JP2011027715A5 - - Google Patents
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- 光干渉断層法を用いて被検査物を撮像するための撮像装置であって、
前記被検査物に照射する測定光に対応する参照光を検出する検出手段と、
前記参照光の光量に基づいて前記測定光の光量を変更する制御手段と、
を有することを特徴とする撮像装置。 - 前記制御手段が、前記参照光の光量が所定の範囲内の場合に前記測定光の光量を増やすことを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
- 前記検出手段が、前記測定光を照射した前記被検査物からの戻り光と前記参照光とによる合成光を検出し、
前記制御手段が、前記合成光の光量が所定の範囲外の場合に前記測定光の光量を減らすことを特徴とする請求項１あるいは２に記載の撮像装置。 - 前記検出手段が、前記参照光を分割して得た光量検知光を検出する光量検知光検出手段を有し、
前記制御手段が、前記光量検知光の光量に基づいて前記測定光の光量を変更することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の撮像装置。 - 前記制御手段が、前記光量検知光の光量が所定の範囲外の場合に前記測定光の光量を減らすことを特徴とする請求項４に記載の撮像装置。
- 前記制御手段が、前記測定光の透過率を変更する透過率変更手段を有し、
前記参照光の光量に基づいて前記透過率変更手段を制御することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の撮像装置。 - 前記制御手段が、前記測定光の光路を遮蔽する遮蔽手段を有し、
前記参照光の光量に基づいて前記遮蔽手段を制御することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の撮像装置。 - 前記制御手段が、前記参照光の光量に基づいて前記測定光の光路を前記被検査物に照射する光路から変更することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の撮像装置。
- 前記測定光を分割して得た検査光を入射させる波長選択反射手段を有し、
前記検出手段が、前記被検査物からの戻り光と、前記波長選択反射手段からの検査戻り光と、前記参照光との合成光を検出することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の撮像装置。 - 光干渉断層法を用いて被検査物を撮像するための撮像装置であって、
前記被検査物に照射する測定光を分割して得た検査光を入射させる波長選択反射手段と、
前記被検査物からの戻り光と、前記波長選択反射手段からの検査戻り光と、前記測定光に対応する参照光との合成光を検出する検出手段と、
を有することを特徴とする撮像装置。 - 前記測定光を分割して前記検査光を得るための測定光分割手段を有し、
前記測定光分割手段から前記波長選択反射手段までの光路が、ファイバーで構成され、
前記波長選択反射手段が、複数のファイバーブラッググレーティングで構成されることを特徴とする請求項９あるいは１０に記載の撮像装置。 - 光干渉断層法を用いて被検査物を撮像するための撮像方法であって、
前記被検査物に照射する測定光に対応する参照光を検出する工程と、
前記参照光の光量に基づいて前記測定光の光量を変更する工程と、
を含むことを特徴とする撮像方法。 - 前記変更する工程では、前記参照光の光量が所定の範囲内の場合に前記測定光の光量を増やすことを特徴とする請求項１２に記載の撮像方法。
- 前記測定光を照射した前記被検査物からの戻り光と前記参照光とによる合成光を検出する工程と、
前記合成光の光量に基づいて前記測定光の光量を減らす工程と、
を含むことを特徴とする請求項１２あるいは１３に記載の撮像方法。 - 前記検出する工程では、前記参照光を分割して得た光量検知光を検出し、
前記変更する工程では、前記光量検知光の光量に基づいて前記測定光の光量を変更することを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれか１項に記載の撮像方法。 - 前記変更する工程では、前記光量検知光の光量が所定の範囲外の場合に前記測定光の光量を減らすことを特徴とする請求項１５に記載の撮像方法。
- 請求項１２乃至１６のいずれか１項に記載の撮像方法の各工程をコンピューターに実行させることを特徴とするプログラム。
- 光干渉断層法を用いて被検査物を撮像するための撮像装置であって、
測定光を照射した前記被検査物からの戻り光と、該測定光に対応する参照光とによる合成光を検出する検出手段と、
前記合成光の光量に基づいて前記被検査物に照射する測定光の光量を変更する制御手段と、
を有することを特徴とする撮像装置。 - 前記制御手段が、前記合成光の光量が所定の範囲外の場合に前記被検査物に照射する測定光の光量を減らすことを特徴とする請求項１８に記載の撮像装置。
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