WO2011115249A1

WO2011115249A1 - 基板処理装置

Info

Publication number: WO2011115249A1
Application number: PCT/JP2011/056544
Authority: WO
Inventors: 滋基野上
Original assignee: 株式会社日立国際電気
Priority date: 2010-03-19
Filing date: 2011-03-18
Publication date: 2011-09-22
Also published as: JPWO2011115249A1; US20130014251A1

Abstract

　操作画面と装着部とを備えた操作部は、少なくともユーザＩＤやユーザパスワード等の認証データが組み込まれたデバイスが装着部に差し込まれると、認証データが照合され、認証データが登録されていればログインを完了するデータ認証手段と、ログインが完了されると、前記操作画面の少なくとも一部の表示状態を切り替える表示制御手段と、を備える。

Description

基板処理装置

　本発明は基板処理装置におけるログイン処理又はログアウト処理に伴う操作性に関するものである。

　従来の基板処理装置におけるログイン処理は、操作部の備える認証画面（ログイン画面）を表示することによって行っている（例えば、特許文献１参照）。システムに対してログイン処理を行うためには、ログイン画面を表示し、基板処理装置に備え付けのキーボード等の入力装置から、ログイン画面上にユーザＩＤやパスワードを入力していた。

　また、特許文献１によれば、基板処理装置の安全上の問題から、何ら操作がされないまま所定の時間が経過すると、自動的にログアウト処理が実施される。

特開２００８－１１２９６８号公報

　上述した従来の基板処理装置では、ログアウト処理が実施されるたびに、ログイン画面を表示させ、繰り返しログイン処理を行う必要があるため、ユーザＩＤやパスワードの入力が煩わしかった。また、普段はパスワードを使用しないためにパスワードを忘れてしまったり、キーボードの打ち間違い等により画面操作が禁止されてしまったりする恐れもあった。このように、半導体工場では安全性が重要視されており、基板処理装置の画面操作そのものを制限する傾向がある。

　本発明の目的は、ログイン処理又はログアウト処理に伴う操作性を向上させることが可能な基板処理装置を提供することにある。

　本発明の一態様によれば、基板を処理するためのファイルの作成又は編集を行う操作画面と、外部記憶手段及び入力手段を装備するための装着部と、を備えた操作部を有し、前記操作部は、少なくともユーザＩＤやユーザパスワード等の認証データが組み込まれたデバイスが前記装着部に差し込まれると、前記操作部に登録されたデバイス認証用のデータと前記デバイスに組み込まれた認証データとが照合され、前記デバイスに組み込まれた認証データが前記デバイス認証用のデータに登録されていればログインを完了するデータ認証手段と、前記ログインが完了されると、前記操作画面の少なくとも一部の表示状態を切り替える表示制御手段と、を備えた基板処理装置が提供される。

　本発明によれば、ログイン処理又はログアウト処理に伴う画面操作を省略できるので、操作性が向上する。また、特定のユーザに特定の処理を行わせることにより、装置の安全性をより確実に確保できる。さらに、画面操作を制限することにより、他のユーザによる誤操作が抑制でき、装置の安全性をより確実に確保できる。同様に、特定の処理の実行中に、他のユーザによる操作を制限あるいは禁止できる。

本発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置に対して所定の処理を行う際に表示される操作画面としてのメニュー画面及び認証画面を示す図であって、図１（ａ）はメニュー画面を示し、図１（ｂ）は認証画面を示す。本発明の第１の実施の形態の変形例に係る基板処理装置のＵＳＢデバイスの記憶領域及び記憶内容を示す説明図である。本発明の第１の実施の形態及びその変形例に係る基板処理装置の操作画面を示す図であって、（ａ）はデータバックアップ画面、（ｂ）はメンテナンス画面、（ｃ）は操作画面における所定のボタンの非アクティブ時の説明図、（ｄ）は操作画面における所定のボタンのアクティブ時の説明図、（ｅ）は操作画面における特定のボタンに関わる警告表示例の説明図である。本発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置の概略構成について制御系を中心に示したブロック図である。本発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置のＵＳＢデバイスの構成図である。本発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置に適用されるプロセス装置の透視斜視図である。本発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置に適用されるプロセス装置の側面透視図である。本発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置の制御部により実行される制御プログラムの機能構成を示す図である。本発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置のユーザログインのフローチャートである。本発明の第１の実施の形態の変形例に係る基板処理装置のＵＳＢデバイスの他の構成図である。本発明の第１の実施の形態の変形例に係る基板処理装置のユーザ切り替え完了後に引き続き行われるデータバックアップのフローチャートである。本発明の第１の実施の形態の変形例に係る基板処理装置のユーザ切り替え完了後に引き続き行われるメンテナンスのフローチャートである。本発明の第１の実施の形態の変形例に係る基板処理装置の基板処理中にＵＳＢデバイスが差し込まれたときのフローチャートである。本発明の第２の実施の形態に係る基板処理装置の操作画面を表示させるフローチャートである。本発明の第２の実施の形態に係る基板処理装置の操作画面の表示状態を切り替えさせるフローチャートである。本発明の第２の実施の形態の変形例に係る基板処理装置のログイン処理完了後に引き続き行われる操作画面の指定表示のフローチャートである。本発明の第２の実施の形態の変形例に係る基板処理装置のログイン処理完了後に引き続き行われる操作画面の表示状態の切り替え設定のフローチャートである。本発明の第３の実施の形態に係る基板処理装置のログイン処理完了後に引き続き行われる特定の操作の自動実行のフローチャートである。

＜第１の実施の形態＞
　以下に、本発明の第１の実施の形態について説明する。

（１－１）第１の実施の形態の概要
　まずは、本発明の実施の形態の概要を説明する。本実施の形態の基板処理装置は、例えば、シリコン（Ｓｉ）などのウエハよりＩＣ等の半導体素子を製造する半導体製造装置である。半導体製造装置には、縦型、枚葉型のいずれも含まれる。

　本発明の実施の形態によれば、デバイスを抜き差し可能に構成された装着部に所定のデバイスが差し込まれると、操作部に予め登録されたデバイス認証用のデータとデバイスに組み込まれた認証データとが照合され、デバイスに組み込まれた認証データがデバイス認証用のデータに登録されていればログイン処理が完了するよう構成される。このように、所定のデバイスを装着部に差し込むだけで、ログイン処理が可能となる。なお、この所定のデバイスを用いたログイン処理は、既に他のユーザがログインした後に行われる場合がある。この場合のログイン処理を、ユーザ切り替え処理又はユーザ割り込み処理ということがある。以下、主にログイン処理について説明するが、以下に説明する構成が、ユーザ切り替え処理やユーザ割り込み処理にも適用できることはいうまでもない。

　図１を用いてログイン処理の操作を具体的に説明する。
　図１は、本発明の第１の実施の形態の基板処理装置における操作部の表示部に表示される操作画面を示す。図１（ａ）は、基板処理装置に対して所定の処理を行う際に表示されるメニュー画面、図１（ｂ）はユーザログインのための認証データの入力画面（ログイン画面）をそれぞれ示す。

　図１（ａ）に示すように、メニュー画面には、例えば、初期化処理、レシピ編集処理、パラメータ編集処理、…権限変更等の処理を指定する複数のボタンが含まれる。ユーザは、運転レシピや装置パラメータを編集等する場合、メニュー画面において所望の処理に対応するボタンを押下して該処理を行う。

　デバイスを用いないでログインする時には、従来通り、権限変更ボタンを押下して、操作画面を図１（ａ）のメニュー画面から図１（ｂ）に示す認証画面（ログイン画面）に切り替え、ユーザＩＤやユーザパスワード等の認証データを入力する。

　なお、本実施の形態において、認証画面を開くことなく、操作部の装着部からデバイスを抜き出すだけで、ログアウト処理が自動的に完了する。デバイスを用いないログアウト処理は、従前通り、ログイン画面を表示させた上で、ログアウトボタンを押下する。

　一方、本実施の形態によれば、メニュー画面のままでログイン処理を完了することができ、認証データを入力する必要がないため、ログイン処理時のユーザＩＤやパスワード等の入力の煩わしさから解放される。また、認証データを入力する必要がないため、入力ミス等により操作が禁止されることがない。さらに、メニュー画面上にログイン処理中又はログイン済みであることを示すメッセージを表示するようにしてもよい。また、ログイン処理中又はログイン済み後は所定の画面に切り替わるようにしてもよい。

　第１の実施の形態の場合、前記装着部に前記デバイスが差し込まれて、認証されると、操作権限が前記認証データに基づいたユーザレベルになるように設定されることが好ましい。ユーザは、引き続きユーザレベルに応じて選択された特定の処理（例えば、レシピ編集、パラメータ編集等）を行うことができる。また、特定の処理として、各部品により検出されるデータを監視するモニタ画面の表示を行うことができる。これにより、例えば設備（ユーティリティ）に関する日常点検パラメータ（日常点検データ）等のデータを表示させることができる。このように、例えば日常点検パラメータ等を表示する特定画面表示機能を有することで、操作画面上で基板処理装置に付帯する設備の情報を得ることができる。

　また、デバイスを抜き出すと前のユーザに操作権限が戻るようにすると、前のユーザが再度ログインする必要がなくなるので、より好ましい。

　また、前記デバイスには、上述したように単なる認証データの他に、所定のデータを格納する記憶手段を有するものもある。したがって、このような所定のデータを格納する記憶手段を有する前記デバイスが、前記装着部に差し込まれた場合には、前記基板処理装置の所定のデータが前記記憶手段に記憶されるよう構成することも可能である。前記記憶手段の記憶領域に記憶させる前記所定のデータは、例えば図２に示すように、少なくとも装置の過去の生産状態を示す生産情報（生産データ）、障害発生時の装置状態を示す障害情報（障害データ）、トレースデータ、キーロギングデータ、イベントロギングデータ、エラーロギングデータのうちいずれか１つ又は２つ以上であることが好ましい。また、基板処理装置に付帯する設備（ユーティリティ）に関するデータも含むよう構成してもよい。
　このように構成すれば、デバイスを装着部に差し込むだけで、ログイン処理ができると共に、基板処理装置の所定のデータを記憶させることができ、ログイン処理に伴う操作性、ユーザ切り替えに伴う操作性を一層向上させることができる。

　また、前記記憶手段を有するデバイスは、前記記憶領域にさらに付加情報を予め記憶することにより、特定の操作を実行させることもできる。ここで付加情報とは、ログイン処理後に、操作部に指令を出して操作部を操作する機能を実行させる情報（ここで、情報は指示やコマンド等のデータの総称）である。例えば、ユーザ切り替え後、引き続き指定画面を開くという情報である。したがって、このような付加情報を記憶したデバイスを用いて、その特定の操作を実現するように操作部を構成すると、ユーザ切り替えに伴う操作性をさらに向上することが可能である。ここに、特定の操作を例示すれば、各種データのデータ収集画面を開く、データバックアップ画面を開く、メンテナンス画面を開く、レシピ編集画面を開く、パラメータ編集画面を開く等の操作を挙げることができる。

