JP2011005235A5 - - Google Patents

Description

本発明に係る撮像装置は、
第１及び第２の測定光を照射した被検査物からの第１及び第２の戻り光と、該第１及び第２の測定光にそれぞれ対応する第１及び第２の参照光とをそれぞれ合成した第１及び第２の合成光に基づいて、該被検査物の光干渉断層画像を取得する撮像装置であって、
前記第１及び第２の合成光を波長毎に検出する検出手段と、
前記検出手段における前記第１及び第２の合成光の重なりを低減させるように特定の波長の光の光量を低減する低減手段と、
前記重なりが低減した第１及び第２の合成光に基づいて、前記被検査物の光干渉断層画像を取得する取得手段と、を有する。

また、本発明に係る撮像方法は、
第１及び第２の測定光を照射した被検査物からの第１及び第２の戻り光と、該第１及び第２の測定光にそれぞれ対応する第１及び第２の参照光とをそれぞれ合成した第１及び第２の合成光に基づいて、該被検査物の光干渉断層画像を取得する撮像方法であって、
前記第１及び第２の合成光を波長毎に検出する検出手段における前記第１及び第２の合成光の重なりを低減させるように特定の波長の光の光量を低減する工程と、
前記重なりが低減した第１及び第２の合成光に基づく前記被検査物の光干渉断層画像を取得する工程と、を有する。

Claims (19)

1. 第１及び第２の測定光を照射した被検査物からの第１及び第２の戻り光と、該第１及び第２の測定光にそれぞれ対応する第１及び第２の参照光とをそれぞれ合成した第１及び第２の合成光に基づいて、該被検査物の光干渉断層画像を取得する撮像装置であって、
   前記第１及び第２の合成光を波長毎に検出する検出手段と、
   前記検出手段における前記第１及び第２の合成光の重なりを低減させるように特定の波長の光の光量を低減する低減手段と、
   前記重なりが低減した第１及び第２の合成光に基づいて、前記被検査物の光干渉断層画像を取得する取得手段と、
   を有することを特徴とする撮像装置。
2. 前記検出手段が、
   前記第１及び第２の合成光を波長毎に分光する分光素子と、
   前記分光素子により波長毎に分光された第１及び第２の光を検出するセンサと、を有し、
   前記低減手段が、前記センサにおける前記第１及び第２の光の重なりを低減することを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
3. 前記検出手段が、前記第１及び第２の光をそれぞれ第１の領域と第２の領域に集光させる集光手段を有し、
   前記低減手段が、前記第１の光のうち、前記第２の領域に照射され得る波長の光の光量を低減することを特徴とする請求項２に記載の撮像装置。
4. 前記低減手段が、前記第１及び第２の光における特定の波長の光を遮蔽する遮蔽部材であることを特徴とする請求項２あるいは３に記載の撮像装置。
5. 前記低減手段が、前記特定の波長の光の透過率または反射率を制限する特性を持つ光学フィルタであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の撮像装置。
6. 光を発生させる光源と、
   前記光源からの光を前記第１及び第２の参照光と前記第１及び第２の測定光とに分割する分割手段と、
   前記被検査物に対して前記第１及び第２の測定光を走査する走査手段と、
   を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の撮像装置。
7. 前記低減手段が、前記光源から前記分割手段までの光路に設けられ、該光源からの光の特定の波長の光の光量を選択的に低減することにより前記重なりを低減することを特徴とする請求項６に記載の撮像装置。
8. 前記分割手段が、前記第１及び第２の参照光と前記第１及び第２の測定光とをそれぞれ合成し、
   前記光源から発生された光を複数に分割し、該分割された複数の光をそれぞれ参照光と測定光とに分割し、該複数の測定光を前記被検査物において走査するように構成されることを特徴とする請求項６あるいは７に記載の撮像装置。
9. 前記光源を複数有し、
   前記分割手段が、前記複数の光源から光を発生し、該発生された複数の光をそれぞれ前記第１及び第２の参照光と前記第１及び第２の測定光とに分割し、
   前記走査手段が、前記被検査物に対して前記第１及び第２の測定光を走査することを特徴とする請求項６あるいは７に記載の撮像装置。
10. 前記第１及び第２の参照光と前記第１及び第２の測定光とをそれぞれ合成する合成手段を有し、
    前記分割手段が、前記光源から発生された光を測定光と参照光とに分割し、該分割された測定光を前記第１及び第２の測定光に分割し、且つ該分割された参照光を前記第１及び第２の参照光に分割し、
    前記走査手段が、前記被検査物に対して前記第１及び第２の測定光を走査することを特徴とする請求項６あるいは７に記載の撮像装置。
11. 前記低減手段が、前記第１及び第２の参照光の光路に設けられ、該第１及び第２の参照光の特定の波長の光の光量を選択的に低減することにより前記重なりを低減することを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の撮像装置。
12. 測定光を照射した被検査物からの戻り光に基づいて、第１及び第２の合成光を波長毎に検出する検出手段と、
    前記検出手段における前記第１及び第２の合成光の重なりを低減させるように特定の波長の光の光量を低減する低減手段と、
    前記重なりが低減した第１及び第２の合成光に基づいて、前記被検査物の光干渉断層画像を取得する取得手段と、
    を有することを特徴とする撮像装置。
13. 前記低減手段が、前記第１及び第２の合成光の光路に設けられ、該第１及び第２の合成光の特定の波長の光の光量を選択的に低減することにより前記重なりを低減することを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の撮像装置。
14. 第１及び第２の測定光を照射した被検査物からの第１及び第２の戻り光と、該第１及び第２の測定光にそれぞれ対応する第１及び第２の参照光とをそれぞれ合成した第１及び第２の合成光に基づいて、該被検査物の光干渉断層画像を取得する撮像方法であって、
    前記第１及び第２の合成光を波長毎に検出する検出手段における前記第１及び第２の合成光の重なりを低減させるように特定の波長の光の光量を低減する工程と、
    前記重なりが低減した第１及び第２の合成光に基づいて、前記被検査物の光干渉断層画像を取得する工程と、
    を有することを特徴とする撮像方法。
15. 前記低減する工程において、前記第１及び第２の参照光の特定の波長の光の光量を選択的に低減することにより前記重なりを低減することを特徴とする請求項１４に記載の撮像方法。
16. 測定光を照射した被検査物からの戻り光に基づいて第１及び第２の合成光を波長毎に検出する検出手段を用いて、該被検査物の光干渉断層画像を取得する撮像方法であって、
    前記検出手段における前記第１及び第２の合成光の重なりを低減させるように特定の波長の光の光量を低減する工程と、
    前記重なりが低減した第１及び第２の合成光に基づいて、前記被検査物の光干渉断層画像を取得する工程と、
    を有することを特徴とする撮像方法。
17. 前記低減する工程において、前記第１及び第２の合成光の特定の波長の光の光量を選択的に低減することにより前記重なりを低減することを特徴とする請求項１４乃至１６のいずれか１項に記載の撮像方法。
18. 前記低減する工程において、光源からの光の特定の波長の光の光量を選択的に低減することにより前記重なりを低減することを特徴とする請求項１４乃至１７のいずれか１項に記載の撮像方法。
19. 請求項１４乃至１８のいずれか１項に記載の撮像方法の各工程をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。