CN114525473A - 张网机及掩膜板组件的制作方法 - Google Patents

张网机及掩膜板组件的制作方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种张网机及掩膜板组件的制作方法，张网机包括连接杆，可绕一旋转轴旋转，旋转轴所在的方向与连接杆的延伸方向相交；及第一夹持机构和第二夹持机构，均与连接杆连接；且分别用于夹持掩膜板的相对两端；其中，第一夹持机构和第二夹持机构分别位于旋转轴的两侧，并在连接杆的带动下同时绕旋转轴旋转。即，通过第一夹持机构和第二夹持机构的配合夹持掩膜板，将掩膜板夹持到预设位置。然后，通过控制连接杆绕旋转轴转动，来带动设于连接杆上的第一夹持机构和第二夹持机构同步旋转，进而将掩膜板调整到合适的角度，可有效避免第一夹持机构和第二夹持机构旋转错位而导致掩膜板产生褶皱，进而保证焊接精度，有效防止蒸镀良率降低。

Description

张网机及掩膜板组件的制作方法
技术领域
本发明涉及掩膜板张网技术领域，特别是涉及张网机。
背景技术
随着技术发展，OLED(Organic Light Emitting Diode，简称有机发光二极管)显示装置日益深入人们的生活。在OLED显示装置的制备工艺中，广泛应用精细金属掩膜板(Fine MetalMask，简称FMM)的小分子蒸镀技术，应用多层金属掩膜板，通过金属掩膜板中的开口将有机发光材料蒸镀到薄膜晶体管背板的特定位置，从而实现彩色显示。
目前AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode，有源矩阵有机发光二极体)所使用的掩膜板需要通过张网机来制作，用来保证蒸镀过程中的有机材料准确落位到阳极上。在掩膜板制作过程中的重点是管控PPA(Pixel Position Accuracy,掩膜板边缘受力不均会发生偏移，这样在蒸镀时蒸镀膜会相对于像素发生一个位置偏移，由此产生的偏移量称为PPA)。
但是，在张网过程中通过夹爪夹持掩膜板来调节PPA角度，此时在掩膜板表面会形成褶皱，这样不仅影响PPA，也会影响焊接质量，导致焊接偏移非常大，最终造成蒸镀良率降低。
发明内容
基于此，有必要针对蒸镀良率降低的问题，提供一种张网机及掩膜板焊接方法。
一种张网机，所述张网机包括：
连接杆，可绕一旋转轴旋转，所述旋转轴所在的方向与所述连接杆的延伸方向相交；及
第一夹持机构和第二夹持机构，均与所述连接杆连接；且分别用于夹持掩膜板的相对两端；
其中，所述第一夹持机构和所述第二夹持机构分别位于所述旋转轴的两侧，并在所述连接杆的带动下同时绕所述旋转轴旋转，。
上述张网机中，第一夹持机构夹持掩膜板的一端，第二夹持机构夹持掩膜板的另一端，通过第一夹持机构和第二夹持机构的配合夹持掩膜板，将掩膜板夹持到预设位置。然后，通过控制连接杆绕旋转轴转动，来带动设于连接杆上的第一夹持机构和第二夹持机构同时绕旋转轴同步旋转，进而将掩膜板调整到合适的角度，可有效避免第一夹持机构和第二夹持机构旋转错位而导致掩膜板产生褶皱，进而保证焊接精度，有效防止蒸镀良率降低。
在其中一个实施例中，所述旋转轴所在的方向与所述连接杆的延伸方向垂直。
在其中一个实施例中，包括第一驱动组件，所述第一驱动组件与所述连接杆连接，用于驱动所述连接杆绕所述旋转轴转动。
在其中一个实施例中，所述第一夹持机构包括第一夹爪组件及第二驱动组件，所述第二驱动组件连接于所述连接杆与所述第一夹爪组件之间，用于带动所述第一夹爪组件沿与所述旋转轴平行的第一方向移动。
在其中一个实施例中，所述第二驱动组件还用于驱动所述第二夹爪组件沿与所述第一方向相交的第二方向、及与所述第一方向和所述第二方向均相交的第三方向移动。
在其中一个实施例中，所述第二方向与所述连接杆的延伸方向平行，所述第一夹爪组件包括沿所述第三方向间隔设置的两个第一夹爪。
在其中一个实施例中，所述第二夹持机构包括第二夹爪组件及第三驱动组件，所述第三驱动组件连接于所述连接杆与所述第二夹爪组件之间，用于带动所述第二夹爪组件沿与所述旋转轴平行的第一方向移动。
在其中一个实施例中，所述第三驱动组件还用于驱动所述第二夹爪组件沿与所述第一方向相交的第二方向、及与所述第一方向和所述第二方向均相交的第三方向移动。
在其中一个实施例中，所述第二方向与所述连接杆的延伸方向平行，所述第二夹爪组件包括沿所述第三方向间隔设置的两个第二夹爪。
一种掩膜板组件的制作方法，包括以下步骤：
利用上述任一实施例的张网机夹持掩膜板的相对两端；
驱动掩膜板的相对两端绕一旋转轴同步旋转，以调节掩膜板的角度；其中，所述旋转轴所在方向与所述掩膜板所在平面相交；