　具体的に、例えばユーザ切り替え後、データバックアップ画面が開くように操作部を構成した場合、データバックアップ画面を開くという付加情報を記憶したデバイスが前記装着部に差し込まれると、ユーザ切り替え後、図３（ａ）に示すデータバックアップ画面が自動的に表示される。さらに、前記操作部は、前記データバックアップ画面からデータバックアップ開始入力がなされると、前記データのバックアップを開始させることが可能である。バックアップ先にデバイスを選択すれば、前記所定データをバックアップデータとして前記デバイスに記憶させることができる。
　このように、データバックアップ機能を割り当てたデバイスを装着部に差し込むと、ユーザ切り替え後、操作画面が自動的にデータバックアップ画面に切り替わるように構成される。よって、データバックアップ操作を簡略化でき、デバイスに容易にデータをバックアップさせることができる。これにより、ユーザ切り替えに伴う操作性を一層向上させことができる。この場合、例えば基板処理装置のトラブル時などに、障害情報やエラーロギングのような特定のデータしか収集できないようにしておくと、さらにデータ流出の心配が抑えられ、よりいっそう安全性が確保される。

　また、メンテナンス画面を開くという付加情報（メンテナンス画面移行指示）を記憶したデバイスが前記装着部に差し込まれると、ユーザ切り替え後、図３（ｂ）に示すメンテナンス画面を自動的に開くように構成される。さらに、操作部は、前記メンテナンス画面からメンテナンス開始入力がなされると、前記メンテナンスを開始させることが可能である。この場合、例えば、メンテナンス対象となる部品ごとに、デバイスを準備してもよいし、また、メンテナンス画面にて部品選択できるように構成してもよい。
　このように、メンテナンス機能を割り当てたデバイスを装着部に差し込むと、操作画面を、特定の操作を行わせるためメンテナンス画面に切り替えることができるので、メンテナンス操作を簡略化でき、さらにメンテナンスを容易に開始することができる。これにより、ユーザ切り替えに伴う操作性を一層向上させることができる。

　また、前記基板処理中に前記デバイスが前記装着部に差し込まれると、前記基板を処理するためのファイルの実行が停止されるように前記操作部を構成することが可能である。さらに、前記操作部は、前記基板を処理するためのファイルの実行を停止した上で、装置状態を安全な状態に移行させるためのファイルを実行するよう構成することが可能である。この場合、例えば付加情報として、エンドステップに強制的に移行させるコマンドや、一時的にエラー発生時のステップで待機するコマンド等が指定される。
　このように、基板処理中に特定の操作を行わせるためのデバイスが差し込まれた場合には、ユーザ切り替え後、前記基板を処理するためのファイルの実行が停止されるので、他のユーザによって、誤ってこのファイルが継続されることを防止できる。さらに、装置状態を安全な状態に移行させるためのファイルを実行するように、付加情報としてアラームレシピやアボートレシピを実行させる指示も含まれるようにすると、デバイスを差し込むだけで装置状態を安全な状態に移行させることができる。但し、一般的に、装置状態を安全な状態に移行するレシピは、特定のユーザにしか実行できないようにデバイス管理をしておくのが好ましい。なお、基板処理装置にエラーが発生したときに、デバイスを差し込むだけでアラームレシピやアボートレシピを実行するための操作画面を表示してもよい。これにより、これらのレシピを実行できるので、迅速に装置を安全な状態に戻すことができる。
　なお、前記デバイスが抜き出される等、ファイルの再実行が可能な状態になったら、装置状態を安全な状態から元の状態に戻して、再度基板を処理するためのファイルを継続できるようにすることが好ましい。

　また、前記デバイスが前記装着部に差し込まれていないときは、前記操作画面上の所定のボタンを非アクティブ表示させて、前記ボタンの押下を不可にするように構成することが好ましい。非アクティブ表示例としては、所定のボタンの色を画面の背景色と同様の色にするのが良い。ここで所定のボタンとは、前述した初期化、レシピ編集、パラメータ編集等のボタンであることも（図１（ａ））、あるいは操作画面の所定の領域に表示されているボタン５１であることもある（図３（ｃ））。

　このように、ユーザレベルに応じて前記ボタンを押下できないようにすると、ユーザの権限が明確になり、前記デバイスが差し込まれる前のユーザ等が、権限のない処理を実行しようとするのを防止できる。

　なお、前記デバイスが前記装着部に装着されているときは、該デバイスの認証データに基づいたユーザレベルにより選択することが可能な、前記操作画面上の前記所定のボタン５１をアクティブ表示させて、前記ボタン５１の押下を可能にするように構成することが好ましい。さらに、図３（ｄ）のように、前記操作画面上で予め決められた操作や、前記基板処理装置の稼動状態を監視する操作画面の切り替え表示操作でも切り替わらない領域（固定表示領域）に、前記所定のボタン５１をアクティブ表示させるよう構成することが好ましい。
　このように、差し込まれたデバイスによって選択可能な所定のボタン５１を、固定表示領域にアクティブ表示させて、ボタン５１を押下できるようにすると、ユーザの権限が明確になり、操作画面が切り替わっても、前記デバイスを差し込んだ当該ユーザが、権限のある処理を実行することを容易にする。これにより、ユーザ切り替えに伴う操作性を一層向上させることができる。

　さらに、図３（ｅ）に示すように、前記記憶手段を有するデバイスが、デバイスのアンマウント操作の可否を表示する特定のボタン５２を押下しないで前記装着部から抜き出されると、前記操作画面上に前記特定のボタン５２を押下しないで抜き出されたことを知らせる警告を発することが好ましい。警告としては、例えば操作画面上に警告表示するのが良い。
　このように、前記デバイスが特定のボタン５２を押下しないで抜き出されたとき、前記操作画面上に前記特定のボタン５２を押下しないで取り外されたことを知らせる警告を発すると、前記デバイスの記憶手段に記憶された所定のデータ等を有効に保護することができる。好ましくは、特定のボタン５２が押下されないで前記デバイスが抜き出されると、ログアウト処理が完了しないように構成することが望ましい。そうすると、ユーザは確実に前記特定のボタン５２を押下した後、前記デバイスを抜き出す。さらに、ログアウト処理が未完了状態では、操作不可とすることが望ましい。そうすると、よりいっそう装置の安全性が保たれる。例えば、操作不可を解除するには、所定の解除用デバイスを挿入することで解除できるようにすればよい。そして、この解除用デバイスを抜くと、ログアウト処理が完了するようにすればよい。そのように、デバイスを抜き出すとログアウト処理が完了するという工程に、特定のボタン５２をチェックする工程を設けるだけで、さらにデータ保護に有効となる。これにより、ユーザ切り替えに伴う操作性や安全性を一層向上させることができる。ここで、操作不可とは、操作画面上での入力が全く受け付けられないことを示す。

（１－２）基板処理装置の概略構成
　主に図４を参照して、本実施の形態に係る基板処理装置の構成について概略を説明する。図４の詳細については、後述する。

　基板処理装置は、基板を処理するためのファイルに従って基板の処理を行うプロセス装置１（図６、図７参照）と、プロセス装置１を制御する制御部２００（図４参照）と、を備えている。プロセス装置１と制御部２００とは、互いに電気的に接続されている。図４に示すとおり、制御部２００には、例えば外部記憶手段２１２や入力手段２１３等を装備するための装着部２１１が設けられている。また、装着部２１１は、認証データが組み込まれたデバイス２１４を抜き差し可能に構成されている。なお、制御部２００はプロセス装置１に組み込まれていてもよく、その場合、制御部２００の組み込まれたプロセス装置１を基板処理装置と呼ぶ。

（１－３）プロセス装置の構成
　図６、図７にて、本実施の形態に係る基板処理装置が備えるプロセス装置１について説明する。

　図６、図７はプロセス装置の一例として、例えば熱ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｖａｐｏｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法等により成膜処理等を行う縦型のプロセス装置１を示している。尚、プロセス装置１に於いて処理される基板としては、一例としてシリコン等からなるウエハ１８が示されている。

　プロセス装置１は筐体２を備え、筐体２の正面壁３の下部にはメンテナンス可能な様に設けられた開口部としての正面メンテナンス口４が開設され、正面メンテナンス口４は正面メンテナンス扉５によって開閉されるように構成されている。

　筐体２の正面壁３にはポッド搬入搬出口６が筐体２の内外を連通する様に開設されており、ポッド搬入搬出口６はフロントシャッタ（搬入搬出口開閉機構）７によって開閉されるように構成されている。ポッド搬入搬出口６の正面前方側にはロードポート（基板搬送容器受渡し台）８が設置されており、ロードポート８は載置されたポッド９を位置合せする様に構成されている。

　ポッド９は密閉式の基板搬送容器であり、図示しない工程内搬送装置によってロードポート８上に搬入され、又、ロードポート８上から搬出される様に構成されている。

　筐体２内の前後方向の略中央部に於ける上部には、回転式ポッド棚（基板搬送容器格納棚）１１が設置されており、回転式ポッド棚１１は複数個のポッド９を格納する様に構成されている。

　回転式ポッド棚１１は垂直に立設されて間欠回転される支柱１２と、上中下段の各位置に於いて支柱１２に放射状に支持された複数段の棚板（基板搬送容器載置棚）１３とを備えており、棚板１３はポッド９を複数個載置した状態で格納する様に構成されている。

　回転式ポッド棚１１の下方には、ポッドオープナ（基板搬送容器蓋体開閉機構）１４が設けられ、ポッドオープナ１４はポッド９を載置し、又ポッド９の蓋を開閉可能に構成されている。

　ロードポート８と回転式ポッド棚１１、ポッドオープナ１４の間には、ポッド搬送装置（容器搬送装置）１５が設置されており、ポッド搬送装置１５は、ポッド９を保持してＣＺ軸方向に昇降可能、ＣＸ軸方向に進退可能となっており、ロードポート８、回転式ポッド棚１１、ポッドオープナ１４の間でポッド９を搬送する様に構成されている。

　筐体２内の前後方向の略中央部に於ける下部には、サブ筐体１６が後端に亘って設けられている。サブ筐体１６の正面壁１７にはウエハ（基板）１８をサブ筐体１６内に対して搬入搬出するウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１９が一対、垂直方向に上下２段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１９，１９に対してポッドオープナ１４がそれぞれ設けられている。

　ポッドオープナ１４はポッド９を載置する載置台２１と、ポッド９の蓋を開閉する開閉機構２２とを備えている。ポッドオープナ１４は載置台２１に載置されたポッド９の蓋を開閉機構２２によって開閉することにより、ポッド９のウエハ出入口を開閉する様に構成されている。

　サブ筐体１６はポッド搬送装置１５や回転式ポッド棚１１が配設されている空間（ポッド搬送空間）から気密となっている移載室２３を構成している。移載室２３の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）２４が設置されており、ウエハ移載機構２４は、ウエハ１８を載置する所要枚数（図示では５枚）のウエハ載置プレート２５を具備し、ウエハ載置プレート２５は水平方向に直動・回転可能、又昇降可能となっている。ウエハ移載機構２４の近傍、すなわちウエハ移載機構２４と後述のクリーンユニット３５との間には、ウエハ１８の円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合せ装置（図示せず）が設置されている。ウエハ移載機構２４は、後述するボート（基板保持具）２６に対してウエハ１８を装填及び払出しする様に構成されている。

