JP2020084306A - 蒸着マスク装置の製造装置及び蒸着マスク装置の製造方法 - Google Patents
蒸着マスク装置の製造装置及び蒸着マスク装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020084306A JP2020084306A JP2018225460A JP2018225460A JP2020084306A JP 2020084306 A JP2020084306 A JP 2020084306A JP 2018225460 A JP2018225460 A JP 2018225460A JP 2018225460 A JP2018225460 A JP 2018225460A JP 2020084306 A JP2020084306 A JP 2020084306A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- deposition mask
- clamp
- lower clamp
- upper clamp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 title claims abstract description 561
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 92
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 51
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 73
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 73
- 239000000463 material Substances 0.000 description 65
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 49
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 28
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 20
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 18
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 16
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 16
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 15
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 15
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 12
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 12
- JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N aluminum;oxygen(2-);yttrium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Y+3] JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 12
- 229910019901 yttrium aluminum garnet Inorganic materials 0.000 description 12
- 210000005069 ears Anatomy 0.000 description 9
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 9
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 8
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 6
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 5
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000005097 cold rolling Methods 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ni] Chemical compound [Co].[Ni] QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003190 augmentative effect Effects 0.000 description 1
- 239000005018 casein Substances 0.000 description 1
- BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N casein, tech. Chemical compound NCCCCC(C(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CC(C)C)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(C(C)O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(COP(O)(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(N)CC1=CC=CC=C1 BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000021240 caseins Nutrition 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000005098 hot rolling Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000003350 kerosene Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000010309 melting process Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000601 superalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
上述の本実施の形態においては、製造装置70の上方クランプ51及び下方クランプ52がそれぞれ平坦な板状部材である例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図26及び図27に示すように、上方クランプ51及び下方クランプ52のうちの少なくとも一方は、蒸着マスク20との間で位置決めを行う位置決め部54を有してもよい。この場合、蒸着マスク20の第1突出片16a及び第2突出片16bに、それぞれ貫通孔27が形成されている。また、下方クランプ52は、円錐形状の突起ピンである位置決め部54を有している。この位置決め部54は、上方クランプ51側に向けて突出している。上方クランプ51は、位置決め部54の上端を収容する収容凹部51cを有する。下方クランプ52の位置決め部54は、蒸着マスク20の貫通孔27内に挿入され、蒸着マスク20の位置決めが行われる。
