JP7408235B2 - 加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、保持テーブルと、加工ユニットと、を有し、該保持テーブルで保持された板状の被加工物を該加工ユニットで加工する加工装置に関する。

携帯電話やコンピュータ等の電子機器に使用されるデバイスチップや電子部品の製造工程では、半導体ウェーハやセラミックス基板等の板状の被加工物が各種の加工装置で加工される。例えば、ウェーハの表面に互いに交差する複数の分割予定ラインが設定される。ウェーハの表面の分割予定ラインによって区画される各領域には、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ(Large Scale Integration)等のデバイスが形成される。その後、分割予定ラインに沿ってウェーハを分割すると個々のデバイスチップを形成できる。

ウェーハ等の被加工物の分割は、例えば、切削ユニットを有する切削装置やレーザ加工ユニットを有するレーザ加工装置等の加工装置で実施される。加工装置は、被加工物を撮像する撮像ユニットを備える。切削ユニットまたはレーザ加工ユニット等の加工ユニットにより被加工物を分割予定ラインに沿って加工する際、予め撮像ユニットで被加工物の表面側が撮像される。そして、分割予定ラインの位置及び向き等が検出され、加工ユニットと被加工物との相対的な位置や向きが調整される（特許文献１参照）。

また、加工装置は、各構成要素を制御するコンピュータ等で構成される制御ユニットを備える。該制御ユニットは各種の被加工物を加工するための加工条件等の情報が登録される記憶部を有する。制御ユニットは、記憶部に登録された加工条件を読み出し、該加工条件に従って加工ユニット等を制御して被加工物を分割予定ラインに沿って加工する。

特開２００５－８５９７３号公報

加工装置を操作する作業者は、各種の被加工物を加工する間に、それぞれの被加工物に特有の注意事項や問題点を見つけることがある。そして、作業者は、自身や他の作業者が後に該被加工物や同種の被加工物を加工する際にこれらの情報を参照できるように、加工装置に付随して設置される情報端末や記録ノート等の各種の媒体に該情報を記録する。そして、被加工物を加工装置で加工する際、作業者は、被加工物の加工に有用な情報が該媒体に記録されているか否かを確認し、該情報を確認して加工装置を操作する。

ここで、被加工物の表面の特定の点に注意事項や問題点等の記録されるべき情報が生じる場合がある。この場合、該情報の内容を示す文字等とともに該特定の点の位置情報が記録される必要がある。しかしながら、加工装置の外部の媒体に位置情報を記録するのは手間がかかる。また、該媒体に記録された情報の内容を確認するために被加工物の表面の該特定の点を撮像ユニットで撮像しようとすると、作業者は該媒体に記録された位置情報に基づいて撮像ユニット及び被加工物を精密に移動させねばならず、手間と時間がかかる。

本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被加工物に関する情報を位置情報とともに容易に登録できる加工装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、板状の被加工物を加工する加工装置であって、該被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、該保持テーブルで保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、表示ユニットと、入力ユニットと、制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該撮像ユニットで撮像された撮像画像を含み、該撮像画像に表示された該被加工物の特定の点を該入力ユニットで選択できる位置選択画面を該表示ユニットに表示させる位置選択画面表示部と、該表示ユニットに表示された該位置選択画面において該被加工物の該特定の点が選択されたとき、文字情報を該入力ユニットで入力できる情報入力欄を該表示ユニットに表示させる情報入力欄表示部と、該情報入力欄に入力された該文字情報と、該特定の点の該被加工物における座標情報と、を関連付けて記憶する記憶部と、を含むことを特徴とする加工装置が提供される。

好ましくは、該制御ユニットは、該被加工物の形状を表す模式図を含み、該座標情報に基づいて該模式図上に配され該特定の点の位置を示す目印が表示された情報選択画面を該表示ユニットに表示させる情報選択画面表示部と、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該特定の点に関連付けられて該記憶部に記憶された該文字情報を該表示ユニットに表示させる情報表示部と、をさらに含む。

さらに、好ましくは、該情報表示部は、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該記憶部に記憶された該座標情報に基づいて該撮像ユニット及び該保持テーブルを相対的に移動させ、該被加工物の該特定の点を該撮像ユニットが撮像した画像を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させる。

または、好ましくは、該記憶部は、該文字情報と、該座標情報と、に加えて該撮像ユニットで撮像した該撮像画像を関連付けて記憶し、該情報表示部は、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該記憶部に記憶された該撮像画像を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させる。

または、好ましくは、該制御ユニットは、該被加工物の該保持テーブルにおける位置を第１の保持位置として該記憶部に登録させる第１の保持位置登録部と、該被加工物と同種の新規被加工物が該保持テーブルに保持されたとき、該新規被加工物の該保持テーブルにおける位置を第２の保持位置として該記憶部に登録させる第２の保持位置登録部と、該記憶部に登録された該第１の保持位置及び該第２の保持位置の位置ずれ量を算出し、該記憶部に記憶された該座標情報を該位置ずれ量で補正する位置ずれ補正部と、をさらに有し、該情報表示部は、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該位置ずれ補正部により補正された該座標情報に基づいて該撮像ユニット及び該保持テーブルを相対的に移動させ、該被加工物の該特定の点に対応する位置において該撮像ユニットに該新規被加工物を撮像させ、該新規被加工物が写る画像を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させる。

