KR100949502B1 - 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치 제조 공정용 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 공정 수행 중 각 기판의 반송을 수행하는 반송장치의 구조를 개선하여 별도의 얼라인 장비를 사용하지 않고도 기판의 얼라인이 가능함과 더불어 기판의 안정적인 반송이 가능한 새로운 구조의 액정표시장치 제조 공정용 반송장치에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은 몸체를 이루는 아암부; 상면으로 기판이 안착되는 부위로써, 상기 아암부에 그 일단이 특정 방향으로 이동 가능하게 결합되며, 상기 기판의 둘레측 끝단인 더미부위를 파지하도록 파지부가 형성된 적어도 둘 이상의 핸드부; 그리고, 상기 각 핸드부를 이동시키도록 구동되는 이동부:를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치를 제공한다.
Figure R1020050053129
액정표시장치, 반송장치, 파지부, 이동부

Description

액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치{conveyance device for liquid crystal display}
도 1 은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 반송장치의 구조를 나타낸 개략적인 사시도
도 2a 는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 반송장치의 구조 중 외측 핸드부의 구조를 설명하기 위한 도 1의 Ⅰ-Ⅰ선 단면도
도 2b 는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 반송장치의 구조 중 내측 핸드부의 구조를 설명하기 위한 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도
도 3a 는 도 2a의 다른 실시예를 나타낸 요부 단면도
도 3b 는 도 2b의 다른 실시예를 나타낸 요부 단면도
도 4 는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 반송장치의 구조 중 외측 핸드부용 이동부의 구조를 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 5 는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 반송장치의 구조 중 내측 핸드부용 이동부의 구조를 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 6a 내지 도 6c 는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 반송장치의 최초 상태를 설명하기 위한 평면도와, 정단면도 및 측단면도
도 7a 내지 도 7c 는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 반송장치가 기판을 파지한 상태를 설명하기 위한 평면도와, 정단면도 및 측단면도
도 8 은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 반송장치를 설명하기 위한 평면도
도 9 는 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 반송장치를 설명하기 위한 측단면도
도 10 은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 반송장치를 설명하기 위한 사시도
도면의 주요 부분에 대한 부호 설명
100. 아암부 210. 외측 핸드부
220. 내측 핸드부 211,221. 파지부
211a,221a. 요입홈 211b,221b. 경사면
212,222. 받침돌기 310,320. 이동부
311,321. 가이드 312,322. 액츄에이터
312a,322a. 플런저 410. 보조 파지부
420. 보조 이동부 510. 연통구
520. 냉각팬
본 발명은 액정표시장치의 제조 장치에 관한 것으로, 특히, 액정표시장치용 기판을 각 장치로 반송하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치에 관한 것이 다.
일반적으로 액정표시장치(LCD;Lipuid Crystal Display Device)는 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이 하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
상기한 액정표시장치는 통상 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정패널은 일정 공간을 갖고 합착된 한 쌍의 기판과, 상기 각 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.
여기서, 상기한 각각의 기판 혹은, 각 개별 기판 간의 합착이 이루어진 합착 기판은 로봇암 등의 반송장치에 의해 공정 위치로 반입되거나 혹은, 상기 공정 위치로부터 반출된다.
이때, 상기한 반송장치인 로봇암은 다수의 핸드를 가지면서, 상기 각 핸드의 면상에 상기 각각의 개별 기판 혹은, 합착 기판을 얹은 상태로 이전 공정 위치에서 금번 공정 위치로 반입하거나 혹은, 금번 공정 위치에서 차기 공정 위치로 반출하도록 구성된다.
특히, 기존의 로봇암으로 구성된 일반적인 반송장치는 각 핸드의 면상에 다수의 돌기를 형성하여 상기 기판과의 접촉 면적을 최소화될 수 있도록 구성되었다.
하지만, 전술한 바와 같은 각 돌기는 그 면상에 얹힌 각 기판 혹은 합착 기 판의 해당 부위로 국부적인 집중 하중을 제공하게 됨으로써 상기 기판의 해당 부위가 찌그러지는 등이 발생된다는 문제점을 가진다.
특히, 상기한 찌그러짐이 발생된 부위가 한 쌍의 기판간 적정 간격을 유지하는 스페이서(spacer)가 형성된 부위일 경우라면 해당 부위에서 상기 한 쌍의 기판간 적정 간격이 유지되지 못하여 액정 배열에 의한 불량 발생이 야기된 문제점을 가진다.
또한, 기존의 일반적인 반송장치는 그 자체에서 기판의 얼라인(align)을 수행하지 못하였다.
