JP2023109093A - マスク装置の製造装置、マスク及びマスク装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】蒸着材料を精度良く基板に蒸着させることができるマスク装置の製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】本開示によるマスク装置の製造装置４０は、長手方向及び短手方向を有するマスク２０と、マスクを挟持するクランプ装置５０と、を備える。マスクは、長手方向Ｄ２における両側に位置する一対のマスク端部３０と、一対のマスク端部の間に位置し、複数の貫通孔を含むマスク中間部と、を含む。マスク端部は、マスク端部が切り欠かれた切欠き部３２と、切欠き部を介して短手方向に並び、長手方向に突出した複数のグリップ部３５と、を含む。クランプ装置は、対応するグリップ部を挟持する複数のクランプ５１を含む。短手方向におけるグリップ部の寸法は、１０ｍｍ以上であり、短手方向におけるクランプの寸法に対する短手方向におけるグリップ部の寸法の比は、１以下である。【選択図】図９

Description

本開示の一実施の形態は、マスク装置の製造装置、マスク及びマスク装置の製造方法に関する。

スマートフォンやタブレットＰＣ等の電子デバイスにおいて、高精細な表示装置が、市場から求められている。表示装置は、例えば、４００ｐｐｉ以上又は８００ｐｐｉ以上等の画素密度を有する。

このような表示装置として、応答性の良さと、又は／及びコントラストの高さと、を有する有機ＥＬ表示装置が注目されている。有機ＥＬ表示装置の画素を形成する方法として、所望のパターンで配列された貫通孔が形成されたマスクを用いて、基板に所望のパターンで画素を形成する方法が知られている。より具体的には、まず、蒸着装置を準備する。次に、蒸着装置内で基板を保持するとともに、マスクを基板に密着させる。そして、基板に有機材料又は／及び無機材料等の蒸着材料を蒸着させる蒸着工程を行う。

蒸着工程を行う蒸着装置は、マスクと、マスクを支持するフレームと、を含むマスク装置を備える。マスク装置において、マスクは、溶接によってフレームに固定される。フレームは、マスクが撓むことを抑制するように、マスクを引っ張った状態で支持する。マスク装置の製造工程においては、まず、クランプ装置により載置台に載置されたマスクの端部を挟持し、マスクを面方向に引っ張って張力を加える。次に、クランプ装置によりマスクを引っ張った状態で、搬送装置によりマスクをフレーム上に搬送する。そして、溶接装置によりマスクをフレームに溶接して固定する。

特開２０２０－８４３０６号公報

高い画素密度を有する有機ＥＬ表示装置を精密に作製するためには、蒸着材料を精度良く基板に蒸着させることが求められる。しかしながら、マスク装置の製造工程において、マスクを引っ張った際にマスクに十分な張力を付与することができず、マスクに皺が生じる場合がある。この場合、蒸着工程において、マスクの貫通孔の位置が設計位置からずれ、蒸着の位置精度が低下するおそれがある。また、マスク装置の製造工程において、マスクの端部が折れ曲がるように変形する場合がある。この場合、クランプ装置によりマスクの端部を挟持することができず、マスク装置の製造不良が発生するおそれがある。

本開示の一実施の形態は、マスク装置の製造装置であって、
長手方向及び短手方向を有するマスクと、
前記マスクを挟持するクランプ装置と、を備え、
前記マスクは、前記長手方向における両側に位置する一対のマスク端部と、一対の前記マスク端部の間に位置し、複数の貫通孔を含むマスク中間部と、を含み、
前記マスク端部は、前記マスク端部が切り欠かれた切欠き部と、前記切欠き部を介して前記短手方向に並び、前記長手方向に突出した複数のグリップ部と、を含み、
前記クランプ装置は、対応する前記グリップ部を挟持する複数のクランプを含み、
前記短手方向における前記グリップ部の寸法は、１０ｍｍ以上であり、
前記短手方向における前記クランプの寸法に対する前記短手方向における前記グリップ部の寸法の比は、１以下である、マスク装置の製造装置である。

本開示の一実施の形態によれば、マスク装置の信頼性を向上させることができる。

図１は、蒸着装置の一例を示す断面図である。 図２は、マスク装置の一例を示す平面図である。 図３は、図２のマスク装置のマスクを拡大して示す平面図である。 図４は、図３のマスクの貫通孔を示す断面図である。 図５は、図２のマスクのマスク端部を拡大して示す平面図である。 図６は、マスク装置の製造装置の一例を示す平面図である。 図７は、図６のマスク装置の製造装置の載置台に載置されたマスクを示す平面図である。 図８は、図７のＡ－Ａ線に沿った断面図である。 図９は、図７のマスクのマスク端部を拡大して示す平面図である。 図１０は、マスク装置の製造方法を説明するための図であって、金属板上にレジストパターンを形成する工程を示す断面図である。 図１１は、マスク装置の製造方法を説明するための図であって、金属板を第１金属面からエッチングする工程を示す断面図である。 図１２は、マスク装置の製造方法を説明するための図であって、金属板を第２金属面からエッチングする工程を示す断面図である。 図１３は、マスク装置の製造方法を説明するための図であって、金属板から樹脂及びレジストパターンを除去する工程を示す断面図である。 図１４は、マスク装置の製造方法を説明するための図であって、マスクのマスク端部を形成する工程を示す平面図である。 図１５は、マスク装置の製造方法を説明するための図であって、マスクを搬送する工程を示す断面図である。 図１６は、マスク装置の製造方法を説明するための図であって、フレームにマスクを固定する工程を示す断面図である。 図１７は、有機デバイスの製造方法を説明するための図であって、蒸着装置を準備する工程を示す断面図である。 図１８は、有機デバイスの製造方法を説明するための図であって、基板を保持する工程を示す断面図である。 図１９は、有機デバイスの製造方法を説明するための図であって、マスクを基板に密着させる工程を示す断面図である。 図２０は、蒸着装置を用いて製造した有機デバイスの一例を示す断面図である。 図２１は、一比較例によるマスク装置の製造装置におけるマスクのマスク端部を拡大して示す平面図である。 図２２は、別の一比較例によるマスク装置の製造装置におけるマスクのマスク端部を拡大して示す平面図である。 図２３は、更に別の一比較例によるマスク装置の製造装置におけるマスクのマスク端部を拡大して示す平面図である。 図２４は、更に別の一比較例によるマスク装置の製造装置におけるマスクのマスク端部を拡大して示す平面図である。 図２５は、一変形例によるマスク装置の製造装置におけるマスクのマスク端部を拡大して示す平面図である。 図２６は、一実施例によるマスク装置の製造装置の評価結果を示す図である。 図２７は、別の一実施例によるマスク装置の製造装置の評価結果を示す図である。

本明細書及び本図面において、特別な説明が無い限りは、「基板」や「基材」や「板」や「シート」や「フィルム」等のある構成の基礎となる物質を意味する用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。

本明細書及び本図面において、「平面視」とは、対象となる板状の部材を全体的かつ大局的に見た場合において、板状の部材の平面方向に直交する法線方向から見た状態を指す。例えば、ある板状の部材が「平面視で矩形状の形状を有する」とは、当該部材を法線方向から見たときに、当該部材が矩形状の形状を有していることを指す。

本明細書及び本図面において、特別な説明が無い限りは、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」や「直交」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈する。

本明細書及び本図面において、特別な説明が無い限りは、ある部材又はある領域等のある構成が、他の部材又は他の領域等の他の構成の「上に」や「下に」、「上側に」や「下側に」、又は「上方に」や「下方に」とする場合、ある構成が他の構成に直接的に接している場合を含む。更に、ある構成と他の構成との間に別の構成が含まれている場合、つまり間接的に接している場合も含む。また、特別な説明が無い限りは、「上」や「上側」や「上方」、又は、「下」や「下側」や「下方」という語句は、上下方向が逆転してもよい。

本明細書及び本図面において、特別な説明が無い限りは、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号又は類似の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。また、図面の寸法比率は説明の都合上実際の比率とは異なる場合や、構成の一部が図面から省略される場合がある。

本明細書及び本図面において、特別な説明が無い限りは、矛盾の生じない範囲で、その他の実施の形態や変形例と組み合わせてもよい。また、その他の実施の形態同士や、その他の実施の形態と変形例も、矛盾の生じない範囲で組み合わせてもよい。また、変形例同士も、矛盾の生じない範囲で組み合わせてもよい。

本明細書及び本図面において、特別な説明が無い限りは、製造方法等の方法に関して複数の工程を開示する場合に、開示されている工程の間に、開示されていないその他の工程が実施されてもよい。また、開示されている工程の順序は、矛盾の生じない範囲で任意である。

本明細書及び本図面において、特別な説明が無い限りは、「～」という記号によって表現される数値範囲は、「～」という符号の前後に置かれた数値を含んでいる。例えば、「３４～３８質量％」という表現によって画定される数値範囲は、「３４質量％以上３８質量％以下」という表現によって画定される数値範囲と同一である。

本明細書の一実施の形態においては、マスクが、有機ＥＬ表示装置を製造する際に有機材料を所望のパターンで基板上にパターニングするために用いられる蒸着マスクである例について説明する。しかしながら、マスクの用途が特に限定されることはなく、種々の用途に用いられるマスクに対し、本実施の形態を適用することができる。例えば、仮想現実いわゆるＶＲや拡張現実いわゆるＡＲを表現するための画像や映像を表示又は投影するための装置を製造するために、本実施の形態のマスクを用いてもよい。

本開示の第１の態様は、マスク装置の製造装置であって、
長手方向及び短手方向を有するマスクと、
前記マスクを挟持するクランプ装置と、を備え、
前記マスクは、前記長手方向における両側に位置する一対のマスク端部と、一対の前記マスク端部の間に位置し、複数の貫通孔を含むマスク中間部と、を含み、
前記マスク端部は、前記マスク端部が切り欠かれた切欠き部と、前記切欠き部を介して前記短手方向に並び、前記長手方向に突出した複数のグリップ部と、を含み、
前記クランプ装置は、対応する前記グリップ部を挟持する複数のクランプを含み、
前記短手方向における前記グリップ部の寸法は、１０ｍｍ以上であり、
前記短手方向における前記クランプの寸法に対する前記短手方向における前記グリップ部の寸法の比は、１以下である、マスク装置の製造装置である。

本開示の第２の態様は、上述した第１の態様によるマスク装置の製造装置において、
前記クランプは、少なくとも前記短手方向における前記マスクの縁部を挟持していてもよい。

本開示の第３の態様は、上述した第１の態様及び上述した第２の態様のそれぞれによるマスク装置の製造装置において、
前記切欠き部は、前記長手方向における前記マスク端部の端縁から前記長手方向に直線状に延びる直線状部分と、前記長手方向において前記端縁とは反対側で前記直線状部分に隣接する半円状部分と、を含んでいてもよく、
前記クランプは、前記半円状部分よりも前記端縁に近い位置で前記グリップ部を挟持していてもよい。

本開示の第４の態様は、上述した第３の態様によるマスク装置の製造装置において、
前記クランプは、前記長手方向における前記直線状部分の中央位置よりも前記端縁に近い位置で前記グリップ部を挟持していてもよい。

本開示の第５の態様は、上述した第１の態様から上述した第４の態様のそれぞれによるマスク装置の製造装置において、
前記グリップ部は、前記クランプによって挟持される挟持領域を含んでいてもよく、
前記短手方向における前記挟持領域の寸法は、前記長手方向における前記挟持領域の寸法よりも大きくてもよい。

本開示の第６の態様は、マスク装置の製造装置であって、
長手方向及び短手方向を有するマスクと、
前記マスクを挟持するクランプ装置と、を備え、
前記マスクは、前記長手方向における両側に位置する一対のマスク端部と、一対の前記マスク端部の間に位置し、複数の貫通孔を含むマスク中間部と、を含み、
前記マスク端部は、前記マスク端部が切り欠かれた切欠き部と、前記切欠き部を介して前記短手方向に並び、前記長手方向に突出した複数のグリップ部と、を含み、
前記クランプ装置は、対応する前記グリップ部を挟持する複数のクランプを含み、
前記グリップ部は、前記クランプによって挟持される挟持領域を含み、
前記短手方向における前記挟持領域の寸法は、前記長手方向における前記挟持領域の寸法よりも大きい、マスク装置の製造装置である。

