JP2011054619A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】着脱可能な記録媒体が誤って取り外されないよう、使用者の注意を喚起するとともに、記録媒体を取り外すことができるか否かの確認を操作画面上で行うことのできる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理に関する情報を操作する操作画面の表示を制御する制御手段と、着脱可能な外部記憶装置に前記情報を出力する出力手段とを有する基板処理装置であって、前記制御手段は、前記外部記憶装置が装着されている場合、装着された外部記憶装置を取り外すためのボタンが押下可能な場所に配置されるよう制御し、前記外部記憶装置が装着されていない場合、前記ボタンが押下されないよう制御する基板処理装置である。
【選択図】図３
【解決手段】基板処理に関する情報を操作する操作画面の表示を制御する制御手段と、着脱可能な外部記憶装置に前記情報を出力する出力手段とを有する基板処理装置であって、前記制御手段は、前記外部記憶装置が装着されている場合、装着された外部記憶装置を取り外すためのボタンが押下可能な場所に配置されるよう制御し、前記外部記憶装置が装着されていない場合、前記ボタンが押下されないよう制御する基板処理装置である。
【選択図】図３
Description
本発明は、半導体基板やガラス基板等の基板を処理する基板処理装置に関する。
従来、半導体製造装置等の基板処理装置における外部記憶媒体として、フロッピーディスク（登録商標）等が用いられている。しかしながら、フロッピーディスクは、データを持ち運ぶには便利だが、大量のデータを持ち運ぶことは困難であった。したがって、フロッピーディスクに格納された限られた量のデータに基づいて、十分なデータ解析を行うのは困難であり、十分なデータ解析を行うために必要な量のデータをフロッピーディスクによって持ち運ぶには時間がかかっていた。
近年、ＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ Ｓｅｒｉａｌ Ｂｕｓ）フラッシュメモリが基板処理装置の外部記憶媒体として使用されるようになり、ＵＳＢフラッシュメモリをはじめとする外部記憶媒体の容量が増大し、大量のデータを持ち運ぶことができるようになった。
基板処理装置において生成される情報が、基板処理装置に挿入されたＵＳＢフラッシュメモリに出力される。この場合、基板処理装置内では、キャッシュメモリを介した遅延書込みが行われるため、書込み中にＵＳＢフラッシュメモリを取り外すと、ＵＳＢフラッシュメモリに格納されたデータの破壊などを引き起こす可能性がある。しかも、遅延書込みのタイミングは、基板処理装置内の状況（例えば、どのようなタスクが実行されているか）によって異なる。一般的なパソコンであれば、Ｗｉｎｄｏｗｓ（登録商標）のタスクバーに表示されるアイコンから、「ハードウエアの安全な取り外し」を行い、書込み途中ではないことを確認することができる。しかしながら、基板処理装置の操作画面上には、情報（データ）の書込み状況を確認する機能が表示されない。よって、情報の書込みが途中であるにもかかわらず、フロッピーディスクと同様に取り扱うことにより、誤ってＵＳＢフラッシュメモリが取り外されてしまうおそれがある。
近年、ＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ Ｓｅｒｉａｌ Ｂｕｓ）フラッシュメモリが基板処理装置の外部記憶媒体として使用されるようになり、ＵＳＢフラッシュメモリをはじめとする外部記憶媒体の容量が増大し、大量のデータを持ち運ぶことができるようになった。
基板処理装置において生成される情報が、基板処理装置に挿入されたＵＳＢフラッシュメモリに出力される。この場合、基板処理装置内では、キャッシュメモリを介した遅延書込みが行われるため、書込み中にＵＳＢフラッシュメモリを取り外すと、ＵＳＢフラッシュメモリに格納されたデータの破壊などを引き起こす可能性がある。しかも、遅延書込みのタイミングは、基板処理装置内の状況（例えば、どのようなタスクが実行されているか）によって異なる。一般的なパソコンであれば、Ｗｉｎｄｏｗｓ（登録商標）のタスクバーに表示されるアイコンから、「ハードウエアの安全な取り外し」を行い、書込み途中ではないことを確認することができる。しかしながら、基板処理装置の操作画面上には、情報（データ）の書込み状況を確認する機能が表示されない。よって、情報の書込みが途中であるにもかかわらず、フロッピーディスクと同様に取り扱うことにより、誤ってＵＳＢフラッシュメモリが取り外されてしまうおそれがある。
本発明は、上述した背景からなされたものであり、着脱可能な記録媒体が誤って取り外されないよう、使用者の注意を喚起するとともに、記録媒体を取り外すことができるか否かの確認を操作画面上で行うことのできる基板処理装置を提供する。
上記目的を達成するために、本発明に係る基板処理装置は、基板処理に関する情報を操作する操作画面の表示を制御する制御手段と、着脱可能な外部記憶装置に前記情報を出力する出力手段とを有し、前記制御手段は、前記外部記憶装置が装着されている場合、装着された外部記憶装置を取り外すためのボタンが押下可能な場所に配置されるよう制御し、前記外部記憶装置が装着されていない場合、前記ボタンが押下されないよう制御する。
本発明に係る基板処理装置によれば、着脱可能な記録媒体が主制御部に挿入されていることが操作画面上で確認できる。また、この記録媒体が挿入されていることを表示するボタン（取外しボタン）により、操作画面上で記録媒体を取り外す際の安全確認を行うことができる。これにより、記録媒体に格納されたデータに影響を与えることなく、記録媒体を安全に取り外すことができる。
以下、本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。
図１Ａには、基板処理装置１０が斜視図を用いて示されている。また、図１Ｂには、基板処理装置１０が側面透視図を用いて示されている。
