JP2009068903A - 表面検査方法及び表面検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転放物面の一部分を反射面とする集光用凹面鏡161と回転放物面の一部分を反射面とする結像用凹面鏡163とを使用し広い立体角に対応可能とする。反射鏡である集光用凹面鏡161及び結像用凹面鏡163を使用し、レンズ周囲を挟み込んで保持するような支持体は不要で有効開口面積が小となることは無い。反射鏡からなる方位別検出光学系160を複数個設け特別なレンズ研磨加工することなく全集を隙間無く埋め尽くし全方位の反射光を検出できる。散乱回折・反射光信号統合部200は複数の方位別検出光学系160のうち予め指定された散乱方位に対応する方位別検出光学系160からのデジタルデータを合算し、S/N比を向上することが可能である。
【選択図】図1
Description
Claims (22)
- 被検査物の表面上の所定位置に光を照射して照明スポットを形成し、上記照明スポットから散乱・回折・反射された光を検出し、検出した光に基づいて被検査物体表面上または表面近傍内部に存在する異物や欠陥を検出する表面検査方法において、
上記照明スポットから散乱・回折・反射した光を、上記被検査物の表面に関して複数の方位角毎に配置された集光用凹面鏡により集光して反射し、
上記複数の方位角毎に上記被検査物の表面に関して上記集光用凹面鏡より高い仰角に配置された結像用凹面鏡により、同一の方位角に配置された上記集光用凹面鏡から反射された光を反射し、
上記複数の結像用凹面鏡により反射された光のそれぞれを区別して検出し、
検出した光に基づいて被検査物体表面上または表面近傍内部に存在する異物や欠陥を検出することを特徴とする表面検査方法。 - 請求項1記載の表面検査方法において、上記集光用凹面鏡の光反射面は回転放物面または回転放物面の一部分であることを特徴とする表面検査方法。
- 請求項2記載の表面検査方法において、上記複数の集光用凹面鏡は、1枚の回転放物面鏡を分割したものであることを特徴とする表面検査方法。
- 請求項3記載の表面検査方法において、上記結像用凹面鏡の光反射面は回転放物面または回転放物面の一部分であることを特徴とする表面検査方法。
- 請求項4記載の表面検査方法において、上記集光用凹面鏡と上記結像用凹面鏡は略等倍の結像を行うことを特徴とする表面検査方法。
- 請求項4記載の表面検査方法において、上記集光用凹面鏡と上記結像用凹面鏡は拡大結像を行うことを特徴とする表面検査方法。
- 請求項4記載の表面検査方法において、上記集光用凹面と上記鏡結像用凹面鏡とは、上記集光用凹面鏡の回転放物面の光軸と上記結像用凹面鏡の回転放物面の光軸とが共通の光軸となるように配置され、上記共通の光軸は上記被検査物体表面の法線に対して、上記方位方向に傾斜していることを特徴とする表面検査方法。
- 請求項7記載の表面検査方法において、上記共通の光軸は上記被検査物体表面の法線に対して、上記方位方向に略5度以上45度以下の角度を成して傾斜していることを特徴とする表面検査方法。
- 請求項1記載の表面検査方法において、各方位別に形成された照明スポットを、複数の光検出器または複数の受光区画を有する光検出器で個別に検出して電気信号に変換することを特徴とする表面検査方法。
- 被検査物が配置され、この被検査物を移動させる被検査物移動ステージと、被検査物の表面上の所定位置に光を照射して照明スポットを形成する照明手段と、上記照明スポットから散乱・回折・反射された光を検出する検出手段と、この検出手段により検出した光に基づいて被検査物体表面上または表面近傍内部に存在する異物や欠陥を検出する表面検査装置において、
上記被検査物の表面に関して複数の方位角毎に配置され、上記照明スポットから散乱・回折・反射した光を集光して反射する複数の集光用凹面鏡と、
上記複数の方位角毎に上記被検査物の表面に関して上記集光用凹面鏡より高い仰角に配置され、同一の方位角に配置された上記集光用凹面鏡から反射された光を反射する結像用凹面鏡と、
上記複数の結像用凹面鏡により反射された光のそれぞれを区別して検出する検出手段と、
上記検出手段により検出した光に基づいて被検査物体表面上または表面近傍内部に存在する異物や欠陥を検出する異物・欠陥分類手段と、
を備えることを特徴とする表面検査装置。 - 請求項10記載の表面検査装置において、上記集光用凹面鏡の光反射面は回転放物面または回転放物面の一部分であることを特徴とする表面検査装置。
- 請求項11記載の表面検査装置において、上記複数の集光用凹面鏡は、1枚の回転放物面鏡を分割したものであることを特徴とする表面検査装置。
- 請求項12記載の表面検査装置において、上記結像用凹面鏡の光反射面は回転放物面または回転放物面の一部分であることを特徴とする表面検査装置。
- 請求項13記載の表面検査装置において、上記集光用凹面鏡と上記結像用凹面鏡は略等倍の結像を行うことを特徴とする表面検査装置。
- 請求項13記載の表面検査装置において、上記集光用凹面鏡と上記結像用凹面鏡は拡大結像を行うことを特徴とする表面検査装置。
- 請求項13記載の表面検査装置において、上記集光用凹面と上記鏡結像用凹面鏡とは、上記集光用凹面鏡の回転放物面の光軸と上記結像用凹面鏡の回転放物面の光軸とが共通の光軸となるように配置され、上記共通の光軸は上記被検査物体表面の法線に対して、上記方位方向に傾斜していることを特徴とする表面検査装置。
- 請求項16記載の表面検査装置において、上記共通の光軸は上記被検査物体表面の法線に対して、上記方位方向に略5度以上45度以下の角度を成して傾斜していることを特徴とする表面検査装置。
- 請求項10記載の表面検査装置において、各方位別に形成された照明スポットを、複数の光検出器または複数の受光区画を有する光検出器で個別に検出して電気信号に変換することを特徴とする表面検査装置。
- 請求項10記載の表面検査装置において、上記検出手段は、複数の光検出器または複数の受光区画を有する光検出器を有し、上記各方位別に形成された照明スットの像を個別に検出することを特徴とする表面検査装置。
- 請求項19記載の表面検査装置において、上記検出手段は、各方位別に形成された照明スポットの像を一括して受光できる単一の光検出器を有し、上記複数の受光区画を有する光検出器と一括して受光できる単一の光検出器とを切り替えて利用することを特徴とする表面検査装置。
- 請求項11記載の表面検査装置において、上記照明手段は、上記被検査物体表面上に複数の照明スポットを所定の間隔で形成し、上記検出手段は上記複数の照明スポット像を個別に検出できる複数の受光区画を有することを特徴とする表面検査装置。
- 被検査物が配置され、この被検査物を移動させる被検査物移動ステージと、被検査物の表面上の所定位置に光を照射して照明スポットを形成する照明手段と、上記照明スポットから散乱・回折・反射された光を検出する検出手段と、この検出手段により検出した光に基づいて被検査物体表面上または表面近傍内部に存在する異物や欠陥を検出する表面検査装置用の方位散乱光像形成光学装置において、
上記被検査物の表面に関して複数の方位角毎に配置され、上記照明スポットから散乱・回折・反射した光を集光して反射する複数の集光用凹面鏡と、
上記複数の方位角毎に上記被検査物の表面に関して上記集光用凹面鏡より高い仰角に配置され、同一の方位角に配置された上記集光用凹面鏡から反射された光を反射する結像用凹面鏡と、
を備えることを特徴とする表面検査装置用の方位散乱光像形成光学装置。
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