上述の本実施の形態においては、製造装置70の載置台72は、トレー79上に位置する粘着部材81を有している。しかしながら、これに限られることはなく、図28及び図29に示すように、載置台72は、鉄合金等の磁性体である蒸着マスク20を磁力によって保持する電磁石装置55を有してもよい。この場合、電磁石装置55は、トレー79上に位置しており、電磁石装置55の上面はトレー79の上面79aと同一平面上にある。電磁石装置55は、平面視で蒸着マスク20の短手方向に直線状に延びている。電磁石装置55は、電源装置56に電気的に接続されている。電磁石装置55は、電源装置56によって通電された際、蒸着マスク20の第2面20bを磁力で引き寄せることにより、蒸着マスク20を一時的にトレー79上に仮固定する。一方、電磁石装置55は、電源装置56による通電が停止した際、蒸着マスク20を引き寄せる磁力が失われ、これにより蒸着マスク20の仮固定が解除される。本変形例において、電磁石装置55は一対設けられ、それぞれ蒸着マスク20の長手方向端部側に位置している。しかしながら、電磁石装置55の個数や位置はこれに限られるものではなく、例えば、1つ又は3つ以上の電磁石装置55が設けられていても良く、電磁石装置55が蒸着マスク20の長手方向端部から離れた位置にあっても良い。
上述の本実施の形態においては、製造装置70の上方クランプ51及び下方クランプ52がそれぞれDx方向、Dy方向及びDz方向に直線移動する例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図30及び図31に示すように、上方クランプ51及び下方クランプ52は、載置台72の載置面72a(トレー79の上面79a)の法線方向(Dz方向)周りに回転可能となっていてもよい。この場合、上方クランプ51及び下方クランプ52は、それぞれ第1駆動手段53a及び第2駆動手段53bによってDz方向周りに回転可能となっていてもよい。あるいは、上方クランプ51及び下方クランプ52は、図示しない他の駆動手段によってDz方向周りに回転可能となっていてもよい。また、上方クランプ51及び下方クランプ52のうち一方のみがDz方向周りに回転可能となっていてもよい。
15 フレーム
17 耳部
20 蒸着マスク
22 有効領域
23 周囲領域
50 クランプ装置
50A 第1クランプ装置
50B 第2クランプ装置
51 上方クランプ
52 下方クランプ
53 駆動装置
53a 第1駆動手段
53b 第2駆動手段
70 製造装置
71 ステージ
72 載置台
Claims (14)
- 蒸着マスク装置の製造装置であって、
蒸着マスクを載せる載置台と、
前記蒸着マスクの上方に位置する上方クランプと、
前記蒸着マスクの下方に位置する下方クランプと、
前記上方クランプ及び前記下方クランプを駆動する駆動装置と、を備え、
前記駆動装置は、前記上方クランプ及び前記下方クランプのうちの一方のクランプが前記蒸着マスクに接触した後、前記上方クランプ及び前記下方クランプのうちの他方のクランプが前記蒸着マスクに接触するように、前記上方クランプ及び前記下方クランプを駆動する、蒸着マスク装置の製造装置。 - 前記上方クランプ及び前記下方クランプのうちの少なくとも一方は、前記蒸着マスクとの間で位置決めを行う位置決め部を有する、請求項1記載の蒸着マスク装置の製造装置。
- 前記載置台は、前記蒸着マスクを磁力によって保持する電磁石装置を有する、請求項1又は2記載の蒸着マスク装置の製造装置。
- 前記上方クランプ及び前記下方クランプのうちの少なくとも一方は、前記載置台の載置面の法線方向周りに回転可能である、請求項1乃至3のいずれか一項記載の蒸着マスク装置の製造装置。
- 蒸着マスク装置の製造装置であって、
蒸着マスクを載せる載置台と、
前記蒸着マスクの上方に位置する上方クランプと、
前記蒸着マスクの下方に位置する下方クランプと、を備え、
前記上方クランプ及び前記下方クランプのうちの少なくとも一方は、前記蒸着マスクとの間で位置決めを行う位置決め部を有する、蒸着マスク装置の製造装置。 - 蒸着マスク装置の製造装置であって、
蒸着マスクを載せる載置台と、
前記蒸着マスクの上方に位置する上方クランプと、
前記蒸着マスクの下方に位置する下方クランプと、を備え、
前記載置台は、前記蒸着マスクを磁力によって保持する電磁石装置を有する、蒸着マスク装置の製造装置。 - 蒸着マスク装置の製造装置であって、
蒸着マスクを載せる載置台と、
前記蒸着マスクの上方に位置する上方クランプと、
前記蒸着マスクの下方に位置する下方クランプと、を備え、
前記上方クランプ及び前記下方クランプのうちの少なくとも一方は、前記載置台の載置面の法線方向周りに回転可能である、蒸着マスク装置の製造装置。 - 蒸着マスク装置の製造方法であって、
載置台に蒸着マスクを載置する工程と、
前記蒸着マスクの上方に位置する上方クランプと、前記蒸着マスクの下方に位置する下方クランプとによって、前記蒸着マスクを掴む工程と、を備え、
前記蒸着マスクを掴む工程において、前記上方クランプ及び前記下方クランプは、前記上方クランプ及び前記下方クランプのうちの一方のクランプが前記蒸着マスクに接触した後、前記上方クランプ及び前記下方クランプのうちの他方のクランプが前記蒸着マスクに接触するように駆動される、蒸着マスク装置の製造方法。 - 前記蒸着マスクを掴む工程において、前記上方クランプ及び前記下方クランプのうちの少なくとも一方の位置決め部を用いて、前記蒸着マスクとの間で位置決めを行う、請求項8記載の蒸着マスク装置の製造方法。
- 前記載置台は、前記蒸着マスクを磁力によって保持する電磁石装置を有し、前記載置台の前記電磁石装置の磁力によって、前記蒸着マスクが保持される、請求項8又は9記載の蒸着マスク装置の製造方法。
- 前記上方クランプ及び前記下方クランプのうちの少なくとも一方が、前記載置台の載置面の法線方向周りに回転することにより、前記蒸着マスクの位置を修正する工程を更に備えた、請求項8乃至10のいずれか一項記載の蒸着マスク装置の製造方法。
- 蒸着マスク装置の製造方法であって、
載置台に蒸着マスクを載置する工程と、
前記蒸着マスクの上方に位置する上方クランプと、前記蒸着マスクの下方に位置する下方クランプとによって、前記蒸着マスクを掴む工程と、を備え、
前記蒸着マスクを掴む工程において、前記上方クランプ及び前記下方クランプのうちの少なくとも一方の位置決め部を用いて、前記蒸着マスクとの間で位置決めを行う、蒸着マスク装置の製造方法。 - 蒸着マスク装置の製造方法であって、
電磁石装置を有する載置台に蒸着マスクを載置する工程と、
前記載置台の前記電磁石装置の磁力によって、前記蒸着マスクを保持する工程と、
前記蒸着マスクの上方に位置する上方クランプと、前記蒸着マスクの下方に位置する下方クランプとによって、前記蒸着マスクを掴む工程と、を備えた、蒸着マスク装置の製造方法。 - 蒸着マスク装置の製造方法であって、
載置台に蒸着マスクを載置する工程と、
前記蒸着マスクの上方に位置する上方クランプと、前記蒸着マスクの下方に位置する下方クランプとによって、前記蒸着マスクを掴む工程と、
前記上方クランプ及び前記下方クランプのうちの少なくとも一方が、前記載置台の載置面の法線方向周りに回転することにより、前記蒸着マスクの位置を修正する工程と、を備えた、蒸着マスク装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018225460A JP7240623B2 (ja) | 2018-11-30 | 2018-11-30 | 蒸着マスク装置の製造装置及び蒸着マスク装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018225460A JP7240623B2 (ja) | 2018-11-30 | 2018-11-30 | 蒸着マスク装置の製造装置及び蒸着マスク装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020084306A true JP2020084306A (ja) | 2020-06-04 |