また、好ましくは、該入力ユニットは、該表示ユニットに重ねられたタッチパネルである。

本発明の一態様に係る加工装置では、作業者は、表示ユニットに表示された撮像画像を見て特定の点を選択するだけで該特定の点の位置を座標情報として記録できる。そして、文字を入力するだけで、文字情報を座標情報と関連付けて加工装置に登録できる。また、該加工装置は、座標情報に基づいて自動的に被加工物等を移動できる。作業者は、確認したい情報を選択するだけで被加工物の該特定の点が写る撮像画像を確認できる。そのため、情報を入力する手間、管理する手間、及び確認する手間が大幅に軽減される。

したがって、本発明により被加工物に関する情報を位置情報とともに容易に登録できる加工装置が提供される。

フレームユニットを模式的に示す斜視図である。 加工装置を模式的に示す斜視図である。 図３（Ａ）は、保持テーブルで保持された被加工物を模式的に示す断面図であり、図３（Ｂ）は、保持テーブルで保持された被加工物の表面を撮像ユニットで撮像する様子を模式的に示す断面図であり、図３（Ｃ）は、撮像ユニット及び保持テーブルを相対的に移動させる様子を模式的に示す断面図である。 制御ユニットの構成を説明するブロック図である。 位置選択画面を表示する表示ユニットを模式的に示す正面図である。 情報入力欄を表示する表示ユニットを模式的に示す正面図である。 情報選択画面を表示する表示ユニットを模式的に示す正面図である。 情報を表示する表示ユニットを模式的に示す正面図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。本実施形態に係る加工装置は、例えば、被加工物を切削する切削装置や被加工物をレーザ加工するレーザ加工装置等の加工装置である。図１は、加工装置で加工される被加工物１を含むフレームユニット１１を模式的に示す斜視図である。まず、被加工物１について説明する。

被加工物１は、例えば、Ｓｉ（シリコン）、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、ＧａＮ（ガリウムナイトライド）、ＧａＡｓ（ヒ化ガリウム）、若しくは、その他の半導体等の材料、または、サファイア、ガラス、石英等の材料からなる基板等である。該ガラスは、例えば、アルカリガラス、無アルカリガラス、ソーダ石灰ガラス、鉛ガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス等である。

被加工物１の表面１ａ側には互いに交差する複数の分割予定ライン３が設定される。分割予定ライン３によって区画された各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイス５が形成されている。

なお、被加工物１は円板状のウェーハ以外でもよく、被加工物１の材質、形状、構造等に制限はない。例えば、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板を被加工物１として用いることもできる。また、デバイス５の種類、数量、配置等にも制限はない。表面１ａに複数のデバイス５が形成された被加工物１の裏面１ｂ側から研削して薄化し、被加工物１を分割予定ライン３に沿って分割すると、個々のデバイスチップが得られる。

被加工物１は、加工装置に搬入され加工される前に、基材層及び糊層を備える粘着テープ７と、金属等の材料で形成された環状フレーム９と、と一体化されてフレームユニット１１となる。フレームユニット１１では、環状フレーム９の開口を塞ぐように該環状フレーム９に粘着テープ７が貼着されており、環状フレーム９の該開口に露出した粘着テープ７が被加工物１の裏面１ｂに貼着されている。すなわち、被加工物１は、粘着テープ７を介して環状フレーム９に支持される。

次に、本実施形態に係る加工装置について説明する。該加工装置は、被加工物１を分割予定ライン３に沿って加工して分割する。例えば、該加工装置は、加工ユニットとして円環状の切削ブレードを備える切削ユニットを含む切削装置である。または、レーザビームを分割予定ライン３に沿って被加工物１に集光させるレーザ加工ユニットを含むレーザ加工装置である。以下、本実施形態に係る加工装置が切削装置である場合を例に説明するが、本実施形態に係る加工装置はこれに限定されない。

図２は、切削装置（加工装置）２を模式的に示す斜視図である。切削装置２は、各構成要素を支持する基台４を備えている。基台４の中央上部には、Ｘ軸移動テーブル６と、該Ｘ軸移動テーブル６をＸ軸方向（加工送り方向）に移動させるＸ軸方向移動機構と、Ｘ軸方向移動機構を覆う排水路２０と、が設けられている。該Ｘ軸方向移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール１２を備えており、Ｘ軸ガイドレール１２には、Ｘ軸移動テーブル６がスライド可能に取り付けられている。