이로 인해, 합착된 기판을 차기 공정 위치 예컨대, 합착된 기판을 각 단위 패널로 절단하는 절단장비 등으로 반송하는 과정에서 별도의 얼라인 장비를 통해 얼라인이 이루어져야만 하였다. 따라서, 상기 별도의 얼라인 장비를 구축하는데 소요되는 투자 비용 발생 및 액정표시장치의 제조를 위한 택 타임(tact time)의 증가 등이 야기된 문제점을 가진다.
본 발명은 상기와 같은 각종 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 본 발명의 목적은 공정 수행 중 각 기판의 반송을 수행하는 반송장치의 구조를 개선하여 별도의 얼라인 장비를 사용하지 않고도 기판의 얼라인이 가능함과 더불어 기판의 안정적인 반송이 가능한 새로운 구조의 액정표시장치 제조 공정용 반송장치를 제공하고자 한 것이다.
상기 목적 달성을 위한 본 발명의 형태에 따르면 몸체를 이루는 아암부; 상면으로 기판이 안착되는 부위로써, 상기 아암부에 그 일단이 특정 방향으로 이동 가능하게 결합되며, 상기 기판의 둘레측 끝단인 더미부위를 파지하도록 파지부가 형성된 적어도 둘 이상의 핸드부; 그리고, 상기 각 핸드부를 이동시키도록 구동되는 이동부:를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치가 제공된다.
이하, 본 발명의 바람직한 각 실시예를 첨부한 도 1 내지 도 10을 참조하여 보다 상세히 설명하면 하기와 같다.
우선, 도시한 도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치의 구성을 개략적으로 나타내고 있다.
이를 통해 알 수 있듯이 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 반송장치는 크게 아암부(100)와, 핸드부(210,220) 및 이동부(310,320)를 포함하여 구성된다.
여기서, 기판 반송장치를 구성하는 상기 아암부(100)는 기판 반송장치의 몸체를 형성하는 부위이다.
이때, 상기 아암부(100)는 도시하지는 않았지만 별도의 구동장치에 의해 기판(10)의 반송 위치 및 반출 위치로 이동되도록 구성된다.
그리고, 기판 반송장치를 구성하는 상기 핸드부(210,220)는 일단이 상기 아암부(100)에 결합되며, 타단은 상기 아암부(100)로부터 외향 돌출되어 기판(10)이 안착되는 부위를 형성한다.
이때, 상기 핸드부(210,220)의 양단 중 상기 아암부(100)에 결합되는 일단은 상기 기판(10)이 안착된 부위를 향해 이동 가능하게 각각 결합된다.
상기한 핸드부(210,220)는 둘 이상의 다수개로 구비되며, 본 발명의 실시예에서는 상기 핸드부(210,220)가 상기 아암부(100)의 각 부위 중 양측 외곽 부위에 각각 위치된 한 쌍의 외측 핸드부(210)와, 상기 아암부(100)의 각 부위 중 두 외측 핸드부(210)의 사이에 구비된 내측 핸드부(220)를 포함하여 구성됨을 제시한다.
이때, 상기 두 외측 핸드부(210)는 상호간의 대향되는 방향으로(도면상 좌우 방향) 이동 가능하게 결합되며, 상기 내측 핸드부(220)는 상기 아암부(100)와 결합된 부위를 향하는 방향(도면상 전후 방향)으로 이동 가능하게 결합된다.
특히, 상기한 각 핸드부(210,220)의 각 부위 중 그 면상에 안착되는 기판(10)의 둘레측 끝단인 더미부위(11)와 만나는 부위에는 상기 더미부위(11)를 파지하도록 파지부(211,221)가 일체로 형성된다.
상기한 파지부(211,221)는 상기 기판(10)의 더미부위(11)를 파지하기 위해 첨부된 도 2a 및 도 2b와 같이 요입된 공간을 형성하는 요입홈(211a,221a)을 포함하여 이루어진다. 물론, 상기 파지부(211,221)는 상기 기판(10)의 더미부위(11)를 파지하기 위해 첨부된 도 3a 및 도 3b와 같이 요입된 공간을 형성하도록 다단 절곡된 형상을 이루도록 형성될 수도 있다.
이때, 상기 파지부(211,221)의 요입홈(211a,221a) 중 기판(10)이 요입되는 시작단의 개구 크기가 상기 기판(10)의 두께(만일, 상기 기판이 두 기판을 합착한 합착 기판일 경우 상기 합착된 기판의 전체 두께)에 비해 크게 형성되되, 그 내측으로 갈수록 점차 협소한 공간을 가지도록 형성됨이 바람직하다. 이는, 기판(10)의 반입 높이에 대한 편차가 발생될 수 있음을 고려한 구조이다.
