JP2018049997A - シリコン接合ウェーハの製造方法およびシリコン接合ウェーハ - Google Patents
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Abstract
Description
(1)単結晶シリコンからなる支持基板用ウェーハと、単結晶シリコンからなる活性層とが接合されたシリコン接合ウェーハの製造方法であって、
単結晶シリコンからなる支持基板用ウェーハの片方の面側から透過性レーザビームを照射して多光子吸収過程を生じさせ、前記支持基板用ウェーハの内部にゲッタリング層を形成する第1工程と、
単結晶シリコンからなる支持基板用ウェーハの前記片方の面および前記活性層用ウェーハの片方の面に、真空常温下で、イオン化させた中性元素を照射する活性化処理をして、両方の前記片方の面を活性化面とした後に、引き続き真空常温下で両方の前記活性化面を接触させることで、前記支持基板用ウェーハと前記活性層用ウェーハとを貼り合わせる第2工程と、
前記活性層用ウェーハを薄膜化して、薄膜化後の前記活性層用ウェーハを活性層とする第3工程と、
を有することを特徴とするシリコン接合ウェーハの製造方法。
前記第2工程において、前記活性層用ウェーハの前記切り欠き部が、前記支持基板用ウェーハの前記切り欠き部から周方向に回転させた位置にある状態で貼り合わせる、上記(3)に記載のシリコン接合ウェーハの製造方法。
該シリコンエピタキシャル層の表面を前記活性層用ウェーハの前記片方の面とする、上記(1)〜(5)のいずれかに記載のシリコン接合ウェーハの製造方法。
前記支持基板用ウェーハと、前記活性層とを接合する接合領域はアモルファスであり、
前記支持基板用ウェーハは、直径1μm以上10μm以下の改質領域からなるゲッタリングサイトが径方向に周期的に配列したゲッタリング層を含むことを特徴とするシリコン接合ウェーハ。
前記活性層の前記切り欠き部が、前記支持基板用ウェーハの前記切り欠き部から周方向に回転させた位置にある、上記(14)に記載のシリコン接合ウェーハ。
以下、図1〜図5を参照して、本発明に従う、支持基板用ウェーハと、単結晶シリコンからなる活性層とが接合されたシリコン接合ウェーハの製造方法の実施形態について説明する。まず、第1実施形態として、単結晶シリコンからなる支持基板用ウェーハおよび単結晶シリコンからなる活性層用ウェーハのそれぞれが、表面にシリコンエピタキシャル層を有しないバルクのシリコンウェーハを用いた実施形態を説明する。次いで、第2実施形態として、シリコンウェーハ上にシリコンエピタキシャル層が形成されたエピタキシャルシリコンウェーハを活性層用ウェーハに用いる場合の実施形態を説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に従うシリコン接合ウェーハ100の製造方法のフローチャートを示している。本実施形態に従うシリコン接合ウェーハ100の製造方法は、、支持基板用ウェーハ110の片方の面110Aの面側から透過性レーザビーム80を照射して多光子吸収過程を生じさせ、支持基板用ウェーハ110の内部にゲッタリング層114を形成する第1工程を行う(図1(B)、図2)。その後、支持基板用ウェーハ110と、活性層用ウェーハとを真空常温接合法により貼り合わせる第2工程を行う(図1(C)〜(E))。すなわち、第2工程では、支持基板用ウェーハ110の片方の面110Aおよび活性層用ウェーハ120の片方の面120Aに、真空常温下で、イオン化させた中性元素90を照射する活性化処理をして(図1(C))、両方の片方の面110A,120Aを活性化面141A,142Aとする(図1(D))。引き続き、真空常温下で両方の活性化面141A,142Aを接触させることで、支持基板用ウェーハ110と活性層用ウェーハ120とを貼り合わせる(図1(E))。第2工程の後、活性層用ウェーハ120を薄膜化して、薄膜化後の活性層用ウェーハ120を活性層125とする第3工程を行う(図1(F))。こうして、シリコン接合ウェーハ100を製造することができる。以下、各工程の詳細を順次説明する。真空常温接合法において、上述した支持基板用ウェーハの上記片方の面110Aと、活性層用ウェーハの上記片方の面120Aとが、共に貼り合わせ面となるため、以下、貼り合わせ面と言う。
第1工程では、支持基板用ウェーハ110の貼り合わせ面110Aの面側から透過性レーザビーム80を照射して多光子吸収過程を生じさせ、支持基板用ウェーハ110の内部にゲッタリング層114を形成する。この透過性レーザビーム80の照射によるゲッタリングサイトの形成手法について、図2を用いてより詳細に説明する。
レーザゲッタリング法を行う第1工程に続き、第2工程では、支持基板用ウェーハ110と、活性層用ウェーハ120とを真空常温接合法により貼り合わせる(図1(C)〜(E))。具体的には、真空下で支持基板用ウェーハ110および活性層用ウェーハ120の貼り合わせ面110A,120Aにイオン化させた中性元素90を照射して、両方の貼り合わせ面110A,120Aを活性化し、活性化面とする。これにより各貼り合わせ面110A,120Aにはアモルファス層141,142が形成され、その表面にはシリコンが本来持っているダングリングボンド(結合の手)が現れる。このダングリングボンドはエネルギー的に不安定であるため、引き続き真空常温下で両方の活性化面141A,142Aを接触させると、両活性化面141A,142Aのダングリングボンドを消滅させるようにウェーハ間で瞬時に接合力が働き、熱処理等を施すことなく、非結合領域(ボイド)なしに2つのウェーハが強固に接合される。
真空常温接合法により貼り合わせを行う第2工程に続き、第3工程では、活性層用ウェーハ120を薄膜化して、薄膜化後の活性層用ウェーハを活性層125とする(図1(F))。活性層用ウェーハ120の薄膜化は、周知の平面研削および鏡面研磨法を好適に用いることができる。また、この薄膜化にあたり、周知のスマートカット法等の他の技術を用いて行ってもよい。
図4を参照して、本発明の第2実施形態を説明する。なお、前述の第1実施形態と同一の構成要素には原則として同一の参照番号を付して、説明を省略する。以降も、同様に、同一の構成要素には原則として同一の参照番号を付して、説明を省略する。
なお、エピタキシャルシリコンウェーハを活性層用ウェーハ120として用いる場合、エピタキシャル層の厚さは、活性層125の目標厚みを考慮して適宜決定することができるが、活性層の目標厚みよりも厚くすることが好ましい。つまり、エピタキシャル層のシリコンウェーハ界面から所定厚み部分は、エピタキシャル層の形成プロセスにおいてシリコンウェーハからの酸素の拡散の影響が及んでいるが、当該部分を薄膜化工程で除去することで、活性層となるエピタキシャル層を低酸素濃度とすることができるためである。
ところで、支持基板用ウェーハ110および活性層用ウェーハ120を真空常温接合法により貼合せたシリコン接合ウェーハ100の接合領域140には、通常、ミスフィット転位は形成されない。これは、一般的に、面方位が同一の同種のシリコンウェーハ同士を、結晶軸方向を示す切り欠き部が揃うように貼合せるためである。しかしながら、本実施形態においては、真空常温接合を行う第2工程において、支持基板用ウェーハ110と活性層用ウェーハ120との界面にミスフィット転位が形成されるように貼合せを行うことが好ましい。
FZシリコンウェーハは、浮遊帯域溶融(Floating Zone:FZ)法で育成された単結晶シリコンインゴットをワイヤーソー等でスライスして得られるウェーハであり、その製造プロセスに酸素供給源がないことから、厚み方向全域にわたる酸素濃度が3×1016atoms/cm3以下という検出限界以下のウェーハとなる。そのため、本発明において支持基板用ウェーハ110および活性層用ウェーハ120として用いて好適である。
また、CZシリコンウェーハは、チョクラルスキー(Czochralski:CZ)法で育成された単結晶シリコンインゴットをワイヤーソー等でスライスして得られるウェーハであり、酸素濃度は1×1017atoms/cm3〜18×1017atoms/cm3のシリコンウェーハとなる。本発明では、例えば、MCZ(Magnetic field applied Czochralski)法を用いるなどして製造した、厚み方向全域にわたる酸素濃度が3×1017atoms/cm3以下のCZシリコンウェーハを、支持基板用ウェーハ110および活性層用ウェーハ120として用いることがより好ましい。
シリコンウェーハに対して非酸化性雰囲気または還元性雰囲気で熱処理を施して、該シリコンウェーハの表層部の酸素を外方拡散させて当該表層部の酸素濃度を低減させたアニールウェーハを、支持基板用ウェーハ110および活性層用ウェーハ120として用いることも好ましい。図5に、アニールウェーハ60の模式断面図を示す。本発明に用いる場合、表層部であるDZ層60Bは、酸素濃度を3×1016atoms/cm3以下とすることができる。これにより、アニールウェーハ60を支持基板用ウェーハ10として用いる場合には、デバイス作製プロセス時に活性層125への酸素の拡散を抑制する効果を十分に得ることができ、活性層用ウェーハ120として用いる場合には、低酸素濃度の活性層125を得ることができる。
また、シリコンウェーハの素材であるCZ法による単結晶シリコンインゴットの製造にあっては、育成中の単結晶インゴットが受ける熱履歴によって単結晶内に形成される欠陥分布が異なり、単結晶インゴット内には格子間シリコン起因の転位クラスター、空孔起因の空孔凝集欠陥(COP:Crystal Originated Particle)、転位クラスターやCOPが存在しない無欠陥領域などの結晶領域が形成されることが知られている。本実施形態では、支持基板用ウェーハ110および活性層用ウェーハ120として、転位クラスターおよび空孔凝集欠陥(COP:Crystal Originated Particle)を含まないシリコンウェーハを用いることも好ましい。特に、薄膜化後に活性層125となる活性層用ウェーハ120に、転位クラスターおよびCOPを含まないシリコンウェーハを用いることがより好ましい。これにより、転位クラスターおよびCOPを含まない活性層125を得ることができ、フォトダイオード形成領域(空間電荷領域)内における暗電流の発生を抑制できる。
本発明の一実施形態に従うシリコン接合ウェーハ100は、前述の第1実施形態により作製することができる。すなわち、このシリコン接合ウェーハ100は、図1(F)に示すように、単結晶シリコンからなる支持基板用ウェーハ110と、単結晶シリコンからなる活性層125とが接合されてなる。そして、支持基板用ウェーハ110と、活性層125とを接合する接合領域140はアモルファスであり、支持基板用ウェーハ110は、直径1μm以上10以下の改質領域115からなるゲッタリングサイトが径方向に周期的に配列したゲッタリング層114を含む。このシリコン接合ウェーハ100は、透過性レーザビーム照射により形成した、十分なゲッタリング能力を有するゲッタリング層114を支持基板用ウェーハ110が含み、かつ、活性層125への透過性レーザビーム照射によるダメージが抑制されている。
(発明例1−1)
図4に示した手順に従って、発明例1−1に係るシリコン接合ウェーハを製造した。まず、支持基板用ウェーハとして、直径:200mm、厚み:725μmのn型CZシリコンウェーハ(酸素濃度:0.3×1018atoms/cm3、ドーパント:リン、ドーパント濃度:4.4×1014atoms/cm3、目標抵抗率:10Ω・cm)を用意した。また、活性層用ウェーハとして、直径:200mm、厚み:725μmのn型CZシリコンウェーハ(酸素濃度:0.3×1018atoms/cm3、ドーパント:リン、ドーパント濃度:1.4×1014atoms/cm3、目標抵抗率:30Ω・cm)上に、厚み8μmのシリコンエピタキシャル層(ドーパント:リン、ドーパント濃度:4.4×1014atoms/cm3、目標抵抗率:10Ω・cm)をエピタキシャル成長させたエピタキシャルシリコンウェーハを用意した。
発明例1−1の支持基板用ウェーハと同じく、直径:200mm、厚み:725μmのn型CZシリコンウェーハ(酸素濃度:0.3×1018atoms/cm3、ドーパント:リン、ドーパント濃度:4.4×1014atoms/cm3、目標抵抗率:10Ω・cm)を用意した。次いで、発明例1−1と同じ条件で、シリコンウェーハに透過性レーザビームを照射した。さらに、活性層として、厚み4μmのシリコンエピタキシャル層(ドーパント:リン、ドーパント濃度:4.4×1014atoms/cm3、目標抵抗率:10Ω・cm)を形成し、比較例1−1に係るエピタキシャルシリコンウェーハを作製した。
比較例1−1において、シリコンウェーハに透過性レーザビームを照射しなかった以外は、比較例1−1と同様にして比較例1−2に係るエピタキシャルシリコンウェーハを作製した。
各サンプルに対して、Surfscan SP1(KLA-Tencor社製)を用い、Normalモードにて測定を行い、0.2μm以上のサイズの欠陥をLPDとして検出した。結果を表1に示す。
各サンプルに対して、活性層の深さ方向の酸素濃度分布を二次イオン質量分析法(SIMS:Secondary Ion Mass Spectrometry)により測定した。活性層の表面から深さ3μmの位置での酸素濃度を表1に示す。
各サンプルの活性層の表面を、Ni汚染液(1×1012atoms/cm2)を用いてスピンコート法により故意に汚染し、次いで、窒素雰囲気中において800℃で1時間の熱処理を施した。次いで、ライト液へ3分間浸した後、活性層の表面を光学顕微鏡にて観察し、活性層表面で観察されるピット(ニッケルシリサイド起因の表面ピット:Niピット)の発生の有無を調査した。結果を表1に示す。
(発明例2−1)
図4に示した手順に従って、発明例2−1に係るシリコン接合ウェーハを製造した。まず、支持基板用ウェーハおよび活性層用ウェーハは、発明例1−1と同様のものを用いた。そして、活性層用ウェーハ上に、厚み15μmのシリコンエピタキシャル層(ドーパント:リン、ドーパント濃度:4.4×1014atoms/cm3、目標抵抗率:10Ω・cm)をエピタキシャル成長させたエピタキシャルシリコンウェーハを用意した。
発明例2−1の支持基板用ウェーハと同じく、直径:200mm、厚み:725μmのn型CZシリコンウェーハ(酸素濃度:0.3×1018atoms/cm3、ドーパント:リン、ドーパント濃度:4.4×1014atoms/cm3、目標抵抗率:10Ω・cm)を用意した。次いで、発明例2−1と同じ条件で、シリコンウェーハに透過性レーザビームを照射した。さらに、活性層として、厚み10μmのシリコンエピタキシャル層(ドーパント:リン、ドーパント濃度:4.4×1014atoms/cm3、目標抵抗率:10Ω・cm)を形成し、比較例2−1に係るエピタキシャルシリコンウェーハを作製した。
各サンプルを斜め研磨加工したサンプルに対して断面方向からCL法(Cathode Luminescence:カソードルミネッセンス)を行い、活性層の厚み(深さ)方向のCLスペクトルから、TO線強度をそれぞれ取得した。なお、TO線とは、CL法により観察されるSiのバンドギャップに相当するSi元素特有のスペクトルであり、TO線の強度が強いほど、Siの結晶性が高いことを意味する。測定条件としては、33K下において電子線を20keVで照射した。実施例2−1および比較例2−1の、厚み方向のCL強度の測定結果を図7に示す。なお、エピタキシャル層の最表面におけるTO線強度を100%としている。
各サンプルに対し、1100℃、8時間の熱処理を施した。これは、デバイス作製プロセスを模擬した熱処理に相当する。改質領域からの、熱処理後の二次転位伸展量をTEM断面図から測定した。結果を表2に示す。
各サンプルから、pn接合ダイオードを作製し、それぞれのpn接合ダイオードのリーク電流値を測定した。結果を表2に示す。
発明例1−1と同じ条件で、参考例1に係るシリコン接合ウェーハを作製した。このサンプルに対して、1100℃、2時間の熱処理を施した。そして、実験例1と同様に、光学顕微鏡による断面写真およびTEM断面写真を取得した。それぞれの顕微鏡写真を図8(A),(B)に示す。なお、図8(A)では、接合領域の位置を鮮明にするため、二点鎖線を付している。
110 支持基板用ウェーハ
114 ゲッタリング層
115 改質領域
120 活性層用ウェーハ
121 シリコンウェーハ
122 シリコンエピタキシャル層
125 活性層
140 接合領域
141,142 アモルファス層
50 真空常温接合装置
51 プラズマチャンバ
52 ガス導入口
53 真空ポンプ
54 パルス電圧印加装置
55A,55B ウェーハ固定台
60 アニールウェーハ
60A 中心部分
60B DZ層(第1低酸素領域または第2低酸素領域)
80 透過性レーザビーム
90 中性元素
Claims (19)
- 単結晶シリコンからなる支持基板用ウェーハと、単結晶シリコンからなる活性層とが接合されたシリコン接合ウェーハの製造方法であって、
単結晶シリコンからなる支持基板用ウェーハの片方の面側から透過性レーザビームを照射して多光子吸収過程を生じさせ、前記支持基板用ウェーハの内部にゲッタリング層を形成する第1工程と、
単結晶シリコンからなる支持基板用ウェーハの前記片方の面および前記活性層用ウェーハの片方の面に、真空常温下で、イオン化させた中性元素を照射する活性化処理をして、両方の前記片方の面を活性化面とした後に、引き続き真空常温下で両方の前記活性化面を接触させることで、前記支持基板用ウェーハと前記活性層用ウェーハとを貼り合わせる第2工程と、
