JP2012142498A - 配線パターン - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半絶縁性GaAs基板1上に、配線メタル2が設けられている。配線メタル2上に金メッキ4が設けられている。金メッキ4は、ボンディングパッド部5と配線部6を有する。ボンディングパッド部5及び配線部6を覆うように金メッキ4上に連続してSiN膜7が設けられている。ボンディングパッド部5上においてSiN膜7にコンタクトホール8が設けられている。ボンディングパッド部5と配線部6の間において金メッキ4に段差が設けられている。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る配線パターンを示す上面図である。図2は、図1のA−A´に沿った断面図である。図3は、図1の配線パターンからSiN膜を省略した状態を示す上面図である。
図12は、本発明の実施の形態2に係る配線パターンを示す上面図である。図13は、図12のA−A´に沿った断面図である。図14は、図12のB−B´に沿った断面図である。
図15は、本発明の実施の形態3に係る配線パターンを示す上面図である。図16は、図15のA−A´に沿った断面図である。
図17は、本発明の実施の形態4に係る配線パターンを示す上面図である。図18は、図17のA−A´に沿った断面図である。図19は、図17のB−B´に沿った断面図である。
図20は、本発明の実施の形態5に係る配線パターンを示す上面図である。図21は、図20のA−A´に沿った断面図である。
図22は、本発明の実施の形態6に係る配線パターンを示す上面図である。図23は、図22のA−A´に沿った断面図である。図24は、図22のB−B´に沿った断面図である。
2 配線メタル(第1の導電層、導電層)
3 給電層(第2の導電層)
4 金メッキ(第2の導電層)
5 ボンディングパッド部
6 配線部
7 SiN膜(絶縁膜)
8 コンタクトホール
9,11,13,15 開口
12 エアブリッジ
14 凸部
Claims (6)
- 基板と、
前記基板上に設けられた第1の導電層と、
前記第1の導電層上に設けられ、ボンディングパッド部と配線部を有する第2の導電層と、
前記ボンディングパッド部及び前記配線部を覆うように前記第2の導電層上に連続して設けられた絶縁膜とを備え、
前記ボンディングパッド部上において前記絶縁膜にコンタクトホールが設けられ、
前記ボンディングパッド部と前記配線部の間において前記第2の導電層に段差が設けられていることを特徴とする配線パターン。 - 前記段差として、前記第2の導電層に開口が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の配線パターン。
- 前記第2の導電層は、給電層と、前記給電層上に設けられたメッキ層とを有し、
前記開口における前記第2の導電層の側面で、前記給電層が前記絶縁膜に接触し、
前記給電層に対する前記絶縁膜の付着力は、前記メッキ層に対する前記絶縁膜の付着力より強いことを特徴とする請求項2に記載の配線パターン。 - 前記段差として、前記第2の導電層にエアブリッジが設けられていることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の配線パターン。
- 基板と、
前記基板上に設けられ、ボンディングパッド部と配線部を有する導電層と、
前記ボンディングパッド部及び前記配線部を覆うように前記導電層上に連続して設けられた絶縁膜とを備え、
前記ボンディングパッド部と前記配線部の間において前記導電層に段差が設けられていることを特徴とする配線パターン。 - 前記段差として、前記導電層に凸部又は開口が設けられていることを特徴とする請求項5に記載の配線パターン。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011000747A JP5678668B2 (ja) | 2011-01-05 | 2011-01-05 | 配線パターン |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2011000747A JP5678668B2 (ja) | 2011-01-05 | 2011-01-05 | 配線パターン |
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JP5678668B2 JP5678668B2 (ja) | 2015-03-04 |
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JP (1) | JP5678668B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP5678668B2 (ja) | 2015-03-04 |
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