JP2007326751A - 単層カーボンナノチューブの製造方法 - Google Patents
単層カーボンナノチューブの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007326751A JP2007326751A JP2006160690A JP2006160690A JP2007326751A JP 2007326751 A JP2007326751 A JP 2007326751A JP 2006160690 A JP2006160690 A JP 2006160690A JP 2006160690 A JP2006160690 A JP 2006160690A JP 2007326751 A JP2007326751 A JP 2007326751A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- walled carbon
- catalyst
- swcnt
- carbon nanotube
- carbon nanotubes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D01—NATURAL OR MAN-MADE THREADS OR FIBRES; SPINNING
- D01F—CHEMICAL FEATURES IN THE MANUFACTURE OF ARTIFICIAL FILAMENTS, THREADS, FIBRES, BRISTLES OR RIBBONS; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OF CARBON FILAMENTS
- D01F9/00—Artificial filaments or the like of other substances; Manufacture thereof; Apparatus specially adapted for the manufacture of carbon filaments
- D01F9/08—Artificial filaments or the like of other substances; Manufacture thereof; Apparatus specially adapted for the manufacture of carbon filaments of inorganic material
- D01F9/12—Carbon filaments; Apparatus specially adapted for the manufacture thereof
- D01F9/127—Carbon filaments; Apparatus specially adapted for the manufacture thereof by thermal decomposition of hydrocarbon gases or vapours or other carbon-containing compounds in the form of gas or vapour, e.g. carbon monoxide, alcohols
- D01F9/1277—Other organic compounds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/15—Nano-sized carbon materials
- C01B32/158—Carbon nanotubes
- C01B32/16—Preparation
- C01B32/162—Preparation characterised by catalysts
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D01—NATURAL OR MAN-MADE THREADS OR FIBRES; SPINNING
- D01F—CHEMICAL FEATURES IN THE MANUFACTURE OF ARTIFICIAL FILAMENTS, THREADS, FIBRES, BRISTLES OR RIBBONS; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OF CARBON FILAMENTS
- D01F9/00—Artificial filaments or the like of other substances; Manufacture thereof; Apparatus specially adapted for the manufacture of carbon filaments
- D01F9/08—Artificial filaments or the like of other substances; Manufacture thereof; Apparatus specially adapted for the manufacture of carbon filaments of inorganic material
- D01F9/12—Carbon filaments; Apparatus specially adapted for the manufacture thereof
- D01F9/127—Carbon filaments; Apparatus specially adapted for the manufacture thereof by thermal decomposition of hydrocarbon gases or vapours or other carbon-containing compounds in the form of gas or vapour, e.g. carbon monoxide, alcohols
- D01F9/133—Apparatus therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2202/00—Structure or properties of carbon nanotubes
- C01B2202/02—Single-walled nanotubes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2202/00—Structure or properties of carbon nanotubes
- C01B2202/20—Nanotubes characterized by their properties
- C01B2202/34—Length