Ｘ軸移動テーブル６の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレール１２に平行なＸ軸ボールねじ１４が螺合されている。Ｘ軸ボールねじ１４の一端部には、Ｘ軸パルスモータ１６が連結されている。Ｘ軸パルスモータ１６でＸ軸ボールねじ１４を回転させると、Ｘ軸移動テーブル６はＸ軸ガイドレール１２に沿ってＸ軸方向に移動する。

Ｘ軸移動テーブル６上には、被加工物１を吸引、保持するための保持テーブル８が設けられている。保持テーブル８は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、保持テーブル８の上面に垂直な回転軸の周りに回転可能である。また、保持テーブル８は、上述したＸ軸方向移動機構によりＸ軸方向に送られる。

保持テーブル８の上部には、被加工物１の径に対応する円板状の多孔質部材が露出しており、該多孔質部材の上面が被加工物１を吸引、保持する保持面８ａとなる。この多孔質部材には、保持テーブル８の内部に形成された吸引路（不図示）を介して吸引源（不図示）が接続されている。該保持面８ａの周囲には、フレームユニット１１の環状フレーム９を固定するためのクランプ１０が配設されている。

図３（Ａ）は、保持テーブル８で保持された被加工物１を模式的に示す断面図である。フレームユニット１１の環状フレーム９は、クランプ１０に把持される。そして、被加工物１は、粘着テープ７を介して保持テーブル８で吸引保持される。

基台４の上面には、被加工物１を切削する２つの切削ユニット１８を支持する支持構造２２が、Ｘ軸方向移動機構を跨ぐように配置されている。支持構造２２の前面上部には、２つの切削ユニット１８をそれぞれＹ軸方向（割り出し送り方向）及びＺ軸方向に移動させる切削ユニット移動機構が設けられている。

切削ユニット移動機構は、支持構造２２の前面に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２４を備えている。Ｙ軸ガイドレール２４には、２つの切削ユニット１８のそれぞれに対応する２つのＹ軸移動プレート２６がスライド可能に取り付けられている。それぞれのＹ軸移動プレート２６の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、それぞれに対応するＹ軸ガイドレール２４に平行なＹ軸ボールねじ２８が螺合されている。

それぞれのＹ軸ボールねじ２８の一端部には、Ｙ軸パルスモータ２８ａが連結されている。Ｙ軸パルスモータ２８ａでＹ軸ボールねじ２８を回転させると、対応するＹ軸移動プレート２６は、Ｙ軸ガイドレール２４に沿ってＹ軸方向に移動する。Ｙ軸移動プレート２６の表面（前面）には、それぞれ、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール３０が設けられている。それぞれのＺ軸ガイドレール３０には、Ｚ軸移動プレート３２がスライド可能に取り付けられている。

Ｚ軸移動プレート３２の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３０に平行なＺ軸ボールねじ３４が螺合されている。Ｚ軸ボールねじ３４の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３６が連結されている。Ｚ軸パルスモータ３６でＺ軸ボールねじ３４を回転させれば、Ｚ軸移動プレート３２は、Ｚ軸ガイドレール３０に沿ってＺ軸方向（切り込み送り方向）に移動する。

２つのＺ軸移動プレート３２のそれぞれの下部には、保持テーブル８で保持された被加工物１を切削（加工）する切削ユニット（加工ユニット）１８と、保持テーブル８で保持された被加工物１を撮像する撮像ユニット３８と、が固定されている。Ｙ軸移動プレート２６をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット１８及び撮像ユニット３８はＹ軸方向（割り出し送り方向）に移動する。Ｚ軸移動プレート３２をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット１８及び撮像ユニット３８はＺ軸方向（切り込み送り方向）に移動する。

切削ユニット１８は、Ｙ軸方向に平行な回転軸を構成するスピンドル１８ａ（図３（Ｂ）参照）を備える。スピンドル１８ａの先端には円環状の切削ブレード１８ｂ（図３（Ｂ）参照）が装着される。スピンドル１８ａの他端側にはモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。該回転駆動源を使用してスピンドル１８ａを回転させると、スピンドル１８ａの先端に装着された切削ブレード１８ｂが回転する。

図３（Ｂ）には、切削ブレード１８ｂを模式的に示す側面図が含まれている。切削ブレード１８ｂは、例えば、円環状の基台１８ｃと、基台１８ｃの外周部に固定された円環状の刃先１８ｄと、を有している。基台１８ｃの中央部には、この基台１８ｃを貫通する略円形の装着穴が設けられており、切削ブレード１８ｂを切削ユニット１８に装着する際には、該装着穴にスピンドル１８ａが突き通される。

切削ブレード１８ｂの刃先１８ｄは、金属または樹脂等で形成された結合材と、該結合材に分散固定された複数のダイヤモンド砥粒と、を含み、砥石部とも呼ばれる。結合材からはダイヤモンド砥粒が表出しており、切削ブレード１８ｂを回転させながら被加工物１に切り込ませると、表出した該ダイヤモンド砥粒が被加工物１に接触して被加工物１が切削される。

