JP2008241294A - Sensor device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、圧力検出素子と当該圧力検出素子以外の物理量検出素子を備えたセンサ装置に関する。 The present invention relates to a sensor device including a pressure detection element and a physical quantity detection element other than the pressure detection element.
従来より、圧力および温度を測定する温度センサ一体型圧力センサ装置が例えば特許文献1に提案されている。このセンサ装置は、例えば自動車のインテークマニホルドの圧力および吸気温度の測定、NOxやCOの生成量を低減させるEGRシステム等に用いられるものである。 Conventionally, a temperature sensor integrated pressure sensor device for measuring pressure and temperature has been proposed in, for example, Patent Document 1. The sensor device, for example, measuring the pressure of an automobile intake manifold and of the intake air temperature is used for an EGR system or the like to reduce the generation amount of the NO x and CO.
上記温度センサ一体型圧力センサ装置は、外部と接続されるターミナルがインサート成型されたコネクタ部を有するケースと、ターミナルに電気的に接続された状態でケースに設けられ圧力検出を行う圧力検出素子と、ケースに連結され圧力検出素子へ圧力媒体を導く圧力導入孔を有するポート部と、このポート部の先端に配置され圧力媒体の温度を検出する温度検出素子とを備えて構成されている。温度検出素子はポート部にインサート成型されたリード線の一端側に接続され、リード線の他端側がケースのターミナルに接合されている。なお、圧力検出素子とターミナルとの接合部分は例えばゲル等の保護部材に覆われ、保護された形態となっている。 The temperature sensor integrated pressure sensor device includes a case in which a terminal connected to the outside has an insert-molded connector portion, and a pressure detection element that is provided in the case in a state of being electrically connected to the terminal and detects pressure. The port portion is connected to the case and has a pressure introducing hole for introducing the pressure medium to the pressure detecting element, and the temperature detecting element is disposed at the tip of the port portion and detects the temperature of the pressure medium. The temperature detection element is connected to one end side of a lead wire insert-molded in the port portion, and the other end side of the lead wire is joined to a terminal of the case. In addition, the junction part of a pressure detection element and a terminal is covered with protection members, such as gel, for example, and has a protected form.
上記ケースのうちポート部と対向する端部に一周する溝が形成されている。当該溝は、ケースの端部に設けられた圧力検出素子を設置する凹部やターミナルとリード線とを接合する場所を囲うように設けられている。また、ポート部のうちケースと対向する端部に、溝に対応した一周する突起部が設けられている。そして、ポート部の溝に接着剤が入れられ、ケースの溝にポート部の突起部が挿入されることでケースとポート部とが接着固定されるようになっている。
近年、吸気圧の高圧化や高温化、ポート部の内部への圧力媒体としてのガソリンやエンジンオイル、EGRガスの侵入などによって、上記センサ装置が使用される環境が厳しくなり、当該環境に耐えうるケースとポート部との接着構造の実現が必要になっている。 In recent years, the environment in which the sensor device is used becomes severe due to the increase in intake pressure and temperature, the penetration of gasoline, engine oil, and EGR gas as a pressure medium into the port, and it can withstand the environment. It is necessary to realize a bonding structure between the case and the port portion.
しかしながら、上記従来のセンサ装置では、ケースの溝にポート部の突起部がはめ込まれた形態となっており、ケースのターミナルとポート部のリード線との接合部が露出した状態になっている。このため、ポート部が被測定体の温度や圧力媒体の温度によって熱伸縮することで接着剤が剥がれて圧力媒体や外気がケースの内部に進入してしまうと、センサ装置内部に進入した圧力媒体や外気によってターミナルとリード線との接合部分が劣化してしまうという問題がある。 However, in the conventional sensor device described above, the protrusion of the port portion is fitted into the groove of the case, and the joint between the terminal of the case and the lead wire of the port portion is exposed. For this reason, if the adhesive part is peeled off due to the thermal expansion and contraction of the port part due to the temperature of the measured object or the pressure medium, and the pressure medium or the outside air enters the case, the pressure medium that has entered the sensor device. In addition, there is a problem that the joint portion between the terminal and the lead wire deteriorates due to the outside air.
