JP2013131746A - ポンプシステム、二酸化炭素供給システム、抽出システム、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】特定の大きさを超える上流圧力にて開くチェックバルブへ導管に沿ってガスを送出するポンプと、ポンプとチェックバルブとの間のガス圧を示す信号を生成する圧力センサと、圧力センサからの信号がポンプとチェックバルブとの間のガス圧が特定の大きさを下回ることを示す場合に停止信号を生成するコントローラとを備える、抽出システム。
【選択図】図1
Description
‐放射ビームB(例えばUV放射またはDUV放射)を調整するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
‐パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構築され、かつ特定のパラメータに従ってパターニングデバイスMAを正確に位置決めするように構成された第1のポジショナPMに接続されたサポート構造(例えばマスクテーブル)MTと、
‐基板(例えばレジストコートウェーハ)Wを保持するように構築され、かつ特定のパラメータに従って例えば基板Wのテーブルの表面を正確に位置決めするように構成された第2のポジショナPWに接続されたサポートテーブル(例えば1つ以上のセンサを支持するセンサテーブルまたは基板テーブルWT)と、
‐パターニングデバイスMAによって放射ビームBに付けられたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば1つ以上のダイを含む)上に投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズシステム)PSを含む。
内に沈められる。
Claims (15)
- 供給源からデバイスに二酸化炭素を供給する二酸化炭素供給システムであって、
前記供給源から前記デバイスへの二酸化炭素の流れのための供給ラインと、
前記供給ラインにおけるバルブであって、前記供給ラインに沿ってガスが流れることができる開位置と、前記供給ラインに沿った前記ガス流が遮断される閉位置とを有するバルブと、
制御システムであって、
前記供給ラインにおけるガスの第1の流量または圧力にて切り替わる、前記供給ラインにおける第1のスイッチと、
前記供給ラインにおけるガスの第2の流量または圧力にて切り替わる、前記供給ラインにおける第2のスイッチと、を備え、
(i)前記第1のスイッチからの信号が前記供給ラインにおけるガスが前記第1の流量または圧力を上回ることを示す場合、または(ii)前記第2のスイッチからの信号が前記供給ラインにおけるガスが前記第2の流量または圧力を下回ることを示す場合、前記バルブを前記開位置から前記閉位置に移動させる制御システムと、
を備える、供給システム。 - 前記バルブは、ノーマルクローズ弁である、請求項1に記載の供給システム。
- 前記第1のスイッチ、前記第2のスイッチ、または両方は、特定の圧力にて切り替わる、請求項1または2に記載の供給システム。
- 前記供給ラインにおいて質量流量コントローラをさらに備える、請求項1から3のうちいずれかに記載の供給システム。
- 前記制御システムは、(i)前記第1のスイッチからの信号が前記供給ラインにおけるガスが前記第1の流量または圧力を上回ることを示す場合、または(ii)前記第2のスイッチからの信号が前記供給ラインにおけるガスが前記第2の流量または圧力を下回ることを示す場合、前記質量流量コントローラをオフに切り替える、請求項4に記載の供給システム。
- 投影システムの最終要素と対向表面との間の空間に液体を供給する流体ハンドリングシステムであって、該空間内の液体のメニスカスの半径方向外側にガス流を供給する第1のガスアウトレットを有する流体ハンドリングシステムと、
温度調整されたガス流をオブジェクト上に供給する、前記第1のガスアウトレットの半径方向外側の第2のガスアウトレットと、
前記第2のガスアウトレットにおけるまたはその上流の流れおよび/または圧力を検出するセンサを備える制御システムであって、該センサからの信号が前記第2のガスアウトレットにおけるまたはその上流の流れおよび/または圧力が特定の大きさを下回ることを示す場合、前記液体のメニスカスの半径方向外側の前記ガス流の供給を停止する制御システムと、
を備える、リソグラフィ装置。 - 前記センサは、前記第2のガスアウトレットにおけるまたは上流のガスの特定の圧力または流量にて切り替わる圧力または流量スイッチである、請求項6に記載のリソグラフィ装置。
- 前記流体ハンドリングシステムは、前記第1のガスアウトレットの半径方向外側にコレクタ開口をさらに備える、請求項6または7に記載のリソグラフィ装置。
- 前記コレクタ開口の下流にセンサをさらに備え、前記制御システムは、前記センサからの信号が前記コレクタ開口の下流の流れおよび/または圧力が特定の範囲外であることを示す場合、前記液体のメニスカスの半径方向外側の前記ガス流を停止する、請求項8に記載のリソグラフィ装置。
- 二酸化炭素供給源から二酸化炭素が供給される容積と、
前記容積へのアクセスが試みられたこと、および/または前記容積の誤閉鎖を検出するセンサを備え、該センサからの信号が前記容積へのアクセスが試みられたことおよび/または前記容積の誤閉鎖を示す場合、前記容積への二酸化炭素の供給を停止する制御システムと、
を備える、リソグラフィ装置。 - 前記容積は、壁により境界付けられ、前記センサは、該壁の一部の移動を検出するように位置決めされる、請求項10に記載のリソグラフィ装置。
- リソグラフィ装置および二酸化炭素供給システムであって、
前記リソグラフィ装置は、請求項6から11のうちいずれかに記載のリソグラフィ装置であり、前記二酸化炭素供給システムは、請求項1から5のうちいずれかに記載の二酸化炭素供給システムである、リソグラフィ装置および二酸化炭素供給システム。 - 特定の大きさを超える上流圧力にて開くチェックバルブへ導管に沿ってガスを送出するポンプと、
前記ポンプと前記チェックバルブとの間のガス圧を示す信号を生成する圧力センサと、
前記圧力センサからの信号が前記ポンプと前記チェックバルブとの間の前記ガス圧が特定の大きさを下回ることを示す場合、停止信号を生成するコントローラと、
を備える、抽出システム。 - 請求項13に記載の排出システムと、
ガス供給源と、を備え、
前記コントローラからの前記停止信号は、前記ガス供給源および/または前記ポンプを停止する、リソグラフィ装置。 - 供給源からデバイスに二酸化炭素を供給する二酸化炭素供給システムと、
次の事項:
(i)圧力センサが、抽出システムにおけるポンプとチェックバルブとの間のガス圧が特定の大きさを下回ることを示す信号を生成すること、
(ii)センサが、温度調整されたガス流を供給するガスアウトレットにおけるまたはその上流の流量および/または圧力が特定の大きさを下回ることを示す信号を生成すること、
(iii)スイッチからの信号が、前記二酸化炭素供給システムの供給ラインにおけるガスが第1の流量または圧力を上回るか、または第2の流量または圧力を下回ることを示すこと、および/または
(iv)センサからの信号が、前記二酸化炭素供給システムから二酸化炭素が供給される容積へのアクセスが試みられたことを示すこと、
のうち1つ以上の事項が生じると、前記二酸化炭素供給システムを停止する制御システムと、
を備える、リソグラフィ装置。
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