切削装置２は、保持テーブル８で保持された被加工物１の切削を実施する際、まず、撮像ユニット３８で被加工物１の表面１ａを撮像し、分割予定ライン３の位置及び向きを検出する。そして、保持テーブル８を回転させて分割予定ライン３の向きをＸ軸方向（加工送り方向）に合わせる。その後、切削ブレード１８ｂを分割予定ライン３の延長線上方に位置付ける。そして、切削ユニット１８をＺ軸方向に沿って下降させて切削ブレード１８ｂを所定の高さ位置に位置付ける。

その後、Ｘ軸方向移動機構を作動させて保持テーブル８を加工送り方向に移動させ、高速回転する切削ブレード１８ｂを被加工物１に切り込ませて該被加工物１を切削する。一つの分割予定ライン３に沿って切削ブレード１８ｂで被加工物１を切削した後、切削ユニット１８を割り出し送り方向に移動させ、隣接する他の分割予定ライン３に沿って同様に被加工物１を切削する。

一つの方向に沿ったすべての分割予定ライン３に沿って被加工物１を切削した後、保持テーブル８を回転させて他の方向に沿った分割予定ライン３に沿って被加工物１を切削する。そして、被加工物１のすべての分割予定ライン３に沿って被加工物１を切削すると、切削装置２における被加工物１の切削が完了する。

切削装置２は、さらに、切削装置２の状態や操作画面、警告画面等を表示する表示ユニットと、切削装置２に各種の指令を入力する入力ユニットと、を備える。表示ユニットは、例えば、液晶ディスプレイである。また、入力ユニットは、例えば、キーボード及びマウスである。

さらに、入力ユニットは、表示ユニットに重ねられたタッチパネルでもよい。この場合、切削装置２は、表示ユニットと入力ユニットが一体化されたタッチパネル付きディスプレイ４０を備えることとなる。切削装置２を使用する作業者は、タッチパネルを用いて切削装置２を操作でき、また、切削装置２に加工条件等の情報を入力できる。以下、入力ユニットが表示ユニットに重ねられたタッチパネルである場合を例に説明するが、本実施形態に係る加工装置はこれに限定されない。

切削装置２は、さらに、制御ユニット４２を備える。制御ユニット４２は、切削ユニット１８、保持テーブル８、各移動機構、撮像ユニット３８、及び表示ユニット等の切削装置２の各構成要素を制御する機能を有する。制御ユニット４２は、所定の加工条件に従って切削装置２の各構成要素を制御して、被加工物１の加工を遂行する。

制御ユニット４２は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成される。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御ユニット４２の機能が実現される。

切削装置２では、次々に同種の被加工物１が搬入され、加工され、搬出される。ここで、切削装置２を操作する作業者は、被加工物１を加工する際に、被加工物１に特有の注意事項や問題点を見つけることがある。

このとき、作業者は、自身や他の作業者が後に同種の被加工物１を加工する際にこれらの情報を参照できるように、切削装置２に付随して設置される情報端末や記録ノート等の各種の媒体に該情報を記録する。そして、被加工物１を切削装置２で加工する際、作業者は、被加工物１の加工に有用な情報が該媒体に記録されているか否かを確認し、該情報を確認して切削装置２を操作する。

ここで、被加工物１の表面１ａの特定の点に注意事項や問題点等の記録されるべき情報が生じる場合がある。この場合、該情報の内容を説明する文字等とともに被加工物１における該特定の点の位置を示す位置情報が記録される必要がある。しかしながら、切削装置２の外部の媒体に位置情報を正確に記録するのは手間がかかる。

また、該媒体に記録された情報の内容を被加工物１で確認するためには、被加工物１の表面１ａの特定の点を撮像ユニット３８で撮像する必要がある。そのために、作業者は、該媒体に記録された位置情報に基づいて切削装置２を操作して撮像ユニット３８及び被加工物１を精密に移動させなければならず、やはり手間がかかる。

そこで、本実施形態に係る加工装置である切削装置２では、被加工物１の表面１ａにおいて記録するべき情報が生じた特定の点について、その位置を示す座標情報とともに該情報の内容を表す文字情報を制御ユニット４２に登録可能とした。そして、切削装置２は、登録された該座標情報に基づいて保持テーブル８及び撮像ユニット３８を移動でき、該特定の点が写る撮像画像を自動的に表示ユニットに表示できる。以下、このような機能を実現するための制御ユニット４２の構成について説明する。

図４は、制御ユニット４２の構成を模式的に示すブロック図である。制御ユニット４２を構成する各部の機能は、例えば、ソフトウェアによりコンピュータ等のハードウェア上に実現される。制御ユニット４２は、各種の情報及びソフトウェア等を記憶する記憶部４４を備える。

