JP2012032983A5 - - Google Patents
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本願校正方法の発明は、上記流量校正試験のテスト結果を基にして創案されたものであり、請求項１の発明は、複数種のガスを各流量制御器を通して切換え可能にガス使用箇所へ供給するガス供給装置に於いて、前記ガス供給装置のガス供給路Ｌに、内容積ＶのビルドアップタンクＢＴとタンクＢＴの入口側開閉弁Ｖ１及び出口側開閉弁Ｖ２とタンクＢＴ内ガスのガス圧力検出器Ｐｄ及びガス温度検出器Ｔｄとから成る流量制御器校正ユニット５を分岐状に連結すると共に、当該流量制御器校正ユニット５の出口側開閉弁Ｖ２を真空排気装置に接続し、先ず、前記流量制御装置の各流量制御器の出口側開閉弁Ｖｏ１〜Ｖｏｎ及びガス使用箇所の入口開閉弁Ｖ０を閉鎖すると共に前記校正ユニット５の出口側開閉弁Ｖ２及び入口側開閉弁Ｖ１を開放し、次に、被校正流量制御器の出口側開閉弁のみを開放して設定流量のガスを前記校正ユニット５へ流入させ、前記タンク内のガス圧力及びガス温度が安定した時刻に第１回のタンク内のガス温度Ｔ０及びガス圧力Ｐ０を計測し、そして、時刻ｔ ０ に於いて前記校正ユニット５の出口側開閉弁Ｖ ２ を閉鎖してタンクＢＴ内へのガスのビルドアップを行い、その後、時刻ｔ１に於いて出口側開閉弁Ｖ２を閉鎖すると共に、当該入口側開閉弁Ｖ１の閉鎖後の時刻ｔ２に於いて第２回のガス温度Ｔ２及びガス圧力Ｐ２を計測し、前記各計測値からガス流量ＱをＱ＝（２２．４Ｖ／Ｒ・Δｔ）×（Ｐ２／Ｔ２−Ｐ０／Ｔ０）（但し、ＶはタンクＢＴの内容積、Ｒはガス定数、Δｔはビルドアップ時間ｔ１−ｔ０である）として演算し、前記設定ガス流量と演算ガス流量Ｑとの対比により被校正流量制御器の流量校正を行うことを発明の基本構成とするものである。
Claims (3)
- 複数種のガスを各流量制御器を通して切換え可能にガス使用箇所へ供給するガス供給装置に於いて、前記ガス供給装置のガス供給路Ｌに、内容積ＶのビルドアップタンクＢＴとタンクＢＴの入口側開閉弁Ｖ１及び出口側開閉弁Ｖ２とタンクＢＴ内ガスのガス圧力検出器Ｐｄ及びガス温度検出器Ｔｄとから成る流量制御器校正ユニット５を分岐状に連結すると共に、当該流量制御器校正ユニット５の出口側開閉弁Ｖ２を真空排気装置に接続し、先ず、前記流量制御装置の各流量制御器の出口側開閉弁Ｖｏ１〜Ｖｏｎ及びガス使用箇所の入口開閉弁Ｖ０を閉鎖すると共に前記校正ユニット５の出口側開閉弁Ｖ２及び入口側開閉弁Ｖ１を開放し、次に、被校正流量制御器の出口側開閉弁のみを開放して設定流量のガスを前記校正ユニット５へ流入させ、前記タンク内のガス圧力及びガス温度が安定した時刻に第１回のタンク内のガス温度Ｔ０及びガス圧力Ｐ０を計測し、そして、時刻ｔ ０ に於いて前記校正ユニット５の出口側開閉弁Ｖ ２ を閉鎖してタンクＢＴ内へのガスのビルドアップを行い、その後、時刻ｔ１に於いて出口側開閉弁Ｖ２を閉鎖すると共に、前記入口側開閉弁Ｖ１の閉鎖後の時刻ｔ２に於いて第２回のガス温度Ｔ２及びガス圧力Ｐ２を計測し、前記各計測値からガス流量ＱをＱ＝（２２．４Ｖ／Ｒ・Δｔ）×（Ｐ２／Ｔ２−Ｐ０／Ｔ０）（但し、ＶはタンクＢＴの内容積、Ｒはガス定数、Δｔはビルドアップ時間ｔ１−ｔ０である）として演算し、前記設定ガス流量と演算ガス流量Ｑとの対比により被校正流量制御器の流量校正を行うことを特徴とするガス供給装置用流量制御器の校正方法。
- ガス供給装置を半導体製造装置用のガスボックスとすると共に、校正ユニット５をガス供給装置のガスボックス内に設けるようにした請求項１に記載のガス供給装置用流量制御器の校正方法。
- 流体供給源から流れる流体を制御する流量制御器の流量を計測する方法において、前記流量制御器の下流にある内容積VのビルドアップタンクＢＴと、タンクＢＴの入口側及び出口側に配置される入口側開閉弁Ｖ１及び出口側開閉弁Ｖ２と、タンクＢＴ内に配置されるガス圧力検出器Ｐｄ及び温度検出器Ｔｄとからなり、前記流量制御器から流体を流した状態で入口側開閉弁Ｖ１及び出口側開閉弁Ｖ２を開放してガスをタンクＢＴ内に流入させるステップ、ガス圧力及びガス温度が安定した時のガス圧力Ｐ０及びガス温度Ｔ０を測定するステップ、時刻ｔ０に於いて出口側開閉弁Ｖ２のみを閉鎖してタンクＢＴ内へガスを充填するステップ、時刻ｔ１に入口側開閉弁Ｖ１を閉鎖するステップ、その後時刻ｔ２まで前記入口側開閉弁Ｖ１及び出口側開閉弁Ｖ２入口側開閉弁Ｖ１及び出口側開閉弁Ｖ２入口側開閉弁Ｖ１及び出口側開閉弁Ｖ２の閉鎖を保持するステップ、前記入口側開閉弁Ｖ１及び出口側開閉弁Ｖ２の閉鎖中に再びガス温度Ｔ２及びガス圧力Ｐ２を計測するステップ、各計測結果からガス流量ＱをＱ＝（２２．４Ｖ／Ｒ・Δｔ）×（Ｐ２／Ｔ２−Ｐ０／Ｔ０）（但し、ＶはタンクＢＴの内容積、Ｒはガス定数、Δｔはビルドアップ時間ｔ１−ｔ０である）として演算するステップ、とを備える流量計測方法。
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