JP2013032996A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】そこで、本発明では、光電変換をする前に直接光を増幅する光増幅に着目した。光増幅とは、信号光と励起用光源の光とを希土類を添加したファイバに導入し、誘導放出を起こして信号光を増幅する増幅方法である。本発明は、この光増幅を利用することを特徴とする。また、本発明は、この増幅率を様々な条件により変えることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
になるため、検査装置のS/N比は、
2,502 励起用光源
3 検出器
4,206 希土類添加光ファイバ
5 ファイバカプラ
6 カップリング用光学系
7 干渉フィルタ
100 試料
101 ステージ
102 ステージ駆動部
103 同期部
105 信号処理部
106 全体制御部
107 メカ制御部
108 情報表示部
109 入力操作部
110 記憶部
111 回転駆動部
112 垂直駆動部
113 スライド駆動部
116 検出光学系
201 照明光
202 照明スポット
301 MPPC
501 ダイクロイックミラー
505 傾斜希土類添加光ファイババンドル
506 マイクロレンズ
507 複数画素検出器
508 物体面
509 像面
510 階段状希土類添加光ファイババンドル
602 希土類添加光ファイババンドル
603 マイクロミラー
604 マイクロプリズム
701 固定部
704 調整希土類添加光ファイババンドル
7031 ファイバ
Claims (8)
- 基板の欠陥を検出する検査装置において、
前記基板に照明光を照明する照明光学系と、
前記基板からの光を検出する第1の検出光学系と、
前記第1の検出光学系により検出された光を光増幅するための第1の光増幅光学系と、
前記光増幅のための第1の励起光を発生させる第1の励起用光学系と、
前記光増幅光学系により増幅された光を光電変換するための第1の光電変換系と、
前記第1の光電変換系からの信号を使って前記欠陥を検出する処理部と、を有し、
さらに、
前記励起光の波長は、前記照明光の波長より短いことを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
さらに、
前記基板からの光を検出する第2の検出光学系と、
前記第2の検出光学系により検出された光を光増幅するための第2の光増幅光学系と、
前記第2の光増幅光学系による光増幅のための第2の励起光を発生させる第2の励起用光学系と、
前記第2の光増幅光学系により増幅された光を光電変換するための第2の光電変換系と、
第1の励起光の強度、および第2の励起光の強度の少なくとも1つを変える制御部と、を有し、
さらに、前記処理部は、前記第1の光電変換系からの信号、及び前記第2の光電変換系からの信号を用いて重み付け加算を行うことを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
さらに、
前記基板の位置に応じて前記第1の励起光の強度を変える制御部を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記第1の検出光学系は、斜方検出光学系であり、
前記第1の光増幅光学系は、複数の希土類添加光ファイバを束ねた希土類添加光ファイババンドルであり、
前記希土類添加光ファイババンドルでの、前記第1の検出光学系により検出された光を検出する面は傾斜していることを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記第1の検出光学系は、斜方検出光学系であり、
前記第1の検出光学系と前記第1の光増幅光学系との間にマイクロミラー及びマイクロレンズを有することを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記第1の検出光学系は、斜方検出光学系であり、
前記第1の検出光学系と前記第1の光増幅光学系との間にマイクロプリズム及びマイクロレンズを有することを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記第1の検出光学系は、斜方検出光学系であり、
前記第1の光増幅光学系は、複数の希土類添加光ファイバを束ねた希土類添加光ファイババンドルであり、
前記複数の希土類添加光ファイバの長さはそれぞれ異なることを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
さらに、
前記基板からの光と前記第1の励起光との前記第1の光増幅光学系内での時間的な同期を得る同期部を有することを特徴とする検査装置。
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