基板処理装置１０は、基板として用いられるシリコン等からなるウエハ２００を処理する。
図１Ａには、基板処理装置１０が斜視図を用いて示されている。また、図１Ｂには、基板処理装置１０が側面透視図を用いて示されている。
基板処理装置１０は、基板として用いられるシリコン等からなるウエハ２００を処理する。
図１Ａ及び図１Ｂに示されているように、基板処理装置１０では、ウエハ２００を収納したウエハキャリアとして用いられるフープ（基板収容器。以下ポッドという）１１０が使用されている。また、基板処理装置１０は、基板処理装置本体１１１を備えている。
基板処理装置本体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部として用いられる正面メンテナンス口１０３が開設され、正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４がそれぞれ建て付けられている。尚、図示しないが、上側の正面メンテナンス扉１０４近傍に副操作部としての副操作装置５０が設置される。主操作部としての主操作装置１６は、背面側のメンテナンス扉近傍に配置される。
基板処理装置本体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が基板処理装置本体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。
ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。
基板処理装置本体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
基板処理装置本体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。
基板処理装置本体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａ及びウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図２に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは耐圧基板処理装置本体１１１右側端部とサブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成されている。
移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。
図１Ａに模式的に示されているように、耐圧基板処理装置本体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
また、図１Ａに模式的に示されているように移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置が設置されている。
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置及びウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、基板処理装置本体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。
次に、本発明の基板処理装置１０の動作について説明する。
図１Ａ及び図１Ｂに示されているように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって基板処理装置本体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
図１Ａ及び図１Ｂに示されているように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって基板処理装置本体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、基板処理装置本体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。
ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハをボート２１７に装填する。
ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハをボート２１７に装填する。
この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって、開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７はシールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されていく。
ローディング後は、処理炉２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施される。
処理後は、図示しないノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００及びポッド１１０は筐体の外部へ払い出される。
処理後は、図示しないノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００及びポッド１１０は筐体の外部へ払い出される。
次に、図１Ｃを参照して、基板処理装置１０における主コントローラ１４を中心としたハードウエア構成について説明する。
図１Ｃに示されるように、基板処理装置１０の基板処理装置本体１１１内に、主コントローラ１４、スイッチングハブ１５とあわせて、搬送制御部２３０と、プロセス制御部２３２とが設けられている。搬送制御部２３０とプロセス制御部２３２とは、基板処理装置本体１１１内に設けることに替えて、基板処理装置本体１１１外に設けてもよい。