　又、ウエハ移載機構２４には、ウエハ１８を保持するウエハ載置プレート２５がウエハ１８を所定の場所から取り、所定の場所に置く際に、ウエハ載置プレート２５の動作を調整する軸であるＸ軸と、ウエハ載置プレート２５がウエハ１８をボート２６に移載する際の進入角度を調整する軸であるＹ軸と、ウエハ載置プレート２５がウエハ１８をボート２６に移載する際の進入の高さを調整する軸であるＺ軸、及びＺ軸の微調整を行ってウエハ１８のボート２６に対する挿入間隔を調整するＶ軸という４つのパラメータが設定されている。

　移載室２３の後側領域には、ボート２６を収容して待機させる待機部２７が構成され、待機部２７の上方には縦型の処理炉２８が設けられている。処理炉２８は内部に処理室２９を形成し、処理室２９の下端部は炉口部となっており、炉口部は炉口シャッタ（炉口開閉機構）３１により開閉される様に構成されている。

　筐体２の右側端部とサブ筐体１６の待機部２７の右側端部との間にはボート２６を昇降させるボートエレベータ（基板保持具昇降装置）３２が設置されている。ボートエレベータ３２の昇降台に連結されたアーム３３には蓋体としてのシールキャップ３４が水平に取付けられており、シールキャップ３４はボート２６を垂直に支持し、ボート２６を処理室２９内に装入した状態で炉口部を気密に閉塞可能なように構成されている。

　ボート２６は、複数枚（例えば、５０枚～１２５枚程度）のウエハ１８をその中心に揃えて水平姿勢で多段に保持する様に構成されている。

　ボートエレベータ３２側と対向した位置にはクリーンユニット３５が配設され、クリーンユニット３５は、清浄化した雰囲気若しくは不活性ガス等のクリーンエア３６を供給する様供給ファン及び防塵フィルタで構成されている。クリーンユニット３５から吹出されたクリーンエア３６は、ノッチ合せ装置（図示せず）及びウエハ移載機構２４、ボート２６に流通された後に、図示しないダクトにより吸込まれて、筐体２の外部に排気されるか、若しくはクリーンユニット３５によって移載室２３内に吹出される様に構成されている。

（１－４）プロセス装置の動作
　次に、運転レシピ、装置パラメータなどに基づいて制御されるプロセス装置１の動作を、図６及び図７を参照して詳細に説明する。なお、このような動作は、後述する制御プログラム４０の装置制御部４１２により制御される。

　図６及び図７に示すロードポート８にポッド９が供給されると、ポッド搬入搬出口６がフロントシャッタ７によって開放される。ロードポート８上のポッド９はポッド搬送装置１５によってポッド搬入搬出口６を通して筐体２の内部へ搬入され、回転式ポッド棚１１の指定された棚板１３へ載置される。ポッド９は回転式ポッド棚１１で一時的に保管された後、ポッド搬送装置１５により棚板１３からいずれか一方のポッドオープナ１４に搬送されて載置台２１に移載されるか、若しくはロードポート８から直接、載置台２１に移載される。

　この際、ウエハ搬入搬出口１９は開閉機構２２によって閉じられており、移載室２３内にはクリーンエア３６が流通され、充満している。例えば、クリーンエア３６として窒素（Ｎ_２）ガスが充満することにより、移載室２３内の酸素（Ｏ_２）濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体２の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。

　載置台２１に載置されたポッド９はその開口側端面がサブ筐体１６の正面壁１７に於けるウエハ搬入搬出口１９の開口縁辺部に押付けられると共に、ポッド９の蓋が開閉機構２２によって取外されてウエハ出入口が開放される。

　ポッド９がポッドオープナ１４によって開放されると、ウエハ１８はポッド９からウエハ移載機構２４によって取出され、ノッチ合せ装置（図示せず）に移送される。ノッチ合せ装置にてウエハ１８を整合した後、ウエハ移載機構２４がウエハ１８を移載室２３の後方にある待機部２７内へ搬入し、ボート２６に装填（チャージング）する。

　ボート２６にウエハ１８を受渡したウエハ移載機構２４はポッド９に戻り、次のウエハ１８をボート２６に装填する。

　一方（上段又は下段）のポッドオープナ１４に於けるウエハ移載機構２４によるウエハ１８のボート２６への装填作業中に、他方（下段又は上段）のポッドオープナ１４には回転式ポッド棚１１から別のポッド９がポッド搬送装置１５によって搬送されて移載され、他方のポッドオープナ１４によるポッド９の開放作業が同時進行される。

　予め指定された枚数のウエハ１８がボート２６に装填されると、炉口シャッタ３１によって閉じられていた処理炉２８の炉口部が開放される。続いて、ボート２６はボートエレベータ３２によって上昇され、処理室２９内に搬入（ローディング）される。

　ローディング後は、シールキャップ３４によって炉口部が気密に閉塞される。

　続いて、処理室２９内が所望の圧力（真空度）となる様にガス排気機構（図示せず）によって真空排気される。又、処理室２９内が所望の温度分布となる様にヒータ駆動部（図示せず）によって所定温度迄加熱される。

　又、ガス供給機構（図示せず）により、所定の流量に制御された処理ガスが供給され、処理ガスが処理室２９内を流通する過程で、ウエハ１８の表面と接触し、この際に熱ＣＶＤ反応によってウエハ１８の表面上に薄膜が成膜される。更に、反応後の処理ガスは、ガス排気機構により処理室２９内から排気される。

　予め設定された処理時間が経過すると、ガス供給機構により不活性ガス供給源（図示せず）から不活性ガスが供給され、処理室２９内が不活性ガスに置換されると共に、処理室２９内の圧力が常圧に復帰される。

　ボートエレベータ３２によりシールキャップ３４を介してボート２６が降下される。

　処理後のウエハ１８の搬出については、上記説明と逆の手順で、ウエハ１８及びポッド９が筐体２の外部へ払出される。未処理のウエハ１８が、更にボート２６に装填され、ウエハ１８のバッチ処理が繰返される。

（１－５）基板処理装置の詳細構成
　図４を用いて、本発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置のブロック構成について制御系を中心にしてさらに詳述する。

　図４に示すように、基板処理装置が備える制御部２００は、少なくとも基板を処理するためのファイルを作成又は編集するための操作画面を表示する表示部２１０を設けた操作部２０１を備える。操作部２０１には、外部記憶手段２１２、入力手段２１３を装備するための装着部２１１が設けられる。外部記憶手段２１２は、例えばＦＤやＭＯあるいはＨＤ等である。入力手段２１３は、表示部２１０の操作画面上から文字などを入力するためのマウス又はキーボード等である。装着部２１１は１つ又は２つ以上設けられる。装着部２１１は、また、認証データが組み込まれたデバイス２１４が抜き差し可能に構成される。ここで、認証データは、例えばユーザＩＤやユーザパスワード等を含むデータである。デバイス２１４は例えばＵＳＢデバイスであり、このとき装着部２１１はＵＳＢポートとなる。

　さらに、制御部２００は、操作部２０１からの指示に従い、各種のプロセス制御機構２０４を制御するサブコントローラ２０３に指示を与え、操作部２０１で作成又は編集されたファイルの実行により基板を処理するよう制御するプロセス系コントローラ（ＰＭＣ）２０２を有する。また、制御部２００は、操作部２０１からの指示に従い、各種の搬送機構２０８を制御する搬送制御モジュール２０６に指示を与え、操作部２０１で作成又は編集されたファイルの実行により基板を搬送するよう制御する搬送系コントローラ２０５を有する。さらに、各種の搬送機構２０８は各種のセンサ２０９を備える。

　表示部２１０の操作画面を用いて運用レシピや装置パラメータを含むファイルが作成又は編集され、このファイルは操作部２０１からプロセス系コントローラ２０２にダウンロードされる。操作部２０１からダウンロードされたファイル中の運用レシピ等の内容に基づいて、プロセス系コントローラ２０２が、サブコントローラ２０３に所定の指示を行い、各種のプロセス制御機構２０４を制御する。また、上記ファイルは操作部２０１から搬送系コントローラ２０５にダウンロードされる。操作部２０１からダウンロードされたファイル中の運用レシピ等の内容に基づいて、搬送系コントローラ２０５が、搬送制御モジュール２０６に所定の指示を行い、各種の搬送機構２０８を制御する。この制御の際に、制御対象である各種の搬送機構２０８に備えられた各種のセンサ２０９の検知データは、搬送制御モジュール２０６にフィードバックされる。

　表示部２１０を含む操作部２０１、プロセス系コントローラ２０２、サブコントローラ２０３、搬送系コントローラ２０５及び搬送制御モジュール２０６は、制御部２００を構成し、基板処理装置に対して、運転レシピ、制御パラメータ等に基づいて、基板に対する処理の指示を発行する。

（１－６）デバイス
　第１の実施の形態に係るデバイス２１４は、それが持つ一意の情報を認識し、これに関連づけてユーザレベルでシステムの制御を行うことを可能としている。デバイス２１４は、ユーザＩＤ及びパスワード代替キーとして使用される。
　図５に、上述したデバイス２１４がＵＳＢデバイスである場合の例を示す。このＵＳＢデバイスは、コネクタ５３とコネクタ５３に接続された認識部５４とを備える。この認識部５４は、少なくともベンダＩＤ、プロダクトＩＤ、シリアルＮｏ．を有している。ベンダＩＤ、プロダクトＩＤ、シリアルＮｏ．は、それぞれ基板処理装置のユーザＩＤ、ユーザパスワードに割り当てられる。なお、シリアルＮｏ．を持っていないＵＳＢデバイスもあるが、その場合、シリアルＮｏ．を持っているものと比べてセキュリティが低くなる。したがって、基板処理装置のような高いセキュリティを必要とする場合は、シリアルＮｏ．を持っているＵＳＢデバイスが好ましい。このＵＳＢデバイスが、装着部２１１に差し込まれると、操作部２０１はＵＳＢデバイスのＩＤ及びＮｏ．を取得して、制御プログラム４０（図８）を実行して、ＵＳＢデバイスを固有のキーとして認識する。図示されてはいないが、上述の認証データとしての認識部５４の他に、所定のデータを記憶するための記憶手段を構成してもよい。なお、記憶手段を有するＵＳＢデバイスについては後述する。

（１－７）制御プログラム
　図８は、本発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置の操作部２０１により実行される制御プログラム４０の機能構成を示す図である。
　図８に示すように、制御プログラム４０は、ユーザインタフェース（ＵＩ）部４００、認証部４０２、ユーザＤＢ４０４、設定部４０６、レシピ記憶部４０８、パラメータ記憶部４１０、装置制御部４１２、操作制御部４１４を有する。また、必要に応じて記憶部４１１を有する。制御プログラム４０は、基板処理装置に供給され、操作部２０１内のメモリ（図示せず）にロードされて、操作部２０１上で動作する図示しないＯＳ上で、ハードウェアを具体的に利用して実行されるように構成されている。

　ユーザインタフェース（ＵＩ）部４００、認証部４０２、設定部４０６及び操作制御部４１４は、図４に示される操作部２０１により実現されるように構成されている。また、ユーザＤＢ４０４、レシピ記憶部４０８、パラメータ記憶部４１０、記憶部４１１は、操作部２０１内のメモリ又は外部記憶手段２１２により実現されるように構成されている。また、上記装置制御部４１２は、図４に示されるプロセス系コントローラ２０２、サブコントローラ２０３、搬送系コントローラ２０５、及び搬送制御モジュール２０６により実現されるように構成されている。

