JP5056339B2 - 基板搬送装置用基板把持機構 - Google Patents
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Description
前記把持手段は、基板端部を基板挟み部により挟み込む上ブロックおよび下ブロックと、
前記上ブロックおよび下ブロックを支えかつ移動軸をそろえるための支柱と、
前記上ブロックと下ブロックの基板挟み部の外側に配置されるチャック開閉チューブと、
前記チャック開閉チューブ内部に流体を給排する流体給排手段と、
前記上ブロックと下ブロックの間に配置される反発ばねと、
前記上ブロックおよび下ブロックを支える支え梁および支えばねと、を備え、
前記チャック開閉チューブ内部に流体を供給して前記チャック開閉チューブを膨らませると前記上ブロックおよび前記下ブロックの基板挟み部は基板端部を挟み込む動作を行い、前記チャック開閉チューブ内部から流体を排出すると前記反発ばねにより前記上ブロックおよび前記下ブロックの基板挟み部の間に間隙が形成されて基板端部を開放する動作を行うものであり、
少なくとも1以上の前記把持手段を往復運動させる前記把持搬送手段を備えることを特徴とする基板搬送装置用把持機構である。
アンチャック状態から、チューブ29に圧縮空気を入れるとチューブ29が膨らみ、上ブロック26が下に、下ブロック27が上に移動し、基板2をチャックするようになっている。
2… 基板
3… 基板浮上機構
3a… 表面(基板浮上機構)
4… 基板浮上機構
4a… 表面(基板浮上機構)
5… 基板把持機構
6… 基板搬送機構
7… ベースプレート
8… 吸引穴(基板浮上機構)
9… 透過検査用照明
10… 中空空間(基板浮上機構:吹き上げ)
10p… 配管(基板浮上機構:吹き上げ)
11… 中空空間(基板浮上機構:吸引)
11v… 配管(基板浮上機構:吸引)
12… 中空空間(基材浮上機構:吹き上げ)
12p… 配管(基材浮上機構:吹き上げ)
13… 空気流(基板浮上機構:吹き上げ)
14… 空気流(基板浮上機構:吹き上げ)
15… ブロアーポンプ(吸引)
16… ボールバルブ
17… チャンバー
18… 排気経路
19… 圧力調整弁
20… マニホールド
21… 圧空経路
22… カメラ装置
23… コロロール(搬送用)
24… ベースプレート
25… 基板把持ピン
26… 上ブロック
27… 下ブロック
28… 反発スプリング
29… チャック開閉用チューブ
30… 支柱
31… 支えスプリング
32… 定荷重巻きスプリング
33… 排気圧
34… 吸着部
40… 支え梁
Claims (2)
- 基板搬送部に設置された基板を浮上させる基板浮上機構と、前記基板の片端部もしくは両端部を把持する把持手段と、前記把持手段を移動させる把持搬送手段を備えたことを特徴とする基板搬送装置において、
前記把持手段は、基板端部を基板挟み部により挟み込む上ブロックおよび下ブロックと、
前記上ブロックおよび下ブロックを支えかつ移動軸をそろえるための支柱と、
前記上ブロックと下ブロックの基板挟み部の外側に配置されるチャック開閉チューブと、
前記チャック開閉チューブ内部に流体を給排する流体給排手段と、
前記上ブロックと下ブロックの間に配置される反発ばねと、
前記上ブロックおよび下ブロックを支える支え梁および支えばねと、を備え、
前記チャック開閉チューブ内部に流体を供給して前記チャック開閉チューブを膨らませると前記上ブロックおよび前記下ブロックの基板挟み部は基板端部を挟み込む動作を行い、前記チャック開閉チューブ内部から流体を排出すると前記反発ばねにより前記上ブロックおよび前記下ブロックの基板挟み部の間に間隙が形成されて基板端部を開放する動作を行うものであり、
少なくとも1以上の前記把持手段を往復運動させる前記把持搬送手段を備えることを特徴とする基板搬送装置用把持機構。 - 前記基板把持手段の上ブロックと下ブロックのいずれかの基板挟み部に吸着部を配置したことを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置用把持機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007271093A JP5056339B2 (ja) | 2007-10-18 | 2007-10-18 | 基板搬送装置用基板把持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007271093A JP5056339B2 (ja) | 2007-10-18 | 2007-10-18 | 基板搬送装置用基板把持機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009098052A JP2009098052A (ja) | 2009-05-07 |
JP5056339B2 true JP5056339B2 (ja) | 2012-10-24 |
Family
ID=40701192
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007271093A Expired - Fee Related JP5056339B2 (ja) | 2007-10-18 | 2007-10-18 | 基板搬送装置用基板把持機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5056339B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107381056A (zh) * | 2017-09-05 | 2017-11-24 | 滁州克莱帝玻璃科技有限公司 | 一种玻璃隔板生产用输送装置 |
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JP2011026093A (ja) * | 2009-07-28 | 2011-02-10 | Kataoka Seisakusho:Kk | 基板移送装置 |
KR101185532B1 (ko) * | 2009-12-30 | 2012-09-25 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판 이송장치 및 이를 이용한 이송 방법 |
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US8598538B2 (en) * | 2010-09-07 | 2013-12-03 | Nikon Corporation | Movable body apparatus, object processing device, exposure apparatus, flat-panel display manufacturing method, and device manufacturing method |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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---|---|
JP2009098052A (ja) | 2009-05-07 |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120703 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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