JP2011146593A - ダイシング装置 - Google Patents
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Abstract
スピンドルの軸と顕微鏡の距離が熱により変化することを防止し、基準線と実際の切断位置との誤差を小さくすることができる。
【解決手段】
Y軸ベース46の取付面46aには、ブレード用Y軸テーブル42A、42B及びブレード用Z軸テーブル40A、40Bを介して、先端にブレード28A、28Bが設けられたスピンドル28A、28BがY方向及びZ方向にスライド自在に設けられる。また、Y軸ベース46の取付面46aには、カメラ用Y軸テーブル56及びカメラ用Z軸テーブル52を介してカメラユニット50がY方向及びZ方向にスライド自在に設けられる。そのため、熱膨張等により基準線と切断位置とがズレることを防止することができる。
【選択図】図2
Description
Claims (3)
- 第1の方向に移動可能に配設されたワークテーブルと、
スピンドルと、前記スピンドルの先端に取り付けられたブレードとを有し、前記ワークテーブルに載置されたワークを予め設定された加工条件にしたがって切削する切削手段と、
前記ワークテーブルに載置されたワークの一部を顕微鏡で拡大して撮影する撮影手段であって、光軸が前記第1の方向と直交する第2の方向と平行となるように配設された撮影手段と、
を備え、
前記スピンドルの軸と、前記撮影手段の光軸とは、前記第1の方向及び前記第2の方向に直交する第3の方向から見て前記第2の方向に沿って略一直線状に並ぶように配設されたことを特徴とするダイシング装置。 - 前記切削手段及び前記撮影手段が前記第2の方向と平行な所定の平面に取り付けられる支持部材と、
前記切削手段を前記所定の平面に取り付ける第1の取付手段であって、前記第2の方向と前記第3の方向に移動自在に取り付ける第1の取付手段と、
前記撮影手段を前記所定の平面に取り付ける第2の取付手段であって、前記第3の方向に移動自在に取り付ける第2の取付手段と、
を備えたことを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。 - 前記第2の取付手段は、前記撮影手段を前記第2の方向に移動自在に取り付けることを特徴とする請求項1又は2に記載のダイシング装置。
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