JP2020015117A - クリープフィード研削方法 - Google Patents
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Abstract
Description
よって、クリープフィード研削を長尺の板状ワークに施す場合には、被研削面の厚み差を小さくするという課題がある。
研削装置1の装置ベース10上の前方(−Y方向側)は、保持テーブル30上に対して板状ワークWの着脱が行われる着脱領域であり、装置ベース10上の後方は、研削手段7によって保持テーブル30上に保持された板状ワークWの研削が行われる研削領域である。
チップW2の上面には、図示しないデバイスが形成されている。このデバイスの表面にはそれぞれ複数の円柱状の電極Eが立設している。電極Eは、例えば銅を主要素として構成されている。
チップW2の上面は、エポキシ樹脂等の樹脂層Jによって封止されており、各電極Eの上端部は樹脂層Jによって覆われている。
矩形状の板状ワークWのサイズの一例としては、縦600mm×横300mmである。
また、保持テーブル30は、カバー39により周囲を囲まれつつ、保持テーブル30の下方に配設された回転手段34によりZ軸方向の軸心周りに回転可能となっている。
なお、回転手段34は、研削加工中は停止させているため、備えなくても良い。
なお、図2においては、研削装置1の各構成要素の一部を簡略化及び省略して示している。
回転軸70のZ軸方向からの傾き角度は、例えば、研削ホイール74の直径(mm)がΦ300である場合には、前方の研削砥石741の下面741bの高さ位置と後方の研削砥石741の下面741bの高さ位置との差L0が例えば20μm〜30μmとなる角度に設定される。
また、回転軸70のZ軸方向からの傾き角度は、例えば、研削ホイール74の直径(mm)がΦ500である場合には、前方の研削砥石741の下面741bの高さ位置と後方の研削砥石741の下面741bの高さ位置との差L0が例えば30μm〜50μmとなる角度に設定される。
なお、保持テーブル30の保持面300aが、回転軸70が傾けられた状態で、研削砥石741の下面741bで研削されて下面741bと保持面300aとが平行にされた後、保持面300aに板状ワークWを保持させ研削砥石741の下面741bで研削している。
なお、上面高さ測定手段は、測定光を板状ワークWの上面Waに照射する非接触式のものであってもよい。
なお、Z軸方向移動手段5のモータ52をサーボモータとし、サーボモータにロータリエンコーダが接続された構成としてもよい。ロータリエンコーダは、サーボアンプとしての機能も有する制御手段9に接続されており、制御手段9からサーボモータに対して動作信号が供給された後、エンコーダ信号(サーボモータの回転数)を制御手段9に対して出力する。制御手段9は受け取ったエンコーダ信号により、研削手段7のZ軸方向における移動量を算出してその高さ位置を認識する。
以下に、図1〜図4を用いて、研削装置1によって板状ワークWをクリープフィード研削する場合の各工程について説明する。
まず、図1、2に示す板状ワークWが、装置ベース10上の着脱領域において、樹脂層Jを上側に向けて保持テーブル30の保持面300a上に載置される。そして、保持テーブル30に接続された図示しない吸引源が作動して生み出された吸引力が保持面300aに伝達されることで、保持テーブル30により板状ワークWが吸引保持される。
なお、研削加工する前に、保持テーブル30の保持面300aに前方(−Y方向側)の該研削砥石741の下面741bが接触する研削手段7の高さ位置を記憶するセットアップを実施していて、保持テーブル30に保持された板状ワークWの上面Waより低く位置づけられる該前方の研削砥石741の下面741bの位置は、セットアップで記憶した研削手段7の高さ位置から板状ワークWの仕上げ厚み上の位置である。
図1に示すモータ72が回転軸70を、例えば+Z方向から見て反時計回り方向に回転駆動し、これに伴って研削ホイール74が回転する。
