日から12月3日が設定され、出力データ形式として棒グラフが選択された場合の解析用データの例を示している。変換部821は、加工状況格納部811から、たとえば2018年12月1日から12月3日に記録されたエラーからの復旧時間のログ情報を読み込む。そして、変換部821は、読み込んだログ情報(文字データ及び数値データ)を解析し、エラーからの復旧時間を棒グラフのデータ形式に変換する。図7に示す例では、日付ごとにエラーからの復旧時間が示されている。
なお、図6及び図7に示す解析用データは、ログ解析ウィンドウ100Wにおける設定期間が同一である場合、対応するログ情報が記録されていれば、変換部821においてそれぞれ変換される場合も想定される。
図8は、ログ解析ウィンドウ100Wにおいて、解析対象項目として「被加工物」が選択され、期間として2018年12月1日から12月3日が設定され、出力データ形式として棒グラフが選択された場合の解析用データの例を示している。変換部821は、加工状況格納部811から、たとえば2018年12月1日から12月3日に記録された処理枚数のログ情報を読み込む。そして、変換部821は、読み込んだログ情報(文字データ及び数値データ)を解析し、処理枚数を棒グラフのデータ形式に変換する。図8に示す例では、日付ごとに被加工物301の処理枚数が示されている。
図9は、ログ解析ウィンドウ100Wにおいて、解析対象項目として「加工ユニット」が選択され、期間として2018年12月1日から12月3日が設定され、出力データ形式として棒グラフが選択された場合の解析用データの例を示している。変換部821は、加工状況格納部811から、たとえば2018年12月1日から12月3日に記録されたブレード交換回数のログ情報を読み込む。そして、変換部821は、読み込んだログ情報(文字データ及び数値データ)を解析し、ブレード交換回数を棒グラフのデータ形式に変換する。図8に示す例では、日付ごとにブレード交換回数が示されている。
図7〜図9に示す解析用データは、ログ解析ウィンドウ100Wにおいて設定された解析対象期間が同一である。このため、ログ解析ウィンドウ100Wにおいて、仮に、「稼働状況」、「被加工物」、及び「加工ユニット」がそれぞれ解析対象項目として選択された場合、加工装置1は、各解析対象項目に対応する解析用データを出力可能である。このとき、解析対象期間が同一であること、及び選択された解析対象項目に対応するログ情報が記録されていることを各解析対象項目に対応する解析用データを出力するための条件とできる。なお、加工装置1は、ログ解析ウィンドウ100Wにおいて解析対象項目ごとに解析対象期間を設定できるようにしてもよい。この場合、ログ解析ウィンドウ100Wにおいて選択された複数の解析対象項目について、それぞれ異なる解析対象期間の解析用データを出力することも可能となる。
図10は、ログ解析ウィンドウ100Wにおいて、解析対象項目として「エラー情報」が選択され、期間として2018年8月1日から12月1日が設定され、出力データ形式として棒グラフが選択された場合の解析用データの例を示している。変換部821は、エラー発生状況格納部812から、たとえば2018年8月1日から12月1日に記録されたエラーログ情報を読み込む。そして、変換部821は、読み込んだエラーログ情報(文字データ及び数値データ)を解析し、たとえばカーフチェックに関するエラー情報を棒グラフのデータ形式に変換する。図10に示す例では、対象期間(2018年8月1日から12月1日)における各エラーの発生回数が示されている。変換部821は、エラーログ情報に種類の異なるエラー情報が含まれる場合、エラー種別IDに基づいて、エラー種別ごとにエラーログ情報の解析を行い、エラーログ情報をエラー種別ごとの解析用データに変換できる。
図2に戻り、出力部822は、変換部821により変換された解析用データを出力する。出力部822は、コネクタ110を介して、外部記憶装置200が接続中である場合、オペレータからの指示に応じて、外部記憶装置200に解析用データを出力する。
送信先登録部823は、オペレータにより予め設定される解析用データの送信先情報を登録する。図11は、実施形態に係る送信先情報の一例を示す図である。図11に示すように、送信先登録部823に登録される送信先情報は、オペレータIDの項目と、送信先の項目と、電子メールアドレスの項目とを備え、これらの項目が互いに対応付けられている。
オペレータIDの項目には、オペレータに一意に付与される識別情報を記憶される。送信先の項目には、オペレータが解析用データの送信先として設定するデバイスの種類が記憶される。電子メールアドレスの項目には、オペレータが解析用データの送信先として設定する電子メールのアドレスが記憶される。図11に示す例によれば、オペレータIDが「OP001」であるオペレータにより、PCとタブレットの電子メールアドレスが送信先の電子メールアドレスが設定されている。
