JP2012032805A - 露光ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光ユニット1は、露光装置PEと、ロボット87と、制御部88と、処理ユニット84に供給された基板Wの位置情報を検出するセンサ100a,100b,100cと、を備える。制御部88は、センサ100a,100b,100cの検出結果と所定の基準位置とのズレ量を算出し、当該ズレ量に基づいてロボット87のアーム部90を処理ユニット84から基板ステージ20に移動しながら、基板Wを基準位置にプリアライメントする。
【選択図】図1
Description
また、特許文献2には、基板の位置を検出するセンサが備えられた液晶搬送ロボットが記載されており、基板の位置を補正して搬送するように構成されている。
また、特許文献3には、レチクルステージ上のレチクル基準マークと、レチクル上のレチクルアライメントマークと、を一致させるべく、ロボットハンドによってレチクルを移動させてアライメントすることが記載されている。
また、特許文献2には、基板のアライメントについて記載がされていない。
さらに、特許文献3によると、レチクルステージ上においてレチクルのアライメントを行うように構成しているので、レチクルをレチクルステージに移動する過程ではアライメントを行うことができず、位置合わせに時間がかかることがあった。また、特許文献1と同様、プリアライメントは、レチクルのマークを検出することで行われているので、レチクルに予めマークを設ける必要がある。
(1) マスクを介して被露光材としての基板に露光光を照射して、基板ステージに保持された前記基板に前記マスクのパターンを露光転写する露光装置と、
前記基板を保持するアーム部を有し、前記基板が供給される供給位置から前記露光装置の前記基板ステージに前記基板を搬送する基板搬入装置と、
前記露光装置と、前記基板搬入装置と、を制御する制御部と、
を備える露光ユニットであって、
前記供給位置に供給された前記基板の位置情報を検出するセンサを備え、
前記制御部は、前記センサの検出結果と所定の基準位置とのズレ量を算出し、前記ズレ量に基づいて、前記アーム部を前記供給位置から前記基板ステージに移動しながら、前記基板を前記基準位置にプリアライメントする
ことを特徴とする露光ユニット。
(2) 前記基板搬入装置のアーム部を、X,Y,φ方向に変位させることによって、前記基板を前記基準位置にプリアライメントする
ことを特徴とする(1)に記載の露光ユニット。
(3) 前記基板搬入装置のアーム部を、φ方向に変位させ、
さらに、前記基板ステージを、X,Y方向に変位させることによって、前記基板を前記基準位置にプリアライメントする
ことを特徴とする(1)に記載の露光ユニット。
(4) 前記基板搬入装置のアーム部を、X,Y,φ方向に変位させ、
さらに、前記基板ステージは、X,Y方向に変位させることによって、前記基板を前記基準位置にプリアライメントする
ことを特徴とする(1)に記載の露光ユニット。
(5) 前記センサは、前記基板搬入装置、又は前記供給位置において前記基板を支持する基板支持部に設けられる
ことを特徴とする(1)〜(4)の何れか1つに記載の露光ユニット。
図1に示すように、一実施形態の露光ユニット1は、コーター81、ホットプレート82、及びコールドプレート83を備えた処理ユニット84と、露光装置PEと、搬出装置としてのコンベア86と、処理ユニット84、露光装置PE、及びコンベア86間で基板Wの受け渡しを行うロボット87と、露光ユニット1の各部を制御する制御部88と、を有する。なお、処理ユニット84及びコンベア86は、公知のものが適用される。
なお、ロボット87は、処理ユニット84から供給される基板Wを露光装置PEへ搬送する、少なくとも基板搬入装置としての機能を有するものであればよく、露光装置PEからコンベア86に搬送するロボットを、別途設けても良い。
例えば、図7に示すように、ロボット87のアーム部90に第2アーム93を設けず第1アーム92のみを設け、ロボット87のアーム部90をφ方向に変位させ、さらに、基板ステージ20を基板駆動機構22(図2、3参照)によってX,Y方向に変位させることによって、基板Wを基準位置にプリアライメントするように構成してもよい。
また、これらギャップセンサ17、アライメントカメラ18、レーザー干渉計63,64,65とは別に、基板ステージ20やマスクステージ10に、基板Wの位置情報を検出する変位センサを配設することによって、当該位置情報を制御部88にフィードバックするようにしてもよい。なお、変位センサとしては、渦電流式、光学式、超音波式、接触式等が採用される。
20 基板ステージ
81 コーター
82 ホットプレート
83 コールドプレート
84 処理ユニット(供給位置)
86 コンベア
87 ロボット(基板搬入装置)
88 制御部
90 アーム部
91 コラム
92 第1アーム
93 第2アーム
94 ハンドフォーク
95 ロボットハンド
96,97 一辺
100a,100b,100c センサ
M マスク
W 基板
PE 露光装置
Claims (5)
- マスクを介して被露光材としての基板に露光光を照射して、基板ステージに保持された前記基板に前記マスクのパターンを露光転写する露光装置と、
