JP7408235B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
1a 表面
1b 裏面
3 分割予定ライン
5 デバイス
7 粘着テープ
9 環状フレーム
11 フレームユニット
2 切削装置(加工装置)
4 基台
6 X軸移動テーブル
8 保持テーブル
8a 保持面
10 クランプ
12,24,30 ガイドレール
14,28,34 ボールねじ
16,28a,36 パルスモータ
18 切削ユニット(加工ユニット)
18a スピンドル
18b 切削ブレード
18c 基台
18d 刃先
20 排水路
22 支持構造
26,32 移動プレート
38 撮像ユニット(カメラ)
40 タッチパネル付きディスプレイ
42 制御ユニット
44 記憶部
46 位置選択画面表示部
48 情報入力欄表示部
50 情報選択画面表示部
52 情報表示部
54 位置ずれ補正部
56 第1の保持位置登録部
58 第2の保持位置登録部
60 位置選択画面
62 画面説明欄
64 撮像画像
66 情報入力画面
68 情報入力欄
70 インターフェース画像
72 情報選択画面
74 模式図
76 目印
78 情報表示画面
80 文字情報表示欄
Claims (6)
- 板状の被加工物を加工する加工装置であって、
該被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルで保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
該保持テーブルで保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、
表示ユニットと、
入力ユニットと、
制御ユニットと、を備え、
該制御ユニットは、
該撮像ユニットで撮像された撮像画像を含み、該撮像画像に表示された該被加工物の特定の点を該入力ユニットで選択できる位置選択画面を該表示ユニットに表示させる位置選択画面表示部と、
該表示ユニットに表示された該位置選択画面において該被加工物の該特定の点が選択されたとき、文字情報を該入力ユニットで入力できる情報入力欄を該表示ユニットに表示させる情報入力欄表示部と、
該情報入力欄に入力された該文字情報と、該特定の点の該被加工物における座標情報と、を関連付けて記憶する記憶部と、を含むことを特徴とする加工装置。 - 該制御ユニットは、
該被加工物の形状を表す模式図を含み、該座標情報に基づいて該模式図上に配され該特定の点の位置を示す目印が表示された情報選択画面を該表示ユニットに表示させる情報選択画面表示部と、
該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該特定の点に関連付けられて該記憶部に記憶された該文字情報を該表示ユニットに表示させる情報表示部と、をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の加工装置。 - 請求項2に記載の加工装置であって、
該情報表示部は、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該記憶部に記憶された該座標情報に基づいて該撮像ユニット及び該保持テーブルを相対的に移動させ、該被加工物の該特定の点を該撮像ユニットが撮像した画像を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させることを特徴とする加工装置。 - 請求項2に記載の加工装置であって、
該記憶部は、該文字情報と、該座標情報と、に加えて該撮像ユニットで撮像した該撮像画像を関連付けて記憶し、
該情報表示部は、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該記憶部に記憶された該撮像画像を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させることを特徴とする加工装置。 - 請求項2に記載の加工装置であって、
該制御ユニットは、
該被加工物の該保持テーブルにおける位置を第1の保持位置として該記憶部に登録させる第1の保持位置登録部と、
該被加工物と同種の新規被加工物が該保持テーブルに保持されたとき、該新規被加工物の該保持テーブルにおける位置を第2の保持位置として該記憶部に登録させる第2の保持位置登録部と、
該記憶部に登録された該第1の保持位置及び該第2の保持位置の位置ずれ量を算出し、該記憶部に記憶された該座標情報を該位置ずれ量で補正する位置ずれ補正部と、をさらに有し、
該情報表示部は、該情報選択画面に表示された該目印が該入力ユニットで選択されたとき、該位置ずれ補正部により補正された該座標情報に基づいて該撮像ユニット及び該保持テーブルを相対的に移動させ、該被加工物の該特定の点に対応する位置において該撮像ユニットに該新規被加工物を撮像させ、該新規被加工物が写る画像を該文字情報とともに該表示ユニットに表示させることを特徴とする加工装置。 - 該入力ユニットは、該表示ユニットに重ねられたタッチパネルであることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の加工装置。
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JP2008004806A (ja) | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工結果管理方法 |
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- 2019-12-20 JP JP2019230814A patent/JP7408235B2/ja active Active
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