　制御プログラム４０において、ＵＩ部４００は、前述した外部記憶手段２１２、入力手段２１３、及びデバイス２１４に対するユーザの操作を受け入れ、制御プログラム４０の各構成部分に対して出力するように構成されている。さらに、ＵＩ部４００は、制御プログラム４０の各構成部分により作成された情報・データ及び各構成部分の処理内容などを、図４に示される操作部２０１の表示部２１０に表示するように構成されている。

　ユーザＤＢ４０４は、複数のユーザの識別子（ＩＤ）や各ユーザのパスワード等の認証用のデータ、及びレシピ編集処理、パラメータ編集処理等のそれぞれの処理に対する、前記認証用のデータに基づいた該ユーザの権限（ユーザレベル）を記憶するように構成されている。このようにユーザＤＢ４０４に予め記憶された認証データ等を有するデバイス２１４を登録済みデバイス２１４という。ユーザＩＤは、ユーザを一意に識別するための識別子である。パスワードは、ユーザを認証するための、例えば英数字からなる所定の長さの文字列である。ユーザ権限（ユーザレベル）は、レシピ編集を例にとって説明すれば、運用レシピを参照及び編集するための「編集」権限、運用レシピを参照するための「参照」権限、及び参照・編集のいずれも行うことができない「禁止」権限のいずれかである。ユーザは、それぞれの処理に対していずれかの権限を設定されている。

　認証部４０２は、デバイス２１４が装着部２１１に差し込まれると、デバイス２１４が有するユーザＩＤ及びユーザパスワードを受け付け、ユーザＤＢ４０４を参照し、ユーザを認証するように構成されている。具体的には、認証部４０２は、ユーザＩＤ及びユーザパスワード等の認証データを受け付けると、パスワードがＩＤに対して正しいものであるか否かを判定するように構成されている。パスワードがＩＤに対して正しいものであると判定された場合、認証部４０２は、認証データに基づいたユーザレベルの処理が実行されることを許可するように構成されている。

　また、認証部４０２は、デバイス２１４が装着部２１１から抜き出されると、ユーザの権限を前のユーザに戻すように構成されている。具体的には、認証部４０２は、デバイス２１４の抜き出しを確認すると、デバイス２１４が装着部２１１に差し込まれる前のユーザのユーザＩＤ及びユーザパスワードを、ユーザＤＢ４０４から読み出して、ユーザ権限を前のユーザに設定するように構成されている。

　レシピ記憶部４０８は、複数のプロセスの処理内容が記載された運転レシピを記憶するように構成されている。パラメータ記憶部４１０は、運転レシピを実行するためのパラメータを記憶するように構成されている。具体的には、パラメータ記憶部４１０は、基板処理装置の状態や使用可能な機能等を変更するための装置パラメータを記憶するように構成されている。このようにして、レシピ記憶部４０８及びパラメータ記憶部４１０は、基板処理装置の機能に関するデータを記憶するデータ記憶手段を構成する。記憶部４１１は、基板処理装置内で収集したデータ等を一時的に記憶するように構成されている。

　設定部４０６は、レシピ記憶部４０８又はパラメータ記憶部４１０により記憶されているデータを編集するための操作を受け付ける受付手段を構成する。具体的には、設定部４０６は、ユーザによりレシピ編集画面（図示略）又はパラメータ編集画面（図示略）を介して入力される操作を受け付け、レシピ記憶部４０８に記憶されている運転レシピ、パラメータ記憶部４１０に記憶されている装置パラメータの登録、削除及び更新を行うように構成されている。

　操作制御部４１４は、認証部４０２を制御して、メニュー画面等の初期画面又は認証画面を操作部２０１の表示部２１０に表示する。また、例えば、操作制御部４１４は、デバイス２１４の差し込み（ログイン操作）があった場合、認証部４０２を制御して、認証画面を表示させることなく、ユーザＩＤ及びユーザパスワードを受け付けるように構成されている。また、例えば、操作制御部４１４は、デバイス２１４を差し込むことなくユーザログイン操作があった場合、認証部４０２を制御して、認証画面を表示させてユーザＩＤ及びユーザパスワードを入力させるように構成されている。
　一方、装置制御部４１２に対しては、基板の処理に関する指示を出力し、これらを制御するように構成されている。

（１－８）基板処理装置の制御処理
　次に、本発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置の制御処理を説明する。なお、以下の説明において、デバイス２１４はＵＳＢデバイスであるものとし、装着部２１１はＵＳＢポートであるものとする。

　（ユーザログイン）
　図９は、本実施の形態に係る基板処理装置で実行される制御プログラム４０によるログイン処理の制御処理を示すフローチャートである。ここでは主に、ユーザ（非管理者）によるログイン処理（切り替え処理）、つまり、ユーザログイン（ユーザ切り替え）について説明する。

　図９に示すステップ９０において、制御プログラム４０の操作制御部４１４は、操作部２０１の表示部２１０にメニュー画面等の初期画面（図１（ａ））を表示する。この状態で、操作制御部４１４は、ＵＳＢデバイスがＵＳＢポートに差し込まれたか否かを判定し（ステップ９１）、ＵＳＢデバイスが差し込まれた場合にはステップ９２の処理に進み、そうでない場合にはステップ９０の処理に戻る。

　ステップ９２において、認証部４０２は、操作制御部４１４を制御して、初期画面（図１（ａ））が操作部２０１の表示部２１０に表示された状態を保持する。認証部４０２は、ＵＳＢデバイスから読み込んだユーザＩＤ及びユーザパスワードを受け付け、認証処理を行う。具体的には、認証部４０２は、ユーザＤＢ４０４を参照し、ユーザパスワードがユーザＩＤに対して正しいものであるか判定する（ステップ９３）。正しいと判定されると、ユーザの認証レベルに基づいたユーザレベルにログインすることを許可して（ステップ９４）、ユーザログインを完了する。これにより、前に他のユーザがログインしていた場合は、ユーザが、ＵＳＢデバイスに組み込まれたユーザＩＤで識別されるユーザに切り替えられる。正しくないと判定されると、ログインを不許可とし（ステップ９５）、ユーザログインを完了する。なお、ログイン不許可の場合、再度、新規にユーザＩＤ及びユーザパスワードを入力するか、又は、別のＵＳＢデバイスを装着部２１１に再度差し込み、ユーザログイン処理を行うことができる。このとき、ＵＳＢデバイスを用いる場合には、ログインが不許可となったＵＳＢデバイスは除いておくことが好ましい。

　なお、ユーザ切り替え後の制御処理では、ログイン許可されたユーザがメニュー画面上で使用可能な機能ボタンを選択すると、設定部４０６は、操作制御部４１４に制御されて、操作画面を表示部２１０に表示する。ユーザは、操作画面として編集画面を開いた場合、この編集画面を介して所定の処理、例えば、所望の制御パラメータの設定や所望の装置パラメータの設定を行う。設定部４０６は、ユーザによる操作を受け付けたか否かを判定し、制御プログラム４０は、操作が受け付けられた場合には、受け付けられた操作に基づいて、レシピ記憶部４０８、パラメータ記憶部４１０等に記憶されているデータの参照、更新等を行う。

　このようにして、ユーザ切り替え処理は、認証画面（ログイン画面）の表示や、認証データの入力を全て省略して、単にＵＳＢデバイスをＵＳＢポートに差し込むだけで、容易に実行できる。したがって、ユーザＩＤおよびパスワード入力等の認証データ入力の煩わしさ、および誤ったパスワードを入力することによる画面操作の禁止状態を有効に回避することができる。

　（ログアウト処理）
　制御プログラム４０の操作制御部４１４は、例えば表示部２１０にメニュー画面（図１（ａ））を表示したままの状態で、登録済みＵＳＢデバイスがＵＳＢポートから抜き出されたか否かを判定する。登録済みＵＳＢデバイスが抜き出された場合には、ユーザ権限を差し込み前のユーザに戻し、ログアウト処理を完了する。なお、上述の特定のボタン５２をチェックする工程を追加してもよい。

　このようにして、ログアウト処理は、認証画面（ログイン画面）を表示部２１０に表示させることなく、ＵＳＢデバイスを抜き出すだけで、容易に実行できる。また、ＵＳＢデバイスを抜き出したときに前のユーザに自動的に戻せるため、ユーザの戻し忘れがない。したがって、前に装置を使用していたユーザのユーザレベルが、当該ＵＳＢデバイスを抜き出したユーザのユーザレベルよりも低い場合、前のユーザが権限のない処理を誤って実行することがなくなる。よって、装置の安全性も確保しつつ、操作性が格段に向上する。

　以上、本実施の形態では、ＵＳＢデバイスを用いないでログイン（切り替え）する入力方法についても説明したが、このような従来のユーザＩＤとパスワードの入力方法を残したのは、ＵＳＢデバイスを紛失した場合や、ＵＳＢデバイスのログインが不許可になった場合でも、装置を操作することを可能とするためである。

（１－９）本実施の形態の効果
　以上述べたごとく本実施の形態によれば、少なくとも認証データを組み込んだＵＳＢデバイスを挿入したり抜き出したりするだけでユーザログイン及びユーザログアウトを実行できるので、認証データであるユーザＩＤおよびパスワード入力の煩わしさ、および誤ったパスワードを入力することによる画面操作の禁止状態を回避することができるようになる。したがって、ログイン処理に伴う操作性、例えば、ユーザ切り替えに伴う操作性を向上できる。

　特に、ＵＳＢデバイスを差し込んだら、そのＵＳＢデバイスの認証データに基づいたユーザレベルに変更し、ＵＳＢデバイスを抜き出すと、前の（元の）ユーザに戻せるためユーザレベルの戻し忘れがない。特に、装置が基板処理装置にあっては、通常、権限レベルの低いユーザが装置を運用しているので、レシピ編集やパラメータ設定変更などの特殊な作業が行われる場合、権限レベルの高いユーザはログイン処理をしてから特殊な作業をおこなっている。権限レベルの高いユーザは、このような特殊な作業を終了すると、その後ログアウト処理し、再度権限レベルの低いユーザがログイン処理して装置を運用する。この点で、本実施の形態のようにＵＳＢデバイスを抜き出すと、前に使用していたユーザに戻せるとメリットが大きく、ユーザ切り替えに伴う操作性を一層向上できる。

（１－１０）本実施の形態の変形例
　上述した第１の実施の形態では、デバイス２１４の記憶手段について特に詳細には触れなかったが、記憶手段を有するデバイスに付加機能を持たせると、ログイン処理に伴う操作性、例えば、ユーザ切り替えに伴う操作性をより向上できる。
　図５に示したデバイス２１４としてのＵＳＢデバイスの変形例として図１０に示すように、第１の実施の形態の変形例に係る記憶手段を有するＵＳＢデバイスは、コネクタ５３にコントローラ５５が接続され、コントローラ５５から記憶手段であるフラッシュメモリ５６に接続された構造をしている。このフラッシュメモリ５６には、所定のデータを記憶させる記憶領域の他に、付加情報（図２）が記憶されている。付加情報には、例えばユーザ切り替え後に、引き続きデータバックアップを開始する機能（データバックアップ機能）、メンテナンスを開始する機能（メンテナンス機能）、レシピファイル等のファイルを実行する機能（ファイル実行機能）、レシピ編集開始機能、パラメータ編集開始機能など、データバックアップ、メンテナンス、ファイル実行、レシピ編集、パラメータ編集等の特定の操作を基板処理装置に行わせる機能を持たせることができる。このような付加情報をもつＵＳＢデバイスは、その動作開始制御の目的に応じて、複数個用意しておくことが好ましい。

