JPH07249671A

JPH07249671A - 搬送装置

Info

Publication number: JPH07249671A
Application number: JP3954494A
Authority: JP
Inventors: Toshiharu Uoshima; 俊治魚島; Toshiharu Teramoto; 俊治寺本
Original assignee: D S GIKEN KK
Current assignee: D S GIKEN KK
Priority date: 1994-03-10
Filing date: 1994-03-10
Publication date: 1995-09-26

Abstract

(57)【要約】【目的】基板を位置合わせした状態でカセット等から
取出可能で、取出等に際してパーティクルの発生がな
く、簡易でスループットの高い搬送装置を提供するこ
と。【構成】ハンド４上の所定位置に対する基板５端部の
ずれの有無を検出するセンサＤＳと、ハンド４をカセッ
ト内に挿入するとともにセンサＤＳの出力に基づいてハ
ンド４上の所定位置に対する基板５端部のずれがなくな
るまでハンド４の位置を調整する制御装置とを備える。
カセット内の基板５とハンド４の相対的位置を調整した
状態でこの基板５をハンド４で保持しカセット外に取り
出す。したがって、何らかの原因でカセット６外へ基板
５の飛び出しが生じている場合にも、基板５の位置ズレ
を補償した状態でカセット６外に搬出できる。なお、ハ
ンド４と基板５が擦れないので基板５搬出に際してパー
ティクル発生の問題がほとんど生じない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示器用ガラス基
板、フォトマスク用ガラス基板等の各種基板の搬送装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体基板、液晶表示器用ガラス基板等
の微細表面処理等のため、各種の処理装置が用いられて
いるが、このような処理装置では、自動搬送装置を用い
て、複数の基板を格納したカセットとプロセスラインと
の間で被処理体である基板を遣り取りしている。

【０００３】しかし、何らかの原因でカセットから基板
が飛び出してしまっている場合や、プロセスライン内で
基板の位置がずれている場合には、このような位置ズレ
によって基板を破損する問題や、カセットや処理部への
収容不良の状態を生じる問題がある。

【０００４】このような不都合を防止するための方法と
して、以下のような従来技術が存在する。

【０００５】第１の従来技術は、発明協会公開技報９３
−８３７６号に記載のように、吸着ハンドであるチャッ
ク部上にブロックを設け、このブロックでカセットから
飛び出した基板をこのカセット内の正規の位置まで押し
込んで位置合わせし、このように位置合わせした状態で
基板を取り出す。

【０００６】第２の従来技術は、特公平５−７３３４７
号に記載のように、カセットから飛び出している基板を
そのままの状態で取り出し、一旦位置合わせ用の載置台
に乗せ換えてここで基板の位置合わせを行い、位置合わ
せした状態の基板を測定部に供給する。

【０００７】第３の従来技術は、発明協会公開技報９３
−１３８４９号に記載のように、吸着ハンドであるツイ
ーザの先端に反射型光センサを設け、この反射型センサ
によって基板の飛び出しの有無を検知し、基板をプロセ
スラインに挿入する際の引っかかり、破損等を未然に防
止する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、第１の従来技
術では、基板の位置合わせはできるが、カセットと基板
が擦れるため、パーティクルが発生し基板が汚染される
おそれがある。

【０００９】また、第２の従来技術では、パーティクル
の発生がほとんどないが、位置合わせ用の追加の装置が
必要となり、スループットが下がり、省スペースの要求
に反し、コストアップとなる。

【００１０】さらに、第３の従来技術では、以上のよう
な問題がほとんど生じないが、破損を未然に検知するの
みで、位置合わせの操作自体はオペレータが行わざるを
得ない。しかも、基板の種類や各処理段階に応じて基板
端部の反射率や加工状態が異なるため、基板の有無の判
断が正確でない。殊に、透明なガラス基板の場合、基板
の飛び出しの有無が検出できない場合も生じ得る。