즉, 기판(10)의 반입 높이가 최종적으로 상기 파지부(211,221)의 요입홈(211a,221a) 내에 기판(10)이 파지되는 높이와 다르더라도 상기 기판(10)의 파지는 정확히 이루어질 수 있도록 하기 위한 것이다.
특히, 상기 파지부(211,221)의 요입홈을 형성하는 면 중 상면(이하 “경사면”이라 함)(211b,221b)은 상기 파지부(211,221)의 내측으로 갈수록 점차 하향 경사지게 형성됨이 더욱 바람직하다.
이는, 상기한 경사면(211b,221b)에 의해 상기 기판(10)의 파지를 위한 안내가 보다 원활히 이루어질 수 있도록 하기 위함이다.
또한, 전술한 바와 같은 파지부(211,221)의 구조는 각 핸드부(210,220)에 따라 서로 다른 방향을 향해 요입되게 형성된다.
즉, 두 외측 핸드부(210)에 형성되는 두 파지부(211)는 서로 대칭되는 형상으로 형성되어 기판(10)의 양측 둘레를 파지하도록 구성되며, 내측 핸드부(220)에 형성되는 파지부(221)는 상기 기판(10)의 전방측 둘레면을 파지하도록 구성되는 것이다.
상기 외측 핸드부(210)에 형성되는 파지부(211)는 상기 외측 핸드부(210)의 전 부위를 따라 형성됨이 바람직하지만, 상기 파지부(211)를 상기 외측 핸드부(210)의 일부분에만 혹은, 부분적으로 일정 간격을 가지면서 구비되도록 형성할 수도 있다.
또한, 상기 핸드부(210,220)의 면상에는 기판(10)을 받치는 다수의 받침돌기 (212,222)가 더 구비됨이 바람직하다.
이때, 상기 각 받침돌기(212,222)는 상기 핸드부(210,220)의 상면 각 부위 중 기판(10)의 둘레측 끝단인 더미부위(11)가 안착되는 부위에만 형성함으로써 각 단위패널의 손상을 최대한 방지할 수 있도록 함이 가장 바람직하다.
그리고, 기판 반송장치를 구성하는 이동부(310,320)는 상기 각 핸드부(210,220)를 이동시키도록 구동되며, 상기 아암부(100)에 구비된다.
이때, 상기 이동부(310,320)는 상기 각 핸드부(210,220) 각각에 개별적으로 구비되어 상기 각 핸드부(210,220)를 서로 달리 조작하도록 구성됨이 바람직하다. 물론, 도시하지 않은 별도의 링크 구조 등을 이용하여 하나의 이동부로 모든 핸드부가 동시에 이동되도록 구성될 수도 있음은 이해 가능하다.
전술한 바와 같은 이동부(310,320)는 상기 핸드부(210,220)의 이동을 안내하는 가이드(311,321)와, 상기 핸드부(210,220)를 강제 이동시키도록 구동되는 액츄에이터(actuator)(312,322)를 포함하여 구성된다.
이때, 상기 가이드(311,321)는 상기 핸드부(210,220)의 끝단이 결합되며, 상기 액츄에이터(312,322)는 그 플런저(plunger)(312a,322a)가 상기 핸드부(210,220)의 끝단과 결합되게 구성된다.
특히, 상기 이동부(310,320) 중 두 외측 핸드부(210)를 이동시키는 이동부(310)는 첨부된 도 4와 같이 상기 두 외측 핸드부(210)가 도면상 좌우 방향으로 이동되도록 구성되고, 내측 핸드부(220)를 이동시키는 이동부(320)는 첨부된 도 5와 같이 상기 내측 핸드부(220)가 도면상 전후 방향으로 이동되도록 구성된다.
이하, 전술한 바와 같이 구성되는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 반송장치의 동작 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 첨부된 도 6a 내지 도 6c와 같이 반송하고자 하는 기판(10)의 저부로 기판 반송장치의 각 핸드부(210,220)가 위치되도록 로딩된다.
이때, 미설명 부호 20은 기판을 로딩하거나 언로딩할 때 사용되는 승강 리프트이다.
이의 상태에서 각 이동부(310,320)가 구동되면 첨부된 도 7a 내지 도 7c와 같이 상기 기판(10)의 둘레측 끝단인 더미부위가 상기 각 핸드부(210,220)에 형성된 각 파지부(211,221)의 요입홈(211a,221a) 내로 요입된다.