　本変形例では、制御プログラム４０も、この記憶手段を有するＵＳＢデバイスの付加機能に合わせて、機能アップする。具体的には、設定部４０６と装置制御部４１２との間に、基板処理装置から収集するデータをＵＳＢデバイスへ転送するための記憶部４１１を必要とする。
　認証部４０２は、ＵＳＢデバイスが有する付加情報を読み取り、操作制御部４１４を制御して、ユーザ切り替え後、引き続き付加情報で指定された指定画面を、操作部２０１の表示部２１０に表示させる。読み取った付加情報がデータバックアップ機能である場合、認証部４０２は、操作制御部４１４を介して設定部４０６に設定されているバックアップデータの格納先を、ＵＳＢデバイスの記憶手段に変更する。また、読み取った付加情報がメンテナンス機能である場合、メンテナンスすべき装置部位が、設定部４０６で設定されて、その設定部位が記憶部４１１に格納される。また、操作制御部４１４は、基板処理中にＵＳＢデバイスがＵＳＢポートに差し込まれた場合、レシピ記憶部４０８、パラメータ記憶部４１０に記憶された基板を処理するためのファイルの実行を停止するよう構成してある。さらに操作制御部４１４は、当該ファイルの実行が停止されるとき、装置制御部４１２に対して、前記記憶部４１１に予め記憶させた安全なファイルによって安全な処理に関する指示を出力し、装置制御部４１２を制御する。なお、上述した付加情報で定義される機能は一例であって、これらに限定されないことはいうまでもない。
　以下、データバックアップ機能、メンテナンス機能、安全なファイルの移行機能を例にとって具体的に説明する。

　（データバックアップ機能）
　まず、ＵＳＢデバイスのデータバックアップ機能について説明すると、図１１に示すように、ログイン処理（ユーザ切り替え）完了後、ステップ１１０において、制御プログラム４０の操作制御部４１４は、ＵＳＢデバイスの所定の記憶領域にデータバックアップ機能が割り当てられているか否かを判定し、データバックアップ機能が割り当てられていると判断した場合には、ステップ１１１に進み、そうでない場合にはステップ１１４の通常モードに戻る。ここでの通常モード１１４は、上述した図９で、ユーザログインが完了した状態である。よって、認証データに基づいたユーザレベルでの初期画面が表示される。

　ステップ１１１では、操作制御部４１４は、表示部２１０にデータバックアップ画面（図３（ａ））を表示する。操作制御部４１４は、開始ボタンが選択されて、バックアップモードが入力手段２１３により選択されたか否かを判定し（ステップ１１２）、さらに記憶部４１１から読み出されたバックアップすべき部位が選択された場合には、ステップ１１３のデータバックアップ実行処理に進み、そうでなくキャンセルされた場合にはステップ１１４の処理に進む。

　ステップ１１３では、装置制御部４１２に制御された設定部４０６が、バックアップすべき選択されたデータを、記憶部４１１からユーザインタフェース部（ＵＩ部）４００を介してＵＳＢデバイスに取り込む（図２）。

　このように、ＵＳＢデバイスにデータバックアップ機能が割り当てられていると、ＵＳＢデバイスを差し込むだけで、ユーザ切り替えが完了した後、引き続きデータバックアップ画面が開くので、ユーザ切り替えに伴う操作性を一層向上させることができる。また、特定の操作に限定して、ユーザに操作を行わせることができるので、誤操作や画面情報の流出のおそれが低減し、装置の信頼性や安全性がより確実に確保される。

　（メンテナンス機能）
　次に、ＵＳＢデバイスのメンテナンス機能について説明すると、図１２に示すように、ユーザ切り替え完了後、ステップ１２０において、制御プログラム４０の操作制御部４１４は、ＵＳＢデバイスの所定の記憶領域にメンテナンス機能が割り当てられているか否かを判定し、メンテナンス機能が割り当てられていると判断した場合には、ステップ１２１に進み、そうでない場合にはステップ１２４の通常モードに戻る。ここでの通常モード１２４は、上述した図９のユーザログイン完了と同じ状態であるので、ここでは初期画面が表示される。

　ステップ１２１では、操作制御部４１４は、表示部２１０にメンテナンス画面（図３（ｂ））を表示する。操作制御部４１４は、開始ボタンが選択されて、メンテナンスモードが入力手段２１３により選択されたか否かを判定し（ステップ１２２）、さらにメンテナンスすべき所定の装置部位が選択された場合には、ステップ１２３の処理に進み、そうでなくキャンセルされた場合にはステップ１２４の処理に進む。なお、キャンセルされてステップ１２４の処理に進むと、ステップ１２２の処理には戻らない。よって、誤ってキャンセルした場合には、再度、ＵＳＢデバイスの抜き差しが必要である。

　ステップ１２３では、装置制御部４１２に制御された設定部４０６が、メンテナンスすべき装置部位を基板処理装置に指示して、メンテナンスを実行する。

　このように、ＵＳＢデバイスにメンテナンス機能が割り当てられていると、ＵＳＢデバイスを差し込むだけで、ユーザ切り替えが完了した後、引き続きメンテナンス画面が開くので、ユーザ切り替えに伴う操作性を一層向上させることができる。例えば、クリーニング用のレシピを実行するため、または、大気開放すべく処理室２９内をＮ_２パージするレシピを実行するため等の操作画面が表示される。

　以上、記憶手段を有するＵＳＢデバイスに特定の操作を割り当て、このＵＳＢデバイスを装置側のユーザＤＢに登録することにより、ユーザ切り替え後自動的に特定の操作を実施できるようにしたので、ユーザ切り替えに伴う操作性を一層向上できる。また、ユーザに特定の操作を行わせるための特定の画面を表示して、特定の操作に限定してユーザに操作を行わせることができる。よって、ユーザの誤操作による操作不可状態に陥ることがなく、また、意図しない画面からの重要情報の流出を防止することができる。

　（安全なファイルの移行機能）
　ところで、本実施の形態のように、ＵＳＢデバイスを用いて各種機能を実行できるようにすると、ＵＳＢデバイスが基板処理中に不用意にＵＳＢポートに差し込まれて問題になる場合がある。そこで、本変形例では、基板処理中にＵＳＢデバイスが前記ＵＳＢポートに差し込まれると、基板を処理するためのファイルの実行が停止されるよう構成してある。

　図１３に示すように、基板を処理するために作成又は編集が行われたファイルにより基板が処理中のときは（ステップ１３０）、通常、制御プログラム４０の操作制御部４１４は、操作部２０１の表示部２１０に基板処理装置の稼働状態を監視する画面（図３（ｄ））を表示する。この基板処理中に、操作制御部４１４は、ＵＳＢデバイスがＵＳＢポートに差し込まれたか否かを判定し（ステップ１３１）、登録済みＵＳＢデバイスであった場合には、装置制御部４１２は、基板処理装置に対して、基板を処理するためのファイルの実行を停止する指示を出力し、基板処理装置を制御する（ステップ１３２）。ファイルの実行を停止する一例として、実行ファイルを、レシピ記憶部４０８、パラメータ記憶部４１０に記憶されている基板を処理するためのファイルから、記憶部４１１に記憶されている基板処理装置を安全な状態、例えばアイドル状態に移行させるためのファイルに切り替えて、この安全な状態に移行させるファイルを実行する（ステップ１３２ａ）。この場合、さらに装置状態を安全な状態に移行させることができる。

　（所定のボタン表示）
　ところで、上述したように記憶手段を有するＵＳＢデバイスをＵＳＢポートから抜き出す際には、アンマウント操作を行わなければならず、いきなり抜き出してしまうとＵＳＢデバイスが故障してデータが失われる可能性がある。そのため、アンマウント操作を安全に行うための、制御プログラムを追加し、操作画面上のボタンの表示を次のように工夫した。

　制御プログラム４０の操作制御部４１４は、前記ＵＳＢデバイスがＵＳＢポートに装着されていないときは、認証部４０２を制御して、メニュー画面などの初期画面（操作画面）上の所定のボタンを表示部２１０に非アクティブ表示させて、前記ボタンの押下を不可にするように構成している（図３（ｃ））。ここで、所定のボタンとは、例えばアンマウント操作の可否を表示するボタン５２である（図３（ｅ））。非アクティブ表示例として、所定のボタンの色を画面の背景色と同様の色にすることが好ましい。これにより非差し込み時は、所定のボタンを無視できるようにする。

　また、操作制御部４１４は、前記ＵＳＢデバイスがＵＳＢポートに差し込まれているときは、認証部４０２を制御して、表示部２１０の前記操作画面上で予め決められた操作や、基板処理装置の稼動状態を監視する操作画面の切り替え表示操作でも切り替わらない領域（部分）に、前記所定のボタンをアクティブ表示させるよう構成する（図３（ｄ））。これにより、差し込み時はいつでも注意を喚起できる。

　なお、操作制御部４１４は、前記ＵＳＢデバイスが前記アンマウント操作可否のボタン５２を押下しないで前記ＵＳＢポートから取り外されると、表示部２１０の前記操作画面上にボタン５２を押下しないで取り外されたことを知らせる警告を表示することが好ましい（図３（ｅ））。これにより、データ保護の安全性をより高めることができる。さらに好ましくは、ボタン５２を押下しないで前記ＵＳＢデバイスが抜き出されると、ログアウト処理が完了しないよう構成することが望ましい。そうすると、ユーザはログアウト処理の一手順としてボタン５２を押下するため、データ保護の安全性をより高めることができる。また、ログアウト処理が完了しないだけでは、他のユーザによる誤操作が懸念されるため、ボタン５２を押下しないで前記ＵＳＢデバイスが抜き出されると、操作禁止（システムロック）となることがより望ましい。そうすると、よりいっそう装置の安全性が確保される。この場合、システムロック解除用のＵＳＢデバイスを挿入すれば解除となる構成にしておき、このシステムロック解除用のＵＳＢデバイスを抜き出せばログアウト処理が完了するように構成すると、操作性がはるかに向上することはいうまでもない。

＜第２の実施の形態＞
　次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。本実施の形態においては、さらに操作画面の表示状態の切り替えを行うように構成されている点が、第１の実施の形態とは異なる。以下の説明では、上述の第１の実施の形態と同様の構成については、上述と同様の機能を有する構成要件に同一の符号を付して説明を省略する。

　表示部２１０に表示される操作画面には、様々な知見に基づく運用レシピや装置パラメータ、装置性能を知る手掛かりとなり得る装置ダウンタイムやトラブル内容等を示す情報など、第３者には知られたくない情報が多く含まれる。このため、操作画面が表示されたまま放置されると、重要な情報がユーザ権限を有さない者によって盗み見されたり、書き換えられてしまったりという危険性があった。

　このような危険性の低減のため、例えば本実施の形態の参考例として、画面操作がなされないまま一定時間が経過したら、スクリーンセーバ画面等を起動させて表示部の操作画面を非表示とする等の対策が可能である。さらに、操作画面を再び表示させる際、ユーザＩＤの入力、パスワードの入力及び承認を要することとすれば、一層、情報漏洩等の危険性が低減する。

