JP2014175532A - 基板処理装置及び基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明では、回転する基板(3)に処理液を供給して基板(3)の処理を行う基板処理装置(1)及び基板処理方法において、基板(3)を回転させるための基板回転手段(12)と、基板(3)に処理液を供給するための処理液供給手段(13,14)と、基板(3)の周囲に配置され、基板(3)に供給された処理液を回収するとともに、上部の開口(34)から基板(3)の端縁外方を通過して下部へと流れる気流を形成するための回収カップ(32)と、回収カップ(32)の内側であって、かつ、開口(34)よりも外側に、基板(3)の外方へ向けて作用する負圧を生成させるための負圧生成手段(36)とを有し、基板(3)を処理液で処理する時に負圧を生成させることにした。
【選択図】図3
Description
3 基板
10 基板液処理装置
11 基板処理室
12 基板回転手段
13 洗浄液供給手段
14 リンス液供給手段
15 排液手段
16 制御手段
32 回収カップ
34 開口
36 負圧生成手段
Claims (10)
- 回転する基板に処理液を供給して前記基板の処理を行う基板処理装置において、
前記基板を回転させるための基板回転手段と、
前記基板に前記処理液を供給するための処理液供給手段と、
前記基板の周囲に配置され、前記基板に供給された前記処理液を回収するとともに、上部の開口から前記基板の端縁外方を通過して下部へと流れる気流を形成するための回収カップと、
前記回収カップの内側であって、かつ、前記開口よりも外側に、前記基板の外方へ向けて作用する負圧を生成させるための負圧生成手段と、
を有することを特徴とする基板処理装置。 - 前記基板回転手段と前記処理液供給手段と前記負圧生成手段を制御するための制御手段を有し、
前記制御手段で前記負圧生成手段の稼働及び停止を制御することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記制御手段で前記負圧生成手段によって生成する負圧の大きさを制御することを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記負圧生成手段は、前記回収カップの前記開口よりも外側に、前記回収カップの内壁に沿って流れる圧縮気体を供給するための気体供給口を形成し、前記気体供給口に圧縮気体を供給することで前記気流を前記基板の外方へ向けて誘引する負圧を生成するように構成したことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記気体供給口を前記開口に沿ってスリット状に形成したことを特徴とする請求項4に記載の基板処理装置。
- 前記内壁を前記気体供給口に繋がる連続する面で形成したことを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の基板処理装置。
- 前記基板の外方へ向けて誘引する負圧によって生成された気流と、前記気体供給口から供給される圧縮気体とがともに前記回収カップの内壁に沿って流れることを特徴とする請求項4〜請求項6のいずれかに記載の基板処理装置。
- 回転する基板に処理液を供給して前記基板の処理を行う基板処理方法において、
前記基板を前記処理液で処理する時に、前記基板に供給した前記処理液を回収カップで回収するとともに、前記回収カップの上部の開口から前記基板の端縁外方を通過して下部へと流れる気流を形成し、さらに、前記回収カップの内側であって、かつ、前記開口よりも外側で、前記基板の外方へ向けて作用する負圧を生成させることを特徴とする基板処理方法。 - 前記基板の処理に応じて前記負圧の有無を制御することを特徴とする請求項8に記載の基板処理方法。
- 前記基板の処理に応じて前記負圧の大きさを制御することを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の基板処理方法。
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