JP2011142245A - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シート剥離装置10は、ウエハWの一方の面に貼付された接着シートSを剥離用テープPTを介してウエハWから剥離する。シート剥離装置10は、剥離用テープPTを支持する支持手段11と、剥離用テープPTを繰り出す繰出手段12と、剥離用テープPTを接着シートSに貼付可能な貼付手段14と、接着シートSに貼付された剥離用テープPTをウエハWに対して相対移動させることで接着シートSを剥離する移動手段15とを備え、支持手段11は、複数の剥離用テープPTを支持可能に設けられている。繰出手段12は、複数の剥離用テープPTの内、少なくとも1の剥離用テープPTを選択して繰り出し可能に設けられている。
【選択図】図1
Description
本発明の目的は、種々の性質、材質及び平面サイズの接着シートの剥離に難なく対応できるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
前記剥離用テープを支持する支持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、前記剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、前記接着シートに貼付された剥離用テープを前記被着体に対して相対移動させることで接着シートを剥離する移動手段とを備え、
前記支持手段は、複数の剥離用テープを支持可能に設けられる、という構成を採っている。
前記繰出手段は、前記検出手段による何れかの剥離用テープの残量の検出結果が所定量となったときに、前記何れかの剥離用テープの繰り出しを停止して他の剥離用テープを繰り出し可能に設けられる、という構成を採ってもよい。
複数の剥離用テープを支持する工程と、
1の繰出動作によって複数の剥離用テープの内、少なくとも1の剥離用テープを繰り出す工程と、
1の貼付動作によって複数の剥離用テープの内、少なくとも1の剥離用テープを前記接着シートに貼付する工程と、
前記被着体に貼付された少なくとも1の剥離用テープを当該被着体に対して相対移動させ、被着体から接着シートを剥離する工程とを備える、という方法を採っている。
また、複数の剥離用テープの内、少なくとも1の剥離用テープを選択して繰出可能としたので、例えば、性質や材質が異なる剥離用テープを複数用意しておき、その中から接着シートの性質や材質によって、剥離用テープが接着し易いものを選択して使用することができる。これにより、接着シートの性質や材質によって剥離用テープを都度交換しなければならないといった不都合を解消することができる。
また、複数の剥離用テープの内、少なくとも1の剥離用テープを選択して接着シートに貼付可能としたので、例えば、被着体が大径化した接着シートであっても、複数の接着シートを介して当該接着シートを剥離することができる。これにより、大型化されたウエハの平面サイズ対応した接着シートに比べて剥離用テープの幅が小さくなり、剥離時に剥離用テープが延びたり切断したりして剥離不良が多発するといった不都合を解消することができる。しかも、ウエハのサイズに応じて剥離用テープを貼付する本数を変える、或いは、幅が異なる剥離用テープの何れかを選択的に貼付することが可能となる。これにより、ウエハの平面サイズが変更されても、剥離用テープの使用量や幅を適当に保って剥離用テープの無駄を抑制しつつ、従来のような剥離用テープ変更に伴う負担を軽減でき、汎用性を向上させることができる。
更に、繰出手段によって複数繰り出された剥離用テープの内、少なくとも1を選択して前記接着シートに貼付可能としたことで、繰り出されただけで接着シートに貼付しなかった剥離用テープは、次回の剥離対象となる接着シートに貼付することができるので、接着シートの剥離時間を短縮して処理能力を向上させることができる。
また、以降において特に明示しない限り、「上」、「下」、「左」、「右」は、図2を基準として用いる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
更に、剥離用テープPTは、感熱接着性の接着テープ以外に感圧接着性の接着テープを採用してもよい。なお、剥離用テープPTに感圧接着性の接着テープを採用した場合、押圧ヘッド37の加熱は行わなくてもよい。また、剥離用テープPTに感圧接着性の接着テープを採用した場合、ガイド部材27にフッ素樹脂コート等の不接着処理を施したり、チャック47がガイド部材27に接着した剥離用テープPTを剥離する動作を加えたりしてもよい。また、剥離用テープPTの接着剤層側に剥離シートが仮着されたものを採用し、当該剥離用テープPTを接着シートSに貼付する前段で、この剥離シートを除去するような剥離シート除去手段を設けてもよい。
更に、チャック47を剥離用テープPTの数だけ設け、複数の剥離用テープPTを繰り出しておき、その中から一部の剥離用テープPTを選択して接着シートSに貼付するように構成すれば、次の剥離対象となる接着シートSに対して先の貼付で選択されなかった別の剥離用テープPTを選択して貼付することができ、次回以降において、剥離用テープPTの繰出動作と剥離用テープPTの剥離動作とをオーバラップさせて接着シートSの剥離を行うことができるので、接着シートSの剥離時間を短縮し、シート剥離装置の処理能力を向上させることができる。
また、駆動手段19により、テーブル18をY軸方向に変位して剥離用テープPTの接着シートSへの接着位置を任意に選択できるようにしたり、支持手段11、繰出手段12、貼付手段14等をY軸方向に変位可能に設け、剥離用テープPTの接着シートSへの接着位置を任意に選択できるようにしたりしてもよい。
11 支持手段