図3に示すように、Y軸方向移動手段14が、板状ワークWを吸引保持した保持テーブル30を−Y方向に所定の送り速度で移動させる、即ち、研削手段7に対して保持テーブル30を研削ホイール74の後方(+Y方向側)から前方(−Y方向側)に向かう方向に移動させる。そして回転する前方の研削砥石741の下面741bと内側面741cとで板状ワークWの樹脂層J及び電極Eの円形上面が研削されていく。なお、研削される板状ワークWの上面Waに現れる樹脂層Jの面積と全電極Eの円形上面の面積の合計との比率の一例は、例えば、樹脂層J:全電極Eの円形上面=20:80である。
なお、回転する後方(+Y方向側)の研削砥石741は板状ワークWを研削していない。
以下に、図1、及び図5〜図8を用いて、研削装置1によって板状ワークWをクリープフィード研削する場合の各工程について説明する。
位置づけ工程が、実施形態1における場合と同様に行われて、図5に示す研削砥石741の下面741bと保持テーブル30の保持面300aとの距離が最小になる前方側(−Y方向側)の研削砥石741より後方側に保持テーブル30に保持された板状ワークWが位置づけられる。また、前方(−Y方向側)の研削砥石741の下面741bが保持テーブル30に保持された板状ワークWの上面Waより低く位置づけられた状態になる。なお、研削手段7の位置づけられる高さ位置は、前方の研削砥石741の下面741b及び内側面741cが樹脂層J及び電極Eに所定量切り込む高さ位置であり、研削された板状ワークWを所望の厚み(仕上げ厚み)とするための高さ位置Z0(初期高さ位置Z0)である。
また、本実施形態2においても、研削手段7の高さ位置を記憶するセットアップは事前に行われており、保持テーブル30に保持された板状ワークWの上面Waより低く位置づけられる該前方の研削砥石741の下面741bの位置は、セットアップで記憶した研削手段7の高さ位置から板状ワークWの仕上げ厚み上の位置である。
モータ72が回転軸70を、例えば+Z方向から見て反時計回り方向に回転駆動し、これに伴って研削ホイール74が回転する。図6に示すように、Y軸方向移動手段14が、板状ワークWを吸引保持した保持テーブル30を−Y方向に移動させる、即ち、研削手段7に対して保持テーブル30を研削ホイール74の後方(+Y方向側)から前方(−Y方向側)に向かう方向に移動させる。そして回転する前方の研削砥石741の下面741bと内側面741cとで板状ワークWの樹脂層J及び電極Eの円形上面が研削されていく。
研削工程においては、図6に示すように、上記クリープフィード研削加工が開始されるとともに、上面高さ測定手段38のコンタクト380が下降し、環状の研削砥石741の外側で板状ワークWの研削開始直後の研削された上面Waに接触してその高さを測定し始める。そして、上面高さ測定手段38が、測定した板状ワークWの研削開始直後の研削された上面Waの高さ及びその後研削された上面Waの高さについての情報を単位時間毎に順次制御手段9に送る。制御手段9に送られた該情報は、制御手段9の記憶部91に順次記憶されていく。
(4)補正工程
従来のクリープフィード研削方法においては、研削手段7がZ軸方向移動手段5により−Z方向へと送られ、前方(−Y方向側)の研削砥石741の下面741bが保持テーブル30に保持された板状ワークWの樹脂層J及び電極Eに所定量切り込む高さ位置に位置付けられる。そして、Y軸方向移動手段14が、板状ワークWを吸引保持した保持テーブル30を、研削ホイール74の前方から後方に向かう方向である+Y方向に所定の送り速度で移動させる。そして、図12に示すように、回転する前方の研削砥石741の下面741bと外側面741dとで板状ワークWの樹脂層J及び電極Eの円形上面が研削されていく。
以下に、図1、及び図9〜図10を用いて、研削装置1によって板状ワークWをクリープフィード研削する場合の各工程について説明する。
図9に示すように、Y軸方向移動手段14が、板状ワークWを吸引保持した保持テーブル30を装置ベース10上の着脱領域から研削領域内へ+Y方向に移動させて、研削砥石741の下面741bと保持テーブル30の保持面300aとの距離が最小になる前方(−Y方向側)の研削砥石741より後方に保持テーブル30に保持された板状ワークWが位置づけられる。
