JP2015046626A - 積み重ね型ダイパッケージ用のマルチダイ・ビルディングブロック - Google Patents
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Abstract
【解決手段】積み重ね型ダイパッケージ用のマルチダイ・ビルディングブロックが記載されている。マルチダイ・ビルディングブロックは、第1面と第2面を有する可撓性テープ110であって、各面が複数の電気トレース112を含んでいる可撓性テープ110を含んでいる。第1ダイ104は、第1の複数の相互接続部108を通して、可撓性テープ110の第1面の複数の電気トレース112に連結されている。第2ダイ106は、第2の複数の相互接続部を通して、可撓性テープ110の第2面の複数の電気トレースに連結されている。
【選択図】図1
Description
半導体素子を基板に取り付けるために、それはひっくり返され−即ち、アクティブ面を下にして取り付け区域に相対させる。はんだバンプは、半導体素子を基板に直接接続するのに使用される。しかしながら、この手法は、取り付け区域のサイズによって制限が課され、積み重ね型ダイに容易に対応できないことがある。
従って、半導体パッケージの進化には、更なる改良が必要とされている。
以下の説明では、本発明の実施形態を十分に理解して頂けるように、具体的寸法の様な数々の具体的な詳細事項を説明している。当業者には自明である様に、本発明の実施形態は、これらの具体的な詳細事項無しに実施することもできる。場合によっては、本発明の実施形態を曖昧にしないために、特定の半導体ダイ機能の様な周知の機能は、詳細に説明していない。更に、図に示されている様々な実施形態は、説明を目的とした表示であり、必ずしも縮尺を合わせて描いている訳ではないものと理解頂きたい。
第1ダイ104又は第2ダイ106は、超小型電子集積回路が形成されている表面を有していてもよい。1つの実施形態では、第1ダイ104又は第2ダイ106は、ダイの複数の相互接続部108と同じ側にCMOSトランジスタのアレイを含んでいる表面を有している。或る実施形態では、第1ダイ104又は第2ダイ106は、大凡、350ミクロンから800ミクロンの範囲の厚さを有している。
1つの実施形態では、次いで、モールド成形部が基板の上に形成され、その中に2ダイ式ビルディングブロックが封入される。或る特定の実施形態では、モールド成形部を形成する前に、1つ又はそれ以上の追加の2ダイ式ビルディングブロックが、前記2ダイ式ビルディングブロックの上に積み重ねられ、その場合、モールド成形部は、積み重ねられた2ダイ式ビルディングブロック全てを封入する。或る実施形態では、各2ダイ式ビルディングブロックの可撓性テープの端部は、導電性接着剤で基板の表面に連結されている。別の実施形態では、はんだバンプのアレイは基板の第2面に形成されており、半導体パッケージはBGAパッケージである。
400 4ダイ式ビルディングブロック
104、204、404 第1ダイ
106、206、406 第2ダイ
405 第3ダイ
407 第4ダイ
108、208 相互接続部
110、210、410 可撓性テープ
112 電気トレース
130、214 接着剤
200 半導体パッケージ
212 電気トレース
216 境界面
218 モールド成形部
220 基板
222 はんだバンプ
230 導電性接着剤
Claims (23)
- 積み重ね型ダイパッケージ用のマルチダイ・ビルディングブロックにおいて、
第1面と第2面を有する可撓性テープであって、各面が複数の電気トレースを備えている可撓性テープと、
第1の複数の相互接続部を通して、前記可撓性テープの前記第1面の前記複数の電気トレースに連結されている第1ダイと、
第2の複数の相互接続部を通して、前記可撓性テープの前記第2面の前記複数の電気トレースに連結されている第2ダイと、を備えているマルチダイ・ビルディングブロック。 - 前記可撓性テープはポリイミド材料を備えており、前記複数の電気トレースは銅を備えている、請求項1に記載のマルチダイ・ビルディングブロック。
- 前記可撓性テープは、前記第1ダイと第2ダイの間に或る厚さを有しており、前記厚さは、大凡、15ミクロンから75ミクロンの範囲にあり、前記複数の電気トレースのそれぞれは、前記第1ダイと第2ダイの間に或る厚さを有しており、前記厚さは、大凡、10ミクロンから20ミクロンの範囲にある、請求項2に記載のマルチダイ・ビルディングブロック。
- 前記複数の相互接続部のそれぞれは、金属バンプのアレイを備えており、各金属バンプ間に導電性接着剤が散在している、請求項1に記載のマルチダイ・ビルディングブロック。
- 前記導電性接着剤は、異方性の導電性接着剤である、請求項4に記載のマルチダイ・ビルディングブロック。
- 前記金属バンプのそれぞれのアレイの各金属バンプは、銅、金、及びニッケルから成る群から選択された金属を備えている、請求項4に記載のマルチダイ・ビルディングブロック。
- 半導体パッケージにおいて、
基板と、
前記基板の表面と連結している積み重ねられた複数のマルチダイ・ビルディングブロックであって、各マルチダイ・ビルディングブロックは、
第1面と第2面を有する可撓性テープであって、各面が複数の電気トレースを備えている可撓性テープと、
第1の複数の相互接続部を通して、前記可撓性テープの前記第1面の前記複数の電気トレースに連結されている第1ダイと、
第2の複数の相互接続部を通して、前記可撓性テープの前記第2面の前記複数の電気トレースに連結されている第2ダイと、を備えている、マルチダイ・ビルディングブロックと、
