JP2008241294A - センサ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ポート部にインサート成型された配線とケースに設けられたターミナルとの接合部分の劣化を防止することができるセンサ装置を提供する。
【解決手段】ケース１０の上端面１５に第１凹部１６を囲う第１溝部１９ａと、通路部１８を囲う第２溝部１９ｂとを設けると共に、ポート部の一端側に第１溝部１９ａ、第２溝部１９ｂそれぞれにはめ込まれる第１突起部、第２突起部を設ける。そして、第１溝部１９ａにポート部の第１突起部を差し込み、第２溝部１９ｂにポート部４０の第２突起部を差し込んでケース１０にポート部を組み付ける。
【選択図】図２

Description

本発明は、圧力検出素子と当該圧力検出素子以外の物理量検出素子を備えたセンサ装置に関する。

従来より、圧力および温度を測定する温度センサ一体型圧力センサ装置が例えば特許文献１に提案されている。このセンサ装置は、例えば自動車のインテークマニホルドの圧力および吸気温度の測定、ＮＯ_ｘやＣＯの生成量を低減させるＥＧＲシステム等に用いられるものである。

上記温度センサ一体型圧力センサ装置は、外部と接続されるターミナルがインサート成型されたコネクタ部を有するケースと、ターミナルに電気的に接続された状態でケースに設けられ圧力検出を行う圧力検出素子と、ケースに連結され圧力検出素子へ圧力媒体を導く圧力導入孔を有するポート部と、このポート部の先端に配置され圧力媒体の温度を検出する温度検出素子とを備えて構成されている。温度検出素子はポート部にインサート成型されたリード線の一端側に接続され、リード線の他端側がケースのターミナルに接合されている。なお、圧力検出素子とターミナルとの接合部分は例えばゲル等の保護部材に覆われ、保護された形態となっている。

上記ケースのうちポート部と対向する端部に一周する溝が形成されている。当該溝は、ケースの端部に設けられた圧力検出素子を設置する凹部やターミナルとリード線とを接合する場所を囲うように設けられている。また、ポート部のうちケースと対向する端部に、溝に対応した一周する突起部が設けられている。そして、ポート部の溝に接着剤が入れられ、ケースの溝にポート部の突起部が挿入されることでケースとポート部とが接着固定されるようになっている。
特開２００６−１９４６８３号公報

近年、吸気圧の高圧化や高温化、ポート部の内部への圧力媒体としてのガソリンやエンジンオイル、ＥＧＲガスの侵入などによって、上記センサ装置が使用される環境が厳しくなり、当該環境に耐えうるケースとポート部との接着構造の実現が必要になっている。

しかしながら、上記従来のセンサ装置では、ケースの溝にポート部の突起部がはめ込まれた形態となっており、ケースのターミナルとポート部のリード線との接合部が露出した状態になっている。このため、ポート部が被測定体の温度や圧力媒体の温度によって熱伸縮することで接着剤が剥がれて圧力媒体や外気がケースの内部に進入してしまうと、センサ装置内部に進入した圧力媒体や外気によってターミナルとリード線との接合部分が劣化してしまうという問題がある。

また、一般的にケースとポート部との気密性を確保することが要求されているため、ケースとポート部との接着性を確保する必要がある。

本発明は、上記点に鑑み、ポート部にインサート成型された配線とケースに設けられたターミナルとの接合部分の劣化を防止することができるセンサ装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明は、ケース（１０）の上端面（１５）に第１凹部（１６）を含むように一周する第１溝部（１９ａ）と、上端面（１５）のうち第１溝部（１９ａ）によって囲まれた領域を除いた場所に第２凹部（１７、１８）を一周する第２溝部（１９ｂ）とを設け、第１溝部（１９ａ）および第２溝部（１９ｂ）に接着剤（８０、９０）をそれぞれ塗布し、ポート部（４０）の一端側に第１溝部（１９ａ）に対向した場所に第１溝部（１９ａ）にはめ込まれる第１突起部（４４）と、第２溝部（１９ｂ）に対向した場所に第２溝部（１９ｂ）にはめ込まれる第２突起部（４５）とを設け、第２突起部（４５）で囲まれた場所から中継用ターミナル（６０）の一端部（６１）を露出させ、ポート部（４０）の第１突起部（４４）をケース（１０）の第１溝部（１９ａ）にはめ込み、ポート部（４０）の第２突起部（４５）をケース（１０）の第２溝部（１９ｂ）にはめ込んでポート部（４０）をケース（１０）に接着剤（８０、９０）にて接着固定すると共に、第２突起部（４５）から突出した中継用ターミナル（６０）の一端部（６１）をケース（１０）の第２凹部（１７、１８）に差し込んで物理量検出用ターミナル（１３）の一端に接合したことを特徴とする。