また、一般的にケースとポート部との気密性を確保することが要求されているため、ケースとポート部との接着性を確保する必要がある。 In addition, since it is generally required to ensure airtightness between the case and the port portion, it is necessary to ensure adhesion between the case and the port portion.
本発明は、上記点に鑑み、ポート部にインサート成型された配線とケースに設けられたターミナルとの接合部分の劣化を防止することができるセンサ装置を提供することを目的とする。 An object of this invention is to provide the sensor apparatus which can prevent deterioration of the junction part of the wiring insert-molded by the port part and the terminal provided in the case in view of the said point.
上記目的を達成するため、本発明は、ケース(10)の上端面(15)に第1凹部(16)を含むように一周する第1溝部(19a)と、上端面(15)のうち第1溝部(19a)によって囲まれた領域を除いた場所に第2凹部(17、18)を一周する第2溝部(19b)とを設け、第1溝部(19a)および第2溝部(19b)に接着剤(80、90)をそれぞれ塗布し、ポート部(40)の一端側に第1溝部(19a)に対向した場所に第1溝部(19a)にはめ込まれる第1突起部(44)と、第2溝部(19b)に対向した場所に第2溝部(19b)にはめ込まれる第2突起部(45)とを設け、第2突起部(45)で囲まれた場所から中継用ターミナル(60)の一端部(61)を露出させ、ポート部(40)の第1突起部(44)をケース(10)の第1溝部(19a)にはめ込み、ポート部(40)の第2突起部(45)をケース(10)の第2溝部(19b)にはめ込んでポート部(40)をケース(10)に接着剤(80、90)にて接着固定すると共に、第2突起部(45)から突出した中継用ターミナル(60)の一端部(61)をケース(10)の第2凹部(17、18)に差し込んで物理量検出用ターミナル(13)の一端に接合したことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention provides a first groove portion (19a) that goes around so as to include a first recess (16) in an upper end surface (15) of a case (10), and a first of the upper end surfaces (15). A second groove portion (19b) that goes around the second recess (17, 18) is provided at a location excluding the region surrounded by the one groove portion (19a), and the first groove portion (19a) and the second groove portion (19b) are provided. A first protrusion (44) that is applied to the first groove (19a) at a position facing the first groove (19a) on one end side of the port (40); A second protrusion (45) fitted into the second groove (19b) is provided at a location facing the second groove (19b), and the relay terminal (60) is provided from a location surrounded by the second protrusion (45). One end portion (61) of the first projection portion (4) of the port portion (40) is exposed. ) Is fitted into the first groove (19a) of the case (10), the second protrusion (45) of the port (40) is fitted into the second groove (19b) of the case (10), and the port (40) is fitted. The case (10) is bonded and fixed to the case (10) with an adhesive (80, 90), and one end (61) of the relay terminal (60) protruding from the second protrusion (45) is connected to the second recess of the case (10). (17, 18) and joined to one end of the physical quantity detection terminal (13).
これにより、第1凹部(16)と第2凹部(17、18)とをそれぞれ別々の部屋に分離することができる。すなわち、圧力検出部(20、30)が設置された第1凹部(16)にポート部(40)の圧力導入孔(42)から圧力媒体が導かれたとしても、物理量検出用ターミナル(13)と中継用ターミナル(60)とが接合された第2凹部(17、18)の部屋は第1凹部(16)の部屋とは完全に独立した部屋になっているため、圧力媒体等による物理量検出用ターミナル(13)と中継用ターミナル(60)との接合部の劣化を防止することができる。 Thereby, a 1st recessed part (16) and a 2nd recessed part (17, 18) can be isolate | separated into a separate chamber, respectively. That is, even if the pressure medium is led from the pressure introduction hole (42) of the port portion (40) to the first recess (16) where the pressure detection portion (20, 30) is installed, the physical quantity detection terminal (13). Since the chamber of the second recess (17, 18) where the relay terminal (60) and the relay terminal (60) are joined is completely independent from the chamber of the first recess (16), physical quantity detection using a pressure medium or the like is performed. It is possible to prevent deterioration of the joint portion between the service terminal (13) and the relay terminal (60).
この場合、接着剤(80、90)として、第2溝部(19b)に塗布される接着剤(90)を第1溝部(19a)に塗布する接着剤(80)よりも軟らかいものとすることができる。 In this case, as the adhesive (80, 90), the adhesive (90) applied to the second groove (19b) may be softer than the adhesive (80) applied to the first groove (19a). it can.
