JP2015064569A - 撮像装置、検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源1001からの光を偏光ビームスプリッタ1002を介してマスク1006に照明し、マスク1006で反射した光を偏光ビームスプリッタ1002を介してセンサ1007に導き、センサ1007でマスク1006のパターンを撮像する。偏光ビームスプリッタ1002とマスク1006の間には、ファラデー回転子1004が配置されている。ファラデー回転子1004には、ファラデー回転子1004を透過する前の光の偏光面が、ファラデー回転子1004を往復して透過することで90度回転するように磁界が印加されることが好ましい。
【選択図】図1
Description
前記光源からの光が入射する偏光ビームスプリッタと、
前記偏光ビームスプリッタからの光が入射するファラデー回転子と、
前記ファラデー回転子を透過した光を対象物に照明する対物レンズと、
前記対象物で反射した光を、前記対物レンズ、前記ファラデー回転子および前記偏光ビームスプリッタを介して入射させて、前記対象物の光学画像を撮像するセンサとを有することを特徴とする撮像装置に関する。
この場合、前記ファラデー回転子は光を透過する光学材料を有し、電磁石、永久磁石および電磁石と永久磁石を組み合わせたものよりなる群から選ばれるいずれか1つによって、前記光学材料に前記磁界が印加されることが好ましい。
前記2分の1波長板によって前記対象物を照明する光の偏光方向を変化させることが好ましい。
前記2分の1波長板は、前記偏光ビームスプリッタと前記ファラデー回転子の間に配置されることができる。
また、前記2分の1波長板は、前記ファラデー回転子と前記対象物の間に配置されることもできる。
前記2分の1波長板は回転機構を有し、前記回転機構によって前記2分の1波長板の角度を変えて前記光の偏光方向を変化させることが好ましい。
(1)前記階調値の標準偏差を最小にする前記ファラデー回転子による光の偏光面の回転角度、または、
(2)前記回転角度を変えて取得した複数の光学画像における前記階調値の標準偏差を前記階調値から求められる平均階調値の平方根で割った値が最小になるときの回転角度
を取得する画像処理部と、
前記画像処理部で取得した前記回転角度となるように、前記ファラデー回転子に磁界を印加する、または、ファラデー素子の内部にある光学材料として所望の厚さのものを選択する角度制御部と、
前記ファラデー回転子に前記磁界が印加された状態、または、ファラデー素子の内部にある光学材料として所望の厚さのものが選択された状態で撮像された光学画像に基づいて、前記試料の欠陥検出を行う欠陥検出部とを有することが好ましい。
前記試料に形成されたパターンの光学画像を得るセンサと、
前記試料で反射した光を、前記2分の1波長板と前記ファラデー回転子と前記偏光ビームスプリッタを透過させて、前記センサに結像する結像光学系とを有することを特徴とする検査装置に関する。
(1)前記階調値の標準偏差を最小にする前記ファラデー回転子による光の偏光面の回転角度、または、
(2)前記回転角度を変えて取得した複数の光学画像における前記階調値の標準偏差を前記階調値から求められる平均階調値の平方根で割った値が最小になるときの回転角度
を取得する画像処理部と、
前記画像処理部で取得した前記回転角度となるように、前記ファラデー回転子に磁界を印加する、または、ファラデー素子の内部にある光学材料として所望の厚さのものを選択する角度制御部と、
前記ファラデー回転子に前記磁界が印加された状態、または、ファラデー素子の内部にある光学材料として所望の厚さのものが選択された状態で撮像された光学画像に基づいて、前記試料の欠陥検出を行う欠陥検出部とを有することが好ましい。
前記光学画像について画素毎の階調値を求め、
(1)前記階調値の標準偏差を最小にする前記ファラデー回転子による光の偏光面の回転角度、または、
(2)前記回転角度を変えて取得した複数の光学画像における前記階調値の標準偏差を前記階調値から求められる平均階調値の平方根で割った値が最小になるときの回転角度
を取得する工程と、
前記取得した回転角度となるように、前記ファラデー回転子に磁界を印加する工程と、
前記ファラデー回転子に前記磁界が印加された状態、または、ファラデー素子内の内部にある光学材料として所望の厚さのものが選択された状態で撮像された光学画像に基づいて、前記試料の欠陥検出を行う工程とを有することを特徴とする検査方法に関する。
前記ファラデー回転子に磁界を印加する工程は、電磁石、永久磁石および電磁石と永久磁石を組み合わせたものよりなる群から選ばれるいずれか1つによって、前記光学材料に前記磁界を印加する工程であることが好ましい。
を算出する。そして、この値
が最小になるファラデー回転角θを求めればよい。
2 Zテーブル
3 XYテーブル
14 角度制御回路
17a,17b モータ
201,202,203,204 フレーム
100 検査装置
106 センサ回路
107 位置回路
108 画像処理回路
109 磁気ディスク装置
110 制御計算機
113 オートローダ制御回路
114a XYテーブル制御回路
114b Zテーブル制御回路
115 磁気テープ装置
116 フレキシブルディスク装置
117 ディスプレイ
118 パターンモニタ
119 プリンタ
120 バス
122 レーザ測長システム
130 オートローダ
134 欠陥検出回路
1001,2001 光源
1002 偏光ビームスプリッタ
1003,2003 2分の1波長板
1004 ファラデー回転子
1004a 光学材料
1004b コイル
1005,2005 対物レンズ
1006,2006 マスク
1007,2007 センサ
1008 ビーム成形光学系
1009 結像光学系
2002 ハーフミラー
Claims (20)
- 所定の波長の光を出射する光源と、
前記光源からの光が入射する偏光ビームスプリッタと、
前記偏光ビームスプリッタからの光が入射するファラデー回転子と、
前記ファラデー回転子を透過した光を対象物に照明する対物レンズと、
前記対象物で反射した光を、前記対物レンズ、前記ファラデー回転子および前記偏光ビームスプリッタを介して入射させて、前記対象物の光学画像を撮像するセンサとを有することを特徴とする撮像装置。 - 前記ファラデー回転子には、前記ファラデー回転子を透過する前の光の偏光面が、前記ファラデー回転子を往復して透過することで90度回転するように磁界が印加されることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- ファラデー回転子は、光を透過する光学材料を有し、