【００１１】そこで、本発明は、基板の位置ズレに拘ら
ず、基板を位置合わせした状態でカセット等から取出可
能で、取出等に際してパーティクルの発生がなく、簡易
でスループットの高い搬送装置を提供することを目的と
する。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、この発明の請求項１の搬送装置は、基板を保持可能
なハンドと、ハンドに設けられるとともに、ハンド上の
所定位置に対する基板端部のずれの有無を検出するセン
サと、所定の受け渡し場所に置かれた前記基板に向けて
前記ハンドを進出させるとともに、センサの出力に基づ
いて、ハンド上の所定位置に対する基板端部のずれがな
くなるまでハンドの位置を調整する制御装置とを備え
る。

【００１３】また、請求項２の搬送装置は、受け渡し場
所内の基板がガラス基板であり、センサがハンド上の所
定位置の近傍で基板端部に当接して基板とともに変位す
る変位部材を備えることを特徴とする。

【００１４】また、請求項３の搬送装置は、センサが、
ハンド上の所定位置における基板の有無に応じて出力が
切り替わり、制御装置が、ハンドを基板に向けて進出さ
せるに際して比較的高速度で進出を開始させるととも
に、ハンドが基板受け渡し場所の所定部位に達する前に
センサが基板の存在を検知した場合に、ハンドの挿入の
進出を停止し、センサが基板の存在を検知しなくなるま
で、ハンドを前記所定部位から遠ざかる方向に比較的低
速度で後退させることを特徴とする。

【００１５】

【作用】請求項１の搬送装置は、ハンド上の所定位置に
対する基板端部のずれの有無を検出するセンサと、ハン
ドを所定の受け渡し場所に置かれた基板に向けて進出さ
せるとともにセンサの出力に基づいてハンド上の所定位
置に対する基板端部のずれがなくなるまでハンドの位置
を調整する制御装置とを備えるので、受け渡し場所にお
ける基板端部とハンドの所定位置との相対位置、すなわ
ち基板とハンドとの相対的位置を調整した状態でこの基
板をハンドで保持して受け渡し場所から取り出すことが
できる。したがって、何らかの原因で受け渡し場所にお
ける基板の飛び出し等が生じている場合にも、基板の位
置ズレを補償した状態で基板を受け渡し場所から搬出で
きる。この場合、ハンドと基板が擦れないので基板搬出
に際してパーティクル発生の問題がほとんど生じない。
また、ハンドのみの位置調整によって基板の位置ズレを
補償しているので、位置ズレ補償用の特別の装置を必要
とせず、省スペースでスループットの高い搬送装置を提
供することができる。

【００１６】また、請求項２の搬送装置は、受け渡し場
所における基板がガラス基板であり、センサがハンド上
の所定位置の近傍で基板端部に当接して基板とともに変
位する変位部材を備えるので、この変位部材の変位を検
出することにより、ハンド上の所定位置に対する基板端
部のずれの有無を検出することができる。この場合、基
板端面を直接光学的に検出しないので、ガラス基板の各
処理段階に応じて基板端部の反射率や加工状態が異なっ
ている場合であっても、基板の位置ズレを正確に補償し
た状態で受け渡し場所外に搬出できる。

【００１７】また、請求項３の搬送装置は、制御装置
が、ハンドを受け渡し場所に進出させるに際して、ハン
ドが受け渡し場所内の所定部位に達する前にセンサが基
板の存在を検知した場合に、ハンドの進出を停止させ、
センサが基板の存在を検知しなくなるまで、ハンドを前
記所定部位から遠ざかる方向に比較的低速度で後退させ
る。したがって、ハンドを位置合わせの直前まで迅速に
移動させることができるので、基板端部とハンドの所定
位置とを迅速に位置合わせでき、搬送速度を簡易に高め
ることができる。