これにより、ポート部(40)が被測定体の温度や圧力媒体の温度によって熱伸縮したとしても、軟らかい接着剤(90)によってポート部(40)の熱収縮を吸収することができる。したがって、接着剤(80)や接着剤(90)がケース(10)やポート部(40)から剥がれてしまうことを防止することができ、ケース(10)とポート部(40)との気密性を確保することができる。 Thereby, even if the port part (40) thermally expands and contracts due to the temperature of the measured object or the temperature of the pressure medium, the thermal contraction of the port part (40) can be absorbed by the soft adhesive (90). Therefore, it can prevent that an adhesive agent (80) and an adhesive agent (90) peel from a case (10) or a port part (40), and the airtightness of a case (10) and a port part (40). Can be secured.
また、接着剤(90)を、中継用ターミナル(60)の一端部(61)のまわりに充填することができる。 Also, the adhesive (90) can be filled around one end (61) of the relay terminal (60).
さらに、第1溝部(19a)と第1突起部(44)、前記第2溝部(19b)と第2突起部(45)を熱圧着により接着することができる。 Furthermore, the first groove (19a) and the first protrusion (44), and the second groove (19b) and the second protrusion (45) can be bonded together by thermocompression bonding.
そして、第1溝部(19a)と第1突起部(44)、第2溝部(19b)と第2突起部(45)をレーザにより接着することもできる。 The first groove portion (19a) and the first protrusion portion (44), and the second groove portion (19b) and the second protrusion portion (45) can be bonded by laser.
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。 In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each said means shows the correspondence with the specific means as described in embodiment mentioned later.
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, the same or equivalent parts are denoted by the same reference numerals in the drawings.
(第1実施形態)
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。本実施形態で示されるセンサ装置は、例えば、自動車のインテークマニホルドに取り付けられ、インテークマニホルドの圧力および吸気温度・湿度・ガス流量等の測定に用いられるものである。また、EGRシステムに採用され、EGRシステムにおいて排気経路の下流側に設置されて用いられる。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The sensor device shown in this embodiment is attached to, for example, an intake manifold of an automobile, and is used for measuring the pressure of the intake manifold, intake air temperature, humidity, gas flow rate, and the like. Further, it is adopted in the EGR system, and is installed and used on the downstream side of the exhaust path in the EGR system.
図1は、本発明の一実施形態に係るセンサ装置の全体概略断面構成を示す図である。この図に示されるように、センサ装置1は、ケース10と、圧力検出素子20と、回路チップ30と、ポート部40と、物理量検出素子50とを備えて構成されている。
FIG. 1 is a diagram showing an overall schematic cross-sectional configuration of a sensor device according to an embodiment of the present invention. As shown in this figure, the sensor device 1 includes a
ケース10は、例えばPPS(ポリフェニレンサルファイド)、PBT(ポリブチレンテレフタレート)やエポキシ樹脂等の樹脂材料を、金型を用いて型成形してなるものであり、外部と接続される複数の第1ターミナル11がインサート成型されたものである。