本開示の第７の態様は、長手方向及び短手方向を有し、挟持装置によって挟持されるマスクであって、
前記長手方向における両側に位置する一対のマスク端部と、
一対の前記マスク端部の間に位置し、複数の貫通孔を含むマスク中間部と、を備え、
前記マスク端部は、前記マスク端部が切り欠かれた切欠き部と、前記切欠き部を介して前記短手方向に並び、前記長手方向に突出した複数のグリップ部であって、前記挟持装置の対応するクランプによって挟持されるグリップ部と、を含み、
前記短手方向における前記グリップ部の寸法は、１０ｍｍ以上であり、
前記短手方向における前記クランプの寸法に対する前記短手方向における前記グリップ部の寸法の比は、１以下である、マスクである。

本開示の第８の態様は、上述した第７の態様によるマスクにおいて、
前記切欠き部は、前記長手方向における前記マスク端部の端縁から前記長手方向に直線状に延びる直線状部分と、前記長手方向において前記端縁とは反対側で前記直線状部分に隣接する半円状部分と、を含んでいてもよい。

本開示の第９の態様は、マスク装置の製造方法であって、
長手方向及び短手方向を有するマスクを準備する工程と、
クランプ装置によって、前記マスクを挟持する工程と、を備え、
前記マスクは、前記長手方向における両側に位置する一対のマスク端部と、一対の前記マスク端部の間に位置し、複数の貫通孔を含むマスク中間部と、を含み、
前記マスク端部は、前記マスク端部が切り欠かれた切欠き部と、前記切欠き部を介して前記短手方向に並び、前記長手方向に突出した複数のグリップ部と、を含み、
前記クランプ装置は、対応する前記グリップ部を挟持する複数のクランプを含み、
前記短手方向における前記グリップ部の寸法は、１０ｍｍ以上であり、
前記短手方向における前記クランプの寸法に対する前記短手方向における前記グリップ部の寸法の比は、１以下である、マスク装置の製造方法である。

本開示の第１０の態様は、上述した第９の態様によるマスク装置の製造方法において、
前記マスクを挟持する工程において、前記クランプが、少なくとも前記短手方向における前記マスクの縁部を挟持してもよい。

本開示の第１１の態様は、上述した第９の態様及び上述した第１０の態様のそれぞれによるマスク装置の製造方法において、
前記切欠き部は、前記長手方向における前記マスク端部の端縁から前記長手方向に直線状に延びる直線状部分と、前記長手方向において前記端縁とは反対側で前記直線状部分に隣接する半円状部分と、を含んでいてもよく、
前記マスクを挟持する工程において、前記クランプが、前記半円状部分よりも前記端縁に近い位置で前記グリップ部を挟持してもよい。

本開示の第１２の態様は、上述した第１１の態様によるマスク装置の製造方法において、
前記マスクを挟持する工程において、前記クランプが、前記長手方向における前記直線状部分の中央位置よりも前記端縁に近い位置で前記グリップ部を挟持してもよい。

本開示の第１３の態様は、上述した第９の態様から上述した第１２の態様のそれぞれによるマスク装置の製造方法において、
前記マスクを挟持する工程において、前記クランプによって、前記グリップ部の挟持領域が挟持されてもよく、
前記短手方向における前記挟持領域の寸法は、前記長手方向における前記挟持領域の寸法よりも大きくてもよい。

本開示の第１４の態様は、マスク装置の製造方法であって、
長手方向及び短手方向を有するマスクを準備する工程と、
クランプ装置によって、前記マスクを挟持する工程と、を備え、
前記マスクは、前記長手方向における両側に位置する一対のマスク端部と、一対の前記マスク端部の間に位置し、複数の貫通孔を含むマスク中間部と、を含み、
前記マスク端部は、前記マスク端部が切り欠かれた切欠き部と、前記切欠き部を介して前記短手方向に並び、前記長手方向に突出した複数のグリップ部と、を含み、
前記クランプ装置は、対応する前記グリップ部を挟持する複数のクランプを含み、
前記マスクを挟持する工程において、前記クランプによって、前記グリップ部の挟持領域が挟持され、
前記短手方向における前記挟持領域の寸法は、前記長手方向における前記挟持領域の寸法よりも大きい、マスク装置の製造方法である。

以下、本開示の一実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態は本開示の実施の形態の一例であって、本開示はこれらの実施の形態のみに限定して解釈されない。

まず、図１を用いて、蒸着装置１について説明する。蒸着装置１は、対象物に蒸着材料７を蒸着させる蒸着処理を行うための装置である。

図１に示すように、蒸着装置１は、蒸着源６と、ヒータ８と、マスク装置１０と、を含んでいてもよい。蒸着源６、ヒータ８及びマスク装置１０は、蒸着装置１の内部に配置される。また、図示しないが、蒸着装置１は、蒸着装置１の内部を真空雰囲気にするための排気手段を含んでいてもよい。蒸着源６は、例えば、るつぼであり、有機発光材料等の蒸着材料７を収容する。ヒータ８は、蒸着源６を加熱して、真空雰囲気下で蒸着材料７を蒸発させる。マスク装置１０は、蒸着源６に対向するように配置される。

図１に示すように、マスク装置１０は、フレーム１５と、マスク２０と、を含んでいてもよい。フレーム１５は、マスク２０が撓むことを抑制するように、マスク２０をその面方向に引っ張った状態で支持する。マスク２０は、フレーム１５に固定されていてもよい。マスク２０は、第１マスク面２０ａと、第２マスク面２０ｂと、を含んでいてもよい。第１マスク面２０ａは、基板１１０の側に位置する。第２マスク面２０ｂは、第１マスク面２０ａとは反対側に位置する。また、フレーム１５は、第１フレーム面１５ａと、第２フレーム面１５ｂと、を含んでいてもよい。第１フレーム面１５ａは、第２マスク面２０ｂに対向するとともに接触している。第２フレーム面１５ｂは、第１フレーム面１５ａとは反対側に位置する。

図１に示すように、マスク装置１０は、マスク２０が蒸着材料７を付着させる対象物である基板１１０に対向するとともに接触するよう、蒸着装置１内に配置されていてもよい。マスク２０は、蒸着源６から飛来した蒸着材料７を通過させる複数の貫通孔２５を含んでいる。

図１に示すように、蒸着装置１は、基板１１０を保持する基板ホルダ２を含んでいてもよい。基板ホルダ２は、基板１１０の厚み方向、すなわち上下方向（鉛直方向）に移動可能であってもよい。また、基板ホルダ２は、マスク２０の短手方向である第１方向Ｄ１（図２参照）及びマスク２０の長手方向である第２方向Ｄ２（図２参照）に移動可能であってもよい。ここで、基板１１０の厚み方向を第３方向Ｄ３とも称する。第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２及び第３方向Ｄ３は、互いに直交していてもよい。

図１に示すように、蒸着装置１は、マスク装置１０を保持するマスクホルダ３を含んでいてもよい。マスクホルダ３は、第３方向Ｄ３に移動可能であってもよい。また、マスクホルダ３は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に移動可能であってもよい。

基板ホルダ２及びマスクホルダ３の少なくとも一方を移動させることにより、基板１１０に対するマスク装置１０のマスク２０の位置を調整することができる。

図１に示すように、蒸着装置１は、磁石５を含んでいてもよい。磁石５は、基板ホルダ２よりも上方に配置されていてもよい。図１に示すように、磁石５は、基板ホルダ２の面のうちマスク装置１０とは反対側の面に位置していてもよい。磁石５は、磁力によってマスク装置１０のマスク２０を基板１１０の側に引き寄せることができる。これにより、マスク２０を基板１１０に密着させ、マスク２０と基板１１０との間に隙間が生じることを抑制することができる。このため、蒸着工程においてシャドーが発生することを抑制することができ、基板１１０に付着する蒸着材料７の寸法精度や位置精度を向上させることができる。ここで、シャドーとは、マスク２０と基板１１０との間の隙間に蒸着材料７が入り込み、これによって基板１１０に付着する蒸着材料７の厚みが不均一になる現象のことである。

次に、図２～図５を用いて、マスク装置１０について詳細に説明する。

上述したように、マスク装置１０は、フレーム１５を含んでいる。図２に示すように、フレーム１５は、平面視で矩形枠状に形成されている。フレーム１５の内側には、開口１５ｄが形成されている。開口１５ｄは、第１フレーム面１５ａから第２フレーム面１５ｂに貫通している。蒸着工程においては、蒸着源６から蒸発した蒸着材料７は、フレーム１５の開口１５ｄを通過して基板１１０に付着する。ここで、平面視とは、フレーム１５の第１フレーム面１５ａの法線方向、あるいはマスク２０の第１マスク面２０ａの法線方向に沿ってマスク装置１０を見ることを意味する。

図２に示すように、フレーム１５は、フレーム１５に対するマスク２０の位置合わせを行うためのアライメントマーク１５ｅを含んでいてもよい。このアライメントマーク１５ｅは、フレーム１５のうち、平面視でマスク２０と重ならない位置に設けられている。図２に示すように、アライメントマーク１５ｅは、フレーム１５の四隅にそれぞれ１つずつ設けられていてもよい。これにより、マスク２０の位置決めの際、マスク２０によってアライメントマーク１５ｅが隠れてしまうことを抑制することができる。このため、マスク２０の位置合わせを容易に行うことができる。

また、上述したように、マスク装置１０は、マスク２０を含んでいる。図２に示すように、マスク装置１０は、複数のマスク２０を含んでいてもよい。マスク２０は、第１方向Ｄ１に短手方向を有し、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２に長手方向を有していてもよい。換言すると、マスク２０は細長い形状を有しており、第１方向Ｄ１はマスク２０の短手方向として特定され、第２方向Ｄ２はマスク２０の長手方向として特定される。図２に示すように、複数のマスク２０は、第１方向Ｄ１に並んでいてもよい。図示された例においては、１０個のマスク２０が第１方向Ｄ１に並んでいる。

図２において、符号Ｗ１は、第１方向Ｄ１におけるマスク２０の寸法（幅寸法）を表している。寸法Ｗ１は、例えば、３０ｍｍ以上でもよく、５０ｍｍ以上でもよく、８０ｍｍ以上でもよい。寸法Ｗ１は、例えば、１００ｍｍ以下でもよく、１５０ｍｍ以下でもよく、１８０ｍｍ以下でもよい。寸法Ｗ１の範囲は、３０ｍｍ、５０ｍｍ及び８０ｍｍからなる第１グループ、及び／又は、１００ｍｍ、１５０ｍｍ及び１８０ｍｍからなる第２グループによって定められてもよい。寸法Ｗ１の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｗ１の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｗ１の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、３０ｍｍ以上１８０ｍｍ以下でもよく、３０ｍｍ以上１５０ｍｍ以下でもよく、３０ｍｍ以上１００ｍｍ以下でもよく、３０ｍｍ以上８０ｍｍ以下でもよく、３０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、５０ｍｍ以上１８０ｍｍ以下でもよく、５０ｍｍ以上１５０ｍｍ以下でもよく、５０ｍｍ以上１００ｍｍ以下でもよく、５０ｍｍ以上８０ｍｍ以下でもよく、８０ｍｍ以上１８０ｍｍ以下でもよく、８０ｍｍ以上１５０ｍｍ以下でもよく、８０ｍｍ以上１００ｍｍ以下でもよく、１００ｍｍ以上１８０ｍｍ以下でもよく、１００ｍｍ以上１５０ｍｍ以下でもよく、１５０ｍｍ以上１８０ｍｍ以下でもよい。

図２において、符号Ｌ１は、第２方向Ｄ２におけるマスク２０の寸法（長さ寸法）を表している。寸法Ｌ１は、例えば、１０００ｍｍ以上でもよく、１２００ｍｍ以上でもよく、１４００ｍｍ以上でもよい。寸法Ｌ１は、例えば、１６００ｍｍ以下でもよく、２２００ｍｍ以下でもよく、２８００ｍｍ以下でもよい。寸法Ｌ１の範囲は、１０００ｍｍ、１２００ｍｍ及び１４００ｍｍからなる第１グループ、及び／又は、１６００ｍｍ、２２００ｍｍ及び２８００ｍｍからなる第２グループによって定められてもよい。寸法Ｌ１の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｌ１の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｌ１の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１０００ｍｍ以上２８００ｍｍ以下でもよく、１０００ｍｍ以上２２００ｍｍ以下でもよく、１０００ｍｍ以上１６００ｍｍ以下でもよく、１０００ｍｍ以上１４００ｍｍ以下でもよく、１０００ｍｍ以上１２００ｍｍ以下でもよく、１２００ｍｍ以上２８００ｍｍ以下でもよく、１２００ｍｍ以上２２００ｍｍ以下でもよく、１２００ｍｍ以上１６００ｍｍ以下でもよく、１２００ｍｍ以上１４００ｍｍ以下でもよく、１４００ｍｍ以上２８００ｍｍ以下でもよく、１４００ｍｍ以上２２００ｍｍ以下でもよく、１４００ｍｍ以上１６００ｍｍ以下でもよく、１６００ｍｍ以上２８００ｍｍ以下でもよく、１６００ｍｍ以上２２００ｍｍ以下でもよく、２２００ｍｍ以上２８００ｍｍ以下でもよい。