これにより、第１凹部（１６）と第２凹部（１７、１８）とをそれぞれ別々の部屋に分離することができる。すなわち、圧力検出部（２０、３０）が設置された第１凹部（１６）にポート部（４０）の圧力導入孔（４２）から圧力媒体が導かれたとしても、物理量検出用ターミナル（１３）と中継用ターミナル（６０）とが接合された第２凹部（１７、１８）の部屋は第１凹部（１６）の部屋とは完全に独立した部屋になっているため、圧力媒体等による物理量検出用ターミナル（１３）と中継用ターミナル（６０）との接合部の劣化を防止することができる。

この場合、接着剤（８０、９０）として、第２溝部（１９ｂ）に塗布される接着剤（９０）を第１溝部（１９ａ）に塗布する接着剤（８０）よりも軟らかいものとすることができる。

これにより、ポート部（４０）が被測定体の温度や圧力媒体の温度によって熱伸縮したとしても、軟らかい接着剤（９０）によってポート部（４０）の熱収縮を吸収することができる。したがって、接着剤（８０）や接着剤（９０）がケース（１０）やポート部（４０）から剥がれてしまうことを防止することができ、ケース（１０）とポート部（４０）との気密性を確保することができる。

また、接着剤（９０）を、中継用ターミナル（６０）の一端部（６１）のまわりに充填することができる。

さらに、第１溝部（１９ａ）と第１突起部（４４）、前記第２溝部（１９ｂ）と第２突起部（４５）を熱圧着により接着することができる。

そして、第１溝部（１９ａ）と第１突起部（４４）、第２溝部（１９ｂ）と第２突起部（４５）をレーザにより接着することもできる。

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。

（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態について図を参照して説明する。本実施形態で示されるセンサ装置は、例えば、自動車のインテークマニホルドに取り付けられ、インテークマニホルドの圧力および吸気温度・湿度・ガス流量等の測定に用いられるものである。また、ＥＧＲシステムに採用され、ＥＧＲシステムにおいて排気経路の下流側に設置されて用いられる。

図１は、本発明の一実施形態に係るセンサ装置の全体概略断面構成を示す図である。この図に示されるように、センサ装置１は、ケース１０と、圧力検出素子２０と、回路チップ３０と、ポート部４０と、物理量検出素子５０とを備えて構成されている。

ケース１０は、例えばＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やエポキシ樹脂等の樹脂材料を、金型を用いて型成形してなるものであり、外部と接続される複数の第１ターミナル１１がインサート成型されたものである。

第１ターミナル１１は、圧力検出素子２０に関わる圧力検出用ターミナル１２と、物理量検出素子５０に関わる物理量検出用ターミナル１３とで構成されている。第１ターミナル１１の一端部は、ケース１０の側面に設けられた開口部１４内に露出するように配置されている。このケース１０の開口部１４の部分は、当該開口部１４内に位置する各第１ターミナル１１の一端部と共に、本センサ装置１におけるコネクタ部として構成される。つまり、開口部１４は、配線部材等を介して図示しない外部機器に接続可能になっている。

また、ケース１０の上端面１５には、圧力検出素子２０および回路チップ３０を設置するための第１凹部１６が設けられ、開口部１４内に第２凹部１７が設けられている。圧力検出用ターミナル１２の他端部は、上記第１凹部１６内にて露出した状態となるように配置され、圧力検出用ターミナル１２の他端部は、第２凹部１７内に露出するようにケース１０にインサート成型されている。

このような第１ターミナル１１として、例えば銅や４２アロイなどの導電材料よりなるものが採用される。なお、第１ターミナル１１における各凹部１６、１７での露出部分には金メッキなどが施されており、ボンディングパッドとして機能するように構成されている。