電磁石、永久磁石および電磁石と永久磁石を組み合わせたものよりなる群から選ばれるいずれか1つによって、前記光学材料に前記磁界が印加されることを特徴とする請求項2に記載の撮像装置。 - 前記偏光ビームスプリッタと前記対象物の間に2分の1波長板が配置されており、
前記2分の1波長板によって前記対象物を照明する光の偏光方向を変化させることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の撮像装置。 - 前記2分の1波長板は、前記偏光ビームスプリッタと前記ファラデー回転子の間に配置されていることを特徴とする請求項4に記載の撮像装置。
- 前記2分の1波長板は、前記ファラデー回転子と前記対象物の間に配置されていることを特徴とする請求項4に記載の撮像装置。
- 前記2分の1波長板は回転機構を有し、
前記回転機構によって前記2分の1波長板の角度を変えて前記光の偏光方向を変化させることを特徴とする請求項4〜6のいずれか1項に記載の撮像装置。 - 前記光源の波長と前記対物レンズの開口数によって定まる解像限界は、前記対象物に形成されたパターンを解像しない値であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記光学画像について画素毎の階調値を求め、
(1)前記階調値の標準偏差を最小にする前記ファラデー回転子による光の偏光面の回転角度、または、
(2)前記回転角度を変えて取得した複数の光学画像における前記階調値の標準偏差を前記階調値から求められる平均階調値の平方根で割った値が最小になるときの回転角度
を取得する画像処理部と、
前記画像処理部で取得した前記回転角度となるように、前記ファラデー回転子に磁界を印加する、または、ファラデー素子の内部にある光学材料として所望の厚さのものを選択する角度制御部と、
前記ファラデー回転子に前記磁界が印加された状態、または、ファラデー素子の内部にある光学材料として所望の厚さのものが選択された状態で撮像された光学画像に基づいて、前記試料の欠陥検出を行う欠陥検出部とを有することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の撮像装置。 - 所定の波長の光を出射する光源と、前記光源から出射した光を反射する偏光ビームスプリッタと、前記偏光ビームスプリッタと検査対象となる試料の間に配置されて前記偏光ビームスプリッタで反射した光を透過する2分の1波長板およびファラデー回転子とを有し、前記試料に形成された繰り返しパターンの繰り返し方向に対し−5度〜5度と85度〜95度の各範囲にある角度以外の角度の偏光面を有する光で前記試料を照明する照明光学系と、
前記試料に形成されたパターンの光学画像を得るセンサと、
前記試料で反射した光を、前記2分の1波長板と前記ファラデー回転子と前記偏光ビームスプリッタを透過させて、前記センサに結像する結像光学系とを有することを特徴とする検査装置。 - 前記2分の1波長板は、前記偏光ビームスプリッタと前記ファラデー回転子の間に配置されていることを特徴とする請求項10に記載の検査装置。
- 前記2分の1波長板は、前記ファラデー回転子と前記対象物の間に配置されていることを特徴とする請求項10に記載の検査装置。
- 前記光学画像について画素毎の階調値を求め、
(1)前記階調値の標準偏差を最小にする前記ファラデー回転子による光の偏光面の回転角度、または、
(2)前記回転角度を変えて取得した複数の光学画像における前記階調値の標準偏差を前記階調値から求められる平均階調値の平方根で割った値が最小になるときの回転角度
を取得する画像処理部と、
前記画像処理部で取得した前記回転角度となるように、前記ファラデー回転子に磁界を印加する、または、ファラデー素子の内部にある光学材料として所望の厚さのものを選択する角度制御部と、
前記ファラデー回転子に前記磁界が印加された状態、または、ファラデー素子の内部にある光学材料として所望の厚さのものが選択された状態で撮像された光学画像に基づいて、前記試料の欠陥検出を行う欠陥検出部とを有することを特徴とする請求項10〜12のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記光源の波長と前記ファラデー回転子を透過した光を前記試料に照明する対物レンズの開口数によって定まる解像限界は、前記パターンを解像しない値であることを特徴とする請求項10〜13のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記ファラデー回転子は、光を透過する光学材料を有し、
電磁石、永久磁石および電磁石と永久磁石を組み合わせたものよりなる群から選ばれるいずれか1つによって、前記光学材料に前記磁界が印加されることを特徴とする請求項10〜14のいずれか1項に記載の検査装置。 - 所定の波長の光を出射する光源から出射した光を、偏光ビームスプリッタで反射させ、2分の1波長板とファラデー回転子を透過させて、検査対象となる試料に形成された繰り返しパターンの繰り返し方向に対し−5度〜5度と85度〜95度の各範囲にある角度以外の角度の偏光面を有する光にし、前記ファラデー回転子を透過した光を対物レンズで集光して前記試料を照明し、前記試料で反射した光を、前記ファラデー回転子と前記2分の1波長板と前記偏光ビームスプリッタを透過させてセンサに結像し、前記試料に形成されたパターンの光学画像を得る工程と、
前記光学画像について画素毎の階調値を求め、
(1)前記階調値の標準偏差を最小にする前記ファラデー回転子による光の偏光面の回転角度、または、
(2)前記回転角度を変えて取得した複数の光学画像における前記階調値の標準偏差を前記階調値から求められる平均階調値の平方根で割った値が最小になるときの回転角度
を取得する工程と、
前記取得した回転角度となるように、前記ファラデー回転子に磁界を印加する工程と、