図２に示すように、マスク２０は、一対のマスク端部３０と、一対のマスク端部３０の間に位置するマスク中間部２１と、を含んでいる。

まず、マスク中間部２１について説明する。マスク中間部２１は、マスク２０のうち、一対のマスク端部３０の間に位置する部分である。マスク中間部２１は、有効領域２２と、周囲領域２３と、を含んでいる。周囲領域２３は、有効領域２２の周囲に位置する領域である。図２に示すように、マスク中間部２１は、複数の有効領域２２を含んでいてもよい。複数の有効領域２２は、第２方向Ｄ２に並んでいてもよい。図示された例においては、５つの有効領域２２が第２方向Ｄ２に並んでいる。また、図２に示すように、周囲領域２３は、複数の有効領域２２を囲んでいてもよい。周囲領域２３は、有効領域２２を支持するための領域であってもよく、基板１１０へ蒸着されることが意図された蒸着材料７が通過する領域ではなくてもよい。一方、有効領域２２は、マスク２０のうち、基板１１０の表示領域に対向する領域であってもよい。

図２に示すように、有効領域２２は、平面視で矩形の輪郭を有してもよい。なお、図示しないが、有効領域２２は、有機ＥＬ表示装置の表示領域の形状に応じて、様々な形状の輪郭を有していてもよい。例えば、有効領域２２は、円形や楕円形等の輪郭を有していてもよく、六角形や八角形等の多角形の輪郭を有していてもよい。また、複数の有効領域２２は、互いに異なる形状の輪郭を有していてもよく、例えば、円形、楕円形、多角形等の輪郭をそれぞれ有していてもよい。

図３に示すように、マスク中間部２１の有効領域２２は、複数の貫通孔２５を含んでいる。複数の貫通孔２５は、有効領域２２において、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に沿ってそれぞれ所定のピッチで規則的に並んでいてもよい。マスク中間部２１の各貫通孔２５を通過した蒸着材料７が、基板１１０に付着する。

マスク２０を用いて有機ＥＬ表示装置等の有機デバイスを作製する場合、１つの有効領域２２は、１つの有機ＥＬ表示装置の表示領域に対応してもよい。このため、図２に示すマスク装置１０によれば、有機ＥＬ表示装置の多面付蒸着が可能である。なお、１つの有効領域２２が複数の表示領域に対応する場合もある。また、図示しないが、１つのマスク２０において、複数の有効領域２２が第１方向Ｄ１に並んでいてもよい。

図４に示すように、複数の貫通孔２５は、第１マスク面２０ａから第２マスク面２０ｂに貫通している。貫通孔２５は、第１凹部２０２と、第２凹部２０３と、を含んでいてもよい。第１凹部２０２は、第１マスク面２０ａに位置する。第２凹部２０３は、第２マスク面２０ｂに位置する。第１凹部２０２と第２凹部２０３とは互いに接続されている。第１凹部２０２は、マスク２０の母材となる金属板２００を第１金属面２００ａからエッチングすることによって形成されてもよい。第２凹部２０３は、金属板２００を第２金属面２００ｂからエッチングすることによって形成されてもよい。

図４に示すように、第１凹部２０２の壁面２０２ａと第２凹部２０３の壁面２０３ａとは、周状の接続部２０５を介して接続されていてもよい。接続部２０５は、平面視で貫通孔２５の開口面積が最小になる貫通部２０６を画定していてもよい。

図４に示すように、隣り合う２つの第１凹部２０２は、互いから離間していてもよい。同様に、隣り合う２つの第２凹部２０３も、互いから離間していてもよい。すなわち、隣り合う２つの第２凹部２０３の間に、金属板２００の第２金属面２００ｂが残存していてもよい。以下の説明において、隣り合う２つの第２凹部２０３の間で、金属板２００の第２金属面２００ｂのうちエッチングされずに残っている部分のことを、トップ部２０７とも称する。このようなトップ部２０７が残るようにマスク２０を作製することにより、マスク２０に強度を持たせることができる。これにより、例えば搬送中等にマスク２０が変形したり破損したりすることを抑制することができる。図４において、このトップ部２０７の幅が、符号βで示されている。トップ部２０７の幅βが大きすぎると、蒸着工程においてシャドーが発生し、これによって蒸着材料７の利用効率が低下することがある。従って、トップ部２０７の幅βは、過剰に大きくならないように定められる。

なお、図示しないが、隣り合う２つの第２凹部２０３が接続されるようにエッチングされてもよい。すなわち、隣り合う２つの第２凹部２０３の間に、金属板２００の第２金属面２００ｂが残存していなくてもよい。また、図示しないが、金属板２００の第２金属面２００ｂの全域にわたって隣り合う２つの第２凹部２０３が接続されるようにエッチングされてもよい。

図４には、符号αが示されている。符号αは、隣り合う２つの第１凹部２０２の間で、金属板２００の第１金属面２００ａのうちエッチングされずに残っている部分の幅を表している。このような部分は、リブ部とも称する。また、図４には、符号ｒが示されている。符号ｒは、貫通部２０６の寸法（内径寸法）である。リブ部の幅α及び貫通部２０６の寸法ｒは、製造する有機デバイスの寸法及び表示画素数等に応じて適宜定められる。

蒸着工程の際、第１マスク面２０ａは、基板１１０に対向するとともに接触する。第２マスク面２０ｂは、蒸着材料７を保持した蒸着源６に対向する。蒸着材料７は、第２凹部２０３及び第１凹部２０２を通過して基板１１０に付着する。

図４において第２マスク面２０ｂ側から第１マスク面２０ａ側へ向かう矢印で示すように、蒸着材料７は、蒸着源６から基板１１０に向けてマスク２０の第１マスク面２０ａの法線方向に沿って移動するだけでなく、当該法線方向に対して傾斜した方向にも移動する。このとき、マスク２０の厚みＴが大きいと、傾斜した方向に移動する蒸着材料７が、トップ部２０７、第２凹部２０３の壁面２０３ａ、又は／及び第１凹部２０２の壁面２０２ａに引っ掛かり易くなる。この結果、貫通孔２５を通過できない蒸着材料７の比率が大きくなる。従って、蒸着材料７の利用効率を向上させるために、マスク２０の厚みＴを小さくしてもよい。この場合、第２凹部２０３の壁面２０３ａの高さを小さくしてもよいし、第１凹部２０２の壁面２０２ａの高さを小さくしてもよい。マスク２０の強度を確保できる範囲内で可能な限りマスク２０の厚みＴを小さくしてもよい。

マスク２０の厚みＴは、５μｍ以上５０μｍ以下であってもよい。マスク２０の厚みＴが５μｍ以上であることにより、マスク２０の強度を確保し、マスク２０に損傷や変形が生じることを抑制することができる。マスク２０の厚みＴが５０μｍ以下であることにより、蒸着材料７のうち、貫通孔２５を通過する前に貫通孔２５の壁面２０３ａ等に引っ掛かる蒸着材料７の比率を小さくすることができる。これにより、蒸着材料７の利用効率を向上させることができる。ここで、厚みＴは、マスク２０のうち第１凹部２０２及び第２凹部２０３が形成されていない部分の厚みである。従って、厚みＴは、金属板２００の厚みであるということもできる。

マスク２０の厚みＴは、例えば、５μｍ以上でもよく、１０μｍ以上でもよく、１５μｍ以上でもよい。マスク２０の厚みＴは、例えば、２０μｍ以下でもよく、３５μｍ以下でもよく、５０μｍ以下でもよい。マスク２０の厚みＴの範囲は、５μｍ、１０μｍ及び１５μｍからなる第１グループ、及び／又は、２０μｍ、３５μｍ及び５０μｍからなる第２グループによって定められてもよい。マスク２０の厚みＴの範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。マスク２０の厚みＴの範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。マスク２０の厚みＴの範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、５μｍ以上５０μｍ以下でもよく、５μｍ以上３５μｍ以下でもよく、５μｍ以上２０μｍ以下でもよく、５μｍ以上１５μｍ以下でもよく、５μｍ以上１０μｍ以下でもよく、１０μｍ以上５０μｍ以下でもよく、１０μｍ以上３５μｍ以下でもよく、１０μｍ以上２０μｍ以下でもよく、１０μｍ以上１５μｍ以下でもよく、１５μｍ以上５０μｍ以下でもよく、１５μｍ以上３５μｍ以下でもよく、１５μｍ以上２０μｍ以下でもよく、２０μｍ以上５０μｍ以下でもよく、２０μｍ以上３５μｍ以下でもよく、３５μｍ以上５０μｍ以下でもよい。

マスク２０の厚みＴを測定する方法としては、接触式の測定方法を採用してもよい。接触式の測定方法としては、ボールブッシュガイド式のプランジャーを有する、ハイデンハイン社製の長さゲージＨＥＩＤＥＮＨＡＩＮ－ＭＥＴＲＯの「ＭＴ１２７１」を用いてもよい。

次に、一対のマスク端部３０について説明する。マスク端部３０は、マスク２０のうち、第２方向Ｄ２における両側に位置する部分である。マスク端部３０は、平面視でフレーム１５の開口１５ｄと重なっていなくてもよい。この場合、マスク端部３０は、マスク２０のうち、フレーム１５の開口１５ｄよりも外側の部分として定義することができる。ここで、「外側」とは、図２において矢印Ａで表すように、第２方向Ｄ２において、マスク２０の中心線ＣＬから遠ざかる側である。また、マスク２０の中心線ＣＬとは、第１方向Ｄ１に延びる直線であって、第２方向Ｄ２におけるマスク２０の中央点Ｃ（図２参照）を通る直線である。

図２に示すように、マスク端部３０は、フレーム１５の第１フレーム面１５ａに接合される接合部３１を含んでいる。接合部３１においてマスク２０の第２マスク面２０ｂがフレーム１５の第１フレーム面１５ａに溶接されることによって、マスク２０がフレーム１５に固定されてもよい。例えば、マスク２０は、接合部３１においてフレーム１５にスポット溶接されてもよい。この場合、接合部３１には、溶接痕が形成され得る。接合部３１は、第１方向Ｄ１に並ぶ複数の点状の溶接痕を含んでいてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、溶接痕の配置や形状は任意である。例えば、複数の溶接痕が第２方向Ｄ２にも並んでいてもよく、あるいは、溶接痕が第１方向Ｄ１又は／及び第２方向Ｄ２に線状に延びていてもよい。また例えば、溶接痕は、点状の溶接痕と線状の溶接痕の両方を含んでいてもよい。

また、図５に示すように、マスク端部３０は、切欠き部３２を含んでいる。切欠き部３２は、マスク端部３０が切り欠かれることによって形成される。切欠き部３２は、マスク２０の第１方向Ｄ１における中央部に形成されてもよい。切欠き部３２は、フレーム１５よりも外側に位置している。このため、切欠き部３２は、平面視でフレーム１５と重なっていない。

図５に示すように、切欠き部３２の縁部３２ｅは、平面視で略Ｕ字形状を有していてもよい。この場合、切欠き部３２は、直線状部分３２ａと、半円状部分３２ｂと、を含んでいてもよい。直線状部分３２ａは、第２方向Ｄ２におけるマスク端部３０の端縁３０ｅから第２方向Ｄ２に直線状に延びる部分である。半円状部分３２ｂは、第２方向Ｄ２においてマスク端部３０の端縁３０ｅとは反対側で直線状部分３２ａに隣接した半円状の部分である。半円状部分３２ｂは、直線状部分３２ａよりも内側に位置し、直線状部分３２ａと連続している。ここで、「内側」とは、図２に示すマスク２０の中心線ＣＬに近づく側である。半円状部分３２ｂを形成する円の中心Ｏの第１方向Ｄ１における位置は、直線状部分３２ａの第１方向Ｄ１における中央位置と一致していてもよい。