　しかしながら、パスワードを入力する上記手法には、第１の実施の形態と同様の課題が生じ得る。例えば、一定時間が経過しないと表示部の表示状態が切り替わらなかったり、キーボード等の入力装置を有さない基板処理装置には上記手法が適用できなかったり等の制約があり、情報漏洩の危険性の回避が不十分である。また、上記一定時間の設定を短くすると、反対に何度もユーザＩＤ及びパスワードの入力が必要となり、操作性が悪い。

　そこで、本実施形態においては、第１の実施の形態のログイン処理及びログアウト処理に伴って、操作画面の表示状態の切り替えをデバイス２１４の抜き差しに応じて行う構成とすることで、情報漏洩の危険性を低減し、また、ログイン処理及びログアウト処理に伴う操作性を一層向上させる。

（２－１）制御プログラム
　以下に、本実施の形態に係る基板処理装置の操作部２１０により実行される制御プログラム４０の機能について、図８を参照して説明する。本実施の形態に係る制御プログラム４０も、第１の実施の形態と同様の機能を備える。

　また、データ認証手段としての認証部４０２は、デバイス２１４が装着部２１１に差し込まれると、第１の実施の形態と同様にしてログイン処理を完了し、デバイス２１４が装着部２１１から抜き出されると、ログアウト処理を完了するように構成されている。本実施形態において、ログアウト処理が完了した状態は、全ユーザレベルの装置運用の権限が取り消された状態、つまり誰もログインしていない状態や、前のユーザレベルにユーザの権限が戻った状態等を指す。

　また、表示制御手段としての操作制御部４１４は、デバイス２１４が差し込まれてログイン処理が完了すると、所定の操作画面の少なくとも一部を操作部２０１の表示部２１０に表示するように構成されている。このとき、操作制御部４１４は、例えば認証部４０２により認証されたユーザレベルに基づいて、表示部２１０上の表示状態を制御するように構成されている。すなわち、操作画面のうち、例えばユーザレベルの低いユーザに開示し得る部分、具体的には、操作画面の切り替え表示操作でも切り替わらない固定表示領域や、警告表示等のみを表示したり、ユーザレベルの高いユーザに合わせて操作画面の全部を表示したり等の制御を行うように構成されている。

　また、操作制御部４１４は、デバイス２１４が抜き出されてログアウト処理が完了すると、表示部２１０の操作画面の少なくとも一部の表示状態を切り替えるように構成されている。表示状態の切り替えには、例えば所定の操作画面から他の所定画面への切り替えや、所定の操作画面の非表示状態への切り替え等がある。このとき、操作制御部４１４は、表示部２１０に表示されている操作画面のうち、例えばログアウト状態での開示を禁止する部分のみ、具体的には、上記の固定表示領域や警告表示等以外の部分のみを非表示にしたり、操作画面の全体を非表示にしたり他の所定画面に切り替えたり等、表示部２１０上の表示状態を制御するように構成されている。ここで、操作画面の非表示状態には、画面がブラックアウトした状態、画面を低輝度にした状態、スクリーンセーバのような操作画面全体を覆い隠す画面等を表示して操作画面を非表示とした状態等がある。このように、特に、操作画面を非表示状態とする場合には、表示部２１０の長寿命化も図ることができる。

　これら表示状態の切り替え設定や、起動プログラムは、例えば記憶部４１１等に読み出し可能に格納され、操作画面の表示状態を切り替える際、設定部４０８を介して操作制御部４１４に読み出されて実行されるように構成されている。

　また、操作制御部４１４は、デバイス２１４が装着部２１１に差し込まれているか否かを判定し、デバイス２１４が抜き出された状態では、操作画面の少なくとも一部の表示状態を切り替えるように表示部２１０を制御するように構成されている。デバイス２１４が抜き出された状態には、差し込まれていたデバイス２１４が抜き出された場合の他に、基板処理装置の立ち上げ後に未だ誰もログインしていない状態等も含まれる。

　なお、本実施形態に係る操作画面には、データバックアップ画面、メンテナンス画面、装置稼働状態監視画面、レシピやパラメータ等の編集画面、認証画面（ログイン画面）、初期画面（例えばメニュー画面）等が含まれる。操作制御部４１４は、そのときどきの状況や設定に応じて、任意の操作画面を表示部２１０に表示するように構成されている。例えば、基板処理装置の立ち上げ後、ログイン処理が完了するまでは、初期画面等の所定の画面以外の操作画面を非表示とするように構成されていてもよい。また、ログイン処理が完了したら、常に所定の操作画面を表示したり、ユーザレベルに応じた操作画面を表示したり、或いは直近のログアウト処理前に表示されていた操作画面を表示したりするように構成されていてもよい。

（２－２）基板処理装置の制御処理
　次に、本実施の形態に係る基板処理装置の制御処理について説明する。なお、以下の説明において、デバイス２１４はＵＳＢデバイスであるものとし、装着部２１１はＵＳＢポートであるものとする。

　（操作画面の表示）
　図１４は、本実施の形態に係る基板処理装置による操作画面の表示の制御処理を示すフローチャートである。これは、第１の実施の形態の図９に相当する機能であるが、ＵＳＢデバイスの差し込みによるログイン処理に伴って、所定の操作画面が表示される点が異なる。

　図１４に示すステップ２９０において、操作部２０１の表示部２１０上では、例えば操作画面が非表示の状態となっている。係る状態は、基板処理装置の立ち上げ後に未だ誰もログインしていない状態や、後述するように、差し込まれていたＵＳＢデバイスが抜き出されてログアウト処理が完了した後の状態等であり得る。この状態で、操作制御部４１４は、ＵＳＢデバイスがＵＳＢポートに差し込まれたか否かを判定し（ステップ２９１）、ＵＳＢデバイスが差し込まれた場合にはステップ２９２の処理に進み、そうでない場合には操作画面の非表示状態を維持したまま、ステップ２９０とステップ２９１とを繰り返す。

　次に、認証部４０２は、上述の実施の形態と同様にして、認証画面（ログイン画面）を表示させることなく、ＵＳＢデバイスからユーザパスワード等を読み込み（ステップ２９２）、認証データの正否を判定する。なお、このとき「照合中」を示す画面（例えばメッセージ画面）を表示してもよい（ステップ２９３）。正しい（ＯＫ）と判定するとログイン処理を完了し（ステップ２９４）、操作制御部４１４が、認証されたユーザレベルに応じた操作画面を表示する（ステップ２９６）。正しくない（ＮＧ）と判定すると、ログインを不許可とし（ステップ２９５）、操作画面を表示することなくステップ２９０に戻る。なお、このとき「照合ＮＧ」を示す画面（例えばメッセージ画面）を表示してもよい。

　なお、操作画面が表示された後は、ログイン許可されたユーザが、例えばメニュー画面上で使用可能な機能ボタンを選択する等して、種々の操作を行うことができる。

　このように、ＵＳＢデバイスをＵＳＢポートに差し込むだけで、例えば非表示となっている操作画面を表示させ、引き続きユーザレベルに応じた操作を行うことができるので、ログイン処理に伴う操作性を一層向上させることができる。

　（操作画面の表示状態切り替え）
　図１５は、本実施の形態に係る基板処理装置による操作画面の表示状態の切り替え制御処理を示すフローチャートである。係る制御処理により、ＵＳＢデバイスの抜き出しによるログアウト処理に伴って、操作画面の表示状態が切り替わる点が特徴である。

　図１５に示すステップ３００において、操作部２０１の表示部２１０上では、例えば所定の操作画面が表示された状態となっている。係る状態は、例えばＵＳＢデバイスが差し込まれてログイン処理が完了した状態である。この状態で、操作制御部４１４は、登録済みＵＳＢデバイスがＵＳＢポートから抜き出されたか否かを判定する（ステップ３０１）。登録済みＵＳＢデバイスが抜き出された場合には、認証画面（ログイン画面）を表示させることなく、認証部４０２がログアウト処理を完了し（ステップ３０２）、操作制御部４１４が、操作部２０１の表示部２１０上に表示されている操作画面を非表示にする（ステップ３０３）。そうでない場合には操作画面の表示状態を維持したまま、ステップ３００とステップ３０１とを繰り返す。また、ＵＳＢデバイスの種類に応じて所定の取り出し手順を追加してもよい。

　このように、ＵＳＢデバイスをＵＳＢポートから抜き出すだけで、操作画面を例えば非表示にすることができるので、ログアウト処理に伴う操作性を一層向上させることができる。また、ログアウト処理完了の状態（ＵＳＢデバイスが抜き出された状態）、つまり、誰も基板処理装置を運用していない可能性が高い状態のときに、操作画面が非表示等となるので、操作画面が表示されたまま放置されることが減り、ユーザ権限を有さない第３者等によって操作画面が盗み見されたり、書き換えられてしまったりという危険性を低減することができる。

　なお、本実施の形態に係る基板処理装置は、操作画面が非表示等になった状態から、ＵＳＢデバイスを用いずとも、入力手段２１３を介したパスワード入力等によっても操作画面を表示可能なように構成されていてもよい。この場合、入力されるパスワード等の認証データは、ＵＳＢデバイスが備える認証データと同じものでも異なるものでもよく、基板処理装置の操作部２０１に予め登録された、デバイス認証用や入力内容認証用のデータと照合され、いずれかと一致するとログイン処理を完了するように構成されていることが好ましい。

　また、本実施の形態に係る操作部２０１は、ＵＳＢデバイスが抜き出された状態では、装着部２１１や表示部２１０等を介しての全ての入力を受け付けないように構成されていてもよい。係る入力には、ＵＳＢデバイスの差し込みも含むことができる。ここで、初期化処理、データバックアップ、メンテナンス等のコマンド入力や、所定ファイルの作成・編集作業に伴う入力等、所定の入力に限って受け付けないように構成することも可能だが、ＵＳＢデバイスの差し込みを含む入力を受け付けないようにすることで、情報漏洩等の危険性をより低減することができる。また、特定のＵＳＢデバイスの差し込み等、特定の入力のみを受け付け可能にするよう構成されていてもよい。

　また、本実施の形態に係る操作制御部４１４は、ＵＳＢデバイスを抜き出すと所定の操作画面の少なくとも一部を表示し、ＵＳＢデバイスを差し込むと操作画面の少なくとも一部の表示状態を切り替えるように構成されていてもよい。係る構成は、例えば基板処理装置の異常発生時やメンテナンス時に、それに応じた作業に取り掛かろうとする作業員がＵＳＢデバイスを差し込むことで、第３者が所定の操作画面を見られなくしたり、第３者による操作画面からの所定の操作を禁止したりする際などに有用である。

（２－３）本実施の形態の効果
　本実施の形態においては、第１の実施の形態の効果に加えて、さらに以下に挙げる１つ又は複数の効果を奏する。

　本実施の形態に係る操作制御部４１４は、デバイス２１４が抜き出されてログアウト処理が完了すると、所定の操作画面の表示状態を切り替える構成となっている。これによって、ログアウト処理に伴う操作性を一層向上させることができる。

　また、本実施の形態に係る操作制御部４１４は、操作画面の少なくとも一部の表示状態を切り換える構成となっている。これによって、ユーザレベルに応じた情報を選択的に表示したり、安全性確保に係る情報を積極的に表示したりできるので、各ユーザのレベルに関係なく、所望の操作を簡単な仕組みで行わせることができ、ひいては操作性が格段に向上する。