図１Ｃに示されるように、基板処理装置１０の基板処理装置本体１１１内に、主コントローラ１４、スイッチングハブ１５とあわせて、搬送制御部２３０と、プロセス制御部２３２とが設けられている。搬送制御部２３０とプロセス制御部２３２とは、基板処理装置本体１１１内に設けることに替えて、基板処理装置本体１１１外に設けてもよい。
主制御部としての主コントローラ１４は、主操作部としての主操作装置１６と、例えば、ビデオケーブル２０を用いて接続されている。なお、主コントローラ１４と主操作装置１６とをビデオケーブル２０を用いて接続することに替えて、通信ネットワーク４０を介して、主コントローラ１４と主操作装置１６とを接続してもよい。
また、主コントローラ１４は、図示しない外部操作装置と、例えば、通信ネットワーク４０を介して接続される。このため、外部操作装置は、基板処理装置１０から離間した位置に配置することが可能である。例えば、基板処理装置１０がクリーンルーム内に設置されている場合であっても、外部操作装置はクリーンルーム外の事務所等に配置することが可能である。
主コントローラ１４には、Ｗｉｎｄｏｗｓ２００３ＳｅｒｖｅｒなどのＵＳＢポートに対応するＯＳがインストールされており、ＵＳＢポートに対応する外部記憶装置（例えば、ＵＳＢフラッシュメモリ）を基板処理装置１０に挿入できる。
また、主コントローラ１４は、図示しない外部操作装置と、例えば、通信ネットワーク４０を介して接続される。このため、外部操作装置は、基板処理装置１０から離間した位置に配置することが可能である。例えば、基板処理装置１０がクリーンルーム内に設置されている場合であっても、外部操作装置はクリーンルーム外の事務所等に配置することが可能である。
主コントローラ１４には、Ｗｉｎｄｏｗｓ２００３ＳｅｒｖｅｒなどのＵＳＢポートに対応するＯＳがインストールされており、ＵＳＢポートに対応する外部記憶装置（例えば、ＵＳＢフラッシュメモリ）を基板処理装置１０に挿入できる。
主操作装置１６は、基板処理装置１０（もしくは処理炉２０２及び基板処理装置本体１１１）近傍に配置されている。主操作装置１６は、この実施形態のように基板処理装置本体１１１に装着するようにして、基板処理装置１０と一体として固定する。
ここで、主操作装置１６が、基板処理装置１０（もしくは処理炉２０２及び基板処理装置本体１１１）近傍に配置されているとは、基板処理装置１０の状態を操作者が確認できる位置に主操作装置１６が配置されていることをいう。例えば、基板処理装置本体１１１が設置されているクリーンルーム内に設置される。
主操作装置１６は主表示装置１８を有する。主表示装置１８は、例えば、液晶表示パネルであり、主表示装置１８には、基板処理装置１０を操作するための操作画面などが表示される。操作画面を介して、基板処理装置１０内で生成される情報を表示させ、表示された情報を、基板処理装置１０に挿入されたＵＳＢフラッシュメモリなどに出力させることができる。
ここで、主操作装置１６が、基板処理装置１０（もしくは処理炉２０２及び基板処理装置本体１１１）近傍に配置されているとは、基板処理装置１０の状態を操作者が確認できる位置に主操作装置１６が配置されていることをいう。例えば、基板処理装置本体１１１が設置されているクリーンルーム内に設置される。
主操作装置１６は主表示装置１８を有する。主表示装置１８は、例えば、液晶表示パネルであり、主表示装置１８には、基板処理装置１０を操作するための操作画面などが表示される。操作画面を介して、基板処理装置１０内で生成される情報を表示させ、表示された情報を、基板処理装置１０に挿入されたＵＳＢフラッシュメモリなどに出力させることができる。
副操作装置５０は副表示装置５２を有する。主表示装置１８と同様、副表示装置５２は、例えば、液晶表示パネルであり、副表示装置５２には、基板処理装置１０を操作するための操作画面などが表示される。副表示装置５２で表示される操作画面は、主表示装置１８で表示される操作画面と同様の機能を有する。したがって、基板処理装置１０内で生成される情報が表示され、この情報を、基板処理装置１０に挿入されたＵＳＢフラッシュメモリなどに出力させることができる。
搬送制御部２３０は、例えばＣＰＵ等からなる搬送系コントローラ２３４を有し、プロセス制御部２３２は、例えばＣＰＵ等からなるプロセス系コントローラ２３６を有する。搬送系コントローラ２３４とプロセス系コントローラ２３６とは、スイッチングハブ１５を介して、主コントローラ１４にそれぞれ接続されている。
また、主コントローラ１４には、外部記憶装置としての記録媒体であるＵＳＢフラッシュメモリ等の装着及び取外しを行う着脱部としてのポート１３が設けられている。
また、主コントローラ１４には、外部記憶装置としての記録媒体であるＵＳＢフラッシュメモリ等の装着及び取外しを行う着脱部としてのポート１３が設けられている。
また、図１Ｃに示されるように、主操作装置１６内には、主表示装置１８の表示を制御するため等に用いられる主表示制御部２４０が設けられている。主表示制御部２４０は、例えば、ビデオケーブル２０を用いて、主コントローラ１４に接続されている。
また、図１Ｃに示されるように、副操作装置５０内には、副表示装置５２の表示を制御するため等に用いられる副表示制御部２４２が設けられている。なお、副表示制御部２４２は、図示された形態に限らず、通信ネットワーク４０を介して、主コントローラ１４に接続されてもよい。
図２は、主表示装置１８及び副表示装置５２に最初に表示される操作画面の例である。
ここで、操作画面は、タイトルパネル６１と、インフォメーションパネル６２と、ナビゲーションパネル６３と、図示しないコマンドパネルとにより構成される。
タイトルパネル６１は、操作画面の最上部にあり、インフォメーションパネル６２及び図示しないコマンドパネルの上部の領域にあたる。タイトルパネル６１は常時表示され、例えば、オンライン通信されている場合、上位コントローラとの通信状況、日付、時刻、ログインボタン、ログアウトボタン及びエラーメッセージを表示する。なお、操作効率を向上させるため、これら以外の項目を任意に表示させることも可能である。