図５において、符号Ｗ２は、第１方向Ｄ１における直線状部分３２ａの寸法（幅寸法）を表している。寸法Ｗ２は、半円状部分３２ｂを形成する円の直径と等しくてもよい。寸法Ｗ２は、例えば、１０ｍｍ以上でもよく、２０ｍｍ以上でもよく、４０ｍｍ以上でもよい。寸法Ｗ２は、例えば、３０ｍｍ以下でもよく、５０ｍｍ以下でもよく、６０ｍｍ以下でもよい。寸法Ｗ２の範囲は、１０ｍｍ、２０ｍｍ及び４０ｍｍからなる第１グループ、及び／又は、３０ｍｍ、５０ｍｍ及び６０ｍｍからなる第２グループによって定められてもよい。寸法Ｗ２の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｗ２の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｗ２の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上４０ｍｍ以下でもよく、４０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、４０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、４０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、３０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、３０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、５０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよい。

図５において、符号Ｌ２は、第２方向Ｄ２における直線状部分３２ａの寸法（長さ寸法）を表している。寸法Ｌ２は、例えば、１０ｍｍ以上でもよく、２０ｍｍ以上でもよく、４０ｍｍ以上でもよい。寸法Ｌ２は、例えば、３０ｍｍ以下でもよく、５０ｍｍ以下でもよく、６０ｍｍ以下でもよい。寸法Ｌ２の範囲は、１０ｍｍ、２０ｍｍ及び４０ｍｍからなる第１グループ、及び／又は、３０ｍｍ、５０ｍｍ及び６０ｍｍからなる第２グループによって定められてもよい。寸法Ｌ２の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｌ２の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｌ２の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上４０ｍｍ以下でもよく、４０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、４０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、４０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、３０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、３０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、５０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよい。

図５において、符号Ｌ３は、第２方向Ｄ２における半円状部分３２ｂの寸法（長さ寸法）を表している。すなわち、寸法Ｌ３は、半円状部分３２ｂを形成する円の半径を表している。寸法Ｌ３は、寸法Ｗ２の半分の寸法であってもよい。寸法Ｌ３は、例えば、５ｍｍ以上でもよく、１０ｍｍ以上でもよく、２０ｍｍ以上でもよい。寸法Ｌ３は、例えば、１５ｍｍ以下でもよく、２５ｍｍ以下でもよく、３０ｍｍ以下でもよい。寸法Ｌ３の範囲は、５ｍｍ、１０ｍｍ及び２０ｍｍからなる第１グループ、及び／又は、１５ｍｍ、２５ｍｍ及び３０ｍｍからなる第２グループによって定められてもよい。寸法Ｌ３の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｌ３の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｌ３の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、５ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、５ｍｍ以上２５ｍｍ以下でもよく、５ｍｍ以上１５ｍｍ以下でもよく、５ｍｍ以上２０ｍｍ以下でもよく、５ｍｍ以上１０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上２５ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上１５ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上２５ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上１５ｍｍ以下でもよく、１５ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、１５ｍｍ以上２５ｍｍ以下でもよく、２５ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよい。

なお、切欠き部３２の縁部３２ｅは、略Ｕ字形状以外にも、例えば、略Ｖ字形状、略半円形状、略コの字形状等のその他の形状を有していてもよい。

このようにマスク端部３０に切欠き部３２が形成されたことにより、図５に示すように、マスク端部３０の切欠き部３２の両側にグリップ部３５が形成される。すなわち、マスク端部３０は、切欠き部３２を介して第１方向Ｄ１に並んだ複数のグリップ部３５を含んでいる。本実施の形態においては、複数のグリップ部３５は、第１グリップ部３５ａと、第２グリップ部３５ｂと、を含んでいる。第１グリップ部３５ａは、第１方向Ｄ１における一側（図５における左側）に位置し、第２グリップ部３５ｂは、第１方向Ｄ１における他側（図５における右側）に位置している。以下の説明において、グリップ部の構成のうち、第１グリップ部３５ａ及び第２グリップ部３５ｂに共通する構成を説明する場合には、「グリップ部３５」という用語及び符号を用いる。

図５に示すように、グリップ部３５は、第２方向Ｄ２に突出している。すなわち、グリップ部３５は、基部３３から第２方向Ｄ２における外側に突出するように形成されている。グリップ部３５は、第１方向Ｄ１におけるマスク２０の縁部２０ｓと、第２方向Ｄ２におけるマスク端部３０の端縁３０ｅと、切欠き部３２の縁部３２ｅの一部（半分）と、によって画定されている。グリップ部３５は、後述するクランプ装置５０の対応するクランプ５１に挟持される部分である。グリップ部３５は、クランプ５１によって挟持される挟持領域３６を含んでいてもよい。より具体的には、第１グリップ部３５ａは、後述する第１クランプ５１ａによって挟持される第１挟持領域３６ａを含んでいてもよく、第２グリップ部３５ｂは、後述する第２クランプ５１ｂによって挟持される第２挟持領域３６ｂを含んでいてもよい（図９参照）。

図５において、符号Ｗ３は、第１方向Ｄ１における第１グリップ部３５ａの寸法（幅寸法）を表している。寸法Ｗ３は、例えば、１０ｍｍ以上でもよく、２０ｍｍ以上でもよく、４０ｍｍ以上でもよい。寸法Ｗ３は、例えば、３０ｍｍ以下でもよく、５０ｍｍ以下でもよく、６０ｍｍ以下でもよい。寸法Ｗ３の範囲は、１０ｍｍ、２０ｍｍ及び４０ｍｍからなる第１グループ、及び／又は、３０ｍｍ、５０ｍｍ及び６０ｍｍからなる第２グループによって定められてもよい。寸法Ｗ３の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｗ３の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｗ３の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上４０ｍｍ以下でもよく、４０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、４０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、４０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、３０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、３０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、５０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよい。

図５において、符号Ｗ４は、第１方向Ｄ１における第２グリップ部３５ｂの寸法（幅寸法）を表している。寸法Ｗ４は、第１方向Ｄ１における第１グリップ部３５ａの寸法Ｗ３と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、寸法Ｗ４は、寸法Ｗ３よりも小さくてもよいし、大きくてもよい。寸法Ｗ４の範囲は、寸法Ｗ３の範囲と同様であってもよい。

次に、マスク２０及びフレーム１５の材料について説明する。マスク２０及びフレーム１５の主要な材料として、ニッケルを含む鉄合金を用いてもよい。鉄合金は、ニッケルに加えてコバルトを更に含んでいてもよい。例えば、マスク２０の金属板２００の材料として、ニッケル及びコバルトの含有量が合計で２８質量％以上５４質量％以下であり、且つコバルトの含有量が０質量％以上６質量％以下である鉄合金を用いてもよい。これにより、マスク２０及びフレーム１５の熱膨張係数と、ガラスを含む基板１１０の熱膨張係数との差を小さくすることができる。このため、基板１１０上に付着する蒸着材料７の寸法精度や位置精度が、マスク２０、フレーム１５、基板１１０等の熱膨張に起因して低下することを抑制することができる。

金属板２００におけるニッケル及びコバルトの含有量は、合計で２８質量％以上３８質量％以下であってもよい。この場合、ニッケル若しくはニッケル及びコバルトを含む鉄合金の具体例として、インバー材、スーパーインバー材、ウルトラインバー材等が挙げられる。インバー材は、３４質量％以上３８質量％以下のニッケルと、残部の鉄及び不可避の不純物とを含む鉄合金である。スーパーインバー材は、３０質量％以上３４質量％以下のニッケルと、コバルトと、残部の鉄及び不可避の不純物とを含む鉄合金である。ウルトラインバー材は、２８質量％以上３４質量％以下のニッケルと、２質量％以上７質量％以下のコバルトと、０．１質量％以上１．０質量％以下のマンガンと、０．１０質量％以下のシリコンと、０．０１質量％以下の炭素と、残部の鉄及び不可避の不純物とを含む鉄合金である。

金属板２００におけるニッケル及びコバルトの含有量は、合計で３８質量％以上５４質量％以下であってもよい。この場合、ニッケル若しくはニッケル及びコバルトを含む鉄合金の具体例として、低熱膨張Ｆｅ－Ｎｉ系めっき合金等が挙げられる。低熱膨張Ｆｅ－Ｎｉ系めっき合金は、３８質量％以上５４質量％以下のニッケルと、残部の鉄及び不可避の不純物とを含む鉄合金である。

なお、蒸着工程の際に、マスク２０、フレーム１５及び基板１１０の温度が高温に達しない場合は、マスク２０及びフレーム１５の熱膨張係数を、基板１１０の熱膨張係数と同等の値にしなくてもよい。この場合、マスク２０を構成する材料として、上述の鉄合金以外の材料を用いてもよい。例えば、クロムを含む鉄合金等、上述のニッケルを含む鉄合金以外の鉄合金を用いてもよい。クロムを含む鉄合金としては、例えば、いわゆるステンレスと称される鉄合金を用いることができる。また、ニッケルやニッケル－コバルト合金等、鉄合金以外の合金を用いてもよい。

次に、図６～図９を用いて、マスク装置１０の製造装置４０（以下、製造装置４０と称する）について説明する。

図６に示すように、製造装置４０は、マスク２０と、載置台４５と、クランプ装置５０と、搬送装置６０と、溶接装置７０（図１６参照）と、を含んでいてもよい。

載置台４５は、マスク２０が載置される台である。図６に示すように、載置台４５は、フレーム１５から離れた位置に配置される。この載置台４５に載置されたマスク２０は、クランプ装置５０及び搬送装置６０によって順次搬送され、フレーム１５に固定される。

図６～図８に示すように、載置台４５は、平坦なトレー４６と、粘着部材４７と、ガイドピン４８と、を含んでいてもよい。トレー４６は、平面視で略矩形形状を有していてもよい。トレー４６の上面４６ａは、マスク２０の第２マスク面２０ｂと接触する。粘着部材４７は、トレー４６の上面４６ａに位置している。粘着部材４７は、第１方向Ｄ１に延びており、第２方向Ｄ２におけるマスク２０の両端部の近くにそれぞれ位置していてもよい。なお、粘着部材４７の配置や個数は任意である。粘着部材４７は、マスク２０の第２マスク面２０ｂに粘着することにより、マスク２０をトレー４６上に仮固定する。ガイドピン４８は、トレー４６の上面４６ａから突出している。ガイドピン４８は、粘着部材４７の近くにそれぞれ位置していてもよい。なお、ガイドピン４８の配置や個数は任意である。ガイドピン４８は、マスク２０の縁部２０ｓに当接することにより、マスク２０の位置がずれないように、マスク２０をトレー４６上の所定の位置に案内する。

クランプ装置５０は、マスク２０を挟持する装置である。図６～図８に示すように、クランプ装置５０は、第１クランプ装置５０Ａと、マスク２０を挟んで第１クランプ装置５０Ａの反対側に位置する第２クランプ装置５０Ｂと、を含んでいる。換言すると、クランプ装置５０は、マスク２０の一対のマスク端部３０のうち一方のマスク端部３０のグリップ部３５を挟持する第１クランプ装置５０Ａと、他方のマスク端部３０のグリップ部３５を挟持する第２クランプ装置５０Ｂと、を含んでいる。以下の説明において、クランプ装置の構成のうち、第１クランプ装置５０Ａ及び第２クランプ装置５０Ｂに共通する構成を説明する場合には、「クランプ装置５０」という用語及び符号を用いる。

図６～図９に示すように、クランプ装置５０は、マスク２０の対応するグリップ部３５を挟持する複数のクランプ５１を含んでいる。本実施の形態においては、複数のクランプ５１は、第１クランプ５１ａと、第２クランプ５１ｂと、を含んでいる。第１クランプ５１ａは、マスク２０の第１グリップ部３５ａを挟持し、第２クランプ５１ｂは、マスク２０の第２グリップ部３５ｂを挟持している。以下の説明において、クランプの構成のうち、第１クランプ５１ａ及び第２クランプ５１ｂに共通する構成を説明する場合には、「クランプ５１」という用語及び符号を用いる。

図８に示すように、クランプ５１は、一対のクランプ５１を含んでいる。一対のクランプ５１のうちの一方のクランプ５１はマスク２０の上方に位置しており、他方のクランプ５１は下方に位置している。クランプ装置５０は、これら一対のクランプ５１によりグリップ部３５を所定の押圧力で挟み込むことによって、マスク２０を挟持している。クランプ装置５０は、各クランプ５１によりマスク２０の対応するグリップ部３５を挟持することによって、マスク２０を支持する。クランプ装置５０は、各クランプ５１によりマスク２０を第２方向Ｄ２において互いに反対側に引っ張って、マスク２０に張力を加えることができる。