즉, 각 핸드부(210,220) 중 두 외측 핸드부(210)를 이동시키는 두 이동부(310)의 액츄에이터(312)가 각각 동작되면, 상기 두 외측 핸드부(210)는 해당 가이드(311)의 안내를 받아 도면상 수평 방향으로 이동되면서 첨부된 도 7b와 같이 해당 핸드부(210)에 구비된 각 파지부(211)가 상기 기판(10)의 양측 둘레의 더미부위(11)를 파지하게 되는 것이다.
이와 함께, 나머지 내측 핸드부(220)를 이동시키는 각 이동부(320)의 액츄에이터(322)가 각각 동작되면, 상기 각 내측 핸드부(220)는 해당 가이드(321)의 안내를 받아 도면상 후방측 방향으로 이동되면서 첨부된 도 7c와 같이 해당 핸드부(220)에 구비된 각 파지부(221)가 상기 기판(10)의 전방측 둘레의 더미부위를 파지하게 되는 것이다.
이때, 상기 기판(10)은 상기 각 파지부(211,221)의 요입홈(211a,221a) 내로 요입되는 과정에서 상기 각 요입홈(211a,221a)의 내측 상면인 경사면(211b,221b)의 안내를 받으면서 원하는 위치로의 안착이 이루어진다.
결국, 상기 기판(10)은 각 파지부(211,221)에 의해 그 둘레가 파지된 상태로 얼라인(align)된 상태를 유지하게 되고, 계속해서 아암부(100)의 동작에 의해 상기 기판(10)은 후공정 위치로 반송됨으로써 기판(10)의 반출이 완료된다.
이때, 상기 기판(10)이 후공정 위치로 반출되는 도중 기판 반송장치의 유동이 발생되더라도 상기 기판(10)은 상기 각 파지부(211,221)에 의해 파지된 상태이기 때문에 그의 위치 변동은 이루어지지 않게 된다.
따라서, 전술한 일련의 과정에 의해 이후 공정 위치로 반출된 기판(10)은 별도의 얼라인 장비를 이용한 얼라인 공정을 수행하지 않고 후공정의 장비로 반출됨에 따라 별도의 얼라인 수행을 위한 공정 시간이 단축된다는 장점을 가진다.
한편, 전술한 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 반송장치는 기판(10)의 네 둘레 중 각 내측 핸드부(220)에 의해 파지되는 둘레와는 반대측의 둘레를 파지하는 구성이 없기 때문에 기판(10)의 해당 부위(후방측 부위)가 유동되는 문제점이 야기될 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 반송장치에는 전술한 제1실시예의 기판 반송장치에 따른 각 구성에 추가하여 첨부된 도 8 및 도 9와 같이 별도의 보조 파지부(410)와, 상기 보조 파지부(410)를 이동시키도록 구동되는 보조 이동부(420)를 더 구비함을 제시한다.
이때, 상기 보조 파지부(410)는 기판(10)의 둘레측 끝단 중 아암부(100)와 근접된 둘레측 끝단 부위를 파지하도록 구성되며, 각 내측 핸드부(220)와는 반대로 상기 기판(10)의 후방측 둘레를 향해 이동 가능하게 결합된다.
상기한 보조 파지부(410)의 형상은 상기 각 내측 핸드부(220)에 구비된 각 파지부(221)의 형상과는 대칭되게 형성됨이 바람직하다.
특히, 상기 각 보조 파지부(410)의 위치는 각 내측 파지부(220)의 사이 사이에 각각 위치되도록 구성됨이 가장 바람직하다. 이는, 상기 각 내측 파지부(220)의 이동에 간섭을 주지 않도록 하기 위함이다.
또한, 상기 각 보조 이동부(420)는 상기 각 보조 파지부(410)를 전후 방향으로 이동시키도록 구동되며, 상기 아암부(100)에 구비된다.
이때, 상기 각 보조 이동부(420)의 구조는 상기 각 내측 파지부(220)를 이동시키도록 동작되는 이동부(320)의 구조와 동일하게 구성되며, 이를 위한 별도의 구체적인 도시는 생략한다.
전술한 바와 같이 구성되는 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 반송장치는 전술한 제1실시예에 따른 기판 반송장치의 동작과 동일하게 이루어지되, 각 보조 이동부(420)의 동작에 의해 각 보조 파지부(410)가 기판(10)의 후방측 둘레의 더미부위(11)를 추가로 파지하게 된다.
따라서, 상기 기판(10)은 그 네 둘레가 모두 안정적인 파지 상태를 이루면서 반송된다.
