JP2012044495A - 圧電デバイスの製造方法及び圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電デバイス100は、一対の外部電極125a、125bが形成される第1面とその第1面の反対側で第1凹み部121及び第1接合面M1が形成される第2面と第1接合面から第1面と第2面とを結ぶ側面を介して外部電極と接続する一対の接続電極124a、124bとを有するベース12と、接続電極と接続する一対の励振電極102a、102bを有しベースに保持される圧電振動片10と、第1凹み部より大きな第2凹み部111及びその第2凹み部の周囲の第2接合面M2が形成されたリッド11と、第2接合面の幅で第1接合面と第2接合面との間に環状に配置されベースとリッドとを封止する環状の封止材LGと、を備える。
【選択図】図1
Description
<第1水晶振動子100の全体構成>
第1水晶振動子100の全体構成について、図1〜図3を参照しながら説明する。
図1は、第1水晶振動子100の分解斜視図である。図2は、水晶振動片10をベース部12に載置した後、且つリッド部11をベース部12に接合する前の第1実施形態の第1水晶振動子100の斜視図である。図3(a)は図1のA−A断面図で、(b)は第1水晶振動子100の底面図である。
図4は、第1水晶振動子100の製造を示したフローチャートである。図4において、水晶振動片10の製造ステップS10と、リッド部11の製造ステップS11と、ベース部12の製造ステップS12とは別々に並行して行うことができる。また、図5は水晶ウエハ10Wの平面図で、図6はリッドウエハ11Wの平面図で、図7はベースウエハ12Wの平面図である。
ステップS101において、図5に示されたように、均一の水晶ウエハ10Wにエッチングにより複数の水晶振動片10の外形が形成される。ここで、各水晶振動片10は連結部104により水晶ウエハ10Wに連接されている。
第1実施形態の変形例である第1圧電振動子100’について、図8及び図9を参照しながら説明する。図8(a)は水晶振動片10をベース部12’に載置した後、且つリッド部11をベース部12’に接合する前の第1水晶振動子100’の斜視図で、(b)は第1水晶振動子100’の底面図である。図9は、ベースウエハ12W’の底面図である。
<第2水晶振動子200の全体構成>
第2水晶振動子200の全体構成について、図10〜図12を参照しながら説明する。なお、第2水晶振動子200は音叉型水晶振動片20を有しているので、その座標系は第1実施形態のATカットで回転された座標系ではない。つまり、第2実施形態に関する図10〜図14では第1実施形態と同じX軸が用いられ、振動腕205が伸びる方向をY軸方向とし、X軸方向及びY軸方向に垂直な高さ方向をZ軸方向とする。
第2水晶振動子200の製造方法について、第1実施形態で説明された図4を参照しながら説明する。また、図13は水晶ウエハ20Wの平面図で、図14はベースウエハ22Wの平面図である。
ステップS14では、一対の周波数測定用のプローブPB1、PB2を接続電極224a、224bにそれぞれ当接することで、音叉型水晶振動片20の振動周波数が測定される。
また、実装端子はベース部の底面の四隅に形成されているが、X軸方向の両側に形成された一対の実装端子でもよい。このとき、アース用の実装端子が形成されていない。
また、例えば、実施形態では水晶振動片が使用されたが、水晶以外にタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料を利用することができる。さらに圧電デバイスとして、発振回路を組み込んだICなどをパッケージ内に配置させた圧電発振器にも本発明は適用できる。
さらに、本発明では1枚のウエハに複数の水晶振動片が同時に形成されているが、個々の水晶片に対して研磨、エッチング及び電極形成が行われてもよい。
11、21 … リッド部、 11W … リッドウエハ
12、12’、22 … ベース部、 12W、12W’、22W … ベースウエハ
13 … 導電性接着剤
100、100’、200 水晶振動子
101 … 水晶片
102a、102b、202a、202b … 励振電極
103a、103b、203a、203b … 引出電極
104、209 … 連結部
111、211 … リッド凹部
121、221 … ベース凹部
122a、122b、222a、222b … キャスタレーション
123a、123b、223a、223b、123a’、123b’ … 側面電極
124a、124b、224a、224b … 接続電極
125、125a、125b、225、225a、225b、125’、125a’、125b’ … 実装端子
204 … 基部
205 … 振動腕
206a、206b … 支持腕
207 … 溝部
208 … 錘部
CT … キャビティ
LG … 低融点ガラス
PB1、PB2 … プローブ
Claims (9)
- 一対の外部電極が形成される第1面とその第1面の反対側で第1凹み部及びその第1凹み部の周囲の第1接合面が形成される第2面と、前記第1接合面から前記第1面と第2面とを結ぶ側面を介して前記外部電極と接続する一対の接続電極と、を有する矩形状のベースと、
前記接続電極と接続する一対の励振電極を有し、前記ベースに保持される圧電振動片と、
前記圧電振動片を覆い、前記第1凹み部より大きな第2凹み部及びその第2凹み部の周囲の第2接合面が形成されたリッドと、
前記第2接合面の幅で、前記第1接合面と前記第2接合面との間に環状に配置され、前記ベースと前記リッドとを封止する環状の封止材と、
を備える圧電デバイス。 - 前記ベースから前記リッドへの方向から見ると、前記ベースの外周は矩形状でありこの矩形状の辺にこの辺の長さの半分以上に渡ってキャスタレーションが形成され、
前記接続電極は前記キャスタレーションの半分以上の長さで形成される請求項1に記載の圧電デバイス。 - 一対の外部電極が形成される第1面とその第1面の反対側で第1凹み部及びその第1凹み部の周囲の第1接合面が形成される第2面とを有する矩形状のベースを複数含み、隣り合う前記矩形状のベースの間の一辺に前記第1面から前記第2面まで貫通する少なくとも一対の貫通孔と、前記第1接合面から前記一対の貫通孔を介して前記一対の外部電極と接続する一対の接続電極とが形成されたベースウエハを用意する工程と、
一対の励振電極を有する圧電振動片を前記複数のベースの前記接続電極にそれぞれ配置する配置工程と、
前記第1凹み部より大きな第2凹み部及びその第2凹み部の周囲の第2接合面が形成されたリッドを複数含むリッドウエハを用意する工程と、
前記第2接合面の幅で環状に配置される封止材を、前記ベースウエハ又はリッドウエハに形成する封止材形成工程と、
前記封止材形成工程後に、前記ベースウエハと前記リッドウエハとを加熱及び加圧して接合する接合工程と、
を備える圧電デバイスの製造方法。 - 前記配置工程は、前記圧電振動片を導電性接着剤を介して前記接続電極に配置する請求項3に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記貫通孔は前記一辺の長さの1/3から1/2を占める長孔である請求項3又は請求項4に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記接続電極は前記長孔の長さの半分以上の幅で形成される請求項5に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記接合工程後に、前記圧電デバイスをスクライブラインに沿って個々に切断する切断工程を備え、
前記貫通孔の一部は前記スクライブラインに重なる請求項3から請求項6のいずれか一項に記載の圧電デバイスの製造方法。 - 前記接合工程前に、前記接続電極又は前記外部電極にプローブを当接させて前記圧電振動片の振動周波数を測定する測定工程を備える請求項3から請求項7のいずれか一項に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記封止材は350℃〜410℃で溶融するガラスの接着剤を含む請求項3から請求項8のいずれか一項に記載の圧電デバイスの製造方法。
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