クランプ装置５０は、駆動装置５３によって駆動されてもよい。駆動装置５３は、例えば、エアシリンダや油圧シリンダ、サーボモータ等であってもよい。クランプ５１は、駆動装置５３によって制御され、第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２及び第３方向Ｄ３に移動可能であってもよい。また、複数のクランプ５１は、対応する駆動装置５３によってそれぞれ制御され、互いに独立して移動可能であってもよい。なお、複数のクランプ５１は、１つの駆動装置５３によって連動して制御されてもよい。

クランプ５１は、平面視で矩形形状を有していてもよい。また、クランプ５１は、平坦な板状の部材で構成されていてもよい。クランプ５１は、例えば、平坦な金属板で構成されていてもよい。金属板のマスク２０の側の面には、シリコンラバー等の滑り止め部材が配置されていてもよい。

図９において、符号Ｗ５は、第１方向Ｄ１における第１クランプ５１ａの寸法（幅寸法）を表している。寸法Ｗ５は、第１方向Ｄ１における第１グリップ部３５ａの寸法Ｗ３（図５参照）よりも大きいか、あるいは寸法Ｗ３と等しくてもよい。寸法Ｗ５は、例えば、１０ｍｍ以上でもよく、２０ｍｍ以上でもよく、４０ｍｍ以上でもよい。寸法Ｗ５は、例えば、３０ｍｍ以下でもよく、５０ｍｍ以下でもよく、６０ｍｍ以下でもよい。寸法Ｗ５の範囲は、１０ｍｍ、２０ｍｍ及び４０ｍｍからなる第１グループ、及び／又は、３０ｍｍ、５０ｍｍ及び６０ｍｍからなる第２グループによって定められてもよい。寸法Ｗ５の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｗ５の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｗ５の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上４０ｍｍ以下でもよく、４０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、４０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、４０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、３０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、３０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、５０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよい。

第１方向Ｄ１における第１クランプ５１ａの寸法Ｗ５に対する第１方向Ｄ１における第１グリップ部３５ａの寸法Ｗ３の比をＷ３／Ｗ５とした場合、Ｗ３／Ｗ５は、例えば、０．３以上でもよく、０．４以上でもよく、０．５以上でもよい。Ｗ３／Ｗ５は、例えば、０．６以下でもよく、０．８以下でもよく、１以下でもよい。Ｗ３／Ｗ５の範囲は、０．３、０．４及び０．５からなる第１グループ、及び／又は、０．６、０．８及び１からなる第２グループによって定められてもよい。Ｗ３／Ｗ５の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。Ｗ３／Ｗ５の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。Ｗ３／Ｗ５の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、０．３以上１以下でもよく、０．３以上０．８以下でもよく、０．３以上０．６以下でもよく、０．３以上０．５以下でもよく、０．３以上０．４以下でもよく、０．４以上１以下でもよく、０．４以上０．８以下でもよく、０．４以上０．６以下でもよく、０．４以上０．５以下でもよく、０．５以上１以下でもよく、０．５以上０．８以下でもよく、０．５以上０．６以下でもよく、０．６以上１以下でもよく、０．６以上０．８以下でもよく、０．８以上１以下でもよい。

図９において、符号Ｗ６は、第１方向Ｄ１における第２クランプ５１ｂの寸法（幅寸法）を表している。寸法Ｗ６は、第１方向Ｄ１における第２グリップ部３５ｂの寸法Ｗ４（図５参照）よりも大きいか、あるいは寸法Ｗ４と等しくてもよい。寸法Ｗ６は、第１方向Ｄ１における第１クランプ５１ａの寸法Ｗ５と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、寸法Ｗ６は、寸法Ｗ５よりも小さくてもよいし、大きくてもよい。寸法Ｗ６の範囲は、寸法Ｗ５の範囲と同様であってもよい。

第１方向Ｄ１における第２クランプ５１ｂの寸法Ｗ６に対する第１方向Ｄ１における第２グリップ部３５ｂの寸法Ｗ４の比であるＷ４／Ｗ６は、第１方向Ｄ１における第１クランプ５１ａの寸法Ｗ５に対する第１方向Ｄ１における第１グリップ部３５ａの寸法Ｗ３の比であるＷ３／Ｗ５と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、Ｗ４／Ｗ６は、Ｗ３／Ｗ５よりも小さくてもよいし、大きくてもよい。Ｗ４／Ｗ６の範囲は、Ｗ３／Ｗ５の範囲と同様であってもよい。

図９に示すように、クランプ５１は、少なくとも第１方向Ｄ１におけるマスク２０の縁部２０ｓを挟持していてもよい。すなわち、クランプ５１がグリップ部３５を挟持した状態において、平面視でクランプ５１とマスク２０の縁部２０ｓとが重なっていてもよい。図９に示す例においては、クランプ５１が、マスク２０の縁部２０ｓを越えた位置、すなわち第１方向Ｄ１においてグリップ部３５よりも切欠き部３２とは反対側にはみ出た位置にまで及んでいる。しかしながら、このことに限られることはなく、クランプ５１が、マスク２０の縁部２０ｓを越えた位置まで及んでいなくてもよい。

また、図９に示すように、クランプ５１は、平面視で切欠き部３２と重ならずにグリップ部３５を挟持していてもよい。すなわち、クランプ５１がグリップ部３５を挟持した状態において、平面視でクランプ５１と切欠き部３２とが重なっていなくてもよい。なお、図９に示すように、平面視でクランプ５１と切欠き部３２の縁部３２ｅとが重なっていてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、平面視でクランプ５１と切欠き部３２の縁部３２ｅとが重なっていなくもよい。

また、図９に示すように、クランプ５１は、切欠き部３２の半円状部分３２ｂよりも第２方向Ｄ２におけるマスク端部３０の端縁３０ｅに近い位置でグリップ部３５を挟持していてもよい。すなわち、クランプ５１は、第２方向Ｄ２において切欠き部３２の直線状部分３２ａと重なり、かつ半円状部分３２ｂと重ならない位置でグリップ部３５を挟持していてもよい。換言すると、クランプ５１がグリップ部３５を挟持した状態において、クランプ５１は、平面視で半円状部分３２ｂよりも外側に位置していてもよい。

この場合において、図９に示すように、クランプ５１は、第２方向Ｄ２における直線状部分３２ａの中央位置３２ｃよりも第２方向Ｄ２におけるマスク端部３０の端縁３０ｅに近い位置でグリップ部３５を挟持していてもよい。換言すると、クランプ５１がグリップ部３５を挟持した状態において、クランプ５１は、平面視で第２方向Ｄ２における直線状部分３２ａの中央位置３２ｃよりも外側に位置していてもよい。

図９において、符号Ｗ７は、第１方向Ｄ１における第１挟持領域３６ａの寸法（幅寸法）を表している。図９に示すように、寸法Ｗ７は、第１方向Ｄ１における第１グリップ部３５ａの寸法Ｗ３（図５参照）と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、寸法Ｗ７は、寸法Ｗ３よりも小さくてもよい。また、符号Ｌ７は、第２方向Ｄ２における第１挟持領域３６ａの寸法（長さ寸法）を表している。図９に示すように、第１方向Ｄ１における第１挟持領域３６ａの寸法Ｗ７は、第２方向Ｄ２における第１挟持領域３６ａの寸法Ｌ７よりも大きくてもよい。すなわち、第１挟持領域３６ａは、第１方向Ｄ１における幅寸法が第２方向Ｄ２における長さ寸法よりも大きくなるような形状を有していてもよい。

寸法Ｗ７は、例えば、１０ｍｍ以上でもよく、２０ｍｍ以上でもよく、４０ｍｍ以上でもよい。寸法Ｗ７は、例えば、３０ｍｍ以下でもよく、５０ｍｍ以下でもよく、６０ｍｍ以下でもよい。寸法Ｗ７の範囲は、１０ｍｍ、２０ｍｍ及び４０ｍｍからなる第１グループ、及び／又は、３０ｍｍ、５０ｍｍ及び６０ｍｍからなる第２グループによって定められてもよい。寸法Ｗ７の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｗ７の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｗ７の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、１０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上４０ｍｍ以下でもよく、４０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、４０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、４０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、３０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよく、３０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でもよく、５０ｍｍ以上６０ｍｍ以下でもよい。

寸法Ｌ７は、例えば、５ｍｍ以上でもよく、１０ｍｍ以上でもよく、２０ｍｍ以上でもよい。寸法Ｌ７は、例えば、１５ｍｍ以下でもよく、２５ｍｍ以下でもよく、３０ｍｍ以下でもよい。寸法Ｌ７の範囲は、５ｍｍ、１０ｍｍ及び２０ｍｍからなる第１グループ、及び／又は、１５ｍｍ、２５ｍｍ及び３０ｍｍからなる第２グループによって定められてもよい。寸法Ｌ７の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の１つと、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の１つとの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｌ７の範囲は、上述の第１グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。寸法Ｌ７の範囲は、上述の第２グループに含まれる値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、５ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、５ｍｍ以上２５ｍｍ以下でもよく、５ｍｍ以上１５ｍｍ以下でもよく、５ｍｍ以上２０ｍｍ以下でもよく、５ｍｍ以上１０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上２５ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上１５ｍｍ以下でもよく、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上２５ｍｍ以下でもよく、２０ｍｍ以上１５ｍｍ以下でもよく、１５ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよく、１５ｍｍ以上２５ｍｍ以下でもよく、２５ｍｍ以上３０ｍｍ以下でもよい。

図９において、符号Ｗ８は、第１方向Ｄ１における第２挟持領域３６ｂの寸法（幅寸法）を表している。図９に示すように、寸法Ｗ８は、第１方向Ｄ１における第２グリップ部３５ｂの寸法Ｗ４（図５参照）と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、寸法Ｗ８は、寸法Ｗ４よりも小さくてもよい。また、符号Ｌ８は、第２方向Ｄ２における第２挟持領域３６ｂの寸法（長さ寸法）を表している。図９に示すように、第１方向Ｄ１における第２挟持領域３６ｂの寸法Ｗ８は、第２方向Ｄ２における第２挟持領域３６ｂの寸法Ｌ８よりも大きくてもよい。すなわち、第２挟持領域３６ｂは、第１方向Ｄ１における幅寸法が第２方向Ｄ２における長さ寸法よりも大きくなるような形状を有していてもよい。

第１方向Ｄ１における第２挟持領域３６ｂの寸法Ｗ８は、第１方向Ｄ１における第１挟持領域３６ａの寸法Ｗ７と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、寸法Ｗ８は、寸法Ｗ７よりも小さくてもよいし、大きくてもよい。寸法Ｗ８の範囲は、寸法Ｗ７の範囲と同様であってもよい。また、第２方向Ｄ２における第２挟持領域３６ｂの寸法Ｌ８は、第２方向Ｄ２における第１挟持領域３６ａの寸法Ｌ７と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、寸法Ｌ８は、寸法Ｌ７よりも小さくてもよいし、大きくてもよい。寸法Ｌ８の範囲は、寸法Ｌ７の範囲と同様であってもよい。

搬送装置６０は、マスク２０を搬送する装置である。搬送装置６０は、クランプ装置５０により挟持されたマスク２０を搬送する。図６に示すように、搬送装置６０は、第１方向Ｄ１に延びていてもよい。搬送装置６０は、クランプ装置５０及び駆動装置５３を第１方向Ｄ１に直線移動させるように構成されていてもよい。搬送装置６０は、クランプ装置５０及び駆動装置５３を第１方向Ｄ１に直線移動させることにより、クランプ装置５０により挟持されたマスク２０を、載置台４５上からフレーム１５上の対応する位置に搬送可能に構成されていてもよい。