自動送信部824は、変換部821により変換された解析用データを自動送信する。自動送信部824は、送信先登録部823から、送信先情報を取得し、取得した送信先情報を宛先として解析用データを送信する。たとえば自動送信部824は、送信先情報により示される電子メールアドレスを送信先とする電子メールを生成し、生成した電子メールの添付ファイルとして解析用データを送信する。
通信ユニット90は、通信ネットワークを介して、各種データの送受信を行う。通信ユニット90は、解析用データを自動送信するための通信規格をサポートする。通信ネットワークは、例えば、被加工物301を量産する工場内及び事業所内の通信回線、公衆通信回線、及び専用通信回線等を含む。なお、通信ユニット90は、無線または有線により通信ネットワークに接続して、情報を送受信できる。
タッチパネル100は、表示面を外側に向けた状態で加工装置1に設置される。タッチパネル100は、加工装置1に関する各種情報を表示する。タッチパネル100は、上述したログ解析ウィンドウ100W(図5)が表示できる。タッチパネル100は、加工条件の設定入力など、加工装置1に関する各種操作入力をオペレータから受け付ける。タッチパネル100は、上述したログ解析ウィンドウ100W(図5)の操作をオペレータから受け付けることができる。タッチパネル100は、表示手段の一例である。
コネクタ110は、外部記憶装置(外部記録媒体の一例)200などの他の装置と物理的に接続するための接続機能を提供できる。加工装置1は、コネクタ110を介して接続される外部記憶装置200に対して読み書きを実行できる。加工装置1は、たとえばコネクタ110を介して接続される外部記憶装置200に対して解析用データを出力できる。オペレータは、たとえば解析用データを記録させる外部記憶装置200をコネクタ110に接続した後、ログ解析ウィンドウ100Wをタッチパネル100に表示させて操作する。コネクタ110は、USB(Universal Serial Bus)、HDMI(登録商標)(High-Definition Multimedia Interface)などの汎用的な端子により構成できる。コネクタ110は、接続部の一例である。
図12を用いて、実施形態に係る加工装置1による処理の手順を説明する。図12は、実施形態に係る加工装置1による処理の手順の一例を示すフローチャートである。図12に示す加工装置1による処理は、制御ユニット80のデータ処理部82の各部により実行される。
図12に示すように、変換部821は、ログ解析ウィンドウ100W(図5参照)における実行ボタン114の操作を検出すると、データ記録部81からログ情報を読み込む(ステップS101)。すなわち、変換部821は、データ記録部81に記録されたログ情報(文字データ及び数値データ)の中から、ログ解析ウィンドウ100Wにおいて選択された項目及び設定された期間に対応するログ情報を読み込む。
続いて、変換部821は、ログ情報を解析用データに変換する(ステップS102)。すなわち、変換部821は、データ記録部81から読み込んだログ情報(文字データ及び数値データ)を解析し、ログ解析ウィンドウ100Wにおける出力データ形式の設定に従って、ログ情報を解析用データに変換する。
変換部821においてログ情報が解析用データに変換されると、出力部822は、オペレータからの指示に応じて、接続中の外部記憶装置200に解析用データを出力する(ステップS103)。
続いて、自動送信部824は、登録された送信先へ解析用データを自動送信して(ステップS104)、図12に示す処理を終了する。自動送信部824は、たとえば加工装置1の制御ユニット80のシステムにログイン中のオペレータIDに基づいて、送信先登録部823から送信先情報を取得する。そして、自動送信部824は、取得した送信先情報を宛先として、解析用データを添付した電子メールを自動的に送信する。
上述してきたように、実施形態に係る加工装置1は、チャックテーブル10と、加工ユニット20(加工手段の一例)と、データ記録部81(記録部の一例)と、データ処理部82(データ処理部の一例)とを備える。そして、データ処理部82は、データ記録部81に記録されたログ情報(文字データ及び数値データ)を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換する変換部821を備えることを特徴とする。
このように、実施形態に係る加工装置1は、記録されたログ情報(文字データ及び数値データ)を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換するので、オペレータ自らが解析用のデータを作成する必要がなく、加工装置1のログ情報に基づく解析を容易に実行できる。このため、オペレータの作業の効率化が図られる。
また、実施形態に係る加工装置1は、ログ情報(文字データ及び数値データ)をグラフまたは表に変換できる。このため、実施形態に係る加工装置1は、監視項目に対応する加工装置1の状況をオペレータに容易に把握させることができる。
また、ログ情報を記録するために予め設定される監視項目は、加工装置1の稼働状況、被加工物301、加工ユニット20、及び加工装置1にて発生したエラー信号のうちの少なくともいずれか一つに関するものであってよい。このため、実施形態に係る加工装置1は、オペレータに対して、加工装置1の稼働状況、被加工物301、加工ユニット20、及びエラーに関する解析をオペレータに提供できる。
