JP4933809B2 - 基板処理装置及び基板処理方法及び基板処理装置の判定プログラム - Google Patents
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Description
尚、本発明は以下の実施の態様を含む。
2 筐体
28 処理炉
41 プロセスチューブ
66 第1制御手段
67 第2制御手段
68 制御演算部
70 操作部
71 外部記憶装置
75 表示部
76 プログラム格納部
77 データ格納部
78 レシピ
79 使用禁止バルブ設定テーブル
Claims (7)
- 基板処理の内容が記載されたレシピを有し、該レシピの実行指示を行う第1制御手段と、該第1制御手段からの指示に従って、前記レシピを実行する為、制御パラメータを制御する第2制御手段とを具備する基板処理装置であって、前記第1制御手段は、予め作成されたレシピに対応してバルブの開閉情報を予め規定したテーブルと、基板処理を実際に実行する為に設定したレシピに規定されたバルブの開閉情報と前記テーブルに規定されたバルブの開閉情報とを比較し整合性を判定する判定手段とを有することを特徴とする基板処理装置。
- 前記第1制御手段は、整合性が取れていなければ、前記第2制御手段への実行指示を与えない請求項1の基板処理装置。
- 前記第1制御手段は、整合性が取れていなければ、更に警告を表示する請求項2の基板処理装置。
- 前記第1制御手段は、整合性が適正であれば、前記第2制御手段へ基板処理を実行する様実行指示を与え、整合性が取れていなければ、アラームを発して基板処理を実行する指示をキャンセルする請求項1の基板処理装置。
- 前記第1制御手段は、前記レシピのステップ全体を予めチェックし、各ステップで動作を設定されたバルブと、予め登録された前記テーブルに設定されたバルブとを比較して整合性を判定する請求項1の基板処理装置。
- 基板処理の内容が設定されたレシピに規定されたバルブの開閉情報の整合性を判定する判定工程と、制御パラメータを制御し、前記レシピを実行する処理工程とを少なくとも有する基板処理方法であって、前記判定工程では、テーブルに予め作成されたレシピに対応したバルブの開閉情報を予め規定し、基板処理を実際に実行する為に設定したレシピに規定されたバルブの開閉情報と前記テーブルのバルブの開閉情報とを比較し整合性を判定することを特徴とする基板処理方法。
- 基板処理を実際に実行する為に基板処理の内容を設定したレシピに規定されたバルブの開閉情報と、予め作成されたレシピに対応してバルブの開閉情報を予め規定したテーブルのバルブの開閉情報とを第1制御手段に比較させ、前記基板処理を実際に実行する為に設定したレシピに規定されたバルブの開閉情報と前記テーブルに規定されたバルブの開閉情報の整合性を判定することを特徴とする基板処理装置の判定プログラム。
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