圧力検出素子２０は、圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生するものであり、ピエゾ抵抗効果を利用したものである。この圧力検出素子２０はセンサチップとして構成され、圧力に応じたレベルの電気信号として電圧を検出するセンシング部を備えている。具体的に、圧力検出素子２０は、歪み部としてのダイヤフラムを有し、このダイヤフラムに拡散抵抗などにより形成されたブリッジ回路などを備えたセンシング部を有している。このような圧力検出素子２０は、ケース１０の第１凹部１６に固定されたガラス台座上に接着固定されている。

回路チップ３０は、圧力検出素子２０に対する駆動信号の出力や外部への検出用信号の出力、圧力検出素子２０からの電気信号を入力し、演算・増幅処理して外部へ出力する等の機能を有する制御回路等を備えたものである。このような回路チップ３０として、例えばシリコン基板等に対してＣＭＯＳトランジスタやバイポーラトランジスタ等が半導体プロセスで形成されたものであり、ＩＣチップや一般的なフリップチップ等で構成されたものが採用される。なお、この回路チップ３０および上記圧力検出素子２０は、本発明の圧力検出部に相当する。

上記圧力検出素子２０と回路チップ３０との間、回路チップ３０と圧力検出用ターミナル１２のボンディングパッドとの間は金やアルミニウム等のボンディングワイヤ２１で接続されている。なお、図１では回路チップ３０と圧力検出用ターミナル１２とを接続するボンディングワイヤ２１のみ表してある。

そして、ケース１０の第１凹部１６内には、電気絶縁性および耐薬品性に優れたフッ素ゲルやフッ素ゴム等からなる保護部材２２が充填されている。この保護部材２２により、圧力検出素子２０、回路チップ３０、圧力検出用ターミナル１２、ボンディングワイヤ２１、圧力検出素子２０とボンディングワイヤ２１との接続部、回路チップ３０とボンディングワイヤ２１との接続部、および圧力検出用ターミナル１２とボンディングワイヤ２１との接続部が被覆され、薬品からの保護、電気的な絶縁性の確保、並びに防食などが図られている。

本実施形態では、２層保護構造の保護部材２２が採用される。例えば、第１凹部１６内において下層に位置する保護部材として、第１ターミナル１１とケース１０との界面等からの気泡の発生を抑制するために高弾性率を持ち、且つ耐薬品性を有する材料からなるフッ素系のゴム材料等が採用される。また、第１凹部１６内において上層に位置する保護部材として、圧力検出素子２０およびボンディングワイヤ２１に応力を与えないような低弾性率を持ち、且つ耐薬品性を有する材料からなるフッ素系のゲル材料やフロロシリコンゲル等が採用される。

ポート部４０は、圧力検出素子２０に圧力媒体を導くものであり、ケース１０の上端面１５を覆うようにケース１０に対して一端側が連結されている。これに伴い、ケース１０とポート部４０との間に圧力検出室４１が形成されている。また、ポート部４０の他端側は、ケース１０とは反対側の方向へ突出しており、その内部には突出先端から上記圧力検出室４１に通じる圧力導入孔４２が形成されている。そして、インテークマニホルドの吸気などの圧力媒体が、圧力導入孔４２から圧力検出室４１に導かれるようになっている。

このようなポート部４０は、例えば上記ケース１０と同様に、ＰＢＴ、ＰＰＳなどの耐熱性を有する樹脂材料からなり、金型を用いてこれらの樹脂材料を型成形してなるものである。

上記ポート部４０には第２ターミナル６０がインサート成型され、この第２ターミナル６０の一端部６１がポート部４０の一端側から露出し、第２ターミナル６０の一端部６１は第１ターミナル１１のうち物理量検出用ターミナル１３に接合されている。また、第２ターミナル６０の他端部６２がポート部４０の他端側に引き伸ばされてパッド状をなしており、このパッドに物理量検出素子５０から引き伸ばされたリード５１が半田、溶接、ペースト、溶着等により接合されている。このような第２ターミナル６０として、例えば金属のワイヤ等が採用される。なお、第２ターミナル６０は、本発明の中継用ターミナルに相当する。