첨부된 도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 반송장치가 도시되고 있다.
즉, 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 반송장치는 전술한 본 발명의 제1실시예의 기판 반송장치에 별도의 냉각부를 더 구비한 것이 제시된다.
이러한 구조는 기판(10)을 반송하는 도중 상기 기판(10)의 온도 저감을 이룰 수 있도록 한 것이다. 예컨대, 경화 공정을 거치면서 고온의 상태를 이루는 기판(10)이 이후 공정으로의 반송 도중 최대한 온도의 저감이 이루어질 수 있도록 함으로써, 상기 이후 공정의 진행시 급격한 온도 변화에 따라 발생될 수 있는 기판의 변형이나 손상 등을 미연에 방지하기 위한 구조인 것이다.
상기 냉각부는 상기 각 핸드부(210,220) 중 적어도 하나 이상의 핸드부에 구비됨이 바람직하며, 그에 얹힌 기판(10)을 냉각하거나 혹은, 그 저부의 여타 반송장치의 각 핸드부(도시는 생략됨)에 얹힌 기판을 냉각하도록 구성된다.
이때, 상기한 냉각부는 상기 각 핸드부(210,220)의 면상을 관통하도록 형성된 하나 이상의 연통구(510)와, 상기 각 연통구(510) 내에 각각 구비되어 그 상부 혹은, 하부를 향해 냉각 공기를 송풍하는 냉각팬(520)을 포함하여 구성된다. 상기 냉각부는 각 핸드부(210,220) 중 각 내측 핸드부(220)에 구비됨이 바람직하다.
따라서, 기판(10)이 로딩된 상태에서 상기 각 냉각팬(520)을 구동시키게 되면 상기 각 냉각팬(520)의 구동에 의해 발생된 공기 흡입 유동에 의해 각 핸드부(220)의 주위를 유동하는 공기가 상기 각 내측 핸드부(220)의 각 연통구(510) 내로 흡입된 후 그 저부의 여타 반송장치의 각 핸드부(도시는 생략됨)에 얹힌 기판으로 토출된다.
이로 인해, 상기 기판(10)은 상기 토출 공기에 의한 온도의 저감이 이루어진 다.
도시하지는 않았지만 상기 냉각부가 해당 반송장치의 각 핸드부(210,220)에 얹힌 기판(10)을 냉각하도록 구성된다면 상기 각 냉각팬(520)에 의해 토출되는 공기는 상기 각 핸드부(210,220)에 얹힌 기판(10)으로 토출되면서 해당 기판을 냉각시키게 된다.
또한, 본 발명의 실시예에서는 상기 냉각부가 각 핸드부(210,220) 중 내측 핸드부(220)에만 구비된 것을 제시하고 있지만, 각 외측 핸드부(210)에도 다수의 냉각부를 구비할 수도 있다.
한편, 본 발명에 따른 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치는 전술한 각 실시예에 따른 구조로만 구성할 수 있는 것은 아니다.
예컨대, 비록 도시하지는 않았지만 각 파지부(211,221)를 상기 각 핸드부(210,220)로부터 착탈 가능하게 구성할 수도 있다.
이는, 각 개별 기판을 반송하는데 사용될 경우와 한 쌍의 기판이 합착된 상태인 합착 기판을 반송하는데 사용될 경우에 따라 각 파지부(211,221)의 개구 높이가 서로 다르게 형성되어야 하기 때문이다.
즉, 상기 파지부(211,221)를 다양한 개구 높이를 가지도록 각각 형성하여 구비한 상태에서 그 사용 용도에 따라 선택적으로 각 핸드부(210,220)에 결합하여 사용할 수 있도록 함이 바람직하다.
또한, 각 핸드부(210,220) 중 내측 핸드부(220)는 각 실시예로 제시된 바와 같이 두 개로 구성되어야 하는 것이 아니다.
즉, 도시하지는 않았지만 상기 내측 핸드부(220)를 하나로만 구성하여 기판(10)의 중앙측을 받치도록 할 수도 있는 것이다.
또한, 각 이동부(310,320)를 가이드(311,321)와 액츄에이터(312,322)로 구성되어야 하는 것은 아니다.
즉, 도시하지는 않았지만 각 핸드부(210,220)의 끝단을 랙크로 형성하고, 각 이동부(310,320)를 상기 랙크에 결합된 피니언 및 이 피니언을 회전시키는 구동모터로 구성될 수도 있다. 뿐만 아니라, 상기 이동부(310,320)를 리니어모터로 구성할 수도 있다.