【００１８】

【実施例】以下、この発明の搬送装置をカセットからガ
ラス基板を順次取り出してプロセスラインに搬送するた
めのローダに応用した実施例について詳細に説明する。

【００１９】図１は、実施例のローダの全体を示す側面
図である。ローダ２から延びる吸着ハンド４は、複数の
液晶表示器用ガラス基板５を収納したカセット６内に進
入し、液晶表示器用ガラス基板５を保持し、これをカセ
ット６外に搬出し、所定のプロセスライン（図示せず）
の最初の処理部に搬入する。プロセスラインとは、複数
の処理部からなる基板処理装置であり、例えば成膜、洗
浄、レジストコーティング、露光、現像、エッチング、
レジスト剥離等の各種の処理工程用の処理部を含む。

【００２０】吸着ハンド４は、ステージ７に設けられた
レール（図示せず）にガイドされていて、ステージ７上
を水平Ｘ方向に往復動する。吸着ハンド４の往復動は、
モータ７ａの回転をベルト７ｂを介して伝達することに
よって制御する。

【００２１】ステージ７は、基台８内に設けられたモー
タ８ａによって軸８ｂを中心としてθ方向に自在に回転
（旋回）する。また、ステージ７は、基台８内に設けら
れた別のモータ８ｃの回転を垂直往復動に変換する伝達
機構８ｄによって軸８ｂごと垂直Ｚ方向に上下動する。
この結果、吸着ハンド４は、円筒座標の任意の点に移動
することができる。吸着ハンド４の位置は、ステッピン
グモータである各モータ７ａ、８ａ、８ｃの制御信号を
カウントすることによって行っている。コントローラ９
は、各モータ７ａ、８ａ、８ｃを駆動しつつその制御信
号をモニタし、吸着ハンド４を所望の位置に制御しつつ
移動させる。

【００２２】図２は、図１のローダ２の吸着ハンド４部
分を拡大した部分破断平面図である。

【００２３】また、図３は図２の − 方向から見た概
念的部分断面図である。さらに、図４は、後述する回転
アーム４４とズレセンサＤＳの配置関係を示した部分拡
大図であり、図５は、ハンド本体１４の側方部分断面図
であって、回転アーム４４とズレセンサＤＳの立体的位
置関係を示す側面図となっている。

【００２４】図２に示されているようにハンド本体１４
（金属製ハウジング）の上面には、液晶表示器用ガラス
基板５（一点鎖線）を吸着する３つの真空チャック２４
が設けられており、図示しない真空装置からの負圧がこ
の真空チャック２４に与えられる。ハンド本体１４の中
央部は中空となっていて、基板有無センサ３４と回転ア
ーム４４とズレセンサＤＳとが内蔵されている。これら
のセンサ３４、ＤＳは、ケース６４内に収納されたセン
サ駆動回路その他の装置によって駆動される。これらの
センサ３４、ＤＳの検出結果は、図１の制御装置９に入
力される。

【００２５】基板有無センサ３４は、液晶表示器用ガラ
ス基板５の存在の有無を補助的に検出するために用いる
もので、発光部３４ａ及び受光部３４ｂを備える。図３
に示すように発光部３４ａからの検査光は、スリット１
４ａをへて液晶表示器用ガラス基板５の下面で通常反射
され、再びスリット１４ａをへて受光部３４ｂに入射す
る。液晶表示器用ガラス基板５が図示の位置にない場
合、受光部３４ｂに検査光が入射しなくなるので、液晶
表示器用ガラス基板５が吸着ハンド４の上方にないこと
を認識できる。この場合、吸着ハンド４は、液晶表示器
用ガラス基板５の搬出動作を行わず、カセット６から迅
速に後退して次の動作にうつる。