物理量検出素子５０は、圧力とは異なる物理量を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生するものである。物理量検出素子５０として、吸気空気計測用温度センサ、湿度センサ、流量センサ、ガスセンサ等が採用される。本実施形態では、物理量検出素子５０として圧力媒体の温度を検出する温度センサが採用される。このような物理量検出素子５０は、ポート部４０の突出先端部に設けられた窓部４３から外部に露出して設けられている。

なお、リード５１はあらかじめポート部４０に設けられた凹み部分に配置されると共に、第２ターミナル６０の他端部６２に接合された後、凹み部分に耐汚れ・腐食性に優れたフッ素ゴムやフロロシリコン等のシール部材が充填されることでポート部４０に固定されている。

ポート部４０の外周部には、Ｏリング７０が設けられ、本センサ装置１は、当該Ｏリング７０を介して図示されないセンサ取付部に対して気密に取り付け可能になっている。以上が、本実施形態に係るセンサ装置１の全体構成である。

次に、上記構成を有するセンサ装置１においてケース１０とポート部４０との取付構造について図１、図２を参照して説明する。まず、ケース１０の上端面１５の構造について具体的に説明する。なお、図２ではボンディングワイヤ２１や保護部材２２等を省略している。

図２は、図１に示されるケース１０の上端面１５を示した図である。図２に示されるように、第１凹部１６には、圧力検出素子２０や回路チップ３０が設置されており、圧力検出用ターミナル１２の他端部が露出している。また、ケース１０の上端面１５には第２凹部１７に繋がる通路部１８が設けられている。なお、この通路部１８と上記第２凹部１７は、本発明の第２凹部に相当する。

そして、ケース１０の上端面１５には第１凹部１６を囲う、すなわち第１凹部１６を含むように一周する第１溝部１９ａが形成されている。さらに、通路部１８を囲う、すなわち通路部１８を一周する第２溝部１９ｂが形成されている。

これら第１溝部１９ａと第２溝部１９ｂとは繋がっておらず、それぞれが独立した溝部をなしている。また、第１溝部１９ａの内側に第２溝部１９ｂが形成されておらず、第２溝部１９ｂの内側に第１溝部１９ａが形成されることもない。つまり、第１溝部１９ａによって囲まれた領域を除いた場所に第２溝部１９ｂが形成されており、第１溝部１９ａと第２溝部１９ｂとは完全に分離して設けられている。

ポート部４０の一端側には、当該ポート部４０がケース１０の上端面１５に組み付けられる際に、第１溝部１９ａ、第２溝部１９ｂそれぞれにはめ込まれる第１突起部４４、第２突起部４５が設けられている。これら第１突起部４４、第２突起部４５は、ポート部４０の一端側のうち第１溝部１９ａ、第２溝部１９ｂに対向した場所にそれぞれ設けられ、それぞれが一周した形状をなしている。そして、第２突起部４５で囲まれた場所から第２ターミナル６０の一端部６１が露出している。

このようなケース１０の上端面１５、ポート部４０の一端側の構造において、ケース１０の上端面１５にポート部４０の一端側が組み付けられることとなる。具体的には、第１溝部１９ａの少なくとも底全体に接着剤８０が塗布され、第２溝部１９ｂの少なくとも底全体に接着剤９０が塗布される。なお、溝の深さ方向の接着剤の量は調整可能である。

そして、ケース１０の第１溝部１９ａにポート部４０の第１突起部４４が差し込まれ、第２溝部１９ｂに第２突起部４５が差し込まれてポート部４０がケース１０に接着固定される。この場合、ポート部４０の第２突起部４５で囲まれた領域から突出した第２ターミナル６０の一端部６１がケース１０の通路部１８に差し込まれると共に、第２凹部１７内に配置される。

このように組み付けが行われると、圧力検出に関する部屋、すなわち圧力検出室４１が形成される。また、物理量検出に関する部屋、すなわち圧力検出室４１とは隔離された通路部１８に係る部屋が形成される。

本実施形態では、第１溝部１９ａに塗布する接着剤８０として、一般的に硬い接着剤、例えばシリコン系接着剤やハードエポキシ系接着剤が採用される。圧力検出室４１内にポート部４０の圧力導入孔４２からインテークマニホルド内の汚れた圧力媒体が導入されるため、接着剤８０として汚れに対する耐性を有するものが採用される。

