JP2012044495A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2012044495A5
JP2012044495A5 JP2010184612A JP2010184612A JP2012044495A5 JP 2012044495 A5 JP2012044495 A5 JP 2012044495A5 JP 2010184612 A JP2010184612 A JP 2010184612A JP 2010184612 A JP2010184612 A JP 2010184612A JP 2012044495 A5 JP2012044495 A5 JP 2012044495A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pair
base
recessed portion
lid
bonding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010184612A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5588784B2 (ja
JP2012044495A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2010184612A priority Critical patent/JP5588784B2/ja
Priority claimed from JP2010184612A external-priority patent/JP5588784B2/ja
Priority to US13/212,030 priority patent/US8823247B2/en
Publication of JP2012044495A publication Critical patent/JP2012044495A/ja
Publication of JP2012044495A5 publication Critical patent/JP2012044495A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5588784B2 publication Critical patent/JP5588784B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

第１観点の圧電デバイスは、一対の外部電極が形成される第１面とその第１面の反対側で第１凹み部及びその第１凹み部の周囲の第１接合面が形成される第２面に外部電極と接続する一対の接続電極とを有する矩形状のベースと、接続電極と接続する一対の励振電極を有しベースに保持される圧電振動片と、圧電振動片を覆い第１凹み部より大きな第２凹み部及びその第２凹み部の周囲の第２接合面が形成されたリッドと、第２接合面の幅で第１接合面と第２接合面との間に環状に配置されベースとリッドとを封止する環状の封止材と、を備える。
図１０に示されたように、第２水晶振動子２００はリッド凹部２１１を有するリッド部２１と、ベース凹部２２１を有するベース部２２と、ベース部２２に載置され一対の振動腕２０５を有する音叉型水晶振動片２０とを備える。

Claims (1)

  1. 一対の外部電極が形成される第１面とその第１面の反対側で第１凹み部及びその第１凹み部の周囲の第１接合面が形成される第２面と、前記第１接合面に前記外部電極と接続する一対の接続電極と、を有する矩形状のベースと、
    前記接続電極と接続する一対の励振電極を有し、前記ベースに保持される圧電振動片と、
    前記圧電振動片を覆い、前記第１凹み部より大きな第２凹み部及びその第２凹み部の周囲の第２接合面が形成されたリッドと、
    前記第２接合面の幅で、前記第１接合面と前記第２接合面との間に環状に配置され、前記ベースと前記リッドとを封止する環状の封止材と、
    を備える圧電デバイス。
JP2010184612A 2010-08-20 2010-08-20 圧電デバイスの製造方法及び圧電デバイス Expired - Fee Related JP5588784B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010184612A JP5588784B2 (ja) 2010-08-20 2010-08-20 圧電デバイスの製造方法及び圧電デバイス
US13/212,030 US8823247B2 (en) 2010-08-20 2011-08-17 Piezoelectric vibrating devices including respective packages in which castellations include respective connecting electrodes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010184612A JP5588784B2 (ja) 2010-08-20 2010-08-20 圧電デバイスの製造方法及び圧電デバイス

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012044495A JP2012044495A (ja) 2012-03-01
JP2012044495A5 true JP2012044495A5 (ja) 2013-08-29
JP5588784B2 JP5588784B2 (ja) 2014-09-10

Family

ID=45593500

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010184612A Expired - Fee Related JP5588784B2 (ja) 2010-08-20 2010-08-20 圧電デバイスの製造方法及び圧電デバイス

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8823247B2 (ja)
JP (1) JP5588784B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9069005B2 (en) * 2011-06-17 2015-06-30 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Capacitance detector for accelerometer and gyroscope and accelerometer and gyroscope with capacitance detector
JP5788728B2 (ja) * 2011-07-21 2015-10-07 日本電波工業株式会社 圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法
JP5980530B2 (ja) * 2012-03-15 2016-08-31 日本電波工業株式会社 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08340184A (ja) * 1995-06-13 1996-12-24 Shimeo Seimitsu Kk 電子部品収納用容器
JPH09148875A (ja) * 1995-11-24 1997-06-06 Kyocera Corp 圧電振動子ならびにその製造方法
JPH09181557A (ja) * 1995-12-25 1997-07-11 Murata Mfg Co Ltd 電子部品
GB2345397B (en) * 1997-08-19 2001-10-31 Citizen Watch Co Ltd Piezoelectric vibrator
US6249049B1 (en) * 1998-06-12 2001-06-19 Nec Corporation Ceramic package type electronic part which is high in connection strength to electrode
JP3296356B2 (ja) * 1999-02-08 2002-06-24 松下電器産業株式会社 弾性表面波デバイスとその製造方法
JP4068367B2 (ja) * 2002-03-08 2008-03-26 シチズンホールディングス株式会社 圧電デバイス用集合基板、圧電デバイス及びその製造方法
JP2005057520A (ja) 2003-08-05 2005-03-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超小型水晶振動子パッケージ
JP4144036B2 (ja) 2004-05-21 2008-09-03 株式会社大真空 電子部品用パッケージ及び当該電子部品用パッケージを用いた圧電振動デバイス
JP2006032645A (ja) * 2004-07-15 2006-02-02 Daishinku Corp 電子部品用パッケージ
JP4722859B2 (ja) * 2004-11-05 2011-07-13 株式会社Ｎｅｏｍａｘマテリアル 気密封止用キャップ、気密封止用キャップの製造方法および電子部品収納用パッケージ
US20060255691A1 (en) * 2005-03-30 2006-11-16 Takahiro Kuroda Piezoelectric resonator and manufacturing method thereof
JP4804813B2 (ja) * 2005-06-24 2011-11-02 日本電波工業株式会社 圧電発振器
JP4843424B2 (ja) * 2006-09-05 2011-12-21 日本電波工業株式会社 水晶振動子用のガラス封止カバー及びこれを用いた水晶振動子の製造方法
JP5325151B2 (ja) * 2010-03-31 2013-10-23 日本電波工業株式会社 水晶デバイス、及びその製造方法
JP2012090252A (ja) * 2010-09-22 2012-05-10 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電デバイスの製造方法及び圧電デバイス
US8232845B2 (en) * 2010-09-27 2012-07-31 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Packaged device with acoustic resonator and electronic circuitry and method of making the same
JP2012074837A (ja) * 2010-09-28 2012-04-12 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電デバイス
JP5731880B2 (ja) * 2010-10-15 2015-06-10 日本電波工業株式会社 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法
JP2012175492A (ja) * 2011-02-23 2012-09-10 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法
JP2013192027A (ja) * 2012-03-14 2013-09-26 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電デバイス

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013137552A5 (ja)
JP2014063147A5 (ja)
JP2012147228A5 (ja)
JP2012185153A5 (ja)
JP2007533039A5 (ja)
JP2013144576A5 (ja)
WO2012138661A3 (en) Biomedical electrode with a leadwire having a stripped end length
JP2014096359A5 (ja) 電極材料
JP2012199536A5 (ja)
JP2012501699A5 (ja)
JP2011500359A5 (ja)
JP2014035428A5 (ja)
SG10201401044PA (en) Acoustic wave device and method of fabricating the same
JP2013219253A5 (ja)
JP2013137483A5 (ja)
JP2012019441A5 (ja)
JP2016092879A5 (ja)
JP2014057236A5 (ja)
JP2012044495A5 (ja)
JP2009158999A5 (ja)
JP2014102371A5 (ja)
JP2012199861A5 (ja)
JP2012034302A5 (ja)
JP2014033389A5 (ja)
JP2014017388A5 (ja)