次に、被加工物１の表面１ａの特定の点に関する情報を制御ユニット４２の記憶部４４に記憶させる機能について説明する。まず、制御ユニット４２は、被加工物１の特定の点を該入力ユニットで選択できる位置選択画面を該表示ユニットに表示させる。すなわち、制御ユニット４２は、位置選択画面を該表示ユニットに表示させる位置選択画面表示部４６を備える。

図５は、表示ユニットとして機能するタッチパネル付きディスプレイ４０に表示された位置選択画面６０を模式的に示す正面図である。位置選択画面６０は、例えば、タッチパネル付きディスプレイ４０に表示されている画面が位置選択画面６０であることを示す画面説明欄６２を含む。また、位置選択画面６０には、例えば、タッチパネルで制御ユニット４２に各種の指令を入力する際に使用されるボタン等のインターフェース画像７０が含まれていてもよい。

さらに、位置選択画面６０には、撮像ユニット３８で撮像されて取得された撮像画像６４が含まれる。撮像画像６４には、被加工物１の表面１ａの拡大画像が写る。例えば、撮像画像６４には、被加工物１の表面１ａの分割予定ライン３及びデバイス５等が写る。

まず、切削装置２を使用する作業者は、記憶されるべき情報が存在する特定の点が撮像画像６４に写るように、切削装置２を操作して保持テーブル８及び撮像ユニット３８を相対的に移動させる。図３（Ｂ）には、撮像画像６４に被加工物１の表面１ａの該特定の点が写るように動かされた保持テーブル８及び撮像ユニット３８を模式的に示す側面図が含まれている。

次に、作業者は、撮像画像６４に写る該特定の点を選択する。例えば、タッチパネルで撮像画像６４に写る該特定の点をタッチすることで、該特定の点を選択する。このとき、制御ユニット４２は、撮像画像６４上の該特定の点の位置と、保持テーブル８及び撮像ユニット３８の位置関係と、に基づいて、被加工物１の表面１ａにおける該特定の点の座標情報を作成する。

制御ユニット４２は、該表示ユニットに表示された位置選択画面６０において被加工物１の該特定の点が選択されたとき、文字情報を該入力ユニットで入力できる情報入力欄を該表示ユニットに表示させる情報入力欄表示部４８を備える。図６は、表示ユニットとして機能するタッチパネル付きディスプレイ４０に表示された情報入力画面６６を模式的に示す正面図である。

情報入力画面６６は、例えば、位置選択画面６０に情報入力欄６８を重ねて表示させることで形成される。情報入力画面６６に含まれる画面説明欄６２には、例えば、タッチパネル付きディスプレイ４０に表示されている画面が情報入力画面６６であることが表示される。切削装置２を操作する作業者は、入力ユニットを使用して情報入力欄６８に該特定の点について記憶されるべき情報の内容を説明する文字情報を入力する。

例えば、情報入力画面６６には、タッチパネルで情報入力欄６８に文字を入力するためのインターフェース画像７０が表示されてもよく、作業者はタッチパネルを使用して情報入力欄６８に文字情報を入力する。または、入力ユニットとして切削装置２にキーボードが接続されていてもよく、作業者は該キーボードを使用して情報入力欄６８に文字情報を入力してもよい。ここで、文字情報には、文字に加えて数字及び記号等が含まれる。

なお、文字入力が実施される際、作業者は一文字ずつ文字を選択してタイピングする必要はない。例えば、該特定の点に関する情報として比較的高い頻度で入力される文字列が存在する場合、該文字列を一度のタッチで入力できる短縮入力ボタンがインターフェース画像７０に含まれてもよく、作業者は短縮入力ボタンを入力に使用してもよい。

ここで、情報入力欄６８に入力される文字情報の内容に特に限定はない。例えば、制御ユニット４２にパターン認識用のキーパターンを登録する際に該特定の点に形成されているデバイス５をキーパターンに設定するのが望まれない場合、その旨を示す文字情報が情報入力欄６８に入力される。

また、例えば、該特定の点に分割予定ライン３上に形成されるＴＥＧ（Test Element Group）が存在し、分割予定ライン３に沿って被加工物１を加工したときに形成される加工痕の幅の検査を該特定の点でしてはならない場合、その旨を示す文字情報が入力される。さらに、例えば、該特定の点が分割予定ライン３に沿って被加工物１に形成される加工痕の輪郭に形成されるチッピングと呼ばれる欠けの評価に適さない場合、その旨を示す文字情報が入力される。

制御ユニット４２は、情報入力欄６８に文字情報が入力されたとき、情報入力欄６８に入力された該文字情報と、該特定の点の被加工物１における座標情報と、を関連付けて記憶部４４に記憶させる。そのため、作業者は、被加工物１における該特定の点の位置に関する情報を別途入力する必要がない。

例えば、該特定の点の位置に関する情報を作業者が文字や絵等の手段により表現して記録する場合、少なくない手間がかかる。また、位置に関する情報を正確に記録するのは容易ではない。その一方で、本実施形態に係る加工装置においては、作業者は撮像画像６４を見て特定の点を指定するだけで該特定の点の座標情報を生成できる。そのため、該特定の点に関する文字情報を該座標情報と関連付けて極めて容易かつ正確に記録できる。

