JP2012185153A5 - - Google Patents
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Description
本発明は、中空貫通孔を有する環状の圧電体及び該圧電体の両面に取り付けられた一対の駆動電極を有し、前記一対の駆動電極に交流電圧を印加することにより前記圧電体の拡がり方向に振動する振動体と、前記振動体の一方側の面に当接する基板と、前記振動体の他方側の面に接触して配設された弾性部材と、前記中空貫通孔よりも大きく形成され前記振動体の前記他方側の面に当接する当接部及び前記中空貫通孔に遊嵌し前記基板に係着された遊嵌部を有する保持部と、前記一対の駆動電極に交流電圧を印加する一対の信号電極と、を備えた、ことを特徴とする圧電振動型力センサに関する。
振動体３は、中空貫通孔３３を有する円板状（以下、「円環形状」という）に形成されており、円環形状に形成された圧電体３０と、円環形状に形成された一対の駆動電極としての第１駆動電極３１及び第２駆動電極３２と、を備える。なお、本実施形態においては、円環形状の振動体３を用いて説明するが、振動体３の形状は、円環形状以外の環状の形状であってもよい。
Claims (9)
- 中空貫通孔を有する環状の圧電体及び該圧電体の両面に取り付けられた一対の駆動電極を有し、前記一対の駆動電極に交流電圧を印加することにより前記圧電体の拡がり方向に振動する振動体と、
前記振動体の一方側の面に当接する基板と、
前記振動体の他方側の面に接触して配設された弾性部材と、
前記中空貫通孔よりも大きく形成され前記振動体の前記他方側の面に当接する当接部及び前記中空貫通孔に遊嵌し前記基板に係着された遊嵌部を有する保持部と、
前記一対の駆動電極に交流電圧を印加する一対の信号電極と、を備えた、
ことを特徴とする圧電振動型力センサ。 - 前記当接部は、前記振動体の外周よりも小さい、
ことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動型力センサ。 - 前記遊嵌部は、前記振動体の振動方向と交差する方向に形成される第１貫通孔を有し、
前記基板は、前記第１貫通孔と同方向に形成される第２貫通孔を有し、
前記保持部は、前記第１貫通孔及び前記第２貫通孔を挿通すると共に、一端が前記当接部と連結され、他端部が前記基板と係着される軸部材を有する、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の圧電振動型力センサ。 - 前記軸部材の他端部は、前記基板の前記第２貫通孔を貫通させて折り曲げられることにより前記基板と係着される、
ことを特徴とする請求項３に記載の圧電振動型力センサ。 - 前記第２貫通孔には前記軸部材の他端部と前記基板とを圧着させる圧入部材が配設されており、
前記軸部材の他端部は、前記圧入部材を介して前記基板と係着される、
ことを特徴とする請求項３に記載の圧電振動型力センサ。 - 前記遊嵌部は絶縁材料により形成され、前記当接部及び前記軸部材は、導電性材料により形成されており、
前記一対の信号電極は、前記振動体の一方側の面が当接する前記基板の表面に取り付けられ前記振動体の一方側の面の駆動電極と接触する第１信号電極と、前記基板の裏面に取り付けられ前記軸部材の他端部と接触して、前記軸部材を介して前記振動体の他方側の面の駆動電極に通電する第２信号電極と、を有する、
ことを特徴とする請求項３記載の圧電振動型力センサ。 - 前記基板は、前記第２貫通孔と並列に形成された第３貫通孔を有し、
導電性材料により形成され一端が前記第１信号電極に接続された引込軸と、前記基板の裏面で前記第２信号電極と並列配置され、前記第３貫通孔を貫通する前記引込軸に接触して前記第１信号電極に通電する第３信号電極と、を備えた、
ことを特徴とする請求項６に記載の圧電振動型力センサ。 - 請求項１から７のいずれか１項に記載の圧電振動型力センサを、ロボット指を備えたロボットハンドに設けた、
ことを特徴とするロボットハンド。 - 請求項１から７のいずれか１項に記載の圧電振動型力センサを、アーム部を有するロボットアームに設けた、
ことを特徴とするロボットアーム。
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