焊接掩膜板与掩膜框，形成掩膜板组件。
附图说明
图1为本发明一实施例中张网机一个视角的结构示意图；
图2为图1所示张网机另一视角的结构示意图。
附图标记：100、张网机；10、工作台；30、连接杆；50、第一夹持机构；52、第一夹爪组件；521、第一夹爪；54、第二驱动组件；70、第二夹持机构；72、第二夹爪组件；721、第二夹爪；74、第三驱动组件。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
正如背景技术所述，传统的掩膜板张网精度较低，容易导致蒸镀良率降低，发明人研究发现，出现这种问题的根本原因在于，传统的张网机通过夹爪夹持掩膜板的相对两端，然后通过夹爪的左右移动来拉紧或者释放掩膜板，还通过两侧的夹爪中的一者向下移动，另一者向上移动，通过两侧夹爪的配合来转动掩膜板，调整掩膜板的角度，但是因为两侧夹爪无法完全同步移动来带动掩膜板旋转，容易在掩膜板表面形成褶皱，进而会影响PPA，还会导致焊接偏移，影响焊接质量，最终导致蒸镀良率降低。
参阅图1-图2，本发明一实施例中，提供一种张网机100，用于将掩膜板张网焊接到掩膜框上。
张网机100包括连接杆30、第一夹持机构50及第二夹持机构70，连接杆30可绕一旋转轴旋转，旋转轴所在的方向与连接杆30的延伸方向相交。第一夹持机构50和第二夹持机构70均与连接杆30连接，分别用于夹持掩膜板的相对两端；其中，第一夹持机构50和第二夹持机构70分别位于旋转轴的两侧，且在连接杆30的带动下同时绕旋转轴旋转。
该实施例中，第一夹持机构50夹持掩膜板的一端，第二夹持机构70夹持掩膜板的另一端，通过第一夹持机构50和第二夹持机构70的配合夹持掩膜板，将掩膜板夹持到预设位置。然后，通过控制连接杆30绕旋转轴转动，来带动设于连接杆30上的第一夹持机构50和第二夹持机构70同时绕旋转轴同步旋转，进而将掩膜板调整到合适的角度，可有效避免第一夹持机构50和第二夹持机构70旋转错位而导致掩膜板产生褶皱，进而保证焊接精度，有效防止蒸镀良率降低。
进一步地，旋转轴所在的方向与连接杆30的延伸方向垂直，也即连接杆30可绕与自身延伸方向垂直的旋转轴转动，而连接杆30上的第一夹持机构50和第二夹持机构70分别夹持掩膜板的相对两端，掩膜板与连接杆30的延伸方向平行，与连接杆30垂直的旋转轴便与掩膜板所在的平面垂直。这样，当连接杆30绕旋转轴旋转时，便可带动第一夹持机构50和第二夹持机构70及掩膜板三者绕与掩膜板垂直的旋转轴同步旋转，以方便调节掩膜板的角度，不会使掩膜板旋转时在两端存在错位而产生褶皱，可准确调节掩膜板的位置，从而防止掩膜板焊接偏移造成的蒸镀良率降低。
一些实施例中，张网机100还包括第一驱动组件(图未示)，第一驱动组件与连接杆30连接，用于驱动连接杆30绕旋转轴转动，通过第一驱动组件为连接杆30提供旋转驱动力。可选地，张网机100还包括工作台10，连接杆30绕旋转轴可转动地设于工作台10上，第一夹持机构50和第二夹持机构70均设于连接杆30背向工作台10的一面，即均设于连接杆30的顶面，用于夹持调节掩膜板的位置。
一些实施例中，第一夹持机构50包括第一夹爪组件521及第二驱动组件54，第二驱动组件54连接于连接杆30与第一夹爪组件521之间，用于带动第一夹爪组件521沿与旋转轴平行的第一方向移动。即，在连接杆30与第一夹爪组件521之间设置第二驱动组件54，以通过第二驱动组件54驱动第一夹爪组件521升降，进而便于夹持掩膜板。
进一步地，第二驱动组件54还用于驱动第一夹爪组件521沿与第一方向相交的第二方向、及与第一方向和第二方向均相交的第三方向移动。也即，第二驱动组件54不仅驱动第一夹爪组件521升降运动，还可驱动第一夹爪组件521前后左右移动，如此可驱动第一夹爪组件521移动至任意三维坐标处，便于根据需求夹持移动掩膜板。
具体地，第二方向与连接杆30的延伸方向平行，第一夹爪组件521包括沿第三方向间隔设置的两个第一夹爪521，这样两个第一夹爪521均设于连接杆30延伸方向的同一端，以同时夹持掩膜板的一端，提高夹持的稳定性。
一些实施例中，第二夹持机构70包括第二夹爪组件72及第三驱动组件74，第三驱动组件74连接于连接杆30与第二夹爪组件72之间，用于带动第二夹爪组件72沿与旋转轴平行的第一方向移动。即，在连接杆30与第二夹爪组件72之间设置第三驱动组件74，以通过第三驱动组件74驱动第二夹爪组件72升降，进而便于夹持掩膜板。
