JP2014113326A5 - 補償光学装置、補償光学装置の制御方法、画像取得装置およびプログラム - Google Patents

Description

上記の目的を達成する本発明に係る補償光学装置は、
少なくとも被検査物を照射するための照射光及び前記照射光を照射された前記被検査物からの戻り光の収差を補正する収差補正手段と、
少なくとも前記照射光及び前記戻り光を照射された前記収差補正手段において発生する回折光を遮光する遮光手段と、
前記遮光手段における開口部を通過した前記戻り光の収差を検出する検出手段と、
前記検出手段による検出結果に基づいて前記収差補正手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする。

Claims (18)

1. 少なくとも被検査物を照射するための照射光及び前記照射光を照射された前記被検査物からの戻り光の収差を補正する収差補正手段と、
   少なくとも前記照射光及び前記戻り光を照射された前記収差補正手段において発生する回折光を遮光する遮光手段と、
   前記遮光手段における開口部を通過した前記戻り光の収差を検出する検出手段と、
   前記検出手段による検出結果に基づいて前記収差補正手段を制御する制御手段と、
   を備えることを特徴とする補償光学装置。
2. 前記被検査物は、被検眼であり、
   前記収差補正手段は、前記被検眼の前眼部に対して光学的に略共役な位置に配置され、
   前記遮光手段は、前記被検眼の網膜に対して光学的に略共役な位置に配置されることを特徴とする請求項１に記載の補償光学装置。
3. 前記開口部の長さが、前記遮光手段における前記回折光の位置と、前記遮光手段における前記戻り光の位置との距離よりも短いことを特徴とする請求項１または２に記載の補償光学装置。
4. 前記被検査物の画像を取得するための光を発生させる光源と、前記収差を検出するための光を発生させる光源とを兼用することを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の補償光学装置。
5. 前記光を隣接する回折光の間から前記収差補正手段に照射するように構成することを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の補償光学装置。
6. 前記開口部の大きさを変更する変更手段をさらに備え、
   前記制御手段は、前記収差補正手段の制御下において前記検出手段による検出結果に基づいて前記変更手段を制御することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の補償光学装置。
7. 前記制御手段が、前記検出された収差量が閾値未満の場合に前記開口部の大きさが小さくなるように、前記変更手段を制御することを特徴とする請求項６に記載の補償光学装置。
8. 前記収差補正手段は、液晶を用いた空間光変調器、または、複数の微小ミラーを有する形状可変ミラーであることを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項に記載の補償光学装置。
9. 前記収差補正手段は、２次元マトリクス構造を有する波面補正器であり、
   前記２次元マトリクス構造の周期構造のピッチをＰ、前記光の波長をλ、前記波面補正器への前記光の入射角をθ、前記遮光手段の前記戻り光を通過させる前記開口部の径をｒ、前記波面補正器と前記遮光手段との間の光学系の焦点距離をｆ、ｎを整数とした場合、
   

   

   という関係を満たすことを特徴とする請求項１乃至８の何れか１項に記載の補償光学装置。
10. 少なくとも被検査物を照射するための照射光及び前記照射光を照射された前記被検査物からの戻り光の収差を補正する収差補正手段と、
    前記収差補正手段を介した前記戻り光の一部を遮光する遮光手段と、
    前記戻り光のうち前記遮光手段における開口部を通過した光の収差を検出する検出手段と、を備え、
    前記開口部の長さが、前記遮光手段により遮光される光の位置と、前記遮光手段における前記戻り光の位置との距離よりも短いことを特徴とする補償光学装置。
11. 少なくとも被検査物を照射するための照射光及び前記照射光を照射された前記被検査物からの戻り光の収差を補正する収差補正手段と、
    前記収差補正手段を介した前記戻り光の一部を遮光する遮光手段と、
    前記戻り光のうち前記遮光手段における開口部を通過した光の収差を検出する検出手段と、
    前記開口部の大きさを変更する変更手段と、
    前記収差補正手段の制御下において前記検出手段による検出結果に基づいて前記変更手段を制御する制御手段と、
    を備えることを特徴とする補償光学装置。
12. 前記制御手段が、前記検出された収差量が閾値未満の場合に前記開口部の大きさが小さくなるように、前記変更手段を制御することを特徴とする請求項１１に記載の補償光学装置。
13. 前記被検査物は、被検眼であり、
    前記収差補正手段は、前記被検眼の前眼部に対して光学的に略共役な位置に配置され、
    前記遮光手段は、前記被検眼の網膜に対して光学的に略共役な位置に配置されることを特徴とする請求項１０乃至１２の何れか１項に記載の補償光学装置。
14. 請求項１乃至１３の何れか１項に記載の補償光学装置と、
    前記補償光学装置を介した、前記被検査物からの戻り光を測定する測定手段と、
    前記測定した戻り光に基づいて、前記被検査物の画像を取得する画像取得手段と、
    を備えることを特徴とする画像取得装置。
15. 前記収差補正手段は、前記画像取得手段により前記画像が取得される間においても、前記被検査物からの戻り光の収差を補正することを特徴とする請求項１４に記載の画像取得装置。
16. 少なくとも被検査物を照射するための照射光及び前記照射光を照射された前記被検査物からの戻り光の収差を補正する収差補正手段と、少なくとも前記照射光及び前記戻り光を照射された前記収差補正手段において発生する回折光を遮光する遮光手段を備える補償光学装置の制御方法であって、 前記遮光手段における開口部を通過した前記戻り光の収差を検出する検出工程と、
    前記検出工程における検出結果に基づいて前記収差補正手段を制御する制御工程と、
    を有することを特徴とする補償光学装置の制御方法。
17. 少なくとも被検査物を照射するための照射光及び前記照射光を照射された前記被検査物からの戻り光の収差を補正する収差補正手段と、前記収差補正手段を介した戻り光の一部を遮光する遮光手段とを備える補償光学装置の制御方法であって、
    前記戻り光のうち前記遮光手段における開口部を通過した光の収差を検出する検出工程と、
    前記検出工程における検出結果に基づいて、前記開口部の大きさを変更する変更手段を制御する制御工程と、
    を有することを特徴とする補償光学装置の制御方法。
18. 請求項１６又は１７に記載の補償光学装置の制御方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。