The
第1ターミナル11は、圧力検出素子20に関わる圧力検出用ターミナル12と、物理量検出素子50に関わる物理量検出用ターミナル13とで構成されている。第1ターミナル11の一端部は、ケース10の側面に設けられた開口部14内に露出するように配置されている。このケース10の開口部14の部分は、当該開口部14内に位置する各第1ターミナル11の一端部と共に、本センサ装置1におけるコネクタ部として構成される。つまり、開口部14は、配線部材等を介して図示しない外部機器に接続可能になっている。
The
また、ケース10の上端面15には、圧力検出素子20および回路チップ30を設置するための第1凹部16が設けられ、開口部14内に第2凹部17が設けられている。圧力検出用ターミナル12の他端部は、上記第1凹部16内にて露出した状態となるように配置され、圧力検出用ターミナル12の他端部は、第2凹部17内に露出するようにケース10にインサート成型されている。
The
このような第1ターミナル11として、例えば銅や42アロイなどの導電材料よりなるものが採用される。なお、第1ターミナル11における各凹部16、17での露出部分には金メッキなどが施されており、ボンディングパッドとして機能するように構成されている。
As such a
圧力検出素子20は、圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生するものであり、ピエゾ抵抗効果を利用したものである。この圧力検出素子20はセンサチップとして構成され、圧力に応じたレベルの電気信号として電圧を検出するセンシング部を備えている。具体的に、圧力検出素子20は、歪み部としてのダイヤフラムを有し、このダイヤフラムに拡散抵抗などにより形成されたブリッジ回路などを備えたセンシング部を有している。このような圧力検出素子20は、ケース10の第1凹部16に固定されたガラス台座上に接着固定されている。
The
回路チップ30は、圧力検出素子20に対する駆動信号の出力や外部への検出用信号の出力、圧力検出素子20からの電気信号を入力し、演算・増幅処理して外部へ出力する等の機能を有する制御回路等を備えたものである。このような回路チップ30として、例えばシリコン基板等に対してCMOSトランジスタやバイポーラトランジスタ等が半導体プロセスで形成されたものであり、ICチップや一般的なフリップチップ等で構成されたものが採用される。なお、この回路チップ30および上記圧力検出素子20は、本発明の圧力検出部に相当する。
The
上記圧力検出素子20と回路チップ30との間、回路チップ30と圧力検出用ターミナル12のボンディングパッドとの間は金やアルミニウム等のボンディングワイヤ21で接続されている。なお、図1では回路チップ30と圧力検出用ターミナル12とを接続するボンディングワイヤ21のみ表してある。
A
そして、ケース10の第1凹部16内には、電気絶縁性および耐薬品性に優れたフッ素ゲルやフッ素ゴム等からなる保護部材22が充填されている。この保護部材22により、圧力検出素子20、回路チップ30、圧力検出用ターミナル12、ボンディングワイヤ21、圧力検出素子20とボンディングワイヤ21との接続部、回路チップ30とボンディングワイヤ21との接続部、および圧力検出用ターミナル12とボンディングワイヤ21との接続部が被覆され、薬品からの保護、電気的な絶縁性の確保、並びに防食などが図られている。
The
本実施形態では、2層保護構造の保護部材22が採用される。例えば、第1凹部16内において下層に位置する保護部材として、第1ターミナル11とケース10との界面等からの気泡の発生を抑制するために高弾性率を持ち、且つ耐薬品性を有する材料からなるフッ素系のゴム材料等が採用される。また、第1凹部16内において上層に位置する保護部材として、圧力検出素子20およびボンディングワイヤ21に応力を与えないような低弾性率を持ち、且つ耐薬品性を有する材料からなるフッ素系のゲル材料やフロロシリコンゲル等が採用される。
In the present embodiment, a
ポート部40は、圧力検出素子20に圧力媒体を導くものであり、ケース10の上端面15を覆うようにケース10に対して一端側が連結されている。これに伴い、ケース10とポート部40との間に圧力検出室41が形成されている。また、ポート部40の他端側は、ケース10とは反対側の方向へ突出しており、その内部には突出先端から上記圧力検出室41に通じる圧力導入孔42が形成されている。そして、インテークマニホルドの吸気などの圧力媒体が、圧力導入孔42から圧力検出室41に導かれるようになっている。
The
このようなポート部40は、例えば上記ケース10と同様に、PBT、PPSなどの耐熱性を有する樹脂材料からなり、金型を用いてこれらの樹脂材料を型成形してなるものである。
Such a
上記ポート部40には第2ターミナル60がインサート成型され、この第2ターミナル60の一端部61がポート部40の一端側から露出し、第2ターミナル60の一端部61は第1ターミナル11のうち物理量検出用ターミナル13に接合されている。また、第2ターミナル60の他端部62がポート部40の他端側に引き伸ばされてパッド状をなしており、このパッドに物理量検出素子50から引き伸ばされたリード51が半田、溶接、ペースト、溶着等により接合されている。このような第2ターミナル60として、例えば金属のワイヤ等が採用される。なお、第2ターミナル60は、本発明の中継用ターミナルに相当する。
A
物理量検出素子50は、圧力とは異なる物理量を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生するものである。物理量検出素子50として、吸気空気計測用温度センサ、湿度センサ、流量センサ、ガスセンサ等が採用される。本実施形態では、物理量検出素子50として圧力媒体の温度を検出する温度センサが採用される。このような物理量検出素子50は、ポート部40の突出先端部に設けられた窓部43から外部に露出して設けられている。