【００２６】図２の回転アーム４４は、ベアリングを内
蔵する回転軸４４ａを中心に、水平面内でシーソー様に
往復回転（旋回）する。この旋回の様子が図４に示され
ている。この回転アーム４４の一端には、水平面内で回
転可能にベアリングで軸支された樹脂製のローラ４４ｂ
（好ましくはフッ素樹脂製ローラ）が取り付けられてい
る。図５に示されているようにこのローラ４４ｂは、ハ
ンド本体１４の上面から突出しており、ハンド本体１４
がカセット６中に並ぶ液晶表示器用ガラス基板５の直下
に近接して挿入された場合に、液晶表示器用ガラス基板
５の端部に当接してこの基板５の端部によって図４の右
方向に押圧される。図４に仮想線で示すように、ローラ
４４ｂへのこの押圧力によって回転アーム４４は水平面
内で旋回するが、この旋回につれてローラ４４ｂは回転
軸４４ａを中心にして公転するとともに、基板５の端部
上を相対的に転がるような関係で自転する。すなわち、
液晶表示器用ガラス基板５が図４の一点鎖線の位置にあ
るとき、ローラ４４ｂは図示の位置にあるが、液晶表示
器用ガラス基板５が二点鎖線の位置に移動したとき、ロ
ーラ４４ｂは液晶表示器用ガラス基板５の端部の位置に
応じて変位するとともにそれに応じた角度だけ自転して
いる。

【００２７】ズレセンサ本体５４は、回転アーム４４の
他端の動きを検出するフォトインタラプタ５４ａを備
え、液晶表示器用ガラス基板５の位置ズレを電気的に検
知し、制御装置９に出力する。

【００２８】アーム本体４４ｃは、上下部材とこれらに
挟まれた中間部材からなる断面がコ字状の材料から形成
され、その溝部分にバネ４４ｆを収容している。このア
ーム本体４４ｃの一端に形成されたローラ４４ｂは、ハ
ンド本体１４の上面に形成されている開口４４ｄ（図
４）を介してハンド本体１４上に突出している（図
５）。アーム本体４４ｃの他端に形成された遮光用の板
状のセクタ４４ｅは、ズレセンサ５４のフォトインタラ
プタ５４ａの間に進出したり待避したりする（図５）。
アーム本体４４ｃは、ハンド本体１４側に固定されたピ
ン４４ｆとこれに係止されたバネ４４ｇとよって、図４
の時計方向に向けて付勢されている。ただし、アーム本
体４４ｃは、ストッパ４４ｆによって、実線の位置以上
の時計方向の回転が禁止されている。

【００２９】ここで、ハンド本体１４がカセット６中の
いずれか１つの液晶表示器用ガラス基板５の直下に近接
して挿入された場合を考える。液晶表示器用ガラス基板
５の端面が図４の一点鎖線Ａの位置にあるとき、回転ア
ーム４４は図示実線の位置にあり、フォトインタラプタ
５４ａの出力はオフとなっている。液晶表示器用ガラス
基板５の端面が二点鎖線Ｂの位置にあるとき、回転アー
ム４４’は図示二点鎖線の位置にあり、フォトインタラ
プタ５４ａの出力はオンとなっている。液晶表示器用ガ
ラス基板５がこの間を往復する間、ローラ４４ｂは、液
晶表示器用ガラス基板５の端面に当接して基板とともに
往復動する。この場合、ローラ４４ｂが滑らかに自転す
る樹脂で出来ているので、液晶表示器用ガラス基板５が
図示のように変位しても、パーティクルは発生しない。

【００３０】以下、図１に示すローダ２の動作について
説明する。

【００３１】図６は、ローダ２の吸着ハンド４をカセッ
ト６中の１つの液晶表示器用ガラス基板５直下に他の液
晶表示器用ガラス基板５と擦れないように進入させる場
合における、制御装置９での処理フローを示す。最初の
ステップＳ１で、吸着ハンド４の前進を開始させる。次
のステップＳ２では、ズレセンサＤＳの出力のオン・オ
フを判別する。ズレセンサＤＳがオフ、すなわち液晶表
示器用ガラス基板５の端面が一点鎖線Ａの位置を超えて
いない場合には、次のステップＳ３で、吸着ハンド４が
減速位置に達したか否かを判別する。減速位置とは、液
晶表示器用ガラス基板５がカセット６内に正確に収まっ
ている場合の吸着ハンド４の減速開始位置のことをい
う。減速開始位置に達している場合には、次のステップ
Ｓ４で、吸着ハンド４の進入速度を減速させる。このよ
うな減速段階を設けているのは、吸着ハンド４を迅速に
液晶表示器用ガラス基板５直下に進入させるとともに、
吸着ハンド４の停止時における衝撃を緩和するためであ
る。ステップＳ５では、吸着ハンド４が停止位置に達し
たか否かを判別する。停止位置とは、液晶表示器用ガラ
ス基板５がカセット６内に正確に収まっている場合の吸
着ハンド４の停止予定位置のことをいう。