　また、本実施の形態に係る操作制御部４１４は、デバイス２１４が抜き出されると、所定の操作画面を非表示にする構成となっている。これによって、ログアウト処理完了の状態、すなわち、誰も基板処理装置を運用していない可能性が高い状態のときに、操作画面が表示されたまま放置されることが減り、また、前のユーザにユーザ権限が戻った状態でも、やはり非表示状態となっているため、操作画面上の情報の漏洩や書き換えの危険性を低減することができる。

　また、本実施の形態に係る操作制御部４１４は、操作画面を非表示状態とする場合に、ブラックアウト状態や低輝度状態、スクリーンセーバ画面起動状態等とするように構成されている。これによって、表示部２１０の長寿命化を図ることができる。

　また、本実施の形態に係る操作部２０１は、デバイス２１４が抜き出された状態では、操作部２０１に対する入力を受け付けないように構成されている。これによって、操作画面上の情報の漏洩や書き換えの危険性を一層低減することができる。

　また、本実施の形態に係る操作部２０１は、デバイス２１４が抜き出された状態では、認証データが入力手段２１３等からの入力、または、再度デバイスを装入するなどのログイン処理が完了しないと、所定の操作画面を表示しない構成となっている。これによって、操作画面上の情報の漏洩や書き換えの危険性を一層低減することができる。

（２－４）本実施の形態の変形例
　次に、本実施の形態の変形例に係るデバイスについて、以下に説明する。

　本変形例に係るデバイスは、例えば第１の実施の形態の図１０に示すＵＳＢデバイスと同様、記憶手段としてのフラッシュメモリ５６を有する。フラッシュメモリ５６には、ＵＳＢデバイスに付加機能を付与する付加情報が記憶されている。付加情報によって付与される付加機能のいくつかを、以下に例示する。

　付加機能の一例として、ＵＳＢデバイス差し込みによるログイン処理の完了後、所定の操作画面を表示させる操作画面切り替え機能について説明する。ログイン処理完了後の状態（図１４のステップ２９４に該当）を示す図１６において、差し込まれたＵＳＢデバイスが操作画面切り替え機能を備える場合（ステップ２９４ａ→ＹＥＳへ）、ＵＳＢデバイスのフラッシュメモリ５６に予め記憶された所定の操作画面の情報が認証部４０２に読み取られ、操作制御部４１４に実行されて、所定の操作画面が指定されて（ステップ２９６ａ）表示される（ステップ２９６）。なお、ＵＳＢデバイスが操作画面切り替え機能を備えない場合は（ステップ２９４ａ→ＮＯへ）、操作画面が指定されることなく、例えばログイン処理完了画面等の所定の操作画面の表示がなされる（ステップ２９６）。

　付加機能の他の例として、ＵＳＢデバイス抜き出し後に行われる表示状態の切り替えに係る設定を行う表示状態設定機能について説明する。ログイン処理完了後の状態（図１４のステップ２９４に該当）を示す図１７において、差し込まれたＵＳＢデバイスが表示状態設定機能を備える場合（ステップ２９４ｂ→ＹＥＳへ）、ＵＳＢデバイスのフラッシュメモリ５６に予め記憶された所定の切り替え設定の情報、例えば所定画面への切り替えや、ブラックアウト状態、低輝度状態、スクリーンセーバ画面起動状態等への切り替えを行うという設定の情報が認証部４０２に読み取られ、操作制御部４１４により、設定部４０６を介して記憶部４１１等に書き込み、或いは書き換えがなされる（ステップ２９４ｃ）。係る設定・再設定（書き換え）の後、操作画面の表示がなされる（ステップ２９６）。ＵＳＢデバイスが表示状態設定機能を備えない場合は（ステップ２９４ｂ→ＮＯへ）、上述の通りのフローを辿る。なお、ステップ２９６は、ステップ２９４ｂの前になされてもよく、ステップ２９４ｂ～２９４ｃと並行してなされてもよい。これ以降、ＵＳＢデバイスが抜き出されたときには、記憶部４１１等に書き込まれた新しい設定に従って、操作画面の表示状態の切り替えが行われる。

　このように、操作画面切り替えや表示状態設定等の特定の操作を行う基板処理装置の機能の一部を、フラッシュメモリ５６を有するＵＳＢデバイスに担わせることで、基板処理装置の記憶容量の削減が可能になる。また、いくつかの付加機能ごとに複数個のＵＳＢデバイスを用意しておくことで、基板処理装置自体の機能変更や設定変更をいちいち行わなくとも、ログイン処理及びログアウト処理に伴う操作を多機能化することができ、操作性を一層向上させることができる。

＜第３の実施の形態＞
　次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。本実施の形態では、デバイスが差し込まれてログイン処理（ユーザ割り込み処理等も含む）が完了すると、自動的に特定の操作を実行する。このとき、操作画面を非表示とするように構成されている点が、上述の実施の形態とは異なる。操作画面は、例えば第３者に開示したくない情報等を含む少なくとも一部または全体を非表示とする。以下の説明では、上述の実施の形態と同様の構成については、上述と同様の機能を有する構成要件に同一の符号を用いて説明を省略する。

　本実施の形態に係るデバイスは、例えば図１０に示すＵＳＢデバイスと同様の構成を備えている。係るＵＳＢデバイスが備える記憶手段としてのフラッシュメモリ５６には、基板処理装置の操作部２０１に、エラーロギングデータの収集等の特定の操作を行わせる操作手順が記憶されている。操作部２０１により実現される操作制御部４１４は、フラッシュメモリ５６が備える操作手順を読み取って実行するように構成される。

　また、表示制御手段としての操作制御部４１４は、上記特定の操作を行う間、操作画面の少なくとも一部を非表示とするように構成される。操作画面の非表示状態には、基板処理装置の電源を切断したときと同様のブラックアウト画面や、或いは、低輝度画面、スクリーンセーバ画面等がある。これにより、操作手順に従っての自動操作中、第３者による情報の盗み見や書き換え等の危険性を低減することができる。また、上記操作画面の非表示状態は、上記特定の操作が終了すると自動的に解除されるようにしてもよいが、後述の操作の終了通知を受けて、作業員が入力手段２１３から非表示状態解除の操作を行ったり、ＵＳＢデバイスを抜き出したりするまで、非表示状態を保つように構成されていることが好ましい。なお、上記特定の操作が正常終了した場合は、自動的にＵＳＢデバイスが取り外し可能な状態になるように構成してもよい。

　また、操作制御部４１４は、上記特定の操作の終了を所定の手段により通知するように構成される。所定の通知手段には、例えばアラーム音などの聴覚的手段や警告灯などの視覚的手段がある。また、アラーム音の音色、警告灯の色や点滅、又はアラーム音と警告灯との使い分け等によって、操作の終了状態、すなわち、正常終了したか異常終了したかを判別できるように構成されていてもよい。

　また、操作制御部４１４は、上記特定の操作が異常終了すると、予め指定された特定の操作画面を表示するように構成される。つまり、特定の操作終了後も操作画面の非表示状態を保つこととした場合であっても、異常終了の際には特定の操作画面を表示させる。係る操作画面には、例えばエラーメッセージ等が表示され、異常状況の把握が可能な異常状況把握画面や、特定の操作のキャンセル、リセットを行うボタン等が表示され、異常状態の回復を促す異常回復画面等がある。

　なお、基板処理装置に特定の操作を行わせる操作手順は、基板処理装置が備える記憶部４１１等に記憶されていてもよい。この場合、操作制御部４１４は、ＵＳＢデバイスが差し込まれてログイン処理が完了すると、記憶部４１１等に記憶された所定の操作手順を読み取って実行するように構成される。また、記憶部４１１等に所定の操作手順用のデータを予め登録しておき、ＵＳＢデバイスに組み込まれた認証データ等のＵＳＢデバイスの固有の識別情報がこれと一致した場合に特定の操作を行うように構成されていてもよい。

　また、操作部２０１が、操作制御部４１４を介して、操作画面を非表示とさせる操作画面非表示機能、上記特定の操作の終了を通知させる通知機能、異常終了時に上記所定画面を表示させる異常時操作画面表示機能などを、ＵＳＢデバイスが備えるように構成されていてもよい。操作制御部４１４は、ＵＳＢデバイスからのこれら指示情報に従って、上記各機能を実現する。

　以下に、図１８を用いて、特定の操作の自動実行のフローについて説明する。

　上述のように、特定の操作には、例えばエラーロギングデータのようなデータ解析等に用いるデータの収集等がある。ここでは、ＵＳＢデバイスがエラーロギングデータの収集に係る操作手順を備えるものとして、以下の説明を行う。

　ＵＳＢデバイスの差し込みによりログイン処理が完了すると（ステップ４９４：上述の実施形態における図９のステップ９４、図１４のステップ２９４に該当）、ＵＳＢデバイスが特定の操作実行機能、具体的には、エラーロギングデータの収集に係る収集機能を備える場合（ステップ４９４→ＹＥＳへ）、操作手順を読み取った操作制御部４１４は、操作手順に従って、例えば設定部４０６にエラーロギングデータを記憶部４１１から読み出させ、ＵＩ部４００を介してＵＳＢデバイスに収集させることで特定の操作を実行する（ステップ４９５ａ）。また、操作制御部４１４は、少なくともその間、操作画面を非表示とし（ステップ４９５ｂ）、好ましくは特定の操作終了後も非表示状態を保持する。特定の操作が終了すると、操作制御部４１４は正常終了か異常終了かを判定し（ステップ４９６）、正常終了であれば操作の終了を通知する（ステップ４９７ａ）。異常終了であれば、操作の終了を通知するとともに（ステップ４９７ｂ）、異常時操作画面を表示する（ステップ４９８）。以上により、特定の操作の自動実行が終了される。なお、ＵＳＢデバイスが操作実行機能を備えない場合は（ステップ４９４→ＮＯへ）、特定の操作が実行されることなく終了する。

　例えばエラーロギングデータのようなデータ収集では、ときに膨大な量のデータを収集しなければならず、長時間の作業を要する場合がある。しかし、本実施形態によれば、所定の操作手順に従って、自動的にデータ収集が実行されるので、例えば作業員が付ききりで作業を行う必要がなく、作業員の負荷を軽減したり作業の効率化を図ったりすることができる。よって、ログイン処理に伴う操作性をより一層向上させることができる。

　このほか、本実施形態において基板処理装置に行わせる特定の操作は、例えば上述の実施の形態で述べたようなデータバックアップやメンテナンス、安全な状態への移行等であってもよい。この場合、係る操作の操作手順がフラッシュメモリ５６に記憶されたＵＳＢデバイスが差し込まれ、ログイン処理が完了すると、操作制御部４１４により特定の操作が自動で行われる。

　本実施の形態においても、上述の実施の形態の効果を奏する。

　また、上述の実施形態の効果に加え、本実施の形態によれば、操作部２０１は、装着部２１１にＵＳＢデバイスが差し込まれてログインが完了されると、特定の操作を行うように構成される。これにより、ＵＳＢデバイスを挿入するだけで特定の操作を実行し終了させることができ、ログイン処理に伴う操作性をより一層向上させることができる。