溶接装置７０は、マスク２０をフレーム１５に溶接して接合する装置である。溶接装置７０は、搬送装置６０によりフレーム１５上の所定の位置に搬送されたマスク２０のマスク端部３０を、接合部３１においてフレーム１５の第１フレーム面１５ａに溶接する（図１６参照）。溶接装置７０は、スポット溶接によってマスク２０をフレーム１５に接合してもよい。また、溶接装置７０は、レーザー光Ｌを照射するレーザー装置であってもよい。この場合、レーザー光Ｌとしては、例えば、ＹＡＧレーザー装置によって生成されるＹＡＧレーザー光（基本波波長１０６４ｎｍ）を用いてもよい。ＹＡＧレーザー装置としては、例えば、ＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）にＮｄ（ネオジム）を添加した結晶を発振用媒質として備えたものを用いてもよい。あるいは、レーザー光Ｌとして、例えば、Ｙｂファイバーレーザー装置によって生成されるファイバーレーザー光（波長１０７０ｎｍ）を用いてもよい。

次に、図１０～図１６を用いて、マスク装置１０の製造方法について説明する。

マスク装置１０の製造方法は、準備工程と、挟持工程と、搬送工程と、固定工程と、を含んでいてもよい。

まず、準備工程を実施する。準備工程は、フレーム準備工程と、マスク準備工程と、を含んでいてもよい。

フレーム準備工程においては、まず、図示しない金属板を準備する。次に、この金属板に対して切削等の機械加工を施すことにより、開口１５ｄを含むフレーム１５を得ることができる。なお、フレーム１５は、鋳型や３Ｄプリンタを用いて作製されてもよい。

マスク準備工程においては、上述したマスク２０を準備する。ここでは、複数枚のマスク２０に対応する多数の貫通孔２５を金属板２００に形成する。換言すると、金属板２００に複数枚のマスク２０を割り付ける。その後、金属板２００のうち１枚分のマスク２０に対応する複数の貫通孔２５が形成された部分２１０を金属板２００から分離する。このようにして、枚葉状のマスク２０を得ることができる。

より具体的には、まず、金属板２００の第１金属面２００ａ上及び第２金属面２００ｂ上に、感光性レジスト材料を含むレジスト膜を形成する。続いて、レジスト膜を露光及び現像する。これにより、図１０に示すように、金属板２００の第１金属面２００ａ上に第１レジストパターン２０１ａを形成するとともに、金属板２００の第２金属面２００ｂ上に第２レジストパターン２０１ｂを形成することができる。

続いて、図１１に示すように、金属板２００の第１金属面２００ａのうち第１レジストパターン２０１ａによって覆われていない領域を、第１エッチング液を用いてエッチングする第１エッチング工程を実施する。これにより、金属板２００の第１金属面２００ａに多数の第１凹部２０２が形成される。第１エッチング液としては、例えば、塩化第２鉄溶液及び塩酸を含む溶剤を用いてもよい。

次に、図１２に示すように、金属板２００の第２金属面２００ｂのうち第２レジストパターン２０１ｂによって覆われていない領域を、第２エッチング液を用いてエッチングする第２エッチング工程を実施する。これにより、金属板２００の第２金属面２００ｂに多数の第２凹部２０３が形成される。第２エッチング工程は、第１凹部２０２と第２凹部２０３とが接続されて貫通孔２５が形成されるまで実施される。第２エッチング液としては、上述の第１エッチング液と同様に、例えば、塩化第２鉄溶液及び塩酸を含む溶剤を用いてもよい。なお、第２エッチング工程の際、図１２に示すように、第２エッチング液に対する耐性を有する樹脂２０４によって第１凹部２０２が被覆されていてもよい。

続いて、図１３に示すように、金属板２００から樹脂２０４を除去する。樹脂２０４は、例えばアルカリ系剥離液を用いることによって、除去することができる。アルカリ系剥離液が用いられる場合、図１３に示すように、樹脂２０４と同時にレジストパターン２０１ａ、２０１ｂも除去することができる。なお、樹脂２０４を除去した後、樹脂２０４を剥離させるための剥離液とは異なる剥離液を用いて、樹脂２０４とは別途にレジストパターン２０１ａ、２０１ｂを除去してもよい。

そして、金属板２００のうち１枚分のマスク２０に対応する複数の貫通孔２５が形成された部分２１０を金属板２００から分離する。

その後、図１４に示すように、マスク２０のマスク端部３０を形成する。より具体的には、金属板２００のうち１枚分のマスク２０に対応する部分２１０の端部２１５を、図示しない切断装置を用いて、図１４に示すような破線ＤＬに沿って切断し、金属片２０８を除去する。これにより、切欠き部３２と、グリップ部３５（第１グリップ部３５ａ及び第２グリップ部３５ｂ）と、を含むマスク端部３０を形成することができる。

このようにして、マスク２０を得ることができる。準備したマスク２０は、載置台４５に載置される（図６～図８参照）。

なお、マスク端部３０を形成した後、マスク２０を検査するマスク検査工程を実施してもよい。マスク検査工程においては、例えば、マスク２０の表面に局所的な変形等が存在するか否かが検査される。

準備工程の後、挟持工程を実施する。挟持工程においては、クランプ装置５０によってマスク２０を挟持する。より具体的には、図８に示すように、クランプ装置５０の複数のクランプ５１により、載置台４５に載置されたマスク２０の対応するグリップ部３５を挟持する。そして、各クランプ５１によりマスク２０を第２方向Ｄ２において互いに反対側に引っ張って、マスク２０に張力を加える。

挟持工程の後、搬送工程を実施する。搬送工程においては、搬送装置６０によってマスク２０を搬送する。搬送工程は、移動工程と、位置調整工程と、接触工程と、を含んでいてもよい。

まず、移動工程において、クランプ装置５０を移動させる。より具体的には、マスク２０がクランプ装置５０に挟持された状態で、搬送装置６０によりクランプ装置５０及び駆動装置５３を第１方向Ｄ１に直線移動させる。そして、マスク２０を、載置台４５上からフレーム１５上の対応する位置まで搬送して、図１５に示すように、マスク２０のマスク端部３０を、フレーム１５の第１フレーム面１５ａに対向させる。

続いて、位置調整工程において、フレーム１５に対するマスク２０の位置を調整する。より具体的には、フレーム１５のアライメントマーク１５ｅを基準にして、フレーム１５に対するマスク２０の位置を調整する。位置調整は、クランプ装置５０がマスク２０に張力を加えた状態で、搬送装置６０によりクランプ装置５０を水平面内で平行移動させることにより行われる。

次に、接触工程において、マスク２０をフレーム１５に接触させる。より具体的には、搬送装置６０によりクランプ装置５０を下方に移動させて、クランプ装置５０がマスク２０に張力を加えた状態で、マスク２０のマスク端部３０をフレーム１５の第１フレーム面１５ａに接触させる。

このようにして、マスク２０を、載置台４５上からフレーム１５上まで搬送することができる。

搬送工程の後、固定工程を実施する。固定工程においては、フレーム１５にマスク２０を固定する。より具体的には、図１６に示すように、クランプ装置５０がマスク２０に張力を加えた状態で、溶接装置７０によって、マスク２０のマスク端部３０を、接合部３１においてフレーム１５の第１フレーム面１５ａに溶接して固定する。溶接装置７０がレーザー装置である場合、レーザー光Ｌを用いたスポット溶接によって、マスク２０をフレーム１５に接合してもよい。

その後、クランプ装置５０の各クランプ５１がマスク２０を解放する。固定工程の後、マスク２０のマスク端部３０のうち接合部３１よりも外側の部分が、図示しない切断装置により切断され除去されてもよい。

このような挟持工程、搬送工程及び固定工程を各マスク２０に対して順次実施することによって、図２に示すような、フレーム１５に複数のマスク２０が固定されたマスク装置１０を得ることができる。

次に、図１７～図２０を用いて、有機デバイスの製造方法について説明する。有機デバイスは、上述したマスク装置１０を含む蒸着装置１を用いて製造される。

有機デバイスの製造方法は、準備工程と、保持工程と、密着工程と、蒸着工程と、を含んでいてもよい。

まず、準備工程を実施する。準備工程においては、図１７に示すように、蒸着材料７が収容された蒸着源６、ヒータ８及びマスク装置１０を含む蒸着装置１を準備する。マスク装置１０は、上述したマスク装置の製造方法により得ることができる。ここで、マスク装置１０は、マスクホルダ３により蒸着源６の上方に位置するように保持される。

準備工程の後、保持工程を実施する。保持工程においては、図１８に示すように、基板ホルダ２により基板１１０を保持する。より具体的には、基板１１０は、蒸着装置１の内部において、マスク２０の第１マスク面２０ａに対向するように保持される。この際、基板ホルダ２を移動させて、マスク２０に対する基板１１０の位置を調整してもよい。例えば、マスク２０のアライメントマーク（図示せず）又はフレーム１５のアライメントマーク１５ｅ（図２参照）と、基板１１０のアライメントマーク（図示せず）とが重なるように、基板１１０を移動させて位置調整を行ってもよい。

保持工程の後、密着工程を実施する。密着工程においては、磁石５の磁力によりマスク２０を基板１１０に密着させる。より具体的には、図１９に示すように、基板ホルダ２の面のうちマスク装置１０とは反対側の面に磁石５を配置する。これにより、磁石５の磁力によってマスク２０が基板１１０の側に引き寄せられ、マスク２０の第１マスク面２０ａが基板１１０に密着する。

密着工程の後、蒸着工程を実施する。蒸着工程においては、基板１１０に蒸着材料７を蒸着させる。この際、まず、蒸着装置１の内部が高真空状態になるように、蒸着装置１の内部を図示しない排気手段により排気する。次に、ヒータ８により、蒸着源６を加熱して蒸着材料７を蒸発させる。そして、蒸着源６から蒸発してマスク装置１０に到達した蒸着材料７が、フレーム１５の開口１５ｄ及びマスク２０の貫通孔２５を通過して基板１１０に付着する。

このようにして、マスク２０の貫通孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料７が基板１１０に蒸着される。これにより、図２０に示すような、基板１１０上に蒸着材料７が付着した有機デバイス１００を得ることができる。

なお、有機デバイス１００が有機ＥＬ表示装置である場合、上述した工程を繰り返すことにより、各色に対応した蒸着材料７を基板１１０上に付着させることができる。この場合、各色のパターンに対応した貫通孔２５が設けられたマスク２０を含むマスク装置１０がそれぞれ用いられる。

また、図２０に示す有機デバイス１００においては、蒸着材料７を含む画素に電圧を印加する電極等を含むその他の構成要素は省略されている。従って、図２０に示す有機デバイス１００は、有機デバイスの中間体と呼ぶこともできる。

次に、本実施の形態の作用効果について説明する。

一般的なマスク装置の製造装置１４０においては、例えば、図２１に示すように、マスク１２０のグリップ部１３５が細長に形成され、第１方向Ｄ１におけるグリップ部１３５（第１グリップ部１３５ａ及び第２グリップ部１３５ｂ）の寸法Ｗ１３、Ｗ１４が１０ｍｍよりも小さい場合がある。この場合、マスク装置の製造時において、マスク１２０のマスク端部１３０を形成する際に、切断装置による力を受けて、グリップ部１３５が折れ曲がるように変形し得る。このため、クランプ装置１５０の各クランプ１５１（第１クランプ１５１ａ及び第２クランプ１５１ｂ）によりマスク１２０の対応するグリップ部１３５を挟持することができない場合があり、マスク装置の製造不良が発生するおそれがある。

一方、別の一般的なマスク装置の製造装置２４０においては、例えば、図２２に示すように、マスク２２０のグリップ部２３５が幅広に形成され、第１方向Ｄ１におけるクランプ２５１（第１クランプ２５１ａ及び第２クランプ２５１ｂ）の寸法Ｗ２５、Ｗ２６に対する第１方向Ｄ１におけるグリップ部２３５（第１グリップ部２３５ａ及び第２グリップ部２３５ｂ）の寸法Ｗ２３、Ｗ２４の比であるＷ２３／Ｗ２５、Ｗ２４／Ｗ２６が１より大きい場合がある。この場合、マスク装置の製造時において、クランプ装置２５０が各クランプ２５１によりマスク２２０の対応するグリップ部２３５を挟持した状態でマスク２２０を第２方向Ｄ２において互いに反対側に引っ張った際に、マスク２２０に十分な張力を付与することができないことがある。このため、マスク２２０に皺が生じ、蒸着工程において、マスク２２０の貫通孔の位置が設計位置からずれ、蒸着の位置精度が低下するおそれがある。