前記ファラデー回転子に前記磁界が印加された状態、または、ファラデー素子内の内部にある光学材料として所望の厚さのものが選択された状態で撮像された光学画像に基づいて、前記試料の欠陥検出を行う工程とを有することを特徴とする検査方法。 - 前記光源の波長と前記対物レンズの開口数によって定まる解像限界は、前記パターンを解像しない値であることを特徴とする請求項16に記載の検査方法。
- 前記ファラデー回転子は、光を透過する光学材料を有し、
前記ファラデー回転子に磁界を印加する工程は、電磁石、永久磁石および電磁石と永久磁石を組み合わせたものよりなる群から選ばれるいずれか1つによって、前記光学材料に前記磁界を印加する工程であることを特徴とする請求項16または17に記載の検査方法。 - 前記ファラデー回転子に磁界を印加する工程は、磁界の強さの異なる複数の永久磁石から1つの磁石を選択して、前記光学材料に前記磁界を印加する工程であることを特徴とする請求項16〜18のいずれか1項に記載の検査方法。
- 前記ファラデー回転子に磁界を印加する工程は、前記ファラデー回転子の構成要素となる厚みの異なる複数の光学材料から、前記取得した回転角度を実現する光学材料を選択した後、該光学材料に磁界を印加する工程であることを特徴とする請求項16〜19のいずれか1項に記載の検査方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016206169A (ja) * | 2015-04-17 | 2016-12-08 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査方法およびテンプレート |
JP2017166919A (ja) * | 2016-03-15 | 2017-09-21 | 東芝メモリ株式会社 | テンプレートの欠陥検査方法 |
JP2020047916A (ja) * | 2018-09-12 | 2020-03-26 | 日立金属株式会社 | ろう材パターンの検査方法 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP6769766B2 (ja) * | 2016-07-19 | 2020-10-14 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | パターン検査装置 |
JP6759053B2 (ja) * | 2016-10-26 | 2020-09-23 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 偏光イメージ取得装置、パターン検査装置、偏光イメージ取得方法、及びパターン検査方法 |
JP6924645B2 (ja) * | 2017-07-31 | 2021-08-25 | 日東電工株式会社 | 偏光フィルムの撮像装置、及び検査装置、並びに検査方法 |
US10942135B2 (en) | 2018-11-14 | 2021-03-09 | Kla Corporation | Radial polarizer for particle detection |
US10948423B2 (en) | 2019-02-17 | 2021-03-16 | Kla Corporation | Sensitive particle detection with spatially-varying polarization rotator and polarizer |
FR3095514B1 (fr) * | 2019-04-24 | 2021-03-26 | Safran Reosc | Mesure de lumiere retro-reflechie par un instrument d’optique |
US11415519B2 (en) * | 2020-01-16 | 2022-08-16 | Nova Ltd | Accurate Raman spectroscopy |
US11879853B2 (en) * | 2021-02-19 | 2024-01-23 | Kla Corporation | Continuous degenerate elliptical retarder for sensitive particle detection |
KR20220120794A (ko) | 2021-02-23 | 2022-08-31 | 삼성디스플레이 주식회사 | 윈도우 및 이의 제조 방법 |
CN114898577B (zh) * | 2022-07-13 | 2022-09-20 | 环球数科集团有限公司 | 一种用于高峰期道路管理的道路智能管理***与方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05315223A (ja) * | 1992-03-09 | 1993-11-26 | Nikon Corp | アライメント装置 |
JPH06224104A (ja) * | 1993-01-28 | 1994-08-12 | Nikon Corp | アライメント装置 |
JPH11304715A (ja) * | 1998-04-16 | 1999-11-05 | Lasertec Corp | パターン欠陥検査装置及びレーザ顕微鏡 |
JP2003042967A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Hitachi Ltd | パターン欠陥検査装置 |
JP2006276059A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-12 | Fujitsu Ltd | 光スイッチ装置 |
JP2008216714A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Hoya Corp | 導波路型光アイソレータ |
JP2009198396A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Nikon Corp | 表面検査装置および表面検査方法 |