また、第２溝部１９ｂに塗布する接着剤９０として、第１溝部１９ａに塗布される接着剤８０よりも軟らかいソフトエポキシ系接着剤が採用される。上述のように、通路部１８は第２凹部１７、そしてコネクタ部を構成する開口部１４に繋がっているため、通路部１８に係る部屋の気密性を確保できるソフト系の接着剤が採用される。さらに、被測定体の温度や圧力媒体の温度によるポート部４０の熱伸縮を吸収するためにも、接着剤９０として接着剤８０よりも軟らかいものが採用される。

上記のようにしてケース１０にポート部４０が組み付けられた後、第２凹部１７内に配置された第２ターミナル６０の一端部６１と物理量検出用ターミナル１３とが接合される。本実施形態では、図１に示されるように、第２凹部１７が開口部１４の深さ方向に設けられているため、開口部１４から第２凹部１７側に物理量検出用ターミナル１３と第２ターミナル６０の一端部６１との接続部を見ることができる。したがって、開口部１４からレーザ光を照射することで接合を行うレーザ溶接などにより、第１ターミナル１１と第２ターミナル６０の一端部６１とが接合される。

以上説明したように、本実施形態では、ケース１０の上端面１５に第１凹部１６を囲う第１溝部１９ａと、通路部１８を囲う第２溝部１９ｂとを設けると共に、ポート部４０の一端側に第１溝部１９ａ、第２溝部１９ｂそれぞれにはめ込まれる第１突起部４４、第２突起部４５を設け、第１溝部１９ａに第１突起部４４を差し込み、第２溝部１９ｂに第２突起部４５を差し込んでケース１０にポート部４０を組み付けたことが特徴となっている。

これにより、圧力検出室４１に圧力媒体が導入されたとしても、当該圧力検出室４１は第１溝部１９ａおよび第１突起部４４によって形成された部屋になっているため、第２ターミナル６０と物理量検出用ターミナル１３との接合部が圧力媒体の影響を受けないようにすることができる。すなわち、第２ターミナル６０と物理量検出用ターミナル１３との接合部を第２溝部１９ｂおよび第２突起部４５によって形成され圧力検出室４１と完全に分離された部屋に配置させることができる。したがって、当該接合部がセンサ装置１内部に進入した圧力媒体等によって劣化してしまうことを防止することができる。

また、第１溝部１９ａに塗布される接着剤８０よりも軟らかい接着剤９０を第２溝部１９ｂに塗布して第２突起部４５を接着固定することで、ポート部４０が被測定体の温度や圧力媒体の温度によって熱伸縮したとしても、軟らかい接着剤９０によってポート部４０の熱収縮を吸収することができる。これにより、接着剤８０や接着剤９０がケース１０やポート部４０から剥がれてしまうことを防止することができ、ケース１０とポート部４０との気密性を確保することができる。特に、第２溝部１９ｂに軟らかい気密性の高い接着剤９０を塗布することで、外部から第２溝部１９ｂを介して通路部１８、第２凹部１７への外気の進入を防ぐことができ、コネクタ部の気密性を確保することができる。

（第２実施形態）
上記実施形態では、第１溝部１９ａ、第２溝部１９ｂに異なる種類の接着剤８０、９０をそれぞれ塗布していたが、各溝部１９ａ、１９ｂに対して同じ種類の接着剤を用いても構わない。

（第３実施形態）
上記実施形態では、第２溝部１９ｂに接着剤９０を塗布し接着していたが、中継用ターミナル６０の一端部６１のまわりに接着剤９０を充填しても構わない。

（第４実施形態）
上記実施形態では、第１溝部１９ａ、第２溝部１９ｂに接着剤８０、９０をそれぞれ塗布していたが、各溝部１９ａ、１９ｂ、各突起部４４，４５の接着を熱溶着しても構わない。

（第５実施形態）
上記実施形態では、第１溝部１９ａ、第２溝部１９ｂに接着剤８０、９０をそれぞれ塗布していたが、各溝部１９ａ、１９ｂ、各突起部４４，４５の接着をレーザにより溶着しても構わない。

