JP2010014597A - 可動式コンタクト検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の可動プローブを有し、検査対象物の複数個所の電気的特性を測定する可動式コンタクト検査装置である。前記複数の可動プローブは、1つの直結型の可動プローブと、他の切り替え型の可動プローブとからなる。さらに、前記各可動プローブを支持して正確に位置決めして前記検査対象物に接触させるXYZ駆動部と、前記複数の切り替え型の可動プローブを電気的に互いに短絡させると共に選択的に接続するスイッチ部と、前記直結型の可動プローブ及び切り替え型の可動プローブを検査対象物の複数個所に同時に接触させ、前記スイッチ部を介して短絡させた各切り替え型の可動プローブで検出する電気的特性の合成値が期待値から外れている場合に異常と判断して、前記スイッチ部を制御して各可動プローブを選択的に接続し、異常箇所の特定を行う制御装置とを備えた。
【選択図】 図1
Description
前記実施形態では、可動式コンタクト検査装置の可動プローブ1が4個の場合を例に説明したが、3個又は5個以上であっても良い。検査装置の大きさ等によって異なるが、検査対象のネット数と同数又はそれ以下の個数の可動プローブ1を用いて検査する。
Claims (3)
- 複数の可動プローブを有し、検査対象物の複数個所の電気的特性を測定する可動式コンタクト検査装置であって、
前記複数の可動プローブが、少なくとも1つの直結型の可動プローブと、他の切り替え型の可動プローブとからなり、
前記各可動プローブを支持して正確に位置決めして前記検査対象物に接触させるXYZ駆動部と、
前記複数の切り替え型の可動プローブを電気的に互いに短絡させると共に選択的に接続するスイッチ部と、
前記直結型の可動プローブ及び切り替え型の可動プローブを検査対象物の複数個所に同時に接触させ、前記スイッチ部を介して短絡させた各切り替え型の可動プローブで検出する電気的特性の合成値が期待値から外れている場合に異常と判断して、前記スイッチ部を制御して各可動プローブを選択的に接続し、異常箇所の特定を行う制御装置とを備えたことを特徴とする可動式コンタクト検査装置。 - 請求項1に記載の可動式コンタクト検査装置において、
前記制御装置において電気的特性の合成値が期待値から外れていて異常と判断した場合に、前記スイッチ部を制御して各可動プローブを1個ずつ接続して異常箇所の特定を行うことを特徴とする可動式コンタクト検査装置。 - 請求項1に記載の可動式コンタクト検査装置において、
前記制御装置において電気的特性の合成値が期待値から外れていて異常と判断した場合に、前記スイッチ部を制御して各可動プローブを複数個ずつ接続して異常箇所の大まかな特定を行い、その後、異常箇所を特定する範囲を段階的に絞って異常箇所の特定を行うことを特徴とする可動式コンタクト検査装置。
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JP2008175830A JP2010014597A (ja) | 2008-07-04 | 2008-07-04 | 可動式コンタクト検査装置 |
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- 2008-07-04 JP JP2008175830A patent/JP2010014597A/ja active Pending
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