이렇듯, 본 발명에 따른 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치는 기판의 둘레를 파지할 수 있는 구조라면 전술한 바와 같이 다양한 변경이 가능하다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치에 따른 구성에 의해 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 본 발명의 기판 반송장치는 기판의 둘레 중 더미부위를 파지하도록 구성됨으로써 단순히 기판을 얹은 상태로 반송할 경우 야기되는 국부적인 응력 집중에 의한 해당 부위의 손상을 방지할 수 있게 된 효과를 가진다.
둘째, 본 발명의 기판 반송장치는 기판의 둘레면을 안정적으로 파지한 상태로 해당 기판을 반송하도록 구성됨으로써 상기 기판의 반송중 야기되는 기판의 위치 변동을 방지할 수 있다는 효과를 가진다.
셋째, 본 발명의 기판 반송장치는 전술한 바와 같이 기판의 반송중 야기되는 기판의 위치 변동을 방지할 수 있기 때문에 액정표시장치 제조 공정용 각 장비 사이에 별도의 얼라인 장비를 구비하지 않아도 된다는 효과를 가진다.
이로 인해, 얼라인을 위한 추가 장비의 구축이 필요없음으로 인한 초기 투자 비용의 저감을 이룰 수 있을 뿐 아니라, 기판의 얼라인을 위한 별도의 과정이 생략됨으로 인한 택트 타임의 단축을 이룰 수 있게 된 효과를 가진다.

Claims (18)

  1. 몸체를 이루는 아암부;
    상면으로 기판이 안착되는 부위로써, 상기 아암부에 그 일단이 이동 가능하게 결합되며, 상기 기판의 둘레측 끝단인 더미부위를 파지하도록 파지부가 형성된 적어도 둘 이상의 핸드부; 그리고,
    상기 각 핸드부를 이동시키도록 구동되는 이동부:를 포함하여 구성되며;
    상기 각 핸드부는 상기 아암부의 각 부위 중 양측 최외곽에 각각 위치된 두 개의 외측 핸드부와, 상기 아암부의 각 부위 중 두 외측 핸드부의 사이에 구비된 두 개의 내측 핸드부를 포함하여 구성되며;
    상기 두 외측 핸드부는 상호간의 대향되는 방향으로 이동 가능하게 구비되며;
    상기 두 내측 핸드부는 상기 아암부와 결합된 부위를 향하는 방향으로 이동 가능하게 구비된 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 두 외측 핸드부에 형성되는 파지부는
    상기 두 외측 핸드부의 각 부위 중 상기 기판의 양측 더미부위와 만나는 면을 따라 해당 부위를 파지하기 위해 요입된 공간을 형성하는 요입홈을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 두 외측 핸드부에 형성되는 파지부는
    상기 두 외측 핸드부의 각 부위 중 상기 기판의 양측 더미부위와 만나는 면을 따라 해당 부위를 파지하기 위해 요입된 공간을 형성하도록 다단 절곡되어 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치.
  6. 제 4 항 또는, 제 5 항에 있어서,
    상기 파지부에 의해 형성되는 요입된 공간은 그 내측으로 갈수록 점차 협소하게 형성됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 파지부의 요입된 공간을 형성하는 면중 상면은 상기 두 외측 핸드부의 끝단으로 갈수록 점차 하향 경사지게 형성됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치.
  8. 삭제
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 내측 핸드부에 형성되는 파지부는
    상기 내측 핸드부의 각 부위 중 아암부와 결합되는 측과는 반대측 끝단에 형성되며, 해당 부위에 안착되는 기판의 끝단을 파지하기 위해 요입된 공간을 형성하는 요입홈을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 내측 핸드부에 형성되는 파지부는
    상기 내측 핸드부의 각 부위 중 아암부와 결합되는 측과는 반대측 끝단에 형성되며, 해당 부위에 안착되는 기판의 끝단을 파지하기 위해 요입된 공간을 형성하도록 다단 절곡되어 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치.
  11. 제 9 항 또는, 제 10 항에 있어서,
    상기 파지부에 의해 형성되는 요입된 공간은 그 내측으로 갈수록 점차 협소하게 형성됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 파지부의 요입된 공간을 형성하는 면중 상면은 상기 두 외측 핸드부의 끝단으로 갈수록 점차 하향 경사지게 형성됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 이동부는
    각 핸드부 각각에 개별적으로 구비되어, 상기 각 핸드부를 각각의 필요에 따른 방향으로 이동시키도록 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치.