インフォメーションパネル６２には、各機能領域に一つ又は複数の情報又はグラフィック画面が表示される。インフォメーションパネル６２には、必要な制御又はモニタを行うために、グラフィックその他のディスプレイオブジェクトが配置される。なお、機能領域内のインフォメーションパネル６２において、適宜、複数の情報を一度に表示させることも可能である。
ここで、操作画面は、タイトルパネル６１と、インフォメーションパネル６２と、ナビゲーションパネル６３と、図示しないコマンドパネルとにより構成される。
タイトルパネル６１は、操作画面の最上部にあり、インフォメーションパネル６２及び図示しないコマンドパネルの上部の領域にあたる。タイトルパネル６１は常時表示され、例えば、オンライン通信されている場合、上位コントローラとの通信状況、日付、時刻、ログインボタン、ログアウトボタン及びエラーメッセージを表示する。なお、操作効率を向上させるため、これら以外の項目を任意に表示させることも可能である。
インフォメーションパネル６２には、各機能領域に一つ又は複数の情報又はグラフィック画面が表示される。インフォメーションパネル６２には、必要な制御又はモニタを行うために、グラフィックその他のディスプレイオブジェクトが配置される。なお、機能領域内のインフォメーションパネル６２において、適宜、複数の情報を一度に表示させることも可能である。
ナビゲーションパネル６３は、操作画面の最下部に各種ナビゲーションボタンが配置される領域にあたる。ナビゲーションボタンには文字ラベルが貼り付けられ、その機能を画像（アイコン）として表示することもできる。警告や注意を通知する際に、画面上にダイアログボックスが表示される場合、ダイアログボックスは、ナビゲーションパネル６３に重ならないよう表示される。さらに、使用者がすぐに操作して各種情報にアクセスすることが可能になっている。また、ナビゲーションパネル６３には、装置の安全のための操作を確実に実施するための情報にアクセスするボタンが配置される。例えば、発生したアラーム、警告及び現時点で取得済みのイベントログを確認し、アラーム及び警告を解除するための情報にアクセスするためのアラームボタンが配置される。
なお、ナビゲーションパネル６３において破線で表示されるボタンは、押下できない状態（無効）であることを意味する。操作画面の内容及び使用者の動作などに応じて、各ボタンは、無効となったり、有効となったりする。例えば、使用者が基板処理装置１０にＵＳＢフラッシュメモリを挿入した場合、デバイスを取り外すための確認を行うための確認部としての取外しボタン６５は有効になり、使用者が基板処理装置１０からＵＳＢフラッシュメモリを取り出した場合、取外しボタン６５は無効になる。ナビゲーションパネル６３に取外しボタン６５を設けることにより、この取外しボタン６５を確実に押下するよう作業者に促すことができる。したがって、特にＵＳＢフラッシュメモリでは、データの破損や主コントローラ１４のＯＳへの影響を回避することができる。
なお、ナビゲーションパネル６３において破線で表示されるボタンは、押下できない状態（無効）であることを意味する。操作画面の内容及び使用者の動作などに応じて、各ボタンは、無効となったり、有効となったりする。例えば、使用者が基板処理装置１０にＵＳＢフラッシュメモリを挿入した場合、デバイスを取り外すための確認を行うための確認部としての取外しボタン６５は有効になり、使用者が基板処理装置１０からＵＳＢフラッシュメモリを取り出した場合、取外しボタン６５は無効になる。ナビゲーションパネル６３に取外しボタン６５を設けることにより、この取外しボタン６５を確実に押下するよう作業者に促すことができる。したがって、特にＵＳＢフラッシュメモリでは、データの破損や主コントローラ１４のＯＳへの影響を回避することができる。
以上説明したように、本願発明の実施形態は、ナビゲーションパネル６３にポート１３に取り付けられたデバイスを取外しする際に確認を行う確認部としての取外しボタン６５を設けた点に特徴がある。ここで、デバイスとは、ＵＳＢフラッシュメモリ等の外部記憶媒体だけではなく、プリンタなどの出力手段及びキーボードやマウスなどの入力手段なども含む総称である。
図３は、主コントローラ１４で実行されるイベント処理（Ｓ１０）を示すフローチャートである。ここで、イベントとは、デバイスの状態が変化することであり、具体的には、デバイスがポート１３に挿入されたこと又は取り外されたことである。
イベント処理は、デバイスの状態変化にともない、主コントローラ１４にＷＭ＿ＤＥＶＩＣＥＣＨＡＮＧＥメッセージが送信されたことをトリガとして開始される。なお、ＷＭ＿ＤＥＶＩＣＥＣＨＡＮＧＥメッセージとは、Ｗｉｎｄｏｗｓ実行環境において、新しいデバイスが追加され利用可能になった場合や、デバイスが取り外された場合に送信され、デバイスの変更を示すために関連付けられたイベント及び変更に関する詳細情報を含むデータ構造体である。
ＷＭ＿ＤＥＶＩＣＥＣＨＡＮＧＥメッセージの送信をイベント処理のトリガとすることにより、タイマなどによってイベントを常に監視する場合に比べ、主コントローラ１４にかかる負荷が少なくなる。
イベント処理は、デバイスの状態変化にともない、主コントローラ１４にＷＭ＿ＤＥＶＩＣＥＣＨＡＮＧＥメッセージが送信されたことをトリガとして開始される。なお、ＷＭ＿ＤＥＶＩＣＥＣＨＡＮＧＥメッセージとは、Ｗｉｎｄｏｗｓ実行環境において、新しいデバイスが追加され利用可能になった場合や、デバイスが取り外された場合に送信され、デバイスの変更を示すために関連付けられたイベント及び変更に関する詳細情報を含むデータ構造体である。
ＷＭ＿ＤＥＶＩＣＥＣＨＡＮＧＥメッセージの送信をイベント処理のトリガとすることにより、タイマなどによってイベントを常に監視する場合に比べ、主コントローラ１４にかかる負荷が少なくなる。
図３に示すように、ステップ１００（Ｓ１００）において、送信されたＷＭ＿ＤＥＶＩＣＥＣＨＡＮＧＥメッセージから、新しいデバイスを追加するイベントが発生したか否かを判定する。デバイス追加イベントが発生した場合、ステップ１０２の処理に進み、そうでない場合、ステップ１０４の処理に進む。