12 繰出手段
14 貼付手段
15 移動手段
21 支持軸(支持手段)
26 検出手段
PT 剥離用テープ
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (5)
- 被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記剥離用テープを支持する支持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、前記剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、前記接着シートに貼付された剥離用テープを前記被着体に対して相対移動させることで接着シートを剥離する移動手段とを備え、
前記支持手段は、複数の剥離用テープを支持可能に設けられていることを特徴とするシート剥離装置。 - 前記繰出手段は、複数の剥離用テープの内、少なくとも1の剥離用テープを選択して繰り出し可能に設けられることを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。
- 前記貼付手段は、前記繰出手段で繰り出された剥離用テープの内、少なくとも1の剥離用テープを選択して前記接着シートに貼付可能に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート剥離装置。
- 前記各剥離用テープの残量を検出可能な検出手段を備え、
前記繰出手段は、前記検出手段による何れかの剥離用テープの残量の検出結果が所定量となったときに、前記何れかの剥離用テープの繰り出しを停止して他の剥離用テープを繰り出し可能に設けられていることを特徴とする請求項1、2又は3記載のシート剥離装置。 - 被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離方法において、
複数の剥離用テープを支持する工程と、
1の繰出動作によって複数の剥離用テープの内、少なくとも1の剥離用テープを繰り出す工程と、
1の貼付動作によって複数の剥離用テープの内、少なくとも1の剥離用テープを前記接着シートに貼付する工程と、
前記被着体に貼付された少なくとも1の剥離用テープを当該被着体に対して相対移動させ、被着体から接着シートを剥離する工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。
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JP2013251447A (ja) * | 2012-06-01 | 2013-12-12 | Lintec Corp | シート剥離装置及び剥離方法 |
JP2014011354A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Lintec Corp | シート剥離装置およびシート剥離方法 |
JP2014027171A (ja) * | 2012-07-27 | 2014-02-06 | Lintec Corp | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07183365A (ja) * | 1993-12-24 | 1995-07-21 | Fujitsu Ltd | ウエハーマウンタ |
JP2003026132A (ja) * | 2001-07-16 | 2003-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | シート貼り付け装置及びシート貼り付け方法 |
JP2009277864A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Lintec Corp | シート剥離装置及び剥離方法 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07183365A (ja) * | 1993-12-24 | 1995-07-21 | Fujitsu Ltd | ウエハーマウンタ |
JP2003026132A (ja) * | 2001-07-16 | 2003-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | シート貼り付け装置及びシート貼り付け方法 |
JP2009277864A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Lintec Corp | シート剥離装置及び剥離方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013251448A (ja) * | 2012-06-01 | 2013-12-12 | Lintec Corp | シート剥離装置及び剥離方法 |
JP2013251447A (ja) * | 2012-06-01 | 2013-12-12 | Lintec Corp | シート剥離装置及び剥離方法 |
JP2014011354A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Lintec Corp | シート剥離装置およびシート剥離方法 |
JP2014027171A (ja) * | 2012-07-27 | 2014-02-06 | Lintec Corp | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
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