また、実施形態に加工装置1は、外部記憶装置200(外部記録媒体の一例)を加工装置1に接続可能にするコネクタ110(接続部の一例)を更に備え、データ処理部82は、解析用データを外部記憶装置200に出力する出力部822をさらに備えてもよい。このため、実施形態に係る加工装置1は、加工装置1のログ情報による解析用データを持ち運び容易な状態でオペレータに提供できる。
また、実施形態に係る加工装置1は、通信ユニット90を介して、任意の情報機器にネットワークを経由して接続されてもよい。そして、データ処理部82は、送信先登録部823と、自動送信部824とを更に備えてもよい。送信先登録部823は解析用データの送信先を登録する。自動送信部824は、送信先登録部823に登録された送信先に対して、解析用データを自動送信する。このため、実施形態に係る加工装置1は、加工装置1のログ情報による解析用データを、オペレータの手動操作により変換されたタイミングで、オペレータが希望する送信先に自動的に提供できる。
また、上述した実施形態において、加工装置1は、外部記憶装置200が接続されている場合、外部記憶装置200に対する解析用データの出力とともに、解析用データの自動送信を行うか否かをオペレータに問い合わせてもよい。また、加工装置1は、外部記憶装置200が接続されていない場合、外部記憶装置200を接続するか否かをオペレータに問い合わせてもよい。また、加工装置1は、外部記憶装置200が接続されていないことを条件として、オペレータが事前に設定した送信先に解析用データを自動的に送信する制御を実行してもよい。
また、上述した実施形態において、データ処理部82は、ログ解析ウィンドウ100Wを介して、解析用データの出力を要求する項目の選択、解析対象期間の設定、及び出力データ形式の選択を受け付ける例を説明したが、この例に特に限定される必要はない。たとえばデータ処理部82は、解析対象項目が、稼働状況、被加工物301、加工ユニット20、又はエラー情報のいずれかであるかに応じて、解析対象期間及び出力データ形式がオペレータにより事前に設定されていてもよい。
また、図5に示すログ解析ウィンドウ100Wの構成は一例であり、出力データ形式設定領域において、折れ線グラフや散布図、回帰直線など、他のデータ形式が選択できてもよい。
また、自動送信部824は、解析用データを自動送信する際、解析用データを暗号化してもよい。自動送信部824は、解析用データの全てを暗号化するのではなく、秘匿性の高いデータなど、解析用データの一部を暗号化してもよい。また、自動送信部824が解析用データを自動送信する送信先として、オペレータは、PCやタブレットなどの装置以外に、クラウドサーバなどを設定することもできる。
[実施形態の変形例]
上述した実施形態では、オペレータによる操作に従って、加工装置1のログ情報による解析用データを外部記憶装置200に出力するとともに、オペレータが事前に登録した送信先へ自動送信する例を説明した。しかしながら、本発明に係る加工装置1は、この例に特に限定される必要はなく、たとえば、オペレータが事前に登録した設定に従って、解析用データを自動的に変換し、送信するようにしてもよい。
図13は、変形例に係る加工装置1の機能構成の一例を模式的に示す図である。図13に示すように、変形例に係る加工装置1は、自動送信設定登録部825と自動変換部826とを備える。
自動送信設定登録部825は、オペレータにより事前に設定される解析用データの自動送信設定情報を登録する。図14は、変形例に係る自動送信設定情報の一例を示す図である。図14に示すように、自動送信設定情報は、オペレータIDの項目と、送信要求日時の項目と、解析対象期間の項目と、解析対象項目の項目とを備え、これらの項目が互いに対応付けられている。
送信要求日時には、オペレータが解析用データの自動送信を要求する日時が登録される。解析対象期間には、オペレータが解析用データの出力を要求する期間、すなわち解析用データへの変換を要求するログ情報の記録期間が登録される。解析対象項目には、オペレータが解析用データの出力を要求する項目、すなわち解析用データへの変換を要求する監視項目が登録される。図14に示す例によれば、オペレータIDが「OP001」であるオペレータにより、前月の初日から末日までを解析対象期間とし、エラー情報を解析対象項目とする解析用データを、毎月1日に送信するように要求する自動送信設定情報が登録されている。
自動変換部826は、自動送信設定登録部825に登録された自動送信設定情報に基づいて、解析用データを自動変換する。自動変換部826は、自動送信設定登録部825の送信要求日時に合わせて、解析対象項目に対応するログ情報をデータ記録部81から取得し、取得したログ情報を解析用データに自動変換する。自動変換部826は、変換した解析用データの送信を自動送信部824に依頼する。自動変換部826は、解析用データの送信を自動送信部824に依頼する際、オペレータIDを合わせて送付する。