ステップ１０２（Ｓ１０２）において、追加されたデバイスが論理ドライブか否かを判定する。追加されたデバイスが論理ドライブの場合、ステップ１０６の処理に進み、そうでない場合、処理を終了する。
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、送信されたＷＭ＿ＤＥＶＩＣＥＣＨＡＮＧＥメッセージから、デバイスを取り外すイベントが発生したか否かを判定する。デバイス取外しイベントが発生した場合、ステップ１０８の処理に進み、そうでない場合、処理を終了する。
ステップ１０２（Ｓ１０２）において、追加されたデバイスが論理ドライブか否かを判定する。追加されたデバイスが論理ドライブの場合、ステップ１０６の処理に進み、そうでない場合、処理を終了する。
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、送信されたＷＭ＿ＤＥＶＩＣＥＣＨＡＮＧＥメッセージから、デバイスを取り外すイベントが発生したか否かを判定する。デバイス取外しイベントが発生した場合、ステップ１０８の処理に進み、そうでない場合、処理を終了する。
ステップ１０６（Ｓ１０６）において、追加されたデバイスが着脱可能（リムーバブル）か否かを判定する。追加されたデバイスがリムーバブルである場合、ステップ１１２の処理に進み、そうでない場合、処理を終了する。
ステップ１０８（Ｓ１０８）において、ステップ１０２と同じ処理が行われ、ステップ１１０（Ｓ１１０）において、取り外されたデバイスがリムーバブルか否かを判定する。取り外されたデバイスがリムーバブルである場合、ステップ１１８の処理に進み、そうでない場合、処理を終了する。
ステップ１１２（Ｓ１１２）において、取外しボタンを有効にして、主表示装置１８及び副表示装置５２の操作画面が表示され、ステップ１１４の処理に進む。
ステップ１０８（Ｓ１０８）において、ステップ１０２と同じ処理が行われ、ステップ１１０（Ｓ１１０）において、取り外されたデバイスがリムーバブルか否かを判定する。取り外されたデバイスがリムーバブルである場合、ステップ１１８の処理に進み、そうでない場合、処理を終了する。
ステップ１１２（Ｓ１１２）において、取外しボタンを有効にして、主表示装置１８及び副表示装置５２の操作画面が表示され、ステップ１１４の処理に進む。
ステップ１１４（Ｓ１１４）において、取外しボタンが押下されたことを示すフラグ（取外しボタン押下フラグ）をオフにする。
ステップ１１６（Ｓ１１６）において、デバイスが挿入されていることを示すフラグ（デバイス挿入フラグ）をオンにする。
ステップ１１８（Ｓ１１８）において、取外しボタンを無効にして、主表示装置１８及び副表示装置５２の操作画面が表示され、ステップ１２０の処理に進む。
ステップ１１６（Ｓ１１６）において、デバイスが挿入されていることを示すフラグ（デバイス挿入フラグ）をオンにする。
ステップ１１８（Ｓ１１８）において、取外しボタンを無効にして、主表示装置１８及び副表示装置５２の操作画面が表示され、ステップ１２０の処理に進む。
ステップ１２０（Ｓ１２０）において、デバイス取外しイベントが発生する前に、取外しボタンが押下されていたか否かを、取外しボタン押下フラグの状態に基づいて判定する。取外しボタン押下フラグがオンの場合、ステップ１２２の処理に進み、そうでない場合、ステップ１２４の処理に進む。
ステップ１２２（Ｓ１２２）において、デバイス挿入フラグをオフにする。
ステップ１２４（Ｓ１２４）において、主表示装置１８及び副表示装置５２に、今後、デバイスを取り出す場合には、取外しボタンを押下してからデバイスを取り出すよう、使用者に注意を促す警告画面を表示する。
ステップ１２２（Ｓ１２２）において、デバイス挿入フラグをオフにする。
ステップ１２４（Ｓ１２４）において、主表示装置１８及び副表示装置５２に、今後、デバイスを取り出す場合には、取外しボタンを押下してからデバイスを取り出すよう、使用者に注意を促す警告画面を表示する。
図４は、主コントローラ１４で実行されるタイマ処理（Ｓ２０）を示すフローチャートである。
図４に示すように、ステップ２００（Ｓ２００）において、デバイス挿入フラグがオンである場合、ステップ２０２の処理に進み、そうでない場合、処理を終了する。
ステップ２０２（Ｓ２０２）において、タイマのカウントが偶数か否かを判定する。タイマのカウントが偶数の場合、ステップ２０４の処理に進み、そうでない場合、ステップ２０６の処理に進む。
ステップ２０４（Ｓ２０４）において、例えば、取外しボタンの色を薄い色に設定して表示し、ステップ２０６（Ｓ２０６）において、例えば、取外しボタンの色を濃い色に設定して表示する。つまり、薄い色の取外しボタン及び濃い色の取外しボタンが交互に表示（ブリンク表示）されるようにする。
図４に示すように、ステップ２００（Ｓ２００）において、デバイス挿入フラグがオンである場合、ステップ２０２の処理に進み、そうでない場合、処理を終了する。
ステップ２０２（Ｓ２０２）において、タイマのカウントが偶数か否かを判定する。タイマのカウントが偶数の場合、ステップ２０４の処理に進み、そうでない場合、ステップ２０６の処理に進む。
ステップ２０４（Ｓ２０４）において、例えば、取外しボタンの色を薄い色に設定して表示し、ステップ２０６（Ｓ２０６）において、例えば、取外しボタンの色を濃い色に設定して表示する。つまり、薄い色の取外しボタン及び濃い色の取外しボタンが交互に表示（ブリンク表示）されるようにする。
図５は、主コントローラ１４で実行される取外しボタン押下処理（Ｓ３０）を示すフローチャートである。
取外しボタン押下処理は、操作画面の取外しボタン６５が押下されたことをトリガとして開始される。
図５に示すように、ステップ３００（Ｓ３００）において、取外しボタン押下フラグをオンにして、ステップ３０２の処理に進む。