The physical
なお、リード51はあらかじめポート部40に設けられた凹み部分に配置されると共に、第2ターミナル60の他端部62に接合された後、凹み部分に耐汚れ・腐食性に優れたフッ素ゴムやフロロシリコン等のシール部材が充填されることでポート部40に固定されている。
In addition, the
ポート部40の外周部には、Oリング70が設けられ、本センサ装置1は、当該Oリング70を介して図示されないセンサ取付部に対して気密に取り付け可能になっている。以上が、本実施形態に係るセンサ装置1の全体構成である。
An O-
次に、上記構成を有するセンサ装置1においてケース10とポート部40との取付構造について図1、図2を参照して説明する。まず、ケース10の上端面15の構造について具体的に説明する。なお、図2ではボンディングワイヤ21や保護部材22等を省略している。
Next, a mounting structure between the
図2は、図1に示されるケース10の上端面15を示した図である。図2に示されるように、第1凹部16には、圧力検出素子20や回路チップ30が設置されており、圧力検出用ターミナル12の他端部が露出している。また、ケース10の上端面15には第2凹部17に繋がる通路部18が設けられている。なお、この通路部18と上記第2凹部17は、本発明の第2凹部に相当する。
FIG. 2 is a view showing the
そして、ケース10の上端面15には第1凹部16を囲う、すなわち第1凹部16を含むように一周する第1溝部19aが形成されている。さらに、通路部18を囲う、すなわち通路部18を一周する第2溝部19bが形成されている。
The
これら第1溝部19aと第2溝部19bとは繋がっておらず、それぞれが独立した溝部をなしている。また、第1溝部19aの内側に第2溝部19bが形成されておらず、第2溝部19bの内側に第1溝部19aが形成されることもない。つまり、第1溝部19aによって囲まれた領域を除いた場所に第2溝部19bが形成されており、第1溝部19aと第2溝部19bとは完全に分離して設けられている。
The
ポート部40の一端側には、当該ポート部40がケース10の上端面15に組み付けられる際に、第1溝部19a、第2溝部19bそれぞれにはめ込まれる第1突起部44、第2突起部45が設けられている。これら第1突起部44、第2突起部45は、ポート部40の一端側のうち第1溝部19a、第2溝部19bに対向した場所にそれぞれ設けられ、それぞれが一周した形状をなしている。そして、第2突起部45で囲まれた場所から第2ターミナル60の一端部61が露出している。
On one end side of the
このようなケース10の上端面15、ポート部40の一端側の構造において、ケース10の上端面15にポート部40の一端側が組み付けられることとなる。具体的には、第1溝部19aの少なくとも底全体に接着剤80が塗布され、第2溝部19bの少なくとも底全体に接着剤90が塗布される。なお、溝の深さ方向の接着剤の量は調整可能である。
In such a structure of the
そして、ケース10の第1溝部19aにポート部40の第1突起部44が差し込まれ、第2溝部19bに第2突起部45が差し込まれてポート部40がケース10に接着固定される。この場合、ポート部40の第2突起部45で囲まれた領域から突出した第2ターミナル60の一端部61がケース10の通路部18に差し込まれると共に、第2凹部17内に配置される。
Then, the first projecting
このように組み付けが行われると、圧力検出に関する部屋、すなわち圧力検出室41が形成される。また、物理量検出に関する部屋、すなわち圧力検出室41とは隔離された通路部18に係る部屋が形成される。
When the assembly is performed in this way, a room for pressure detection, that is, a
本実施形態では、第1溝部19aに塗布する接着剤80として、一般的に硬い接着剤、例えばシリコン系接着剤やハードエポキシ系接着剤が採用される。圧力検出室41内にポート部40の圧力導入孔42からインテークマニホルド内の汚れた圧力媒体が導入されるため、接着剤80として汚れに対する耐性を有するものが採用される。
In the present embodiment, a hard adhesive such as a silicon adhesive or a hard epoxy adhesive is generally used as the adhesive 80 applied to the
また、第2溝部19bに塗布する接着剤90として、第1溝部19aに塗布される接着剤80よりも軟らかいソフトエポキシ系接着剤が採用される。上述のように、通路部18は第2凹部17、そしてコネクタ部を構成する開口部14に繋がっているため、通路部18に係る部屋の気密性を確保できるソフト系の接着剤が採用される。さらに、被測定体の温度や圧力媒体の温度によるポート部40の熱伸縮を吸収するためにも、接着剤90として接着剤80よりも軟らかいものが採用される。
Further, as the adhesive 90 applied to the
上記のようにしてケース10にポート部40が組み付けられた後、第2凹部17内に配置された第2ターミナル60の一端部61と物理量検出用ターミナル13とが接合される。本実施形態では、図1に示されるように、第2凹部17が開口部14の深さ方向に設けられているため、開口部14から第2凹部17側に物理量検出用ターミナル13と第2ターミナル60の一端部61との接続部を見ることができる。したがって、開口部14からレーザ光を照射することで接合を行うレーザ溶接などにより、第1ターミナル11と第2ターミナル60の一端部61とが接合される。
After the