本発明の一実施形態に係るセンサ装置の全体概略断面構成を示す図である。 図１に示されるケースの上端面を示した図である。

符号の説明

１０…ケース、１２…圧力検出用ターミナル、１３…物理量検出用ターミナル、１５…上端面、１６…第１凹部、１７…第２凹部、１８…通路部、１９ａ…第１溝部、１９ｂ…第２溝部、２０…圧力検出素子、３０…回路チップ、４０…ポート部、４２…圧力導入孔、４４…第１突起部、４５…第２突起部、５０…物理量検出素子、６０…中継用ターミナル、６１…一端部、６２…他端部、８０、９０…接着剤。

Claims (5)

1. 上端面（１５）に第１凹部（１６）および第２凹部（１７、１８）を有し、一端が前記第１凹部（１６）内に露出する圧力検出用ターミナル（１２）と、一端が前記第２凹部（１７、１８）内に露出する物理量検出用ターミナル（１３）とがインサート成型されたケース（１０）と、
   前記第１凹部（１６）に設置され、前記圧力検出用ターミナル（１２）に電気的に接続されると共に、圧力検出を行う圧力検出部（２０、３０）と、
   前記ケース（１０）の上端面（１５）に連結される一端側から一端部（６１）が露出するようにインサート成型された中継用ターミナル（６０）と、前記圧力検出部（２０、３０）に圧力媒体を導く圧力導入孔（４２）とを有するポート部（４０）と、
   前記ポート部（４０）のうち前記ケース（１０）の上端面（１５）に連結される一端側とは反対側に配置され、前記中継用ターミナル（６０）の他端部（６２）に接続されると共に、圧力とは異なる物理量を検出する物理量検出素子（５０）とを備えたセンサ装置であって、
   前記ケース（１０）は、上端面（１５）に前記第１凹部（１６）を含むように一周する第１溝部（１９ａ）と、前記上端面（１５）のうち前記第１溝部（１９ａ）によって囲まれた領域を除いた場所に前記第２凹部（１７、１８）を一周する第２溝部（１９ｂ）とを有し、前記第１溝部（１９ａ）および前記第２溝部（１９ｂ）に接着剤（８０、９０）がそれぞれ塗布されており、
   前記ポート部（４０）は、一端側に前記第１溝部（１９ａ）に対向した場所に前記第１溝部（１９ａ）にはめ込まれる第１突起部（４４）と、前記第２溝部（１９ｂ）に対向した場所に前記第２溝部（１９ｂ）にはめ込まれる第２突起部（４５）とを有し、前記第２突起部（４５）で囲まれた場所から前記中継用ターミナル（６０）の一端部（６１）が露出しており、
   前記ポート部（４０）の前記第１突起部（４４）が前記ケース（１０）の前記第１溝部（１９ａ）にはめ込まれ、前記ポート部（４０）の前記第２突起部（４５）が前記ケース（１０）の前記第２溝部（１９ｂ）にはめ込まれて前記ポート部（４０）が前記ケース（１０）に前記接着剤（８０、９０）にて接着固定されると共に、前記第２突起部（４５）から突出した前記中継用ターミナル（６０）の一端部（６１）が前記ケース（１０）の前記第２凹部（１７、１８）に差し込まれて前記物理量検出用ターミナル（１３）の一端に接合されていることを特徴とするセンサ装置。
2. 前記接着剤（８０、９０）として、前記第２溝部（１９ｂ）に塗布される接着剤（９０）は前記第１溝部（１９ａ）に塗布される接着剤（８０）よりも軟らかいものであることを特徴とする請求項１に記載のセンサ装置。
3. 前記接着剤（９０）が、前記中継用ターミナル（６０）の一端部（６１）のまわりに充填されたことを特徴とする請求項１に記載のセンサ装置。
4. 前記第１溝部（１９ａ）と前記第１突起部（４４）、前記第２溝部（１９ｂ）と前記２突起部（４５）が熱圧着により接着されたことを特徴とする請求項１に記載のセンサ装置。
5. 前記第１溝部（１９ａ）と前記第１突起部（４４）、前記第２溝部（１９ｂ）と前記第２突起部（４５）がレーザにより接着されたことを特徴とする請求項１に記載のセンサ装置。

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