前記基板の上に配置され、前記積み重ねられた複数のマルチダイ・ビルディングブロックを封入しているモールド成形部と、を備えている半導体パッケージ。 - 各マルチダイ・ビルディングブロックの前記可撓性テープの端部は、導電性接着剤で前記基板の前記表面に連結されている、請求項7に記載の半導体パッケージ。
- 前記基板の第2面にはんだバンプのアレイを更に備えており、前記半導体パッケージはボール−グリッドアレイ(BGA)パッケージである、請求項7に記載の半導体パッケージ。
- 各マルチダイ・ビルディングブロックの前記可撓性テープは、ポリイミド材料を備えており、各マルチダイ・ビルディングブロックの前記複数の電気トレースは、銅を備えている、請求項7に記載の半導体パッケージ。
- 各マルチダイ・ビルディングブロックの前記可撓性テープは、各マルチダイ・ビルディングブロックの前記第1ダイと第2ダイの間に或る厚さを有しており、前記厚さは、大凡、15ミクロンから75ミクロンの範囲にあり、各マルチダイ・ビルディングブロックの前記複数の電気トレースのそれぞれは、各マルチダイ・ビルディングブロックの前記第1ダイと第2ダイの間に或る厚さを有しており、前記厚さは、大凡、10ミクロンから20ミクロンの範囲にある、請求項10に記載の半導体パッケージ。
- 各マルチダイ・ビルディングブロックの前記複数の相互接続部のそれぞれは、金属バンプのアレイを備えており、各金属バンプ間に導電性接着剤が散在している、請求項7に記載の半導体パッケージ。
- 前記導電性接着剤は、異方性の導電性接着剤である、請求項12に記載の半導体パッケージ。
- 前記金属バンプのそれぞれのアレイの各金属バンプは、銅、金、及びニッケルから成る群から選択された金属を備えている、請求項12に記載の半導体パッケージ。
- 積み重ね型ダイパッケージ用のマルチダイ・ビルディングブロックを製作するための方法において、
第1面と第2面を有する可撓性テープであって、各面が複数の電気トレースを備えている可撓性テープを提供する段階と、
第1の複数の相互接続部を通して、第1ダイを、前記可撓性テープの前記第1面の前記複数の電気トレースに連結する段階と、
第2の複数の相互接続部を通して、第2ダイを、前記可撓性テープの前記第2面の前記複数の電気トレースに連結する段階と、から成る方法。 - 前記マルチダイ・ビルディングブロックを、基板の表面に連結する段階と、
モールド成形部を前記基板の上に形成し、前記マルチダイ・ビルディングブロックを封入する段階と、を更に含んでいる、請求項15に記載の方法。 - 前記モールド成形部を形成する前に、1つ又は複数の追加のマルチダイ・ビルディングブロックを、前記マルチダイ・ビルディングブロックの上に積み重ねる段階を更に含んでおり、前記モールド成形部は、前記積み重ねられたマルチダイ・ビルディングブロックの全てを封入する、請求項16に記載の方法。
- 前記第1ダイと前記第2ダイを前記可撓性テープの前記複数の電気トレースに連結する段階は、大凡、摂氏150度から200度の範囲の温度まで、大凡、1MPaから10MPaの範囲の圧力で、大凡、5秒から20秒の間加熱する段階を含んでいる、請求項15に記載の方法。
- 前記可撓性テープを提供する段階は、複数の銅製電気トレースを備えているポリイミド材料を提供する段階を含んでいる、請求項15に記載の方法。
- 前記可撓性テープは、前記第1ダイと第2ダイの間に或る厚さを有しており、前記厚さは、大凡、15ミクロンから75ミクロンの範囲にあり、前記複数の電気トレースのそれぞれは、前記第1ダイと第2ダイの間に或る厚さを有しており、前記厚さは、大凡、10ミクロンから20ミクロンの範囲にある、請求項19に記載の方法。
- 前記複数の相互接続部のそれぞれは、金属バンプのアレイを備えており、各金属バンプ間に導電性接着剤が散在している、請求項15に記載の方法。
- 前記導電性接着剤は、異方性の導電性接着剤である、請求項21に記載の方法。
- 金属バンプのそれぞれのアレイの各金属バンプは、銅、金、及びニッケルから成る群から選択された金属を備えている、請求項21に記載の方法。
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US20180175005A1 (en) * | 2016-12-21 | 2018-06-21 | Intel Corporation | Thermal dissipation using anisotropic conductive material |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001085605A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-30 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2002158326A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-31 | Apack Technologies Inc | 半導体装置、及び製造方法 |
JP2005093551A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-07 | Genusion:Kk | 半導体装置のパッケージ構造およびパッケージ化方法 |