以上説明したように、本実施形態では、ケース10の上端面15に第1凹部16を囲う第1溝部19aと、通路部18を囲う第2溝部19bとを設けると共に、ポート部40の一端側に第1溝部19a、第2溝部19bそれぞれにはめ込まれる第1突起部44、第2突起部45を設け、第1溝部19aに第1突起部44を差し込み、第2溝部19bに第2突起部45を差し込んでケース10にポート部40を組み付けたことが特徴となっている。
As described above, in the present embodiment, the
これにより、圧力検出室41に圧力媒体が導入されたとしても、当該圧力検出室41は第1溝部19aおよび第1突起部44によって形成された部屋になっているため、第2ターミナル60と物理量検出用ターミナル13との接合部が圧力媒体の影響を受けないようにすることができる。すなわち、第2ターミナル60と物理量検出用ターミナル13との接合部を第2溝部19bおよび第2突起部45によって形成され圧力検出室41と完全に分離された部屋に配置させることができる。したがって、当該接合部がセンサ装置1内部に進入した圧力媒体等によって劣化してしまうことを防止することができる。
Thereby, even if a pressure medium is introduced into the
また、第1溝部19aに塗布される接着剤80よりも軟らかい接着剤90を第2溝部19bに塗布して第2突起部45を接着固定することで、ポート部40が被測定体の温度や圧力媒体の温度によって熱伸縮したとしても、軟らかい接着剤90によってポート部40の熱収縮を吸収することができる。これにより、接着剤80や接着剤90がケース10やポート部40から剥がれてしまうことを防止することができ、ケース10とポート部40との気密性を確保することができる。特に、第2溝部19bに軟らかい気密性の高い接着剤90を塗布することで、外部から第2溝部19bを介して通路部18、第2凹部17への外気の進入を防ぐことができ、コネクタ部の気密性を確保することができる。
Further, by applying an adhesive 90 softer than the adhesive 80 applied to the
(第2実施形態)
上記実施形態では、第1溝部19a、第2溝部19bに異なる種類の接着剤80、90をそれぞれ塗布していたが、各溝部19a、19bに対して同じ種類の接着剤を用いても構わない。
(Second Embodiment)
In the above embodiment, different types of
(第3実施形態)
上記実施形態では、第2溝部19bに接着剤90を塗布し接着していたが、中継用ターミナル60の一端部61のまわりに接着剤90を充填しても構わない。
(Third embodiment)
In the above-described embodiment, the adhesive 90 is applied and adhered to the
(第4実施形態)
上記実施形態では、第1溝部19a、第2溝部19bに接着剤80、90をそれぞれ塗布していたが、各溝部19a、19b、各突起部44,45の接着を熱溶着しても構わない。
(Fourth embodiment)
In the above embodiment, the
(第5実施形態)
上記実施形態では、第1溝部19a、第2溝部19bに接着剤80、90をそれぞれ塗布していたが、各溝部19a、19b、各突起部44,45の接着をレーザにより溶着しても構わない。
(Fifth embodiment)
In the above embodiment, the
10…ケース、12…圧力検出用ターミナル、13…物理量検出用ターミナル、15…上端面、16…第1凹部、17…第2凹部、18…通路部、19a…第1溝部、19b…第2溝部、20…圧力検出素子、30…回路チップ、40…ポート部、42…圧力導入孔、44…第1突起部、45…第2突起部、50…物理量検出素子、60…中継用ターミナル、61…一端部、62…他端部、80、90…接着剤。
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記第1凹部(16)に設置され、前記圧力検出用ターミナル(12)に電気的に接続されると共に、圧力検出を行う圧力検出部(20、30)と、
前記ケース(10)の上端面(15)に連結される一端側から一端部(61)が露出するようにインサート成型された中継用ターミナル(60)と、前記圧力検出部(20、30)に圧力媒体を導く圧力導入孔(42)とを有するポート部(40)と、
前記ポート部(40)のうち前記ケース(10)の上端面(15)に連結される一端側とは反対側に配置され、前記中継用ターミナル(60)の他端部(62)に接続されると共に、圧力とは異なる物理量を検出する物理量検出素子(50)とを備えたセンサ装置であって、
前記ケース(10)は、上端面(15)に前記第1凹部(16)を含むように一周する第1溝部(19a)と、前記上端面(15)のうち前記第1溝部(19a)によって囲まれた領域を除いた場所に前記第2凹部(17、18)を一周する第2溝部(19b)とを有し、前記第1溝部(19a)および前記第2溝部(19b)に接着剤(80、90)がそれぞれ塗布されており、
前記ポート部(40)は、一端側に前記第1溝部(19a)に対向した場所に前記第1溝部(19a)にはめ込まれる第1突起部(44)と、前記第2溝部(19b)に対向した場所に前記第2溝部(19b)にはめ込まれる第2突起部(45)とを有し、前記第2突起部(45)で囲まれた場所から前記中継用ターミナル(60)の一端部(61)が露出しており、