进一步地，第三驱动组件74还用于驱动第二夹爪组件72沿与第一方向相交的第二方向、及与第一方向和第二方向均相交的第三方向移动。也即，第三驱动组件74不仅驱动第二夹爪组件72升降运动，还可驱动第二夹爪组件72前后左右移动，如此可驱动第二夹爪组件72移动至任意三维坐标处，便于根据需求夹持移动掩膜板。
具体地，第二方向与连接杆30的延伸方向平行，第二夹爪组件72包括沿第三方向间隔设置的两个第二夹爪721，这样两个第二夹爪721均设于连接杆30延伸方向的另一端，以同时夹持掩膜板远离第一夹爪组件521的另一端，提高夹持的稳定性。
上述实施例中，掩膜板沿自身延伸方向的一端被两个第一夹爪521同时夹持，掩膜板沿自身延伸方向的另一端被两个第二夹爪721同时夹持，这样在两个第一夹爪521和两个第二夹爪721的配合下带动掩膜板沿第一方向升降，或者沿第二方向左右移动，或者沿第三方向前后移动，以将掩膜板移动至预设位置。
上述张网机100中，通过第一夹持机构50和第二夹持机构70将掩膜板移动到预设位置，然后旋转连接杆30，使第一夹持机构50和第二夹持机构70在连接杆30的带动下绕旋转轴同步旋转，进而使第一夹持机构50和第二夹持机构70同时夹持的掩膜板整体绕旋转轴转动来调节角度，保证掩膜板的像素位置精度，避免掩膜板焊接偏差而影响蒸镀良率。
本发明一实施例中，提供一种掩膜板组件的制作方法，包括以下步骤：
步骤S100，利用上述任一实施例所述的张网机夹持掩膜板的相对两端；
步骤S300，驱动掩膜板的相对两端绕一旋转轴同步旋转，以调节掩膜板的角度；其中，旋转轴所在的方向与掩膜板所在平面相交。如此，驱动掩膜板绕一旋转轴在掩膜板所在的平面内旋转，以调节掩膜板的角度，使掩膜板符合像素位置精度的要求，保证掩膜板的位置精度。并且，在调整过程中掩膜板整体同步旋转，不会使掩膜板在旋转过程中产生褶皱，保证后续掩膜板的焊接及蒸镀良率。
步骤S500，焊接掩膜板与掩膜框，将调整好角度的掩膜板焊接固定在掩膜框上，形成掩膜板组件。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本发明记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种张网机，其特征在于，所述张网机包括：
连接杆，可绕一旋转轴旋转，所述旋转轴所在的方向与所述连接杆的延伸方向相交；及
第一夹持机构和第二夹持机构，均与所述连接杆连接，且分别用于夹持掩膜板的相对两端；
其中，所述第一夹持机构和所述第二夹持机构分别位于所述旋转轴的两侧，并在所述连接杆的带动下同时绕所述旋转轴旋转。
2.根据权利要求1所述的张网机，其特征在于，所述旋转轴所在的方向与所述连接杆的延伸方向垂直。
3.根据权利要求1所述的张网机，其特征在于，还包括第一驱动组件，所述第一驱动组件与所述连接杆连接，用于驱动所述连接杆绕所述旋转轴转动。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的张网机，其特征在于，所述第一夹持机构包括第一夹爪组件及第二驱动组件，所述第二驱动组件连接于所述连接杆与所述第一夹爪组件之间，用于带动所述第一夹爪组件沿与所述旋转轴平行的第一方向移动。
5.根据权利要求4所述的张网机，其特征在于，所述第二驱动组件还用于驱动所述第二夹爪组件沿与所述第一方向相交的第二方向、及与所述第一方向和所述第二方向均相交的第三方向移动。
6.根据权利要求5所述的张网机，其特征在于，所述第二方向与所述连接杆的延伸方向平行，所述第一夹爪组件包括沿所述第三方向间隔设置的两个第一夹爪。
7.根据权利要求1-3任意一项所述的张网机，其特征在于，所述第二夹持机构包括第二夹爪组件及第三驱动组件，所述第三驱动组件连接于所述连接杆与所述第二夹爪组件之间，用于带动所述第二夹爪组件沿与所述旋转轴平行的第一方向移动。
8.根据权利要求7所述的张网机，其特征在于，所述第三驱动组件还用于驱动所述第二夹爪组件沿与所述第一方向相交的第二方向、及与所述第一方向和所述第二方向均相交的第三方向移动。
9.根据权利要求8所述的张网机，其特征在于，所述第二方向与所述连接杆的延伸方向平行，所述第二夹爪组件包括沿所述第三方向间隔设置的两个第二夹爪。
10.一种掩膜板组件的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
利用权利要求1-9任一项所述的张网机夹持掩膜板的相对两端；
驱动掩膜板的相对两端绕一旋转轴同步旋转，以调节掩膜板的角度；其中，所述旋转轴所在方向与所述掩膜板所在平面相交；
焊接所述掩膜板与掩膜框，形成掩膜板组件。
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