  14. 제 1 항 또는, 제 13 항에 있어서,
    상기 이동부는
    상기 핸드부의 이동을 안내하는 가이드와, 상기 핸드부를 강제 이동시키도록 구동되는 액츄에이터(actuator)를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 아암부에는
    기판의 둘레측 끝단 중 상기 아암부와 근접된 둘레측 끝단 부위를 파지하도록 상기 기판의 둘레측 끝단을 향해 이동 가능하게 결합된 적어도 하나 이상의 보조 파지부와,
    상기 보조 파지부를 이동시키도록 구동되는 보조 이동부가 더 구비됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 각 핸드부의 상면 중 상기 기판의 둘레측 끝단인 더미부위가 안착되는 부위에는
    상기 기판의 더미부위를 받치는 다수의 받침 돌기가 더 구비됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 핸드부 중 적어도 하나 이상의 핸드부에는
    그에 얹힌 기판을 냉각하거나 혹은, 그 저부의 여타 반송장치의 각 핸드부에 얹힌 기판을 냉각하기 위한 냉각부가 더 구비됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 냉각부는
    상기 각 핸드부의 면상을 관통하도록 형성된 연통구와,
    상기 연통구 내에 구비되어 해당 각 핸드부의 상면에 얹힌 기판 혹은, 그 저부의 여타 반송장치의 각 핸드부에 얹힌 기판을 향해 냉각 공기를 송풍하는 냉각팬을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101593054B1 (ko) * 2015-01-12 2016-02-11 주식회사 로보스타 가변 로봇핸드를 구비한 반송 로봇
KR101593055B1 (ko) * 2015-01-15 2016-02-11 주식회사 로보스타 2단 가변 로봇핸드를 구비한 반송 로봇

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100679269B1 (ko) * 2006-01-04 2007-02-06 삼성전자주식회사 멀티 챔버형 반도체 제조 장치
US8376428B2 (en) 2006-11-15 2013-02-19 Dynamic Micro System Semiconductor Equipment GmbH Integrated gripper for workpiece transfer
TW201008729A (en) * 2008-07-30 2010-03-01 Fabworx Solutions Inc Edge grip end effector
DE102008045257A1 (de) * 2008-09-01 2010-03-04 Rena Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Handhaben von Substraten
KR200470096Y1 (ko) * 2008-12-09 2013-11-28 주식회사 테스 웨이퍼 블레이드
KR101105416B1 (ko) * 2009-07-23 2012-01-17 주식회사 디엠에스 기판 처리 장치
US20110042874A1 (en) * 2009-08-20 2011-02-24 Nikon Corporation Object processing apparatus, exposure apparatus and exposure method, and device manufacturing method
KR101862234B1 (ko) * 2009-08-20 2018-05-29 가부시키가이샤 니콘 물체 처리 장치, 노광 장치와 노광 방법, 및 디바이스 제조 방법
US8699001B2 (en) * 2009-08-20 2014-04-15 Nikon Corporation Object moving apparatus, object processing apparatus, exposure apparatus, object inspecting apparatus and device manufacturing method
KR101331507B1 (ko) * 2010-08-09 2013-11-20 엘지디스플레이 주식회사 기판 세정/건조 장치와 이를 포함하는 기판 처리 장치, 그의 기판 세정/건조 방법, 및 디스플레이 패널의 제조 방법
US8988655B2 (en) 2010-09-07 2015-03-24 Nikon Corporation Exposure apparatus, movable body apparatus, flat-panel display manufacturing method, and device manufacturing method
US8598538B2 (en) 2010-09-07 2013-12-03 Nikon Corporation Movable body apparatus, object processing device, exposure apparatus, flat-panel display manufacturing method, and device manufacturing method
JP5582313B2 (ja) * 2011-06-28 2014-09-03 株式会社安川電機 ロボットシステム
JP5403378B2 (ja) * 2011-09-08 2014-01-29 株式会社安川電機 ロボットハンド及びロボット
MX346253B (es) 2011-10-24 2017-03-10 Remedi Tech Holdings Llc Sistema de envasado para un surtidor farmacéutico y método asociado.