前記ポート部(40)の前記第1突起部(44)が前記ケース(10)の前記第1溝部(19a)にはめ込まれ、前記ポート部(40)の前記第2突起部(45)が前記ケース(10)の前記第2溝部(19b)にはめ込まれて前記ポート部(40)が前記ケース(10)に前記接着剤(80、90)にて接着固定されると共に、前記第2突起部(45)から突出した前記中継用ターミナル(60)の一端部(61)が前記ケース(10)の前記第2凹部(17、18)に差し込まれて前記物理量検出用ターミナル(13)の一端に接合されていることを特徴とするセンサ装置。 The upper end surface (15) has a first recess (16) and a second recess (17, 18), one end of which is exposed in the first recess (16), and one end of the pressure detection terminal (12). A case (10) in which a physical quantity detection terminal (13) exposed in the second recess (17, 18) is insert-molded;
A pressure detector (20, 30) that is installed in the first recess (16) and is electrically connected to the pressure detection terminal (12) and performs pressure detection;
The relay terminal (60) insert-molded so that one end (61) is exposed from one end connected to the upper end surface (15) of the case (10), and the pressure detector (20, 30). A port portion (40) having a pressure introducing hole (42) for guiding the pressure medium;
The port portion (40) is disposed on the opposite side to the one end connected to the upper end surface (15) of the case (10), and is connected to the other end (62) of the relay terminal (60). And a physical quantity detecting element (50) for detecting a physical quantity different from the pressure,
The case (10) is formed by a first groove (19a) that goes around so as to include the first recess (16) on the upper end surface (15), and the first groove (19a) of the upper end surface (15). A second groove portion (19b) that goes around the second recess (17, 18) at a place excluding the enclosed region, and an adhesive is provided to the first groove portion (19a) and the second groove portion (19b). (80, 90) are respectively applied,
The port portion (40) has a first projecting portion (44) fitted into the first groove portion (19a) at a position opposite to the first groove portion (19a) on one end side, and the second groove portion (19b). A second projecting portion (45) fitted into the second groove portion (19b) at an opposite location, and one end of the relay terminal (60) from a location surrounded by the second projecting portion (45) (61) is exposed,
The first protrusion (44) of the port portion (40) is fitted into the first groove (19a) of the case (10), and the second protrusion (45) of the port portion (40) is The port (40) is fitted and fixed to the case (10) with the adhesive (80, 90) by being fitted into the second groove (19b) of the case (10), and the second protrusion One end (61) of the relay terminal (60) protruding from (45) is inserted into the second recess (17, 18) of the case (10) and is connected to one end of the physical quantity detection terminal (13). A sensor device characterized by being joined.
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