JP7240623B2 JP7240623B2 (ja) | 2023-03-16 |
Family
ID=70906685
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018225460A Active JP7240623B2 (ja) | 2018-11-30 | 2018-11-30 | 蒸着マスク装置の製造装置及び蒸着マスク装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7240623B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114525473A (zh) * | 2022-02-11 | 2022-05-24 | 云谷(固安)科技有限公司 | 张网机及掩膜板组件的制作方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006009180A1 (ja) * | 2004-07-23 | 2006-01-26 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | 金属薄板の枠貼り方法及び装置 |
JP2006037128A (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-09 | Dainippon Printing Co Ltd | 金属薄板の枠貼り方法及び装置 |
JP2006152411A (ja) * | 2004-12-01 | 2006-06-15 | Dainippon Printing Co Ltd | メタルマスクセット方法及び装置 |
JP2006169587A (ja) * | 2004-12-16 | 2006-06-29 | Dainippon Printing Co Ltd | メタルマスクのフレーム取付方法及び装置 |
JP2011195907A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Tokyo Electron Ltd | マスク保持装置及び薄膜形成装置 |
-
2018
- 2018-11-30 JP JP2018225460A patent/JP7240623B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006009180A1 (ja) * | 2004-07-23 | 2006-01-26 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | 金属薄板の枠貼り方法及び装置 |
JP2006037128A (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-09 | Dainippon Printing Co Ltd | 金属薄板の枠貼り方法及び装置 |
JP2006152411A (ja) * | 2004-12-01 | 2006-06-15 | Dainippon Printing Co Ltd | メタルマスクセット方法及び装置 |
JP2006169587A (ja) * | 2004-12-16 | 2006-06-29 | Dainippon Printing Co Ltd | メタルマスクのフレーム取付方法及び装置 |
JP2011195907A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Tokyo Electron Ltd | マスク保持装置及び薄膜形成装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114525473A (zh) * | 2022-02-11 | 2022-05-24 | 云谷(固安)科技有限公司 | 张网机及掩膜板组件的制作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7240623B2 (ja) | 2023-03-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7121918B2 (ja) | 蒸着マスク装置及び蒸着マスク装置の製造方法 | |
JP7112680B2 (ja) | 蒸着マスク装置の製造方法及び蒸着マスク装置の製造装置 | |
US11211558B2 (en) | Deposition mask device and method of manufacturing deposition mask device | |
JP7008288B2 (ja) | 蒸着マスク、蒸着マスク装置、蒸着マスクの製造方法及び蒸着マスク装置の製造方法 | |
JP5516816B1 (ja) | 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いて蒸着マスクを製造する方法 | |
KR20230007527A (ko) | 금속판, 금속판의 제조 방법, 및 금속판을 사용해서 증착 마스크를 제조하는 방법 | |
JP2022172296A (ja) | 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク装置の製造方法および蒸着マスク | |
JP6720564B2 (ja) | 蒸着マスクおよび蒸着マスクの製造方法 | |
JP2020084306A (ja) | 蒸着マスク装置の製造装置及び蒸着マスク装置の製造方法 | |
JP6709534B2 (ja) | 蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法 | |
JP6747054B2 (ja) | 蒸着マスク溶接方法 | |
JP2018059130A (ja) | 蒸着マスクの製造方法、及び蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法 | |
JP2019081962A (ja) | 蒸着マスク | |
JP6686549B2 (ja) | 蒸着マスク装置の製造方法及び蒸着マスク装置 | |
JP2023109093A (ja) | マスク装置の製造装置、マスク及びマスク装置の製造方法 | |
JP7104902B2 (ja) | 蒸着マスクの製造方法、及び蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法 | |
JP2023166259A (ja) | 蒸着マスク装置の製造方法、蒸着マスク装置の製造装置及び蒸着マスク装置 | |
JP2021147705A (ja) | 蒸着マスク装置の製造方法および有機el表示装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210928 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220729 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220830 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221031 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230216 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7240623 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |