JP2016191935A5 - 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
Description
本発明は、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法に係り、更に詳しくは、物体を光学系に対して相対駆動させ走査露光を行う露光装置、前記露光装置を用いるフラットパネルディスプレイの製造方法、及び前記露光装置を用いるデバイス製造方法に関する。
本発明の第１の態様によれば、物体を光学系に対して相対駆動させ走査露光を行う露光装置であって、前記物体を非接触支持し第１方向へ移動可能な第１支持部と、非接触支持された前記物体を保持し、前記第１方向と前記第１方向に交差する第２方向とへ移動可能な保持部と、前記第１方向に関して、前記第１支持部と前記保持部とをそれぞれ駆動させ、前記第２方向に関して、前記物体を保持する前記保持部を前記第１支持部に対して相対駆動させる制御部と、を備える露光装置が、提供される。
本発明の第２の態様によれば、本発明の露光装置を用いて前記基板を露光することと、露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法が、提供される。
本発明の第３の態様によれば、本発明の露光装置を用いて前記物体を露光することと、露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法が、提供される。
以上説明したように、本発明の露光装置は、物体に所定のパターンを形成するのに適している。また、本発明のフラットパネルディスプレイの製造方法は、フラットパネルディスプレイの製造に適している。また、本発明のデバイス製造方法は、マイクロデバイスの生産に適している。
Claims (11)
- 物体を光学系に対して相対駆動させ走査露光を行う露光装置であって、
前記物体を非接触支持し第１方向へ移動可能な第１支持部と、
非接触支持された前記物体を保持し、前記第１方向と前記第１方向に交差する第２方向とへ移動可能な保持部と、
前記第１方向に関して、前記第１支持部と前記保持部とをそれぞれ駆動させ、前記第２方向に関して、前記物体を保持する前記保持部を前記第１支持部に対して相対駆動させる制御部と、を備える露光装置。 - 前記第２方向に関して前記第１支持部に並んで配置され、前記物体を非接触支持可能な第２支持部をさらに備え、
前記制御部は、前記第１及び第２支持部の一方の支持部により支持された前記物体が他方の支持部に支持されるように前記保持部を前記第２方向へ駆動させる請求項１に記載の露光装置。 - 前記第１支持部は、前記物体の下面と前記第１支持部との間に空気を供給する複数の第１供給孔を有する請求項１又は２に記載の露光装置。
- 前記物体を保持する前記保持部は、前記走査露光時に前記第２方向へ駆動する請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記制御部は、前記第１支持部と前記保持部とを前記第１方向へ駆動し前記物体内の前記走査露光の対象領域を変更する請求項１〜４のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記保持部は、前記支持部よりも上方に設けられる請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記制御部は、前記走査露光時に前記第１方向へ前記保持部を駆動する請求項１〜６のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記保持部に設けられ、前記第１および第２方向に関する前記保持部の位置を計測可能な計測部を更に備え、
前記制御部は、前記計測部の出力に基づいて前記保持部の前記第１および第２方向の位置が制御する請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項１〜８のいずれか一項に記載の露光装置。
- 請求項９に記載の露光装置を用いて前記基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項１〜８のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US38045410P | 2010-09-07 | 2010-09-07 | |
| US61/380,454 | 2010-09-07 | ||
| US13/221,420 US8598538B2 (en) | 2010-09-07 | 2011-08-30 | Movable body apparatus, object processing device, exposure apparatus, flat-panel display manufacturing method, and device manufacturing method |
| US13/221,420 | 2011-08-30 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011192321A Division JP5954557B2 (ja) | 2010-09-07 | 2011-09-05 | 移動体装置、物体処理装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018043372A Division JP6558721B2 (ja) | 2010-09-07 | 2018-03-09 | 移動体装置及び移動方法、露光装置及び露光方法、並びにフラットパネルディスプレイの製造方法及びデバイス製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016191935A JP2016191935A (ja) | 2016-11-10 |
| JP2016191935A5 true JP2016191935A5 (ja) | 2017-04-06 |
| JP6304509B2 JP6304509B2 (ja) | 2018-04-04 |
Family
ID=44678002
Family Applications (4)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011192321A Active JP5954557B2 (ja) | 2010-09-07 | 2011-09-05 | 移動体装置、物体処理装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
| JP2016122156A Active JP6304509B2 (ja) | 2010-09-07 | 2016-06-20 | 移動体装置、移動方法、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
| JP2018043372A Active JP6558721B2 (ja) | 2010-09-07 | 2018-03-09 | 移動体装置及び移動方法、露光装置及び露光方法、並びにフラットパネルディスプレイの製造方法及びデバイス製造方法 |
| JP2019133269A Active JP6904384B2 (ja) | 2010-09-07 | 2019-07-19 | 移動体装置及び物体の移動方法、露光装置及び露光方法、並びにフラットパネルディスプレイの製造方法及びデバイス製造方法 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011192321A Active JP5954557B2 (ja) | 2010-09-07 | 2011-09-05 | 移動体装置、物体処理装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
Family Applications After (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018043372A Active JP6558721B2 (ja) | 2010-09-07 | 2018-03-09 | 移動体装置及び移動方法、露光装置及び露光方法、並びにフラットパネルディスプレイの製造方法及びデバイス製造方法 |
| JP2019133269A Active JP6904384B2 (ja) | 2010-09-07 | 2019-07-19 | 移動体装置及び物体の移動方法、露光装置及び露光方法、並びにフラットパネルディスプレイの製造方法及びデバイス製造方法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8598538B2 (ja) |
| JP (4) | JP5954557B2 (ja) |
| KR (3) | KR101911721B1 (ja) |
| CN (2) | CN103119518B (ja) |
| HK (2) | HK1179697A1 (ja) |
| TW (4) | TWI635370B (ja) |
| WO (1) | WO2012033211A1 (ja) |
Families Citing this family (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US8988655B2 (en) | 2010-09-07 | 2015-03-24 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, movable body apparatus, flat-panel display manufacturing method, and device manufacturing method |
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-
2011
- 2011-08-30 US US13/221,420 patent/US8598538B2/en active Active
- 2011-09-05 CN CN201180042791.9A patent/CN103119518B/zh active Active
- 2011-09-05 KR KR1020137008799A patent/KR101911721B1/ko active Application Filing
- 2011-09-05 WO PCT/JP2011/070666 patent/WO2012033211A1/en active Application Filing
- 2011-09-05 KR KR1020187030214A patent/KR102072076B1/ko active IP Right Grant
- 2011-09-05 CN CN201510651404.1A patent/CN105372947B/zh active Active
- 2011-09-05 JP JP2011192321A patent/JP5954557B2/ja active Active
- 2011-09-05 KR KR1020207002446A patent/KR20200012033A/ko not_active Application Discontinuation
- 2011-09-06 TW TW105122550A patent/TWI635370B/zh active
- 2011-09-06 TW TW107127641A patent/TWI681262B/zh active
- 2011-09-06 TW TW100132050A patent/TWI548023B/zh active
- 2011-09-06 TW TW108142991A patent/TWI722678B/zh active
-
2013
- 2013-06-05 HK HK13106608.6A patent/HK1179697A1/zh not_active IP Right Cessation
-
2016
- 2016-06-20 JP JP2016122156A patent/JP6304509B2/ja active Active
- 2016-09-01 HK HK16110448.9A patent/HK1222228A1/zh not_active IP Right Cessation
-
2018
- 2018-03-09 JP JP2018043372A patent/JP6558721B2/ja active Active
-
2019
- 2019-07-19 JP JP2019133269A patent/JP6904384B2/ja active Active
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