自動送信部824は、自動変換部826からの依頼を受けて、送信先登録部823に登録された送信先へ解析用データを送信する。自動送信部824は、自動変換部826からの依頼に含まれるオペレータIDに基づいて、送信先登録部823から送信先情報を取得できる。
このように、変形例に係る加工装置1によれば、たとえば毎月1日に前月一ヶ月分の解析データを自動で変換し、送信するというように、解析用データの変換から送信までが自動で行われる。すなわち、変形例に係る加工装置1は、加工装置1のログ情報による解析用データを、オペレータが希望するスケジュール及び希望する内容で自動的に提供できる。このため、変形例に係る加工装置1によれば、オペレータがログ解析ウィンドウ100Wなどを使って解析用データの出力操作を行わずに、解析用データを取得することができ、オペレータの作業効率をさらに向上できる。
なお、上述した変形例において、自動変換部826により実現される処理機能は、変換部821により実行されてもよい。この場合、変換部821は、自動送信設定登録部825に登録された自動送信設定情報に基づいて、解析用データを自動変換する。すなわち、変換部821は、自動送信設定登録部825の送信要求日時に合わせて、解析対象項目に対応するログ情報をデータ記録部81から取得し、取得したログ情報を解析用データに自動変換する。そして、変換部821は、変換した解析用データの送信を自動送信部824に依頼する。
[その他の実施形態]
なお、本発明に係る加工装置1は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。たとえば、加工装置1は、切削装置以外の研削装置やレーザー加工装置であってもよい。
また、上記の実施形態において説明した加工装置1の各構成要素は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、加工装置1の分散・統合の具体的形態は図示のものに限られず、その全部または一部を、各種の負荷や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散・統合して構成することができる。たとえばデータ処理部82の変換部821と出力部822と自動送信部824とが機能的または物理的に統合されていてもよい。
1 加工装置
10 チャックテーブル
20 加工ユニット
80 制御ユニット
81 データ記録部
82 データ処理部
821 変換部
822 出力部
823 送信先登録部
824 自動送信部
825 自動送信設定登録部
826 自動変換部
90 通信ユニット
100 タッチパネル
110 コネクタ

Claims (6)

  1. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、加工状況を監視するための項目として事前に設定された監視項目ごとに時系列で記録された該加工状況を示す情報をログ情報として記録する記録部と、データ処理部と
    を備える加工装置であって、
    該データ処理部は、
    該記録部に記録された該ログ情報を監視項目ごとに解析可能な解析用データに変換する変換部を備えることを特徴とする加工装置。
  2. 該変換部は、
    該ログ情報をグラフまたは表に変換することを特徴とする請求項1に記載の加工装置。
  3. 該監視項目は、
    加工装置の稼働状況、被加工物、加工手段、及び加工装置にて発生したエラー信号のうちの少なくともいずれか一つに関することを特徴とする請求項1に記載の加工装置。
  4. 該加工装置は、
    外部記録媒体を該加工装置に接続可能にする接続部を更に備え、
    該データ処理部は、
    該解析用データを該外部記録媒体に出力する出力部を
    更に備えることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の加工装置。
  5. 該加工装置は、任意の情報機器にネットワークを経由して接続され、
    該データ処理部は、
    該解析用データの送信先を登録する送信先登録部と、
    該送信先に該解析用データを送信する自動送信部と
    を更に備えることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の加工装置。
  6. 該データ処理部は、
    該解析用データの送信要求日時と、該解析用データの解析対象期間と、該解析用データの解析対象項目とを自動送信設定情報として事前に登録する自動送信設定登録部と、
    該自動送信設定登録部に登録されている該自動送信設定情報に従って、該記録部に記録された該ログ情報を該解析用データに変換する自動変換部とを更に備え、
    該自動送信部は、
    該自動変換部により変換された該解析用データを該送信先登録部に登録された該送信先へ送信することを特徴とする請求項5に記載の加工装置。
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