前記活性層用ウェーハを薄膜化して、薄膜化後の前記活性層用ウェーハを活性層とする第3工程と、
を有することを特徴とするシリコン接合ウェーハの製造方法。 - 前記第1工程において用いる前記透過性レーザビームの出力が4.0μJ/パルス以下である、請求項1に記載のシリコン接合ウェーハの製造方法。
- 前記第2工程において、前記支持基板用ウェーハと前記活性層用ウェーハとの接合領域にミスフィット転位が形成されるよう貼り合わせる、請求項1または2に記載のシリコン接合ウェーハの製造方法。
- 前記支持基板用ウェーハおよび前記活性層用ウェーハは、結晶軸方向を示す切り欠き部をそれぞれ有し、
前記第2工程において、前記活性層用ウェーハの前記切り欠き部が、前記支持基板用ウェーハの前記切り欠き部から周方向に回転させた位置にある状態で貼り合わせる、請求項3に記載のシリコン接合ウェーハの製造方法。 - 前記支持基板用ウェーハの前記片方の面の面方位と、前記活性層用ウェーハの前記片方の面の面方位とが互いに異なる、請求項3に記載のシリコン接合ウェーハの製造方法。
- 前記活性層用ウェーハは、シリコンウェーハ上にシリコンエピタキシャル層が形成されたエピタキシャルシリコンウェーハであり、
該シリコンエピタキシャル層の表面を前記活性層用ウェーハの前記片方の面とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載のシリコン接合ウェーハの製造方法。 - 前記第3工程において、前記シリコンエピタキシャル層と反対の面側から前記活性層用ウェーハを薄膜化し、前記シリコンウェーハを研削除去する、請求項6に記載のシリコン接合ウェーハの製造方法。
- 前記支持基板用ウェーハは、酸素濃度3×1017atoms/cm3(ASTM F121−1979)以下の低酸素領域を含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載のシリコン接合ウェーハの製造方法。
- 前記第3工程において、前記支持基板用ウェーハの前記低酸素領域の内部に前記ゲッタリング層を形成する、請求項8に記載のシリコン接合ウェーハの製造方法。
- 前記中性元素が、アルゴン、ネオン、キセノン、水素、ヘリウムおよびシリコンからなる群から選ばれる少なくとも一種である、請求項1〜9のいずれか一項に記載のシリコン接合ウェーハの製造方法。
- 前記第2工程における前記活性化処理は、前記両方の片方の面に厚み2nm以上のアモルファス層が形成されるように行う、請求項1〜10のいずれか一項に記載のシリコン接合ウェーハの製造方法。
- 前記第2工程における前記活性化処理は、前記両方の片方の面に厚み10nm以上のアモルファス層が形成されるように行う、請求項1〜10のいずれか一項に記載のシリコン接合ウェーハの製造方法。
- 単結晶シリコンからなる支持基板用ウェーハと、単結晶シリコンからなる活性層とが接合されたシリコン接合ウェーハであって、
前記支持基板用ウェーハと、前記活性層とを接合する接合領域はアモルファスであり、
前記支持基板用ウェーハは、直径1μm以上10μm以下の改質領域からなるゲッタリングサイトが径方向に周期的に配列したゲッタリング層を含むことを特徴とするシリコン接合ウェーハ。 - 前記支持基板用ウェーハと前記活性層との接合領域にミスフィット転位が存在する、請求項13に記載のシリコン接合ウェーハ。
- 前記支持基板用ウェーハと前記活性層は、結晶軸方向を示す切り欠き部をそれぞれ有し、
前記活性層の前記切り欠き部が、前記支持基板用ウェーハの前記切り欠き部から周方向に回転させた位置にある、請求項14に記載のシリコン接合ウェーハ。 - 前記支持基板用ウェーハの接合面の面方位と、前記活性層の接合面の面方位とが互いに異なる、請求項14に記載のシリコン接合ウェーハ。
- 前記活性層は、シリコンエピタキシャル層からなる、請求項13〜16のいずれか1項に記載のシリコン接合ウェーハ。
- 前記支持基板用ウェーハは、酸素濃度3×1017atoms/cm3(ASTM F121−1979)以下の低酸素領域を含む、請求項13〜17のいずれか一項に記載のシリコン接合ウェーハ。
- 前記支持基板用ウェーハの前記低酸素領域内に前記ゲッタリング層が位置する、請求項18に記載のシリコン接合ウェーハ。
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