【００３２】停止位置に達している場合には、次のステ
ップＳ６で、吸着ハンド４を完全に停止させる。ステッ
プＳ７では、再びズレセンサＤＳの出力のオン・オフを
判別する。ズレセンサＤＳがオフ、すなわち液晶表示器
用ガラス基板５の端面が一点鎖線Ａの位置を超えていな
い場合には、吸着ハンド４が適正な位置まで進入して液
晶表示器用ガラス基板５との位置合わせが完了したもの
として、最後のステップＳ８で吸着ハンド４の進入動作
を終了させる。

【００３３】図７（ａ）は、上記のような吸着ハンド４
の動作を示した図である。この場合、液晶表示器用ガラ
ス基板５は、カセット６内の正規の位置に収まってい
る。時刻ｔ１で、ステップＳ３からステップＳ４に進
み、吸着ハンド４の減速を開始する。時刻ｔ３で、ステ
ップＳ５からステップＳ６に進み、吸着ハンド４を停止
させ、吸着ハンド４の位置合わせを終了する（Ｓ８）。

【００３４】再び図６に戻って説明する。ステップＳ７
で、ズレセンサＤＳがオン、すなわちハンド４の進入過
程の途中において液晶表示器用ガラス基板５の端面が一
点鎖線Ａの位置を超えた場合には、液晶表示器用ガラス
基板５がカセット６の正規の位置に収まっておらず、図
１に破線５ａで示すようにカセット６の正規位置から突
出していることになる。このため、このときにはその基
板５の実際の位置を基準にして考えた場合には吸着ハン
ド４がオーバーランしたことになる。したがって、ステ
ップＳ１５に進み、吸着ハンド４をいったん停止させた
後に比較的低速で後退させ始める。ステップＳ１６で
は、再びズレセンサＤＳの出力のオン・オフを判別す
る。ズレセンサＤＳがオフ、すなわち液晶表示器用ガラ
ス基板５の端面が一点鎖線Ａの位置まで戻っている場合
には、吸着ハンド４と液晶表示器用ガラス基板５との位
置合わせが完了したものとして、ステップＳ１７で吸着
ハンド４を停止させ、最後のステップＳ８で吸着ハンド
４の進入動作を終了させる。

【００３５】図７（ｂ）は、上記のような吸着ハンド４
の動作を示した図である。この場合、液晶表示器用ガラ
ス基板５は、既述したようにカセット６内の正規の位置
（受け渡し場所における所定の部位）からわずかに飛び
出している。時刻ｔ１で、ステップＳ３からステップＳ
４に進み、図７（ａ）同様に吸着ハンド４の減速を開始
する。時刻ｔ２で、ズレセンサＤＳがオンとなるが、減
速を続ける。時刻ｔ３、ステップＳ５からステップＳ６
に進み、吸着ハンド４を停止させるが、ズレセンサＤＳ
がオンであるためステップＳ７からステップＳ１５に進
み、吸着ハンド４を後退させ始める。時刻ｔ４で、ズレ
センサＤＳがオフとなるため、ステップＳ１６からステ
ップＳ１７に進み、吸着ハンド４を停止させ、吸着ハン
ド４の位置合わせを終了する（Ｓ８）。