　また、本実施の形態によれば、操作制御部４１４は、装着部２１１にＵＳＢデバイスが差し込まれてログインが完了されると、操作画面の少なくとも一部の表示状態を非表示とし、操作部２０１が特定の操作を行う間、非表示の状態を保つように構成される。これにより、情報漏洩や情報書き換え等の危険性が低減する。係る機能は、操作の自動実行中等で、作業員が傍らに付いていない場合などにはなおさら有用である。

　また、本実施の形態によれば、操作部２０１は、特定の操作の終了や操作の終了状態を、聴覚的手段または視覚的手段により通知するように構成される。これにより、操作の終了を知ることができ、特に、操作画面が非表示状態となっている場合には有用である。また、操作が正常終了したか異常終了したかが判別できる。

　また、本実施の形態によれば、操作制御部４１４は、特定の操作が異常終了すると、異常状況把握画面または異常回復画面などの予め指定された特定の操作画面を表示するように構成される。これにより、何らかの異常が発生してもすぐに対処することができる。特に、操作画面を非表示状態としていた場合には、すぐに異常状態表示がなされるので有用である。

　また、本実施の形態によれば、ＵＳＢデバイスは、操作部２０１に特定の操作を行わせる操作実行機能を備え、操作部２０１に特定の操作を行わせるように構成される。これにより、ログイン処理に伴う操作性をより一層向上させることができる。また、ＵＳＢデバイスを差し込むだけで特定の操作を行うことができるので、ＵＳＢデバイスを管理すれば、ユーザレベルに関係なく所望の操作を行うことができ、ユーザの管理性の面でも好ましい形態といえる。

＜他の実施の形態＞
　以上、本発明の実施の形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではない。本発明は、このほかにもその要旨を逸脱しない範囲で種々様々変形実施可能なことは勿論である。

　例えば、上述の形態では、基板処理装置として半導体製造装置の場合について説明したが、半導体製造装置だけでなくＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置にも適用できる。また、成膜処理には、例えば、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理等を含む。また、上述の形態では、縦型装置について記載したが枚葉装置にも適用でき、更に他の基板処理装置（露光装置、リソグラフィ装置、塗布装置など）にも同様に適用できる。また、複数の基板処理装置に通信回線を介して接続され、各基板処理装置の状態を管理する装置（管理サーバ）についても適用できる。

＜本発明の好ましい態様＞
　以下に、本発明の好ましい態様を付記する。

　本発明の第１の態様は、
　基板を処理するためのファイルの作成又は編集を行う操作画面を備えた操作部を有し、
　前記操作部は、外部記憶手段及び入力手段を装備するための装着部であって、少なくともユーザＩＤやユーザパスワード等の認証データを含むデータが組み込まれたデバイスを抜き差し可能に構成された装着部と、
　前記装着部に前記デバイスが差し込まれると、前記操作部に登録されたデバイス認証用のデータと前記デバイスに組み込まれた認証データとが照合され、前記デバイスに組み込まれた認証データが前記デバイス認証用のデータに登録されていればログインを完了するデータ認証手段と、
　前記ログインが完了されると、前記操作画面の少なくとも一部の表示状態を切り替える表示制御手段と、
　前記ログインが完了されると、前記デバイスに組み込まれた前記認証データとは異なるデータに従い、特定の操作を行う実行手段（例えば前記操作部等）と、を備えた
基板処理装置である。

　また、好ましくは、
　前記表示制御手段は、
　前記装着部に前記デバイスが差し込まれて前記ログインが完了されると、前記操作画面の少なくとも一部の表示状態を非表示とし、前記操作部が前記特定の操作を行う間、前記非表示の状態を保つように構成される。

　また、好ましくは、
　前記操作部は、
　前記特定の操作の終了を、聴覚的手段または視覚的手段により通知するように構成される。

　また、好ましくは、
　前記表示制御手段は、
　前記特定の操作が異常終了すると、異常状況把握画面または異常回復画面などの予め指定された特定の操作画面を表示するように構成される。

　また、好ましくは、
　前記デバイスには、前記認証データの他に、
　前記操作部に前記特定の操作を行わせる操作実行機能、
　前記表示制御手段に前記操作画面を非表示とさせる操作画面非表示機能、
　前記操作部に前記特定の操作の終了を通知させる通知機能、
　前記表示制御手段に前記特定の操作画面を表示させる異常時操作画面表示機能、の少なくともいずれかを実行させるためのデータが組み込まれる。

　また、好ましくは、
　前記操作部に前記特定の操作を行わせ、前記表示制御手段に前記操作画面を非表示とさせ、前記操作部に前記特定の操作の終了を通知させ、または前記表示制御手段に前記特定の操作画面を表示させるように構成される。

　本発明の第２の態様は、
　基板を処理するためのファイルの作成又は編集を行う操作画面を備えた操作部を有し、
　前記操作部は、
　少なくともユーザＩＤやユーザパスワード等の認証データを含むデータが組み込まれたデバイスを抜き差し可能に構成された装着部と、
　前記装着部に前記デバイスが差し込まれると、前記操作画面の少なくとも一部の表示状態を切り替える表示制御手段と、
　前記装着部から前記デバイスが抜き出されると、前記ユーザのログアウトを完了するデータ認証手段と、を備えた
基板処理装置である。

　好ましくは、
　前記表示制御手段は、
　前記装着部に前記デバイスが差し込まれると、所定の操作画面の少なくとも一部を表示するように構成されている
第２の態様に記載の基板処理装置である。

　また、好ましくは、
　前記表示制御手段は、
　前記装着部から前記デバイスが抜き出されると、前記操作画面の少なくとも一部を非表示とするように構成されている
第２の態様に記載の基板処理装置である。

　また、好ましくは、
　前記表示制御手段は、
　前記装着部から前記デバイスが抜き出されると、スクリーンセーバ画面を表示して前記操作画面の少なくとも一部を非表示とするように構成されている
第２の態様に記載の基板処理装置である。

　本発明の第３の態様は、
　前記操作部は、
　前記デバイスが抜き出された状態では、前記操作部に対する入力を受け付けないように構成されている
第１の態様又は第２の態様に記載の基板処理装置である。

　本発明の第４の態様は、
　前記データ認証手段は、
　前記デバイスが抜き出された状態では、前記操作部に対する前記認証データ又は前記認証データとは異なる認証データが前記装着部に装備された前記入力手段から入力されたとき、前記操作部に登録された認証用のデータと入力された前記認証データとが照合され、入力された前記認証データが前記操作部に登録されていればログインを完了するように構成され、
　前記表示制御手段は、
　前記ログインが完了すると、前記所定の操作画面の少なくとも一部を表示するように構成されている
第２の態様に記載の基板処理装置である。

　この場合、さらに、
　前記デバイスは、前記表示制御手段に前記所定の操作画面の表示を指示する操作画面表示機能を有し、
　前記操作画面表示機能を有する前記デバイスが前記装着部に差し込まれると、前記所定の操作画面が表示されるように構成されていることが好ましい。

　この場合、さらに、
　前記デバイスは、前記表示制御手段に所定の表示状態の切り替え設定を指示する表示状態設定機能を有し、
　前記表示状態設定機能を有する前記デバイスが前記装着部に差し込まれると、前記所定の表示状態の切り替え設定がされるように構成されていることが好ましい。

　この場合、さらに、
　前記所定の表示状態の切り替え設定は、ブラックアウト状態、低輝度状態、スクリーンセーバ画面起動状態の少なくともいずれかの状態への切り替え設定であることがより好ましい。

２０１　操作部
２０２　プロセス系コントローラ
２０５　搬送系コントローラ
２１０　表示部
２１１　装着部
２１２　外部記憶手段
２１３　入力手段
２１４　デバイス

Claims

　基板を処理するためのファイルの作成又は編集を行う操作画面と、外部記憶手段及び入力手段を装備するための装着部と、を備えた操作部を有し、
　前記操作部は、
　少なくともユーザＩＤやユーザパスワード等の認証データが組み込まれたデバイスが前記装着部に差し込まれると、前記操作部に登録されたデバイス認証用のデータと前記デバイスに組み込まれた認証データとが照合され、前記デバイスに組み込まれた認証データが前記デバイス認証用のデータに登録されていればログインを完了するデータ認証手段と、
　前記ログインが完了されると、前記操作画面の少なくとも一部の表示状態を切り替える表示制御手段と、を備えた
基板処理装置。
　前記操作部は、
　前記ログインが完了されると、前記認証データに応じて特定の操作を行わせるように構成される
請求項１に記載の基板処理装置。
　前記デバイスには、前記認証データの他に、前記特定の操作として、
　日常点検パラメータ等のデータを確認するための画面を表示させる特定画面表示機能、
　ロギングデータ等のデータを収集する収集機能、
　ロギングデータ等のデータをバックアップするデータバックアップ機能、
　所定のレシピファイル等のファイルを実行させるファイル実行機能、の少なくともいずれかを前記操作部に実行させるためのデータが組み込まれる
請求項２に記載の基板処理装置。
　前記データ認証手段は、
　前記装着部から前記デバイスが抜き出されると、ログアウトを完了するように構成されている
請求項１に記載の基板処理装置。
　前記表示制御手段は、
　前記装着部から前記デバイスが抜き出されると、前記操作画面の少なくとも一部を非表示とするように構成されている
請求項１に記載の基板処理装置。
　前記操作部は、
　前記装着部から前記デバイスが抜き出されると、前記操作部に対する入力を受け付けないように構成されている
請求項１に記載の基板処理装置。
　基板を処理するためのファイルの作成又は編集を行う操作画面と、外部記憶手段及び入力手段を装備するための装着部と、を備えた操作部を有し、
　前記操作部は、
　少なくともユーザＩＤやユーザパスワード等の認証データが組み込まれたデバイスが前記装着部に差し込まれると、前記操作部に登録されたデバイス認証用のデータと前記デバイスに組み込まれた認証データとが照合され、前記デバイスに組み込まれた認証データが前記デバイス認証用のデータに登録されていれば割り込み処理を完了するデータ認証手段と、
　前記割り込み処理が完了されると、前記操作画面の少なくとも一部の表示状態を切り替える表示制御手段と、を備えた
基板処理装置。
　基板を処理するためのファイルの作成又は編集を行う操作画面と、外部記憶手段及び入力手段を装備するための装着部と、を備えた操作部を有する基板処理装置の制御方法であって、
　少なくともユーザＩＤやユーザパスワード等の認証データが組み込まれたデバイスが前記装着部に差し込まれると、前記操作部に登録された前記デバイス認証用のデータと前記デバイスに組み込まれた認証データとが照合され、前記デバイスに組み込まれた認証データが前記デバイス認証用のデータに登録されていればログインを完了する工程と、
　前記ログインが完了されると、前記操作画面の少なくとも一部の表示状態を切り替える工程と、を有する
基板処理装置の制御方法。
　基板を処理するためのファイルの作成又は編集を行う操作画面と、外部記憶手段及び入力手段を装備するための装着部と、備えた操作部を有する基板処理装置で実施される表示方法であって、
　少なくともユーザＩＤやユーザパスワード等の認証データが組み込まれたデバイスが前記装着部に差し込まれると、前記操作部に登録された前記デバイス認証用のデータと前記デバイスに組み込まれた認証データとが照合され、前記デバイスに組み込まれた認証データが前記デバイス認証用のデータに登録されていればログインを完了し、前記ログインが完了されると、前記操作画面の少なくとも一部の表示状態を切り替えて表示する
基板処理装置で実施される表示方法。