次に、記憶部４４に記憶された情報を該表示ユニットに表示させる機能と、該機能を実現する制御ユニット４２の構成と、について説明する。まず、切削装置２は、該表示ユニットに表示させる情報を作業者が選択できる情報選択画面を該表示ユニットに表示させる。制御ユニット４２は、該情報選択画面を該表示ユニットに表示させる情報選択画面表示部５０を備える。

図７は、表示ユニットとして機能するタッチパネル付きディスプレイ４０に表示された情報選択画面７２を模式的に示す正面図である。情報選択画面７２は、画面説明欄６２と、被加工物１の形状を表す模式図７４と、を含み、該模式図７４上に該特定の点の位置を示す目印７６が表示されている。

ここで、模式図７４に重ねられて表示される目印７６は、記憶部４４に記憶された座標情報の数だけ生成され、それぞれの座標情報に基づいて模式図７４上に配される。図７には、模式図７４上に３つの目印７６が表示されている場合が例示されている。この場合、記憶部４４に情報が記憶された特定の点が３つであることがわかる。そして、各目印７６で示された特定の点に関連する情報が記憶部４４に記憶されていることがわかる。

なお、該目印７６は、該座標情報に関連付けられた文字情報の内容の種別に応じた色または形状で模式図７４上に表示されてもよい。また、情報選択画面７２には、選択された種別の内容の文字情報に対応する目印７６だけを模式図７４上に表示する情報種別選択ボタンが表示されてもよい。情報選択画面表示部５０は、作業者により該情報種別選択ボタンが使用されたとき、特定の種別に該当する目印７６だけを模式図７４上に表示させる。

制御ユニット４２は、情報選択画面７２に表示された目印７６が該入力ユニットで選択されたとき、記憶部４４に記憶された該文字情報のうち該目印７６に対応する該特定の点に関連付けられた該文字情報を該表示ユニットに表示させる情報表示部５２をさらに含む。図８は、表示ユニットとして機能するタッチパネル付きディスプレイ４０に表示された情報表示画面７８を模式的に示す正面図である。

情報表示画面７８には、例えば、選択された特定の点の位置が目印７６の位置で示された被加工物１の模式図７４と、文字情報表示欄８０と、画面説明欄６２と、が含まれる。情報表示部５２は、該特定の点に関連付けられた文字情報を記憶部４４から読み出し、文字情報表示欄８０に該文字情報を表示させる。このように、切削装置２を使用する作業者は、情報選択画面７２において模式図７４に重ねて表示される目印７６を選択するだけで、記録された文字情報の内容を極めて容易に確認できる。

さらに、情報表示部５２は、情報選択画面７２に表示された目印７６が該入力ユニットで選択されたとき、被加工物１の該特定の点を撮像ユニット３８が撮像した撮像画像６４を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させてもよい。すなわち、情報表示画面７８には、撮像画像６４が含まれてもよい。

情報表示部５２は、記憶部４４に記憶された該特定の点の該座標情報に基づいて撮像ユニット３８及び保持テーブル８を相対的に移動させ、撮像ユニット３８の下方に該特定の点を位置付ける。図３には、該特定の点の該座標情報に基づいて撮像ユニット３８及び保持テーブル８が相対的に移動する様子を模式的に示す側面図が含まれている。

この場合、切削装置２を使用する作業者は、該特定の点に関する文字情報を確認できるだけでなく、該特定の点を写す撮像画像６４を確認できるため、該特定の点の状態をより詳細に把握できる。このとき、撮像ユニット３８及び保持テーブル８が自動的に動かされるため、作業者は、撮像ユニット３８及び保持テーブル８を移動させる操作をする必要がない。その上、作業者が操作を誤り該特定の点ではない位置を撮像する可能性もない。

また、切削装置２は、被加工物１の加工が完了する等して保持テーブル８から被加工物１が搬出された後においても、記憶部４４に記憶された被加工物１の該特定の点に関する情報を確認できる機能を備えてもよい。この場合、例えば、被加工物１が保持テーブル８から搬出された後においても該特定の点の写る撮像画像６４を確認できるように、記憶部４４には、撮像ユニット３８で撮像した撮像画像６４が記憶されてもよい。

すなわち、記憶部４４は、該特定の点に関する該文字情報と、該座標情報と、に加えて被加工物１を撮像ユニット３８で撮像した撮像画像６４を関連付けて記憶部４４に記憶してもよい。なお、記憶部４４には、例えば、表示ユニットに表示された位置選択画面６０において被加工物１の該特定の点が選択されたとき、該位置選択画面６０に含まれていた撮像画像６４が記憶される。

