JP6069140B2 - 基板処理システム及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 - Google Patents
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Description
1 基板処理システム
30 基板保持機構
40 処理流体供給部
50 回収カップ
60 回収カップ昇降機構
61 回収カップ洗浄液供給部
62 洗浄ノズル
Claims (5)
- 基板を処理液で処理する基板処理システムにおいて、
前記基板を基板保持部で保持する基板保持機構と、
前記基板に向けて処理液を供給する処理流体供給部と、
前記処理流体供給部から供給された処理液を前記基板の外周外方で回収する回収カップと、
前記回収カップを前記基板保持部に対して相対的に昇降させる回収カップ昇降機構と、
前記回収カップの内周面に向けて洗浄液を供給する回収カップ洗浄液供給部と、
前記回収カップ昇降機構と回収カップ洗浄液供給部を制御する制御装置と、
を備え、
前記回収カップ洗浄液供給部は、洗浄液を吐出する洗浄ノズルと、前記洗浄ノズルを昇降させる洗浄ノズル昇降機構とを有し、
前記制御装置は、
前記回収カップ昇降機構によって前記回収カップを前記基板保持部の位置よりも下側に降下させ、前記回収カップ洗浄液供給部によって前記降下された回収カップの内周面に向けて洗浄液を供給させて、前記基板保持部の位置よりも下側の位置で前記回収カップの内周面を洗浄し、前記回収カップの内周面の洗浄時に、前記洗浄ノズル昇降機構によって前記洗浄ノズルを昇降させることを特徴とする基板処理システム。 - 前記制御装置は、前記下降された回収カップの内周面の洗浄時に、前記回収カップ昇降機構によって前記回収カップを昇降させることを特徴とする請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記回収カップは、底部に形成した排気口の上方に排気口カバーを設け、
前記排気口カバーは、前記回収カップの内周面における洗浄液が供給される位置の鉛直下方に想定した仮想線から、前記基板保持機構で水平に保持される基板の中心に対して外側の前記排気口を覆うことで、前記回収カップの内周面における洗浄液が供給される位置の鉛直下方に想定した仮想線よりも内側の前記排気口の上方を開放させることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の基板処理システム。 - 基板を処理液で処理する基板処理方法において、
基板保持部により前記基板を保持した状態で前記基板に供給された処理液を前記基板の外周外方で回収する回収カップを、前記基板保持部の位置よりも下側に降下させ、前記降下された回収カップの内周面に向けて昇降させた洗浄ノズルから洗浄液を供給して、処理液による処理時に前記基板保持部の位置よりも下側の位置で前記回収カップの内周面を洗浄することを特徴とする基板処理方法。 - 基板処理システムに処理液で基板を処理させる基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体において、
基板保持部により前記基板を保持した状態で前記基板に供給された処理液を前記基板の外周外方で回収する回収カップを、前記基板保持部の位置よりも下側に降下させ、前記降下された回収カップの内周面に向けて昇降させた洗浄ノズルから洗浄液を供給して、処理液による処理時に前記基板保持部の位置よりも下側の位置で前記回収カップの内周面を洗浄することを特徴とする基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
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