【００３６】再び図６に戻って説明する。ステップＳ２
で、ズレセンサＤＳがオン、すなわち減速開始前に液晶
表示器用ガラス基板５の端面が一点鎖線Ａの位置を超え
ることになった場合には、液晶表示器用ガラス基板５が
カセット６の正規の位置からかなり飛び出しているため
吸着ハンド４がオーバーランしたものとしてステップＳ
１０に進み、正規の減速開始位置に至る前に吸着ハンド
４を減速させ始める。吸着ハンド４が減速開始後所定距
離だけ進んだ場合には、ステップＳ１０からステップＳ
１１に進み、吸着ハンド４を停止させる。吸着ハンド４
の停止後、ステップＳ１１からステップＳ１５に進み、
吸着ハンド４を比較的低速で後退させ始める。以下は既
述した図７（ａ）（ｂ）の場合と同様であり、その詳細
は省略する。

【００３７】図７（ｃ）は、上記のような吸着ハンド４
の動作を示した図である。この場合、液晶表示器用ガラ
ス基板５は、カセット６内の正規の位置からかなり飛び
出している。時刻ｔ０で、ズレセンサＤＳがオンとなる
ことから、ステップＳ２からステップＳ１０に進み、吸
着ハンド４の減速を開始する。時刻ｔ２’で、ステップ
Ｓ１０からステップＳ１１に進み、吸着ハンド４を停止
させて、さらにステップＳ１５に進み、吸着ハンド４を
後退させ始める。時刻ｔ５で、ズレセンサＤＳがオフと
なるため、ステップＳ１６からステップＳ１７に進み、
吸着ハンド４を停止させ、吸着ハンド４の位置合わせを
終了する（Ｓ８）。

【００３８】以上のような位置合わせの終了後、吸着ハ
ンド４を若干上昇させ、液晶表示器用ガラス基板５を下
方から支持しつつ真空チャックする。その後、吸着ハン
ド４を後退させて液晶表示器用ガラス基板５をカセット
６から取り出し、プロセスラインに投入する。

【００３９】以上、実施例に即して本発明を説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではない。例
えば、実施例では液晶表示器用ガラス基板５を保持する
ために吸着ハンド４を用いたが、この代わりに機械的機
構によって動作するチャックその他の各種の保持機構を
用いたハンドを用い、このハンドに回転アーム４４やズ
レセンサＤＳを取り付けることもできる。

【００４０】また、上記実施例では、カセット６から液
晶表示器用ガラス基板５を取り出す場合について説明し
たが、プロセスラインの終端の処理部から液晶表示器用
ガラス基板５を取り出してカセット６に収納する場合に
も、実施例のローダ２をアンローダとして用いることが
できる。この場合、プロセスラインの終端の処理部の基
板受け渡し場所で液晶表示器用ガラス基板５が正規の位
置に収まっていなくても、吸着ハンド４と液晶表示器用
ガラス基板５とを位置合わせして、処理済基板収容のた
めのカセット内に適宜収納することができる。さらに、
プロセスラインを構成する各処理部間で液晶表示器用ガ
ラス基板５を遣り取りする場合にも、実施例のようなロ
ーダ２を使用することができる。

【００４１】また、上記実施例では、液晶表示器用ガラ
ス基板５の搬送について説明したが、液晶表示器用ガラ
ス基板５以外の各種基板の搬送にも実施例のローダ２と
同一または類似の構成を用いることができる。例えば、
プラズマディスプレィ用ガラス基板の搬送、半導体製造
用のクロームマスクの搬送、半導体ウエハの搬送、プリ
ント配線基板の搬送等に実施例のローダ２を用いること
ができる。ただし、検査光に対して透過率の高いガラ
ス、透明樹脂等の基板の搬送に適用する場合、光学的な
検出では、端面の乱反射や処理工程毎に反射率が変動す
ることに起因して検出精度が低下・劣化するが、実施例
の回転アーム４４のように機械的機構による検出では、
検出精度が変動しない。