DE102012203947A1 (de) * | 2012-03-14 | 2013-03-21 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches System einer Waferinspektionsanlage, sowie Verfahren zum Betreiben einer Waferinspektionsanlage |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5477309A (en) * | 1992-03-09 | 1995-12-19 | Nikon Corporation | Alignment apparatus |
US6690469B1 (en) | 1998-09-18 | 2004-02-10 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for observing and inspecting defects |
US6539106B1 (en) | 1999-01-08 | 2003-03-25 | Applied Materials, Inc. | Feature-based defect detection |
JP4469047B2 (ja) | 2000-01-27 | 2010-05-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 表面検査装置 |
JP4236825B2 (ja) | 2001-03-30 | 2009-03-11 | ライトロン株式会社 | フォトマスク検査装置及びフォトマスク検査方法 |
JP2003014992A (ja) * | 2001-07-02 | 2003-01-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザモジュールおよび光伝送システム |
JP2002221495A (ja) | 2001-12-25 | 2002-08-09 | Nkk Corp | 表面疵検査装置及びその方法 |
US7042564B2 (en) | 2002-08-08 | 2006-05-09 | Applied Materials, Israel, Ltd. | Wafer inspection methods and an optical inspection tool |
US7006224B2 (en) | 2002-12-30 | 2006-02-28 | Applied Materials, Israel, Ltd. | Method and system for optical inspection of an object |
US7142300B2 (en) | 2003-05-05 | 2006-11-28 | Kla-Tencor Corp. Technologies | Edge bead removal inspection by reflectometry |
KR20050065155A (ko) * | 2003-12-24 | 2005-06-29 | 주식회사 하이닉스반도체 | 패턴 검사 장치 |
US7239389B2 (en) | 2004-07-29 | 2007-07-03 | Applied Materials, Israel, Ltd. | Determination of irradiation parameters for inspection of a surface |
JP2006220644A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-08-24 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン検査方法及びその装置 |
US8259369B2 (en) | 2005-06-30 | 2012-09-04 | Xerox Corporation | Color characterization or calibration targets with noise-dependent patch size or number |
JP4895353B2 (ja) | 2006-02-21 | 2012-03-14 | レーザーテック株式会社 | 干渉計、及び形状の測定方法 |
JP4692892B2 (ja) * | 2006-06-01 | 2011-06-01 | 株式会社ニコン | 表面検査装置 |
JP2009192520A (ja) | 2007-11-15 | 2009-08-27 | Nikon Corp | 表面検査装置 |
WO2009091034A1 (ja) | 2008-01-18 | 2009-07-23 | Nikon Corporation | 表面検査装置および表面検査方法 |
WO2010050488A1 (ja) | 2008-10-31 | 2010-05-06 | 株式会社ニコン | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
JP5216752B2 (ja) | 2009-11-18 | 2013-06-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検出方法及び欠陥検出装置並びにこれを備えた欠陥観察装置 |
JP5254270B2 (ja) | 2010-04-09 | 2013-08-07 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査方法および検査装置 |
JP2012049381A (ja) * | 2010-08-27 | 2012-03-08 | Toshiba Corp | 検査装置、及び、検査方法 |
JP2012127856A (ja) | 2010-12-16 | 2012-07-05 | Nuflare Technology Inc | パターン検査装置およびパターン検査方法 |
JP5579588B2 (ja) * | 2010-12-16 | 2014-08-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥観察方法及びその装置 |
JP5820729B2 (ja) | 2012-01-11 | 2015-11-24 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 光束分岐素子、およびマスク欠陥検査装置 |