前記基板を保持するアーム部を有し、前記基板が供給される供給位置から前記露光装置の前記基板ステージに前記基板を搬送する基板搬入装置と、
前記露光装置と、前記基板搬入装置と、を制御する制御部と、
を備える露光ユニットであって、
前記供給位置に供給された前記基板の位置情報を検出するセンサを備え、
前記制御部は、前記センサの検出結果と所定の基準位置とのズレ量を算出し、前記ズレ量に基づいて、前記アーム部を前記供給位置から前記基板ステージに移動しながら、前記基板を前記基準位置にプリアライメントする
ことを特徴とする露光ユニット。 - 前記基板搬入装置のアーム部を、X,Y,φ方向に変位させることによって、前記基板を前記基準位置にプリアライメントする
ことを特徴とする請求項1に記載の露光ユニット。 - 前記基板搬入装置のアーム部を、φ方向に変位させ、
さらに、前記基板ステージを、X,Y方向に変位させることによって、前記基板を前記基準位置にプリアライメントする
ことを特徴とする請求項1に記載の露光ユニット。 - 前記基板搬入装置のアーム部を、X,Y,φ方向に変位させ、
さらに、前記基板ステージは、X,Y方向に変位させることによって、前記基板を前記基準位置にプリアライメントする
ことを特徴とする請求項1に記載の露光ユニット。 - 前記センサは、前記基板搬入装置、又は前記供給位置において前記基板を支持する基板支持部に設けられる
ことを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の露光ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011144530A JP2012032805A (ja) | 2010-06-30 | 2011-06-29 | 露光ユニット |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010148760 | 2010-06-30 | ||
JP2010148760 | 2010-06-30 | ||
JP2011144530A JP2012032805A (ja) | 2010-06-30 | 2011-06-29 | 露光ユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012032805A true JP2012032805A (ja) | 2012-02-16 |
Family
ID=45846203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011144530A Pending JP2012032805A (ja) | 2010-06-30 | 2011-06-29 | 露光ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015524163A (ja) * | 2012-05-17 | 2015-08-20 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 熱調整ユニット、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 |
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JPH07249671A (ja) * | 1994-03-10 | 1995-09-26 | D S Giken:Kk | 搬送装置 |
JPH07335723A (ja) * | 1994-06-08 | 1995-12-22 | Nikon Corp | 位置決め装置 |
JP2008302452A (ja) * | 2007-06-06 | 2008-12-18 | Yaskawa Electric Corp | 液晶搬送ロボットおよびその制御方法 |
JP2008302451A (ja) * | 2007-06-06 | 2008-12-18 | Yaskawa Electric Corp | 液晶搬送ロボットおよびその制御方法 |
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2011
- 2011-06-29 JP JP2011144530A patent/JP2012032805A/ja active Pending
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US9891541B2 (en) | 2012-05-17 | 2018-02-13 | Asml Netherlands B.V. | Thermal conditioning unit, lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10191395B2 (en) | 2012-05-17 | 2019-01-29 | Asml Neatherlands B.V. | Thermal conditioning unit, lithographic apparatus and device manufacturing method |
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