ステップ３０２（Ｓ３０２）において、デバイスインスタンスハンドルを取得し、ステップ３０２の処理に進む。デバイスインスタンスハンドルは、デバイス（例えば、ＵＳＢフラッシュメモリ）を一意に識別する識別子である。デバイスインスタンスハンドルを取得できなかった場合には、ステップ３２０の処理に進む。
ステップ３０４（Ｓ３０４）において、ステップ３００で取得したデバイスインスタンスハンドルに対応付けられるデバイスに接続されるデバイスを、ノードのツリーとして表し（つまり、デバイスツリーを作成する）、デバイスツリーに、デバイスノードがあるか否かを判定する。デバイスノードがある場合、ステップ３０６の処理に進み、そうでない場合、ステップ３０８の処理に進む。
取外しボタン押下処理は、操作画面の取外しボタン６５が押下されたことをトリガとして開始される。
図５に示すように、ステップ３００（Ｓ３００）において、取外しボタン押下フラグをオンにして、ステップ３０２の処理に進む。
ステップ３０２（Ｓ３０２）において、デバイスインスタンスハンドルを取得し、ステップ３０２の処理に進む。デバイスインスタンスハンドルは、デバイス（例えば、ＵＳＢフラッシュメモリ）を一意に識別する識別子である。デバイスインスタンスハンドルを取得できなかった場合には、ステップ３２０の処理に進む。
ステップ３０４（Ｓ３０４）において、ステップ３００で取得したデバイスインスタンスハンドルに対応付けられるデバイスに接続されるデバイスを、ノードのツリーとして表し（つまり、デバイスツリーを作成する）、デバイスツリーに、デバイスノードがあるか否かを判定する。デバイスノードがある場合、ステップ３０６の処理に進み、そうでない場合、ステップ３０８の処理に進む。
ステップ３０６（Ｓ３０６）において、デバイスノードのドライバ名を取得し、ステップ３１０の処理に進む。ドライバ名を取得できなかった場合には、ステップ３０８の処理に進む。
ステップ３０８（Ｓ３０８）において、デバイスツリーをたどり、子ノード（ノードの深さが深いノード）、兄弟ノード（ノードの深さが同じであるノード）及び親ノード（ノードの深さが浅いノード）を探索する。ファミリーノードがある場合、ステップ３０６の処理に進み、そうでない場合、ステップ３２０の処理に進む。
ステップ３１０（Ｓ３１０）において、デバイスノードのデバイス名を取得し、ステップ３１２の処理に進む。デバイス名を取得できなかった場合には、ステップ３０８の処理に進む。
ステップ３０８（Ｓ３０８）において、デバイスツリーをたどり、子ノード（ノードの深さが深いノード）、兄弟ノード（ノードの深さが同じであるノード）及び親ノード（ノードの深さが浅いノード）を探索する。ファミリーノードがある場合、ステップ３０６の処理に進み、そうでない場合、ステップ３２０の処理に進む。
ステップ３１０（Ｓ３１０）において、デバイスノードのデバイス名を取得し、ステップ３１２の処理に進む。デバイス名を取得できなかった場合には、ステップ３０８の処理に進む。
ステップ３１２（Ｓ３１２）において、ステップ３１０で取得したデバイス名が、「ＵＳＢ大容量記憶装置デバイス」であるか否かを判定する。このようなデバイス名である場合には、ステップ３１４の処理に進み、そうでない場合には、ステップ３０８の処理に進む。
ステップ３１４（Ｓ３１４）において、ステップ３１０で取得したデバイス名のデバイスノードについて、デバイスコンテキストを解放し、ステップ３１６の処理に進む。デバイスコンテキストは、デバイスノードで用いられた情報を格納するデータ構造体であり、ＡＰＩを呼び出すことなどによって解放される。デバイスコンテキストを解放できなかった場合には、ステップ３２０の処理に進む。
ステップ３１６（Ｓ３１６）において、ステップ３１０で取得したデバイス名に対応付けられるデバイスノードが、アクセスされていないことを確認し、アクセスされていないことが確認できた場合、処理を終了し、そうでない場合、ステップ３２０の処理に進む。
ステップ３１４（Ｓ３１４）において、ステップ３１０で取得したデバイス名のデバイスノードについて、デバイスコンテキストを解放し、ステップ３１６の処理に進む。デバイスコンテキストは、デバイスノードで用いられた情報を格納するデータ構造体であり、ＡＰＩを呼び出すことなどによって解放される。デバイスコンテキストを解放できなかった場合には、ステップ３２０の処理に進む。
ステップ３１６（Ｓ３１６）において、ステップ３１０で取得したデバイス名に対応付けられるデバイスノードが、アクセスされていないことを確認し、アクセスされていないことが確認できた場合、処理を終了し、そうでない場合、ステップ３２０の処理に進む。
ステップ３１８（Ｓ３１８）において、デバイス取外しイベントを発行した後、処理を終了する。
ステップ３２０（Ｓ３２０）において、エラーメッセージを返した後、処理を終了する。例えば、エラーメッセージをエラー画面に表示する。
ステップ３２０（Ｓ３２０）において、エラーメッセージを返した後、処理を終了する。例えば、エラーメッセージをエラー画面に表示する。
図６は、図１Ｃの主表示装置１８及び副表示装置５２に表示される、障害情報をＵＳＢフラッシュメモリにコピーする際の操作画面の遷移を示すアクティビティ図である。
図６に示すように、ステップ４００（Ｓ４００）において、図２で示した初期画面が表示され、タイトルパネル６１のログインボタンが押下された場合、ステップ４０２に進む。なお、基板処理装置１０に対して何らかの操作を行う場合には認証が必要となるので、ログインボタン以外のボタンが押下される場合の説明は省略する。
ステップ４０２（Ｓ４０２）において、ログインに必要な情報（例えば、ユーザ名及びパスワード）の入力を促すログイン画面が表示される。
ステップ４０４（Ｓ４０４）において、ログイン画面に入力された情報に基づいて、認証作業が行われる。認証に成功した場合にはステップ４０６に進み、認証に失敗した場合にはステップ４０８に進む。
図６に示すように、ステップ４００（Ｓ４００）において、図２で示した初期画面が表示され、タイトルパネル６１のログインボタンが押下された場合、ステップ４０２に進む。なお、基板処理装置１０に対して何らかの操作を行う場合には認証が必要となるので、ログインボタン以外のボタンが押下される場合の説明は省略する。