JP6025419B2 (ja) | 2012-06-27 | 2016-11-16 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査方法および検査装置 |
JP2014035326A (ja) | 2012-08-10 | 2014-02-24 | Toshiba Corp | 欠陥検査装置 |
JP5451832B2 (ja) | 2012-08-21 | 2014-03-26 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | パターン検査装置 |
JP5921990B2 (ja) | 2012-08-23 | 2016-05-24 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 欠陥検出方法 |
JP2014055789A (ja) | 2012-09-11 | 2014-03-27 | Nuflare Technology Inc | パターン評価方法およびパターン評価装置 |
JP6025489B2 (ja) | 2012-10-11 | 2016-11-16 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査装置および検査装置システム |
JP6043583B2 (ja) | 2012-10-23 | 2016-12-14 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 焦点位置検出装置、検査装置、焦点位置検出方法および検査方法 |
JP6220521B2 (ja) | 2013-01-18 | 2017-10-25 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査装置 |
JP6047418B2 (ja) | 2013-02-18 | 2016-12-21 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査方法および検査装置 |
-
2014
- 2014-08-21 KR KR1020140108971A patent/KR101643357B1/ko active IP Right Grant
- 2014-08-25 JP JP2014171011A patent/JP6518415B2/ja active Active
- 2014-08-26 US US14/468,605 patent/US10036714B2/en active Active
-
2018
- 2018-07-13 US US16/034,872 patent/US20180335394A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05315223A (ja) * | 1992-03-09 | 1993-11-26 | Nikon Corp | アライメント装置 |
JPH06224104A (ja) * | 1993-01-28 | 1994-08-12 | Nikon Corp | アライメント装置 |
JPH11304715A (ja) * | 1998-04-16 | 1999-11-05 | Lasertec Corp | パターン欠陥検査装置及びレーザ顕微鏡 |
JP2003042967A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Hitachi Ltd | パターン欠陥検査装置 |
JP2006276059A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-12 | Fujitsu Ltd | 光スイッチ装置 |
JP2008216714A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Hoya Corp | 導波路型光アイソレータ |
JP2009198396A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Nikon Corp | 表面検査装置および表面検査方法 |
DE102012203947A1 (de) * | 2012-03-14 | 2013-03-21 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches System einer Waferinspektionsanlage, sowie Verfahren zum Betreiben einer Waferinspektionsanlage |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016206169A (ja) * | 2015-04-17 | 2016-12-08 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査方法およびテンプレート |
JP2017166919A (ja) * | 2016-03-15 | 2017-09-21 | 東芝メモリ株式会社 | テンプレートの欠陥検査方法 |
US9927376B2 (en) | 2016-03-15 | 2018-03-27 | Toshiba Memory Corporation | Template defect inspection method |
JP2020047916A (ja) * | 2018-09-12 | 2020-03-26 | 日立金属株式会社 | ろう材パターンの検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20150024271A (ko) | 2015-03-06 |
US10036714B2 (en) | 2018-07-31 |
US20180335394A1 (en) | 2018-11-22 |
US20150054941A1 (en) | 2015-02-26 |
KR101643357B1 (ko) | 2016-07-27 |
JP6518415B2 (ja) | 2019-05-22 |
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