【００４２】液晶表示器用ガラス基板５のように方形の
基板の搬送の場合、搬送装置側の基板端面端面のいずれ
かの位置を検出すれば足るが、円形の基板の場合、端面
の検出位置によって回転アーム４４の変位量が変わるの
で、このような基板についてはこの発明は横方向の位置
ズレが生じない場合に好適となる。

【００４３】また、上記実施例では、単一の回転アーム
４４やズレセンサＤＳで基板の位置ズレを検出している
が、複数の回転アーム４４やズレセンサＤＳを設けて基
板の位置ズレを検出することができる。液晶表示器用ガ
ラス基板５のように方形（矩形）の基板では、基板の微
少な回転も検出して位置合わせすることができ、半導体
ウエハのようにオリエンテーションフラットがある基板
では、ひとつのセンサが基板の端面を検出していなくて
も他のセンサが検出していれば基板の端面がハンドの所
定位置に至っていると判断させることによって、誤動作
を防止できる。

【００４４】また、上記実施例では、基板の端面の位置
を検出するため、基板端面に当接する回転アーム４４を
用いているが、各種の往復機構を用い基板端面に当接さ
せつつ移動させて、基板の位置ズレを検出させることが
できる。ただし、実施例のようにシーソー様の回転アー
ム４４を用いた場合、回転アーム４４を基板端面の変位
に応じて滑らかに回転させることができるので、位置ズ
レの調整精度を高めることができ、また基板端面の変位
を拡大することもできる。

【００４５】また、回転アーム４４の回転軸の方向は任
意であるが、実施例のように水平面内の回転ではなくた
とえば垂直面内で回転できるようにすることもできる
が、前者の場合には吸着ハンド４を厚くする必要がない
ため、カセットなど複数の基板が収容されている容器か
ら基板を取り出す場合などに好適である。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、この発明の請求項
１の搬送装置は、ハンドを受け渡し場所に進出させると
ともにセンサの出力に基づいてハンド上の所定位置に対
する基板端部のずれがなくなるまでハンドの位置を調整
する制御装置を備えるので、基板とハンドの相対的位置
を調整した状態でこの基板をハンドで保持し受け渡し場
所から取り出すことができる。したがって、受け渡し場
所における基板の飛び出し等が生じている場合にも、基
板の位置ズレを補償した状態で受け渡し場所外に搬出で
きる。この場合、ハンドと基板が擦れないので基板搬出
に際してパーティクル発生の問題がほとんど生じない。
また、ハンドのみの位置調整によって基板の位置ズレを
補償しているので、位置ズレ補償用の特別の装置を必要
とせず、小スペースでスループットの高い搬送装置を提
供することができる。

【００４７】また、請求項２の搬送装置は、受け渡し場
所における基板がガラス基板であり、センサがハンド上
の所定位置の近傍で基板端部に当接して基板とともに変
位する変位部材を備えるので、この変位部材の変位を検
出することにより、ハンド上の所定位置に対する基板端
部のずれの有無を検出することができる。この場合、基
板端面を直接光学的に検出しないので、ガラス基板の各
処理段階に応じて基板端部の反射率や加工状態が異なっ
ている場合であっても、基板の位置ズレを正確に補償し
た状態で受け渡し場所外に搬出できる。

【００４８】また、請求項３の搬送装置は、制御装置
が、ハンドを受け渡し場所に進出させるに際して、ハン
ドが受け渡し場所内の所定部位に達する前にセンサが基
板の存在を検知した場合にハンドの進出を停止させ、セ
ンサが基板の存在を検知しなくなるまでハンドを受け渡
し場所の外側に比較的低速度で後退させる。したがっ
て、ハンドを位置合わせの直前まで迅速に移動させるこ
とができるので、基板端部とハンドの所定位置とを迅速
に位置合わせでき、搬送速度を簡易に高めることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の搬送装置の構成を示した図である。

