JP2012199861A5 - - Google Patents
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図５（ｂ）は、水晶板１３０ｂの電極パッド１３２及び導電性接着剤１４１が示された平面図である。水晶板１３０ｂの１つの電極パッド１３２には、複数の接着状態の検査領域１３６ｂが形成されている。複数の接着状態の検査領域１３６ｂの各領域は、Ｘ軸方向に並んで形成されている。そのため、導電性接着剤１４１の＋Ｘ軸側端部が複数の接着状態の検査領域１３６ｂのどの領域に形成されているかを確認することにより、容易に距離Ｌ４の値を想定することができる。例えば、図５（ｂ）では、１つの電極パッド１３２に、Ｘ軸方向に並んだ４つの接着状態の検査領域１３６ｂが形成されている。また、最も＋Ｘ軸側に形成されている接着状態の検査領域１３６ｂの＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側端部が励振電極１３１の−Ｘ軸側の端部から長辺の長さＬ１に対して１０％から１１％、＋Ｘ軸側から２番目に形成されている接着状態の検査領域１３６ｂの＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側端部が励振電極１３１の−Ｘ軸側の端部から長辺の長さＬ１に対して１１％から１２％、＋Ｘ軸側から３番目に形成されている接着状態の検査領域１３６ｂの＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側端部が励振電極１３１の−Ｘ軸側の端部から長辺の長さＬ１に対して１２％から１３％、＋Ｘ軸側から４番目に形成されている接着状態の検査領域１３６ｂが励振電極１３１の−Ｘ軸側の端部から長辺の長さＬ１に対して１３％から１５％に形成されているとする。このとき、図５（ｂ）では＋Ｘ軸側から３番目に形成されている接着状態の検査領域１３６ｂに導電性接着剤１４１の＋Ｘ軸側の端部があるため、距離Ｌ４は長辺の長さＬ１に対して１２％から１３％の範囲内にあることが分かる。
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