JP2005340588A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2007505478A (ja) * | 2003-08-29 | 2007-03-08 | サーマルワークス,インコーポレイティド | 膨張制約されたダイスタック |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5438224A (en) | 1992-04-23 | 1995-08-01 | Motorola, Inc. | Integrated circuit package having a face-to-face IC chip arrangement |
JPH06232327A (ja) * | 1993-02-01 | 1994-08-19 | Nec Corp | フレキシブルプリンティングサーキットテープとこれを用いた半導体装置用パッケージ |
KR0137826B1 (ko) | 1994-11-15 | 1998-04-28 | 문정환 | 반도체 디바이스 패키지 방법 및 디바이스 패키지 |
JP3012184B2 (ja) * | 1996-01-12 | 2000-02-21 | 富士通株式会社 | 実装装置 |
US6137164A (en) | 1998-03-16 | 2000-10-24 | Texas Instruments Incorporated | Thin stacked integrated circuit device |
JP4213281B2 (ja) * | 1999-02-25 | 2009-01-21 | ローム株式会社 | チップオンチップ型半導体装置 |
JP3633559B2 (ja) * | 1999-10-01 | 2005-03-30 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器 |
JP4447143B2 (ja) * | 2000-10-11 | 2010-04-07 | 新光電気工業株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US7081373B2 (en) * | 2001-12-14 | 2006-07-25 | Staktek Group, L.P. | CSP chip stack with flex circuit |
US7071547B2 (en) | 2002-09-11 | 2006-07-04 | Tessera, Inc. | Assemblies having stacked semiconductor chips and methods of making same |
JP4193702B2 (ja) * | 2004-01-14 | 2008-12-10 | 株式会社デンソー | 半導体パッケージの実装構造 |
JP2005347513A (ja) * | 2004-06-03 | 2005-12-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
US7511968B2 (en) | 2004-09-03 | 2009-03-31 | Entorian Technologies, Lp | Buffered thin module system and method |
TWI249796B (en) * | 2004-11-08 | 2006-02-21 | Siliconware Precision Industries Co Ltd | Semiconductor device having flip chip package |
US7291907B2 (en) | 2005-02-28 | 2007-11-06 | Infineon Technologies, Ag | Chip stack employing a flex circuit |
JP4237160B2 (ja) * | 2005-04-08 | 2009-03-11 | エルピーダメモリ株式会社 | 積層型半導体装置 |
JP2008311263A (ja) * | 2007-06-12 | 2008-12-25 | Panasonic Corp | 半導体チップの実装構造体 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001085605A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-30 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2002158326A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-31 | Apack Technologies Inc | 半導体装置、及び製造方法 |
JP2007505478A (ja) * | 2003-08-29 | 2007-03-08 | サーマルワークス,インコーポレイティド | 膨張制約されたダイスタック |
JP2005093551A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-07 | Genusion:Kk | 半導体装置のパッケージ構造およびパッケージ化方法 |
JP2005340588A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
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