【図２】図１の搬送装置の吸着ハンドの平面図である。

【図３】図２のIII−III方向から見た概念的部分断面図
である。

【図４】図２の吸着ハンドの要部である回転アームの拡
大平面図である。

【図５】図４の回転アームの側方断面図である。

【図６】図１の搬送装置の動作説明するフローチャート
である。

【図７】図１の搬送装置の動作説明するタイミングチャ
ートである。

【符号の説明】

２搬送装置４吸着ハンド５液晶表示器用ガラス基板６カセット（受け渡し場所）９制御装置４４回転アーム（変位部材）ＤＳズレセンサ

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【手続補正書】

【提出日】平成６年４月１９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２３】また、図３は図２のIII−III方向から見た
概念的部分断面図である。さらに、図４は、後述する回
転アーム４４とズレセンサＤＳの配置関係を示した部分
拡大図であり、図５は、ハンド本体１４の側方部分断面
図であって、回転アーム４４とズレセンサＤＳの立体的
位置関係を示す側面図となっている。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２８】アーム本体４４ｃは、上下部材とこれらに
挟まれた中間部材からなる断面がコ字状の材料から形成
され、その溝部分にバネ４４ｆを収容している。このア
ーム本体４４ｃの一端に形成されたローラ４４ｂは、ハ
ンド本体１４の上面に形成されている開口４４ｄ（図
４）を介してハンド本体１４上に突出している（図
５）。アーム本体４４ｃの他端に形成された遮光用の板
状のセクタ４４ｅは、ズレセンサ５４のフォトインタラ
プタ５４ａの間に進出したり待避したりする（図５）。
アーム本体４４ｃは、ハンド本体１４側に固定されたピ
ン４４ｆとこれに係止されたバネ４４ｇとによって、図
４の時計方向に向けて付勢されている。ただし、アーム
本体４４ｃは、ストッパ４４ｆによって、実線の位置以
上の時計方向の回転が禁止されている。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、この発明の請求項
１の搬送装置は、ハンドを受け渡し場所に進出させると
ともにセンサの出力に基づいてハンド上の所定位置に対
する基板端部のずれがなくなるまでハンドの位置を調整
する制御装置を備えるので、基板とハンドの相対的位置
を調整した状態でこの基板をハンドで保持し受け渡し場
所から取り出すことができる。したがって、受け渡し場
所における基板の飛び出し等が生じている場合にも、基
板の位置ズレを補償した状態で受け渡し場所外に搬出で
きる。この場合、ハンドと基板が擦れないので基板搬出
に際してパーティクル発生の問題がほとんど生じない。
また、ハンドのみの位置調整によって基板の位置ズレを
補償しているので、位置ズレ補償用の特別の装置を必要
とせず、省スペースでスループットの高い搬送装置を提
供することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ０１Ｂ 11/00 Ａ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板を保持可能なハンドと、前記ハンドに設けられるとともに、当該ハンド上の所定
位置に対する基板端部のずれの有無を検出するセンサ
と、所定の受け渡し場所に置かれた前記基板に向けて前記ハ
ンドを進出させるとともに、前記センサの出力に基づい
て、前記ハンド上の前記所定位置に対する基板端部のず
れがなくなるまで前記ハンドの位置を調整する制御装置
と、を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】前記受け渡し場所内の基板は、ガラス基
板であり、前記センサは、前記ハンド上の前記所定位置
の近傍で基板端部に当接して基板とともに変位する変位
部材を備えることを特徴とする請求項１記載の搬送装
置。
【請求項３】前記センサは、前記ハンド上の前記所定
位置における基板の有無に応じて出力が切り替わり、前
記制御装置は、前記ハンドを前記基板に向けて進出させ
るに際して比較的高速度で進出を開始させるとともに、
前記ハンドが前記受け渡し場所の所定部位に達する前に
前記センサが基板の存在を検知した場合に、前記ハンド
の進出を停止させ、前記センサが基板の存在を検知しな
くなるまで、前記ハンドを前記所定部位から遠ざかる方
向に比較的低速度で後退させることを特徴とする請求項
１記載の搬送装置。