ステップ４０２（Ｓ４０２）において、ログインに必要な情報（例えば、ユーザ名及びパスワード）の入力を促すログイン画面が表示される。
ステップ４０４（Ｓ４０４）において、ログイン画面に入力された情報に基づいて、認証作業が行われる。認証に成功した場合にはステップ４０６に進み、認証に失敗した場合にはステップ４０８に進む。
ステップ４０６（Ｓ４０６）において、ナビゲーションパネル６３のセットアップボタンが押下された場合、基板処理装置１０のメンテナンスを受け付ける画面が表示される。
障害情報はログファイルの一種として保存されており、例えば、基板処理装置１０のメンテナンス画面のうち、ファイルのコピーやパラメータのバックアップ及びリストアを受け付けるボタンが押下された場合、ファイルメンテナンス画面が表示される。ファイルメンテナンス画面において、ファイルのメンテナンスを受け付けるボタンが押下された場合、ファイル管理画面が表示される。さらに、ファイル管理画面において、ログ取得処理を受け付けるボタンが押下され、ログファイル一覧画面が表示された場合、ログファイル一覧画面において、障害情報のメンテナンスを受け付けるボタン「障害情報」が押下されたとき、ステップ４１０（Ｓ４１０）に示すように、障害情報の一覧を示す画面（図７に示す障害情報一覧画面）が表示される。
障害情報はログファイルの一種として保存されており、例えば、基板処理装置１０のメンテナンス画面のうち、ファイルのコピーやパラメータのバックアップ及びリストアを受け付けるボタンが押下された場合、ファイルメンテナンス画面が表示される。ファイルメンテナンス画面において、ファイルのメンテナンスを受け付けるボタンが押下された場合、ファイル管理画面が表示される。さらに、ファイル管理画面において、ログ取得処理を受け付けるボタンが押下され、ログファイル一覧画面が表示された場合、ログファイル一覧画面において、障害情報のメンテナンスを受け付けるボタン「障害情報」が押下されたとき、ステップ４１０（Ｓ４１０）に示すように、障害情報の一覧を示す画面（図７に示す障害情報一覧画面）が表示される。
ステップ４０８（Ｓ４０８）において、認証に失敗した旨を示す認証失敗画面が表示され、ステップ４０２に戻る。
図７に示す障害情報一覧画面において、選択された障害情報を出力対象であるＵＳＢフラッシュメモリにコピーした後、取外しボタン６５が押下されずに、ＵＳＢフラッシュメモリが取り外された場合、ステップ４１２に進む。一方、取外しボタンが押下され、イベント処理における返り値がエラーメッセージであるとき、ステップ４１４に進み、返り値がイベント発行であるとき、ステップ４１６に進む。
ステップ４１４（Ｓ４１４）において、エラーメッセージとともに、ＵＳＢフラッシュメモリの取外しを禁止する旨を示す取外し禁止画面が表示される。
ステップ４１６（Ｓ４１６）において、ＵＳＢフラッシュメモリへのコピーに成功した旨を示す取外し許可画面が表示される。
以上、ＵＳＢフラッシュメモリに障害情報が出力されるものとして説明したが、ＵＳＢポートに対応する他のデバイスに出力してもよいし、基板処理装置１０内で生成される他の情報についても同様に出力してもよい。
図７に示す障害情報一覧画面において、選択された障害情報を出力対象であるＵＳＢフラッシュメモリにコピーした後、取外しボタン６５が押下されずに、ＵＳＢフラッシュメモリが取り外された場合、ステップ４１２に進む。一方、取外しボタンが押下され、イベント処理における返り値がエラーメッセージであるとき、ステップ４１４に進み、返り値がイベント発行であるとき、ステップ４１６に進む。
ステップ４１４（Ｓ４１４）において、エラーメッセージとともに、ＵＳＢフラッシュメモリの取外しを禁止する旨を示す取外し禁止画面が表示される。
ステップ４１６（Ｓ４１６）において、ＵＳＢフラッシュメモリへのコピーに成功した旨を示す取外し許可画面が表示される。
以上、ＵＳＢフラッシュメモリに障害情報が出力されるものとして説明したが、ＵＳＢポートに対応する他のデバイスに出力してもよいし、基板処理装置１０内で生成される他の情報についても同様に出力してもよい。
本願発明における具体的な実施例を説明する。
メーカ側の作業者は、装置の過去の生産状態（以下、生産情報）、障害発生時における装置の状態（以下、障害情報）及び現在又は過去における装置の状態（以下、トレースデータ）などのデータを装置からＵＳＢフラッシュメモリにコピーすることにより、データ解析などを行う。また、上記の生産情報、障害情報及びトレースデータなどはファイルとして保存され、総ファイルサイズは数メガバイトになる。よって、これらの大容量データを従来のフロッピーディスクを用いて装置から持ち出すことは困難であったが、本願発明においてはこれらの大容量データを安全に持ち出すことができ、データ解析に利用することができる。
上記の生産情報、障害情報及びトレースデータなどに加えて、装置において操作したキーの情報（以下、キーログ）、モジュール間で情報がやりとりされたという情報（以下、イベントログ）及びプログラム実行中に発生したエラーの情報（以下、エラーログ）などもＵＳＢフラッシュメモリに格納することができ、データ解析に利用することができる。したがって、障害発生時の要因を早急に突き止めることが容易になり、装置のダウンタイムを短縮することが可能になる。
また、同種の膜を製造する装置が新たに追加された場合、既存の装置から生産やメンテナンスに必要なレシピ、テーブル及びパラメータなどを取得して、新しい装置に安全にコピーすることができる。
メーカ側の作業者は、装置の過去の生産状態（以下、生産情報）、障害発生時における装置の状態（以下、障害情報）及び現在又は過去における装置の状態（以下、トレースデータ）などのデータを装置からＵＳＢフラッシュメモリにコピーすることにより、データ解析などを行う。また、上記の生産情報、障害情報及びトレースデータなどはファイルとして保存され、総ファイルサイズは数メガバイトになる。よって、これらの大容量データを従来のフロッピーディスクを用いて装置から持ち出すことは困難であったが、本願発明においてはこれらの大容量データを安全に持ち出すことができ、データ解析に利用することができる。
