JP2008169092A - カーボンナノチューブの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に触媒としてコロイド状金属触媒を配置し、原料ガスを供給するとともに、反応雰囲気中に水分を存在させて化学気相成長(CVD)法によりカーボンナノチューブを成長形成させることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
【選択図】なし
Description
Kenji Hata et al, Water-Assisted Highly Efficient Synthesis of Impurity-Free Single-Walled Carbon Nanotubes, SCIENCE, 2004.11.19, vol.306, p.1362-1364
ューブが集合して成長しているものであり、量産性にすぐれたものであった。これらの文献に記載された配向カーボンナノチューブ・バルク集合体は、触媒化学気相成長(CVD)法を用いて反応雰囲気下に配向成長させるもので、その際微量の水分等の酸化剤を供給して製造を行っている。いわゆるHiPcoなどの流動気相法では、製造後、触媒を薬品処理などで除去する必要があるが、この触媒化学気相成長法ではそのような処理を必要としない。また、触媒化学気相成長法で製造した配向カーボンナノチューブ・バルク集合体は効率よく基板から剥離することができる利点をも有する。
ンナノチューブ・バルク集合体の使用が望ましい場合がある。ところが、従来技術では、このような要請に応えることが難しく、さらに改善すべき余地があった。
徴とする上記〔1〕ないし〔7〕のいずれかに記載のカーボンナノチューブの製造方法。
く、特にFe−Moを主成分とするコロイドが好ましい。この場合、Moの含有量をFeに対して重量比で5〜12%とすると、その効果がより顕著となる。
〜2500m2/g、より好ましくは800〜2500m2/g、さらに好ましくは1000〜2500m2/gである。また、本発明の方法で得られるカーボンナノチューブない
し配向カーボンナノチューブ・バルク集合体は、未開口のものにあっては、比表面積が600〜1300m2/g、より好ましくは800〜1300m2/g、さらに好ましくは1
000〜1300m2/gである。さらに、本発明で得られる配向カーボンナノチューブ
・バルク集合体は、開口したものにあっては、比表面積が1300〜2500m2/g、
より好ましくは1500〜2500m2/g、さらに好ましくは1700〜2500m2/gである。
Pa以上3×105Pa(3大気圧)以下がさらに好ましく、5×10Pa以上9×10
Pa以下が特に好ましい。
バルク集合体の提供が可能となる。
<Fe−Moコロイドの合成>
用いたFe−Moコロイド合成の反応装置の概略を図1に示す。
Mw=195.90、d=1.49g/mL;液体)に0.35mmol(=92.4mg)のMo(CO)6(Mw=264.00;固体)を完全に溶かし込んだ。
<Fe−Moコロイド触媒の配置、配向カーボンナノチューブ・バルク集合体の作製>
上記で合成したFe−Moコロイドを触媒として用い、基板上に配置するとともに、CVD法により下記条件で配向カーボンナノチューブ・バルク集合体を作製した。
雰囲気(ガス):ヘリウム、水素混合ガス;供給速度1000sccm
圧力1大気圧
水蒸気添加量(ppm):150ppm
反応温度(℃):750℃
反応時間(分):10分
基板:シリコンウェハー
なお、基板上へのFe−Moコロイド触媒の配置はスピンコーティング装置を用いて行った。また、触媒と基板の間には触媒担持材として35nm厚のAl2O3膜を設けた。
濃度の触媒はカーボンナノチューブ成長時に凝集し直径が大きくなり、その分、密度が減少する傾向が見られる。
Claims (13)
- 基板上に触媒としてコロイド状金属触媒を配置し、原料ガスを供給するとともに、反応雰囲気中に水分を存在させて化学気相成長(CVD)法によりカーボンナノチューブを成長形成させることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
- 複数のカーボンナノチューブよりなる配向カーボンナノチューブ・バルク集合体を成長形成させることを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 10ppm以上10000ppm以下の水分を存在させることを特徴とする請求項1又は2に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 基板上に触媒としてコロイド状金属触媒を配置し、原料ガスを供給して反応雰囲気中で化学気相成長(CVD)法により複数のカーボンナノチューブよりなる配向カーボンナノチューブ・バルク集合体を成長形成させることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
- カーボンナノチューブが単層カーボンナノチューブであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- カーボンナノチューブが二層カーボンナノチューブであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- カーボンナノチューブが単層カーボンナノチューブと二層及び三層以上のカーボンナノチューブが混在したものであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- コロイド状金属触媒が、Feを主成分とするコロイド触媒であることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- コロイド状金属触媒が、Fe−Moを主成分とするコロイド触媒であることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- Moの含有率を変化させることにより複数のカーボンナノチューブの密度を制御することを特徴とする請求項9に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- コロイド状金属触媒の塗布量を変化させることにより複数のカーボンナノチューブの密度を制御することを特徴とする請求項1ないし10のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 基板に対して垂直配向しているカーボンナノチューブを成長形成させることを特徴とする請求項1ないし11のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 基板に対して傾斜配向しているカーボンナノチューブを成長形成させることを特徴とする請求項1ないし11のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブの製造方法。
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