これに対して本実施の形態によれば、製造装置４０において、第１方向Ｄ１におけるグリップ部３５の寸法Ｗ３、Ｗ４が１０ｍｍ以上であり、第１方向Ｄ１におけるクランプ５１の寸法Ｗ５、Ｗ６に対する第１方向Ｄ１におけるグリップ部３５の寸法Ｗ３、Ｗ４の比Ｗ３／Ｗ５、Ｗ４／Ｗ６が１以下である（図５及び図９参照）。第１方向Ｄ１におけるグリップ部３５の寸法Ｗ３、Ｗ４が１０ｍｍ以上であることにより、マスク装置１０の製造時において、マスク２０のマスク端部３０を形成する際に、グリップ部３５が変形することを抑制することができる。このため、マスク装置１０の製造不良の発生を抑制することができる。また、第１方向Ｄ１におけるクランプ５１の寸法Ｗ５、Ｗ６に対する第１方向Ｄ１におけるグリップ部３５の寸法Ｗ３、Ｗ４の比Ｗ３／Ｗ５、Ｗ４／Ｗ６が１以下であることにより、マスク装置１０の製造時において、クランプ装置５０が各クランプ５１によりマスク２０を引っ張った際に、マスク２０に十分な張力を付与することができる。このため、マスク２０に皺が生じることを抑制することができる。この結果、マスク２０の貫通孔２５の位置が設計位置からずれることを抑制し、蒸着の位置精度の低下を抑制することができる。このように本実施の形態によれば、マスク装置１０の信頼性を向上させることができる。

また、更に別の一般的なマスク装置の製造装置３４０においては、例えば、図２３に示すように、クランプ装置３５０の各クランプ３５１（第１クランプ３５１ａ及び第２クランプ３５１ｂ）が、対応するグリップ部３３５（第１グリップ部３３５ａ及び第２グリップ部３３５ｂ）を挟持する際に、第１方向Ｄ１におけるマスク３２０の縁部３２０ｓを挟持していない場合がある。この場合、マスク装置の製造時において、各クランプ３５１が対応するグリップ部３３５を挟持している間に、各クランプ３５１の押圧力によって、第１方向Ｄ１におけるマスク３２０の縁部３２０ｓがめくれ上がるように変形し得る。このため、マスク３２０のマスク端部３３０をフレームに溶接する際に、マスク３２０とフレームとの密着性が低下し、溶接不良が発生するおそれがある。

これに対して本実施の形態によれば、クランプ５１は、少なくとも第１方向Ｄ１におけるマスク２０の縁部２０ｓを挟持している（図９参照）。このことにより、マスク装置１０の製造時において、各クランプ５１が対応するグリップ部３５を挟持している間に、各クランプ５１の押圧力によって、第１方向Ｄ１におけるマスク２０の縁部２０ｓが変形することを抑制することができる。このため、溶接不良の発生を抑制することができる。この結果、マスク装置１０の信頼性を向上させることができる。

また、更に別の一般的なマスク装置の製造装置４４０においては、例えば、図２４に示すように、クランプ装置４５０の各クランプ４５１（第１クランプ４５１ａ及び第２クランプ４５１ｂ）が、第２方向Ｄ２において切欠き部４３２の半円状部分４３２ｂと重なる位置、あるいは半円状部分４３２ｂよりも内側の位置で対応するグリップ部４３５（第１グリップ部４３５ａ及び第２グリップ部４３５ｂ）を挟持している場合がある。この場合、各クランプ４５１の押圧力により、マスク４２０のうち第１方向Ｄ１における第１クランプ４５１ａと第２クランプ４５１ｂとの間の領域Ｒ４（図２４参照）に皺が発生するおそれがある。この皺がマスク４２０の有効領域にまで及んだ場合、蒸着工程において、マスク４２０の貫通孔の位置が設計位置からずれ、蒸着の位置精度が低下するおそれがある。

これに対して本実施の形態によれば、クランプ５１は、切欠き部３２の半円状部分３２ｂよりも第２方向Ｄ２におけるマスク端部３０の端縁３０ｅに近い位置でグリップ部３５を挟持している（図９参照）。このことにより、マスク装置１０の製造時において、各クランプ５１が対応するグリップ部３５を挟持している間に、各クランプ５１の押圧力によって、マスク２０に皺が発生することを抑制することができる。このため、マスク２０の貫通孔２５の位置が設計位置からずれることを抑制し、蒸着の位置精度の低下を抑制することができる。

とりわけ、本実施の形態によれば、クランプ５１は、第２方向Ｄ２における直線状部分３２ａの中央位置３２ｃよりも第２方向Ｄ２におけるマスク端部３０の端縁３０ｅに近い位置でグリップ部３５を挟持している（図９参照）。このことにより、マスク２０に皺が発生することをより一層効果的に抑制することができる。このため、マスク２０の貫通孔２５の位置が設計位置からずれることをより一層抑制し、蒸着の位置精度の低下をより一層抑制することができる。

また、本実施の形態によれば、第１方向Ｄ１における挟持領域３６ａ、３６ｂの寸法Ｗ７、Ｗ８は、第２方向Ｄ２における挟持領域３６ａ、３６ｂの寸法Ｌ７、Ｌ８よりも大きい（図９参照）。このように挟持領域３６ａ、３６ｂの幅が広いことにより、マスク装置１０の製造時において、クランプ装置５０の各クランプ５１によりマスク２０を引っ張った際に、マスク２０に十分な張力を付与することができ、マスク２０に皺が生じることを抑制することができる。また、このように挟持領域３６ａ、３６ｂの長さが短いことにより、各クランプ５１が対応するグリップ部３５を挟持している間に、各クランプ５１の押圧力によって、マスク２０に皺が発生することを抑制することができる。このため、マスク２０の貫通孔２５の位置が設計位置からずれることを抑制し、蒸着の位置精度の低下を抑制することができる。

なお、上述した実施の形態においては、複数のグリップ部３５が、第１グリップ部３５ａと、第２グリップ部３５ｂと、を含んでいる例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、グリップ部３５の個数は任意である。例えば、図２５に示すように、複数のグリップ部３５は、第１グリップ部３５ａと、第２グリップ部３５ｂと、第３グリップ部３５ｃと、を含んでいてもよい。

図２５に示す例においては、マスク端部３０は、複数の切欠き部３２を含んでいる。複数の切欠き部３２は、第１切欠き部３２Ｘと、第２切欠き部３２Ｙと、を含んでいる。複数のグリップ部３５は、これらの切欠き部３２を介して第１方向Ｄ１に並んでいる。より具体的には、第１グリップ部３５ａ及び第２グリップ部３５ｂは、第１切欠き部３２Ｘを介して第１方向Ｄ１に並び、第２グリップ部３５ｂ及び第３グリップ部３５ｃは、第２切欠き部３２Ｙを介して第１方向Ｄ１に並んでいる。

また、図２５に示す例においては、複数のクランプ５１は、第１クランプ５１ａと、第２クランプ５１ｂと、第３クランプ５１ｃと、を含んでいる。複数のクランプ５１は、マスク２０の対応するグリップ部３５を挟持している。より具体的には、第１クランプ５１ａは、マスク２０の第１グリップ部３５ａを挟持し、第２クランプ５１ｂは、マスク２０の第２グリップ部３５ｂを挟持し、第３クランプ５１ｃは、マスク２０の第３グリップ部３５ｃを挟持している。

このような場合であっても、第１方向Ｄ１におけるグリップ部３５の寸法が１０ｍｍ以上であることにより、マスク装置１０の製造時において、グリップ部３５が変形することを抑制することができ、マスク装置１０の製造不良の発生を抑制することができる。また、第１方向Ｄ１におけるクランプ５１の寸法に対する第１方向Ｄ１におけるグリップ部３５の寸法の比が１以下であることにより、マスク装置１０の製造時において、マスク２０に皺が生じることを抑制することができる。このため、マスク２０の貫通孔２５の位置が設計位置からずれることを抑制し、蒸着の位置精度の低下を抑制することができる。この結果、マスク装置１０の信頼性を向上させることができる。

なお、上述した例に限られることはなく、複数のグリップ部３５は、第４グリップ部、第５グリップ部等の更に多くのグリップ部３５を含んでいてもよい。この場合において、複数の切欠き部３２も、第３切欠き部、第４切欠き部等の更に多くの切欠き部３２を含んでいてもよい。また、複数のクランプ５１も、第４クランプ、第５クランプ等の更に多くのクランプ５１を含んでいてもよい。

次に、本開示の実施の形態を一実施例により更に具体的に説明するが、本開示の実施の形態は、その要旨を超えない限り、以下の一実施例の記載に限定されない。

まず、一実施例として、グリップ部３５の幅寸法Ｗ３、Ｗ４を変更した場合のグリップ部３５の変形及び貫通孔２５の位置精度を評価した。

より具体的には、まず、複数のマスク２０を準備した。各マスク２０において、マスク２０の長さ寸法Ｌ１（図２参照）は１２００ｍｍであった。マスク２０の幅寸法Ｗ１（図２参照）は、２８ｍｍ以上２００ｍｍ以下の範囲内で変更した。各マスク２０の厚みＴは３０μｍであった。

各マスク２０のマスク端部３０には、切欠き部３２が形成されていた。図５に示すように、切欠き部３２の縁部３２ｅは、平面視で略Ｕ字形状を有しており、切欠き部３２は、直線状部分３２ａと半円状部分３２ｂとを有していた。各マスク２０において、直線状部分３２ａの幅寸法Ｗ２は２０ｍｍであった。直線状部分３２ａの長さ寸法Ｌ２は１０ｍｍであった。半円状部分３２ｂの長さ寸法Ｌ３は１０ｍｍであった。

各マスク２０のマスク端部３０に切欠き部３２が形成されたことにより、図５に示すように、マスク端部３０の切欠き部３２の両側にグリップ部３５（第１グリップ部３５ａ及び第２グリップ部３５ｂ）が形成されていた。各マスク２０において、第１グリップ部３５ａの幅寸法Ｗ３は、４ｍｍ以上９０ｍｍ以下の範囲内で変更した（図２６参照）。第２グリップ部３５ｂの幅寸法Ｗ４は、第１グリップ部３５ａの幅寸法Ｗ３の寸法と同じにした。

続いて、図９に示すように、クランプ装置５０のクランプ５１により、各マスク２０の対応するグリップ部３５を挟持した。すなわち、第１クランプ５１ａにより、各マスク２０の第１グリップ部３５ａを挟持し、第２クランプ５１ｂにより、各マスク２０の第２グリップ部３５ｂを挟持した。第１クランプ５１ａの幅寸法Ｗ５は３０ｍｍであった。第２クランプ５１ｂの幅寸法Ｗ６は、第１クランプ５１ａの幅寸法Ｗ５と同様、３０ｍｍであった。

第１クランプ５１ａの幅寸法Ｗ５が３０ｍｍであるため、第１グリップ部３５ａの幅寸法Ｗ３（図５参照）が３０ｍｍよりも小さい場合、第１挟持領域３６ａの幅寸法Ｗ７は、第１グリップ部３５ａの幅寸法Ｗ３と同じであった。また、第１グリップ部３５ａの幅寸法Ｗ３（図５参照）が３０ｍｍ以上の場合、第１挟持領域３６ａの幅寸法Ｗ７は３０ｍｍであった。第１挟持領域３６ａの長さ寸法Ｌ７は８ｍｍであった。第２挟持領域３６ｂの幅寸法Ｗ８は、第１挟持領域３６ａの幅寸法Ｗ７と同じであった。第２挟持領域３６ｂの長さ寸法Ｌ８は、第２挟持領域３６ｂの長さ寸法Ｌ７と同様、８ｍｍであった。また、クランプ５１によりグリップ部３５を挟持する際、少なくとも第１方向Ｄ１におけるマスク２０の縁部２０ｓを挟持するようにした（図９参照）。

ここで、まず、各マスク２０について、グリップ部３５に変形があるか否かを評価した。図２６に、各マスク２０のグリップ部３５の幅寸法Ｗ３に対するグリップ部３５の変形の評価結果を示す。図２６の「グリップ部の変形」の評価項目の欄において、「〇」は変形が見られなかったことを示し、「△」はクランプによる挟持は可能であるが変形が見られたことを示し、「×」はクランプによる挟持が不可能な程度の大きな変形が見られたことを示している。

図２６に示すように、グリップ部３５の幅寸法Ｗ３が７．５ｍｍ以下である場合に、グリップ部３５に変形が見られ、グリップ部３５の幅寸法Ｗ３が６ｍｍ以下である場合に、グリップ部３５にクランプ５１による挟持が不可能な程度の大きな変形が見られた。一方、グリップ部３５の幅寸法Ｗ５が１０ｍｍ以上である場合には、グリップ部３５に変形が見られなかった。