そして、情報表示部５２は、情報選択画面７２に表示された目印７６が該入力ユニットで選択されたとき、記憶部４４に記憶された撮像画像６４を読み出して該文字情報とともに該表示ユニットに表示させる。この場合、作業者は、被加工物１が保持テーブル８から搬出された後においても、記憶部４４に登録された該文字情報とともに該特定の点が写る撮像画像６４を確認できる。

また、加工される前の被加工物１が写る撮像画像６４が記憶部４４に記憶される場合、該撮像画像６４は、被加工物１が保持テーブル８から搬出される前においても有用である。例えば、加工が実施された被加工物１を撮像ユニット３８で撮像した画像と、記憶部４４に記憶された加工前の被加工物１が写る撮像画像６４と、を比較することもできる。

ところで、切削装置２では、同種の複数の被加工物１が次々に連続的に加工される。そして、特定の点に関する文字情報及び座標情報の記憶部４４への登録に使用された被加工物１とは異なる新規被加工物において該特定の点に関する文字情報と、該新規被加工物における該特定の点の状態と、を確認したい場合がある。

この場合、制御ユニット４２の情報選択画面表示部５０が表示ユニットに情報選択画面７２を表示させ作業者が模式図７４上の目印７６を選択したときに、記憶部４４に登録された座標情報に基づいて撮像ユニット３８等を移動させることが考えられる。しかしながら、該座標情報が取得された際の保持テーブル８の保持面８ａにおける被加工物１の位置と、保持面８ａにおける新規被加工物の位置と、が同一になるとは限らない。

より詳細に説明すると、切削装置２では、Ｘ軸方向移動機構及び切削ユニット移動機構により保持テーブル８と、切削ユニット１８及び撮像ユニット３８と、が相対的に動かされる。そして、制御ユニット４２は、被加工物１の撮像や加工が所定の通りに実施されるように、保持テーブル８と、撮像ユニット３８等と、の相対的な位置関係を制御することで被加工物１を移動させる。

そのため、実用のために、該特定の点の該被加工物１における座標情報を登録する際、保持テーブル８と、撮像ユニット３８等と、の位置関係が該座標情報として記憶部４４に記憶される場合がある。なお、保持テーブル８の保持面８ａにおける被加工物１の位置が変化しない限り、該位置関係が該座標情報として記憶部４４に記憶されても特に問題とはならない。

しかしながら、保持テーブル８に被加工物１に代えて新規被加工物が保持されたときに問題となる場合がある。すなわち、記憶部４４に登録された該座標情報に基づいて新規被加工物を保持する保持テーブル８と、撮像ユニット３８と、の相対位置を調整しても、新規被加工物における特定の点が撮像ユニット３８の下方に位置付けられない場合がある。これは、被加工物１と新規被加工物とで保持テーブル８の保持面８ａにおける固定位置が完全に同一になるとは限らないためである。

そこで、本実施形態に係る加工装置である切削装置２は、保持テーブル８に保持された新規被加工物における該特定の点を撮像ユニット３８の下方に位置付けるために、記憶部４４に登録された座標情報を補正する。すなわち、被加工物１と新規被加工物との保持テーブル８の保持面８ａにおける固定位置の位置ずれ量を算出し、該位置ずれ量で座標情報を補正し、補正された位置情報に基づいて保持テーブル８及び撮像ユニット３８を相対的に移動させる。

制御ユニット４２は、被加工物１の保持テーブル８における位置を第１の保持位置として記憶部４４に登録させる第１の保持位置登録部５６を有する。さらに、制御ユニット４２は、被加工物１と同種の新規被加工物が保持テーブル８に保持されたとき、該新規被加工物の保持テーブル８における位置を第２の保持位置として記憶部４４に登録させる第２の保持位置登録部５８を有する。

ここで、保持テーブル８における被加工物１及び新規被加工物の位置の検出は、例えば、被加工物１等を分割予定ライン３に沿って加工するために、撮像ユニット３８で被加工物１等を撮像して分割予定ライン３の位置及び向きを検出する際に実施されるとよい。

制御ユニット４２は、記憶部４４に登録された該第１の保持位置及び該第２の保持位置の位置ずれ量を算出し、記憶部４４に記憶された該座標情報を該位置ずれ量で補正する位置ずれ補正部５４をさらに有する。そして、情報表示部５２は、情報選択画面７２に表示された目印７６が該入力ユニットで選択されたとき、位置ずれ補正部５４により補正された座標情報に基づいて撮像ユニット３８及び保持テーブル８を相対的に移動させる。

すなわち、情報表示部５２は、被加工物１の該特定の点に対応する位置において撮像ユニット３８に該新規被加工物を撮像させる。そして、情報表示部５２は、該新規被加工物が写る画像を該特定の点に関する該文字情報とともに該表示ユニットに表示させて情報表示画面７８を生成する。このように、記憶部４４に記憶された座標情報を補正できると、複数の被加工物１を連続的に加工する過程において、いずれの被加工物１が保持テーブル８に保持されていても、該特定の点が写る撮像画像６４を表示ユニットに表示できる。