上記の生産情報、障害情報及びトレースデータなどに加えて、装置において操作したキーの情報（以下、キーログ）、モジュール間で情報がやりとりされたという情報（以下、イベントログ）及びプログラム実行中に発生したエラーの情報（以下、エラーログ）などもＵＳＢフラッシュメモリに格納することができ、データ解析に利用することができる。したがって、障害発生時の要因を早急に突き止めることが容易になり、装置のダウンタイムを短縮することが可能になる。
また、同種の膜を製造する装置が新たに追加された場合、既存の装置から生産やメンテナンスに必要なレシピ、テーブル及びパラメータなどを取得して、新しい装置に安全にコピーすることができる。
以上説明した実施形態においては、着脱部１３にデバイスが挿入されると、自動的にナビゲーションパネル６３の取外しボタン６５が有効になっていた。また、基板処理中であってもデータをデバイスに出力することが可能であった。しかしながら、本願発明において、装置が基板処理中である場合、操作画面上では無効と表示されるようにして（つまり、取外しボタン６５が押下できないようにして）、かつ、各種データをデバイスに出力するための操作を受け付けないようにしてもかまわない。
上述のように、基板処理中にもかかわらずデバイスを挿入した場合には、操作画面上にエラーメッセージを表示させるのが好ましい。つまり、デバイスが挿入されるタイミングが監視されるようにするのが好ましい。本願発明では、着脱部１３においてデバイスの挿入及び取外しがなされたタイミングでイベントログを取得し、このイベントログを監視することで容易に達成される。
上述のように、基板処理中にもかかわらずデバイスを挿入した場合には、操作画面上にエラーメッセージを表示させるのが好ましい。つまり、デバイスが挿入されるタイミングが監視されるようにするのが好ましい。本願発明では、着脱部１３においてデバイスの挿入及び取外しがなされたタイミングでイベントログを取得し、このイベントログを監視することで容易に達成される。
なお、本発明は、基板処理装置１０として、例えば、半導体装置（ＩＣ）の製造方法を実施する半導体製造装置として構成されているが、半導体製造装置だけでなくＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置にも適用することができる。
基板処理装置１０で行われる成膜処理には、例えば、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理がある。
また、本実施形態では、基板処理装置が縦型処理装置１０であるとして記載したが、枚葉装置についても同様に適用することができ、さらに、露光装置、リソグラフィ装置、塗布装置等にも同様に適用することができる。
また、複数の基板処理装置１０に接続され、複数の基板処理装置１０を管理する群管理装置（管理サーバ）及びこのような基板処理装置及び群管理装置を含む基板処理システムにも適用することができる。
基板処理装置１０で行われる成膜処理には、例えば、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理がある。
また、本実施形態では、基板処理装置が縦型処理装置１０であるとして記載したが、枚葉装置についても同様に適用することができ、さらに、露光装置、リソグラフィ装置、塗布装置等にも同様に適用することができる。
また、複数の基板処理装置１０に接続され、複数の基板処理装置１０を管理する群管理装置（管理サーバ）及びこのような基板処理装置及び群管理装置を含む基板処理システムにも適用することができる。
本発明は、特許請求の範囲に記載した事項を特徴とするが、さらに次に付記した事項も含まれる。
[付記１]
前記制御手段は、基板に関する情報が一覧表示され、一覧表示された情報の一部が使用者によって選択されるようにし、前記選択された情報を前記外部記憶装置に出力する。
[付記２]
基板処理に関する情報は、基板処理装置の過去の生産状態を示す生産情報、障害発生時の基板処理装置の状態を示す障害情報、トレースデータ、キーログ、イベントログ及びエラーログのうちの少なくとも一つである。
[付記３]
前記制御手段は、前記ボタンが押下されず、前記外部記憶装置が取り外された場合、このことを示すメッセージが表示されるようにする。
前記制御手段は、基板に関する情報が一覧表示され、一覧表示された情報の一部が使用者によって選択されるようにし、前記選択された情報を前記外部記憶装置に出力する。
[付記２]
基板処理に関する情報は、基板処理装置の過去の生産状態を示す生産情報、障害発生時の基板処理装置の状態を示す障害情報、トレースデータ、キーログ、イベントログ及びエラーログのうちの少なくとも一つである。
[付記３]
前記制御手段は、前記ボタンが押下されず、前記外部記憶装置が取り外された場合、このことを示すメッセージが表示されるようにする。
１０ 基板処理装置
１４ 主コントローラ
１６ 主操作装置
１８ 主表示装置
５０ 副操作装置
５２ 副表示装置
２００ ウエハ
２０２ 処理室
２４０ 主表示制御部
２４２ 副表示制御部
１４ 主コントローラ
１６ 主操作装置
１８ 主表示装置
５０ 副操作装置
５２ 副表示装置
２００ ウエハ
２０２ 処理室
２４０ 主表示制御部
２４２ 副表示制御部
Claims (1)
- 基板処理に関する情報を操作する操作画面の表示を制御する制御手段と、
着脱可能な外部記憶装置に前記情報を出力する出力手段と
を有する基板処理装置であって、
前記制御手段は、前記外部記憶装置が装着されている場合、装着された外部記憶装置を取り外すためのボタンが押下可能な場所に配置されるよう制御し、前記外部記憶装置が装着されていない場合、前記ボタンが押下されないよう制御する
基板処理装置。
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