次に、クランプ５１により挟持することができた各マスク２０（グリップ部３５の幅寸法Ｗ５が７ｍｍ以上のマスク２０）をフレーム１５に固定して、各マスク２０に対応するマスク装置１０を得た。より具体的には、まず、各クランプ５１によりマスク２０を第２方向Ｄ２において互いに反対側に引っ張り、マスク２０に張力を加えた。そして、クランプ装置５０によりマスク２０に張力を加えた状態で、搬送装置６０によりマスク２０をフレーム１５上に搬送し、溶接装置７０によりマスク２０のマスク端部３０をフレーム１５に溶接した。

その後、各マスク装置１０におけるマスク２０の貫通孔２５の位置精度を評価した。より具体的には、フレーム１５に固定された各マスク２０の貫通孔２５の位置を測定し、その測定位置と設計位置との差分から位置ずれ量を算出した。評価点は、各マスク２０の１つの有効領域２２に対して、その有効領域２２内の任意の貫通孔２５の位置で９点設定された。位置ずれ量は、すべての評価点における測定位置と設計位置との差分のバラツキの標準偏差として算出した。

図２６に、各マスク２０の貫通孔２５の位置精度の評価結果を示す。図２６には、クランプ５１の幅寸法Ｗ５に対するグリップ部３５の幅寸法Ｗ３の比であるＷ３／Ｗ５の各値と、各Ｗ３／Ｗ５に対する貫通孔２５の位置精度の評価結果とが示されている。図２６の「貫通孔の位置精度」の評価項目の欄において、「〇」は位置ずれ量が±３μｍ以内であったことを示し、「△」は位置ずれ量が±３μｍよりも大きかったが±５μｍ以内であったことを示し、「×」は位置ずれ量が±５μｍよりも大きかったことを示している。

図２６に示すように、Ｗ３／Ｗ５が１．０７以上である場合に、±３μｍよりも大きい位置ずれ量を示し、Ｗ３／Ｗ５が１．２７以上である場合に、±５μｍよりも大きい位置ずれ量を示した。一方、Ｗ３／Ｗ５が１以下である場合には、±３μｍ以内の位置ずれ量であった。

また、別の一実施例として、クランプ５１による挟持位置を変更した場合のマスク２０の変形を評価した。

より具体的には、まず、同一の寸法を有する複数のマスク２０を準備した。続いて、各マスク２０について、第１方向Ｄ１におけるクランプ５１とマスク２０の縁部２０ｓとの間の寸法ΔＷ（図２３参照）を変更して、クランプ５１によりグリップ部３５を挟持した。次に、クランプ５１によりマスク２０に張力を加え、搬送装置６０によりマスク２０をフレーム１５上に搬送した。そして、溶接装置７０により各マスク２０のマスク端部３０をフレーム１５に溶接することを試みた。その際、挟持位置を変更した各マスク２０について、マスク２０の縁部２０ｓがめくれ上がるように変形したか否かを評価するとともに、マスク２０をフレーム１５に正常に溶接できたか否かを評価した。

ここで、各マスク２０において、第１方向Ｄ１におけるクランプ５１とマスク２０の縁部２０ｓとの間の寸法ΔＷは、－３ｍｍ以上３ｍｍ以下の範囲内で１ｍｍ刻みで変更した（図２７参照）。寸法ΔＷが「－（マイナス）」とは、クランプ５１が、マスク２０の縁部２０ｓを挟持するとともに、マスク２０の縁部２０ｓを越えた位置にまで及んでいることを意味する。例えば、寸法ΔＷが「－３ｍｍ」とは、クランプ５１の位置がマスク２０の縁部２０ｓを第１方向Ｄ１に３ｍｍ越えていることを意味する。

各マスク２０において、マスク２０の長さ寸法Ｌ１（図２参照）は１２００ｍｍであった。マスク２０の幅寸法Ｗ１（図２参照）は８０ｍｍであった。各マスク２０の厚みＴは３０μｍであった。切欠き部３２の直線状部分３２ａの幅寸法Ｗ２（図５参照）は２０ｍｍであった。切欠き部３２の直線状部分３２ａの長さ寸法Ｌ２（図５参照）は１０ｍｍであった。切欠き部３２の半円状部分３２ｂの長さ寸法Ｌ３（図５参照）は１０ｍｍであった。グリップ部の幅寸法Ｗ３、Ｗ４（図５参照）は３０ｍｍであった。また、クランプ５１の幅寸法Ｗ５、Ｗ６（図９参照）は３０ｍｍであった。挟持領域３６の長さ寸法Ｌ７、Ｌ８（図９参照）は８ｍｍであった。

図２７に、第１方向Ｄ１におけるクランプ５１とマスク２０の縁部２０ｓとの間の寸法ΔＷ（図２３参照）に対するマスク２０の縁部２０ｓの変形及びマスク２０のフレーム１５への溶接可否についての評価結果を示す。図２７の「縁部の変形」の評価項目の欄において、「無」はマスク２０の縁部２０ｓに変形が見られなかったことを示し、「有」はマスク２０の縁部２０ｓにめくれ上がるような変形が見られたことを示している。また、「溶接」の評価項目の欄において、「〇」はマスク２０をフレーム１５に正常に溶接できたことを示し、「×」はマスク２０とフレーム１５との間に溶接不良が発生したことを示している。
図２７に示すように、第１方向Ｄ１におけるクランプ５１とマスク２０の縁部２０ｓとの間の寸法ΔＷが１ｍｍ以上である場合に、マスク２０の縁部２０ｓにめくれ上がるような変形が見られ、マスク２０とフレーム１５との間に溶接不良が発生した。一方、第１方向Ｄ１におけるクランプ５１とマスク２０の縁部２０ｓとの間の寸法ΔＷが０ｍｍ以下である場合、すなわち、クランプ５１が少なくともマスク２０の縁部２０ｓを挟持していた場合には、マスク２０の縁部２０ｓに変形が見られず、マスク２０をフレーム１５に正常に溶接することができた。

Claims (14)

1. マスク装置の製造装置であって、
   長手方向及び短手方向を有するマスクと、
   前記マスクを挟持するクランプ装置と、を備え、
   前記マスクは、前記長手方向における両側に位置する一対のマスク端部と、一対の前記マスク端部の間に位置し、複数の貫通孔を含むマスク中間部と、を含み、
   前記マスク端部は、前記マスク端部が切り欠かれた切欠き部と、前記切欠き部を介して前記短手方向に並び、前記長手方向に突出した複数のグリップ部と、を含み、
   前記クランプ装置は、対応する前記グリップ部を挟持する複数のクランプを含み、
   前記短手方向における前記グリップ部の寸法は、１０ｍｍ以上であり、
   前記短手方向における前記クランプの寸法に対する前記短手方向における前記グリップ部の寸法の比は、１以下である、マスク装置の製造装置。
2. 前記クランプは、少なくとも前記短手方向における前記マスクの縁部を挟持している、請求項１に記載のマスク装置の製造装置。
3. 前記切欠き部は、前記長手方向における前記マスク端部の端縁から前記長手方向に直線状に延びる直線状部分と、前記長手方向において前記端縁とは反対側で前記直線状部分に隣接する半円状部分と、を含み、
   前記クランプは、前記半円状部分よりも前記端縁に近い位置で前記グリップ部を挟持している、請求項１または２に記載のマスク装置の製造装置。
4. 前記クランプは、前記長手方向における前記直線状部分の中央位置よりも前記端縁に近い位置で前記グリップ部を挟持している、請求項３に記載のマスク装置の製造装置。
5. 前記グリップ部は、前記クランプによって挟持される挟持領域を含み、
   前記短手方向における前記挟持領域の寸法は、前記長手方向における前記挟持領域の寸法よりも大きい、請求項１～４のいずれか一項に記載のマスク装置の製造装置。
6. マスク装置の製造装置であって、
   長手方向及び短手方向を有するマスクと、
   前記マスクを挟持するクランプ装置と、を備え、
   前記マスクは、前記長手方向における両側に位置する一対のマスク端部と、一対の前記マスク端部の間に位置し、複数の貫通孔を含むマスク中間部と、を含み、
   前記マスク端部は、前記マスク端部が切り欠かれた切欠き部と、前記切欠き部を介して前記短手方向に並び、前記長手方向に突出した複数のグリップ部と、を含み、
   前記クランプ装置は、対応する前記グリップ部を挟持する複数のクランプを含み、
   前記グリップ部は、前記クランプによって挟持される挟持領域を含み、
   前記短手方向における前記挟持領域の寸法は、前記長手方向における前記挟持領域の寸法よりも大きい、マスク装置の製造装置。
7. 長手方向及び短手方向を有し、挟持装置によって挟持されるマスクであって、
   前記長手方向における両側に位置する一対のマスク端部と、
   一対の前記マスク端部の間に位置し、複数の貫通孔を含むマスク中間部と、を備え、
   前記マスク端部は、前記マスク端部が切り欠かれた切欠き部と、前記切欠き部を介して前記短手方向に並び、前記長手方向に突出した複数のグリップ部であって、前記挟持装置の対応するクランプによって挟持されるグリップ部と、を含み、
   前記短手方向における前記グリップ部の寸法は、１０ｍｍ以上であり、
   前記短手方向における前記クランプの寸法に対する前記短手方向における前記グリップ部の寸法の比は、１以下である、マスク。
8. 前記切欠き部は、前記長手方向における前記マスク端部の端縁から前記長手方向に直線状に延びる直線状部分と、前記長手方向において前記端縁とは反対側で前記直線状部分に隣接する半円状部分と、を含む、請求項７に記載のマスク。
9. マスク装置の製造方法であって、
   長手方向及び短手方向を有するマスクを準備する工程と、
   クランプ装置によって、前記マスクを挟持する工程と、を備え、
   前記マスクは、前記長手方向における両側に位置する一対のマスク端部と、一対の前記マスク端部の間に位置し、複数の貫通孔を含むマスク中間部と、を含み、
   前記マスク端部は、前記マスク端部が切り欠かれた切欠き部と、前記切欠き部を介して前記短手方向に並び、前記長手方向に突出した複数のグリップ部と、を含み、
   前記クランプ装置は、対応する前記グリップ部を挟持する複数のクランプを含み、
   前記短手方向における前記グリップ部の寸法は、１０ｍｍ以上であり、
   前記短手方向における前記クランプの寸法に対する前記短手方向における前記グリップ部の寸法の比は、１以下である、マスク装置の製造方法。
10. 前記マスクを挟持する工程において、前記クランプが、少なくとも前記短手方向における前記マスクの縁部を挟持する、請求項９に記載のマスク装置の製造方法。
11. 前記切欠き部は、前記長手方向における前記マスク端部の端縁から前記長手方向に直線状に延びる直線状部分と、前記長手方向において前記端縁とは反対側で前記直線状部分に隣接する半円状部分と、を含み、
    前記マスクを挟持する工程において、前記クランプが、前記半円状部分よりも前記端縁に近い位置で前記グリップ部を挟持する、請求項９または１０に記載のマスク装置の製造方法。
12. 前記マスクを挟持する工程において、前記クランプが、前記長手方向における前記直線状部分の中央位置よりも前記端縁に近い位置で前記グリップ部を挟持する、請求項１１に記載のマスク装置の製造方法。
13. 前記マスクを挟持する工程において、前記クランプによって、前記グリップ部の挟持領域が挟持され、
    前記短手方向における前記挟持領域の寸法は、前記長手方向における前記挟持領域の寸法よりも大きい、請求項９～１２のいずれか一項に記載のマスク装置の製造方法。
14. マスク装置の製造方法であって、
    長手方向及び短手方向を有するマスクを準備する工程と、
    クランプ装置によって、前記マスクを挟持する工程と、を備え、
    前記マスクは、前記長手方向における両側に位置する一対のマスク端部と、一対の前記マスク端部の間に位置し、複数の貫通孔を含むマスク中間部と、を含み、
    前記マスク端部は、前記マスク端部が切り欠かれた切欠き部と、前記切欠き部を介して前記短手方向に並び、前記長手方向に突出した複数のグリップ部と、を含み、
    前記クランプ装置は、対応する前記グリップ部を挟持する複数のクランプを含み、
    前記マスクを挟持する工程において、前記クランプによって、前記グリップ部の挟持領域が挟持され、
    前記短手方向における前記挟持領域の寸法は、前記長手方向における前記挟持領域の寸法よりも大きい、マスク装置の製造方法。