なお、本発明は、上記の実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記の実施形態において、加工装置（切削装置２）のタッチパネル付きディスプレイ４０に被加工物１の特定の点に関する文字情報及び座標情報を表示させる場合について説明したが、本発明の一態様に係る加工装置はこれに限定されない。すなわち、記憶部４４が記憶する各種の情報は、加工装置の外部の表示装置において表示されてもよい。

例えば、記憶部４４に記憶された情報が引き出されて有線、無線、または記憶媒体を介して加工装置の外部のコンピュータ等に移され、該コンピュータ等のモニターに表示されてもよい。この場合、該モニターが表示ユニットとなる。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１ 被加工物
１ａ 表面
１ｂ 裏面
３ 分割予定ライン
５ デバイス
７ 粘着テープ
９ 環状フレーム
１１ フレームユニット
２ 切削装置（加工装置）
４ 基台
６ Ｘ軸移動テーブル
８ 保持テーブル
８ａ 保持面
１０ クランプ
１２，２４，３０ ガイドレール
１４，２８，３４ ボールねじ
１６，２８ａ，３６ パルスモータ
１８ 切削ユニット（加工ユニット）
１８ａ スピンドル
１８ｂ 切削ブレード
１８ｃ 基台
１８ｄ 刃先
２０ 排水路
２２ 支持構造
２６，３２ 移動プレート
３８ 撮像ユニット（カメラ）
４０ タッチパネル付きディスプレイ
４２ 制御ユニット
４４ 記憶部
４６ 位置選択画面表示部
４８ 情報入力欄表示部
５０ 情報選択画面表示部
５２ 情報表示部
５４ 位置ずれ補正部
５６ 第１の保持位置登録部
５８ 第２の保持位置登録部
６０ 位置選択画面
６２ 画面説明欄
６４ 撮像画像
６６ 情報入力画面
６８ 情報入力欄
７０ インターフェース画像
７２ 情報選択画面
７４ 模式図
７６ 目印
７８ 情報表示画面
８０ 文字情報表示欄

Claims (6)

1. 板状の被加工物を加工する加工装置であって、
   該被加工物を保持する保持テーブルと、
   該保持テーブルで保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
   該保持テーブルで保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、
   表示ユニットと、
   入力ユニットと、
   制御ユニットと、を備え、
   該制御ユニットは、
   該撮像ユニットで撮像された撮像画像を含み、該撮像画像に表示された該被加工物の特定の点を該入力ユニットで選択できる位置選択画面を該表示ユニットに表示させる位置選択画面表示部と、
   該表示ユニットに表示された該位置選択画面において該被加工物の該特定の点が選択されたとき、文字情報を該入力ユニットで入力できる情報入力欄を該表示ユニットに表示させる情報入力欄表示部と、
   該情報入力欄に入力された該文字情報と、該特定の点の該被加工物における座標情報と、を関連付けて記憶する記憶部と、を含むことを特徴とする加工装置。
2. 該制御ユニットは、
   該被加工物の形状を表す模式図を含み、該座標情報に基づいて該模式図上に配され該特定の点の位置を示す目印が表示された情報選択画面を該表示ユニットに表示させる情報選択画面表示部と、
   該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該特定の点に関連付けられて該記憶部に記憶された該文字情報を該表示ユニットに表示させる情報表示部と、をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
3. 請求項２に記載の加工装置であって、
   該情報表示部は、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該記憶部に記憶された該座標情報に基づいて該撮像ユニット及び該保持テーブルを相対的に移動させ、該被加工物の該特定の点を該撮像ユニットが撮像した画像を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させることを特徴とする加工装置。
4. 請求項２に記載の加工装置であって、
   該記憶部は、該文字情報と、該座標情報と、に加えて該撮像ユニットで撮像した該撮像画像を関連付けて記憶し、
   該情報表示部は、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該記憶部に記憶された該撮像画像を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させることを特徴とする加工装置。
5. 請求項２に記載の加工装置であって、
   該制御ユニットは、
   該被加工物の該保持テーブルにおける位置を第１の保持位置として該記憶部に登録させる第１の保持位置登録部と、
   該被加工物と同種の新規被加工物が該保持テーブルに保持されたとき、該新規被加工物の該保持テーブルにおける位置を第２の保持位置として該記憶部に登録させる第２の保持位置登録部と、
   該記憶部に登録された該第１の保持位置及び該第２の保持位置の位置ずれ量を算出し、該記憶部に記憶された該座標情報を該位置ずれ量で補正する位置ずれ補正部と、をさらに有し、
   該情報表示部は、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該位置ずれ補正部により補正された該座標情報に基づいて該撮像ユニット及び該保持テーブルを相対的に移動させ、該被加工物の該特定の点に対応する位置において該撮像ユニットに該新規被加工物を撮像させ、該新規被加工物が写る画像を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させることを特徴とする加工装置。
6. 該入力ユニットは、該表示ユニットに重ねられたタッチパネルであることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の加工装置。

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