また、本実施形態3においても、研削手段7の高さ位置を記憶するセットアップは事前に行われており、保持テーブル30に保持された板状ワークWの上面Waより低く位置づけられる該前方の研削砥石741の下面741bの位置は、セットアップで記憶した研削手段7の高さ位置から板状ワークWの仕上げ厚み上の位置である。
そして、まず、回転する後方の研削砥石741の下面741bと外側面741dとで板状ワークWの樹脂層J及び電極Eの円形上面が研削されていく。さらに、回転する後方の研削砥石741で研削された板状ワークWの上面Waを、−Y方向から+Y方向に向かって追いかけるようにして、回転する前方の研削砥石741の下面741bと内側面741cとで研削していき、板状ワークWを所望の厚みにしていく。
そして、−Y方向の所定の位置まで保持テーブル30を移動させ、回転する前方の研削砥石741の下面741bと内側面741cとにより板状ワークWの上面Wa全面を研削した後、研削手段7が+Z方向に引き上げられて板状ワークWから離間する。
例えば、実施形態3のクリープフィード研削方法において、測定工程と補正工程とを行ってもよい。
1:研削装置 10:装置ベース 11:コラム
14:Y軸方向移動手段 140:ボールネジ 141:一対のガイドレール 142:モータ 143:可動板
30:保持テーブル 300:吸着部 300a:保持面 301:枠体 34:回転手段 39:カバー 39a:蛇腹カバー
38:上面高さ測定手段 380:コンタクト 381:アーム部
5:Z軸方向移動手段 50:ボールネジ 51:一対のガイドレール 52:モータ 53:昇降板
7:研削手段 70:回転軸 71:ハウジング 72:モータ 73:マウント
74:研削ホイール 740:ホイール基台 741:研削砥石 75:ホルダ
9:制御手段 91:記憶部 92:算出部
Claims (3)
- 板状ワークを保持する保持面を有する保持テーブルと、回転軸の先端に連結したマウントに研削砥石を環状に配設した研削ホイールを装着し該回転軸を回転させ該研削砥石で板状ワークを研削する研削手段と、該保持テーブルと該研削手段とを相対的に該保持面方向に平行なY軸方向に移動させるY軸方向移動手段と、Y軸方向に直交し該保持面に対して垂直なZ軸方向に該研削手段を移動させるZ軸方向移動手段とを備えた研削装置を用いて、該板状ワークの上面より低い位置に位置づけられた該研削砥石で板状ワークを研削するクリープフィード研削方法であって、
該回転軸は、該保持面に対してZ軸方向より傾けられていて、該研削砥石の下面と該保持面との距離が最小になる方を該研削ホイールの前方とし、該研削砥石の下面と該保持面との距離が最大となる方を該研削ホイールの後方とし、
該Z軸方向移動手段を用いて、該前方の研削砥石の下面を該保持テーブルに保持された板状ワークの上面より低く位置づけると共に、該Y軸方向移動手段を用いて、該前方の研削砥石より後方側に該保持テーブルに保持された板状ワークを位置づける位置づけ工程と、
該位置づけ工程の後、該Y軸方向移動手段を用いて、該研削手段に対して該保持テーブルを該研削ホイールの該後方から該前方に向かう方向に移動させていき、該前方の研削砥石の下面と内側面とで板状ワークを研削する研削工程と、を備えるクリープフィード研削方法。 - クリープフィード研削開始直後の板状ワークの上面高さを前記環状の研削砥石の外側に配設される上面高さ測定手段で測定する測定工程と、
該測定工程で測定した測定値に応じて前記研削手段をZ軸方向に移動させ研削後の板状ワークの厚み差を小さくする補正工程と、を備える請求項1記載のクリープフィード研削方法。 - 前記位置づけ工程において、前記後方の研削砥石の下面を前記保持テーブルに保持された板状ワークの上面より低い位置に位置づける請求項1、又は2記載のクリープフィード研削方法。
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