JP5959221B2 (ja) * 2011-11-16 2016-08-02 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
US8814239B2 (en) * 2012-02-15 2014-08-26 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Techniques for handling media arrays
TWI538871B (zh) * 2012-03-28 2016-06-21 巴柏斯特麥克斯合資公司 用於轉換機的非間斷齒條裝置
DE102012103533A1 (de) 2012-04-20 2013-10-24 Köra-Packmat Maschinenbau GmbH Vorrichtung zum Fördern eines Substrats und System zum Bedrucken eines Substrats
CN105398635B (zh) * 2014-08-12 2017-10-24 上银科技股份有限公司 外壳自动定位的方法
DE102014113039B4 (de) * 2014-09-10 2018-05-17 Hiwin Technologies Corp. Automatisches Positionierverfahren für Gehäuse und die dazu notwendige Vorrichtung
KR102569618B1 (ko) * 2015-03-30 2023-08-22 가부시키가이샤 니콘 물체 반송 장치, 노광 장치, 플랫 패널 디스플레이의 제조 방법, 디바이스 제조 방법, 물체 반송 방법, 및 노광 방법
TWI725115B (zh) * 2016-01-29 2021-04-21 日商達誼恆股份有限公司 基板移載用機器手
CN106625585A (zh) * 2016-11-29 2017-05-10 武汉华星光电技术有限公司 一种液晶玻璃基板搬运机器人
CN108666232B (zh) * 2017-03-28 2021-11-12 雷仲礼 基板处理***、基板翻转装置和方法
CN206998968U (zh) * 2017-08-02 2018-02-13 京东方科技集团股份有限公司 机器人手臂及搬运机器人
CN107564845B (zh) * 2017-08-24 2019-12-27 京东方科技集团股份有限公司 一种机械手
KR102300359B1 (ko) * 2019-08-07 2021-09-08 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 그 구동 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61244040A (ja) 1985-04-22 1986-10-30 Sony Corp ウエハ移載具
JPH01315155A (ja) * 1988-03-11 1989-12-20 Tel Sagami Ltd ウエハ移送装置
KR20020066794A (ko) * 2001-02-13 2002-08-21 디엔씨엔지니어링 주식회사 이중 버퍼영역을 갖는 웨이퍼링 핸들러
KR20020076819A (ko) * 2001-03-30 2002-10-11 (주)케이.씨.텍 기판을 파지하는 장치 및 이를 갖는 핸들링 장치

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4410209A (en) * 1982-03-11 1983-10-18 Trapani Silvio P Wafer-handling tool
FR2627418B1 (fr) * 1988-02-23 1990-09-14 Videocolor Procede de prehension automatique d'objet permettant de conserver au moins un element de reference geometrique qui lui est lie, et pince de prehension pour sa mise en oeuvre
US5022695A (en) * 1989-01-30 1991-06-11 Texas Instruments Incorporated Semiconductor slice holder
US5700046A (en) * 1995-09-13 1997-12-23 Silicon Valley Group, Inc. Wafer gripper
CH697146A5 (de) * 1996-10-09 2008-05-15 Tec Sem Ag Greifvorrichtung zur Handhabung von Wafern.
US6109677A (en) * 1998-05-28 2000-08-29 Sez North America, Inc. Apparatus for handling and transporting plate like substrates
EP1114440B1 (de) * 1998-09-02 2007-12-12 Tec-Sem AG Vorrichtung und verfahren zum handhaben von einzelnen wafern
US6499777B1 (en) * 1999-05-11 2002-12-31 Matrix Integrated Systems, Inc. End-effector with integrated cooling mechanism
US6592324B2 (en) * 2001-02-26 2003-07-15 Irm, Llc Gripper mechanism
US20030035711A1 (en) * 2001-07-14 2003-02-20 Ulysses Gilchrist Centering double side edge grip end effector with integrated mapping sensor
JP4319504B2 (ja) 2003-10-06 2009-08-26 東京エレクトロン株式会社 基板搬送装置および基板処理システム

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61244040A (ja) 1985-04-22 1986-10-30 Sony Corp ウエハ移載具
JPH01315155A (ja) * 1988-03-11 1989-12-20 Tel Sagami Ltd ウエハ移送装置
KR20020066794A (ko) * 2001-02-13 2002-08-21 디엔씨엔지니어링 주식회사 이중 버퍼영역을 갖는 웨이퍼링 핸들러
KR20020076819A (ko) * 2001-03-30 2002-10-11 (주)케이.씨.텍 기판을 파지하는 장치 및 이를 갖는 핸들링 장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101593054B1 (ko) * 2015-01-12 2016-02-11 주식회사 로보스타 가변 로봇핸드를 구비한 반송 로봇
KR101593055B1 (ko) * 2015-01-15 2016-02-11 주식회사 로보스타 2단 가변 로봇핸드를 구비한 반송 로봇

Also Published As

Publication number Publication date
US7401828B2 (en) 2008-07-22
KR20060133328A (ko) 2006-12-26
US20060284434A1 (en) 2006-12-21
CN1885101A (zh) 2006-12-27
CN100507647C (zh) 2009-07-01

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