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2202/00—Structure or properties of carbon nanotubes
- C01B2202/20—Nanotubes characterized by their properties
- C01B2202/36—Diameter
Abstract
【課題】より高い成長率、成長効率または垂直合成等を達成できるSWCNTの製造方法を提供する。
【解決手段】真空、かつ、600〜900℃の封入空間下にある触媒に、有機脱水アルコールを接触させることを含む、単層カーボンナノチューブの製造方法。
【選択図】図9
【解決手段】真空、かつ、600〜900℃の封入空間下にある触媒に、有機脱水アルコールを接触させることを含む、単層カーボンナノチューブの製造方法。
【選択図】図9
Description
本発明は、単層カーボンナノチューブ(以下、「SWCNT」ということがある)の製造方法に関する。
従来から、カーボンナノチューブ(以下、「CNT」ということがある)の製造として、アーク放電法、レーザー蒸着法、化学気相成長法が知られている。
ここでアーク放電法は、大気圧よりやや低い圧力のアルゴン等の雰囲気下で、炭素棒間にアーク放電を行うことにより、陰極に多層カーボンナノチューブ(以下、「MWCNT」ということがある)を生成する方法である。この場合、炭素棒中にNi/Yなどの触媒を混ぜてアーク放電を行うと、容器内側にSWCNTを生成させることもできる。このアーク放電法は、欠陥が少なく比較的品質の良いCNTを生成することができる利点があるが、その反面、i)アモルファス炭素が同時に生成される、ii)コストが高い、iii)大量合成には不向きであるといった問題がある。
ここでアーク放電法は、大気圧よりやや低い圧力のアルゴン等の雰囲気下で、炭素棒間にアーク放電を行うことにより、陰極に多層カーボンナノチューブ(以下、「MWCNT」ということがある)を生成する方法である。この場合、炭素棒中にNi/Yなどの触媒を混ぜてアーク放電を行うと、容器内側にSWCNTを生成させることもできる。このアーク放電法は、欠陥が少なく比較的品質の良いCNTを生成することができる利点があるが、その反面、i)アモルファス炭素が同時に生成される、ii)コストが高い、iii)大量合成には不向きであるといった問題がある。
また、レーザ蒸発法は、900〜1300℃の高温雰囲気下で、Ni/Coなどの触媒を混ぜた炭素にYAGレーザなどの強いパルス光を照射することによりCNTを生成する方法である。純度の高いCNTを得ることができ、また条件変更によりチューブ径を制御できるという利点があるが、収率が悪く、工業的規模で実施することは難しい。
さらに、化学気相成長法(CVD法、Chemical Vapor Deposition)は、炭素源となる炭素化合物を500〜1200℃で触媒金属微粒子と接触させることによりCNTを生成する方法であり、MWCNTとSWCNTの何れも合成することができる。また、触媒を基板上に配置することにより、該基板面に垂直に配向したMWCNTを得ることも可能である。
ここで、CVD法を用いたSWCNTの製造方法として、特許文献1には、酸素を有する化合物からなる炭素源又は酸素を有する化合物と炭素を有する化合物の混合物を加熱温度下に触媒と接触させる方法が知られている。しかしながら、より高い成長率、成長効率または垂直合成等を達成できるSWCNTを製造できる方法が求められている。
本発明は上記課題を解決することを目的とするものであって、より高い成長率、成長効率または垂直合成等を達成できるSWCNTの製造方法を提供することを目的とする。
上記課題の下、本願発明者が鋭意検討を行った結果、下記手段により上記課題を解決しうることを見出した。
(1)真空、かつ、600〜900℃の封入空間下にある触媒に、有機脱水アルコールを接触させることを含む、単層カーボンナノチューブの製造方法。
(2)封入空間の有機脱水アルコール接触時の圧力は、1×10-2Pa以下である、(1)に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(3)触媒に接触させるときの有機脱水アルコールの圧は、1Pa〜100kPaである、(1)または(2)に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(4)有機脱水アルコールは、エタノールを主成分とする、(1)〜(3)のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(5)前記触媒は、Fe、Co、Ni、Mo、Pt、Pd、Rh、Ir、Y、La、Ce、Pr、Nd、Gd、Tb、Dy、Ho、Er及びLuの少なくとも1種以上またはこれらの酸化物である、(1)〜(4)のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(6)有機脱水アルコールを接触させる前に、封入空間内を洗浄する工程を含む、(1)〜(5)のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(7)前記触媒は、粒子状であり、かつ、該粒子の1つから単層カーボンナノチューブが成長する確率が60%以上である、(1)〜(6)のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(8)単層カーボンナノチューブの長さが、50nm以上である、(1)〜(7)のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(9)前記触媒が、基板上に設けられている(1)〜(8)のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(10)垂直合成可能である、(9)に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(1)真空、かつ、600〜900℃の封入空間下にある触媒に、有機脱水アルコールを接触させることを含む、単層カーボンナノチューブの製造方法。
(2)封入空間の有機脱水アルコール接触時の圧力は、1×10-2Pa以下である、(1)に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(3)触媒に接触させるときの有機脱水アルコールの圧は、1Pa〜100kPaである、(1)または(2)に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(4)有機脱水アルコールは、エタノールを主成分とする、(1)〜(3)のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(5)前記触媒は、Fe、Co、Ni、Mo、Pt、Pd、Rh、Ir、Y、La、Ce、Pr、Nd、Gd、Tb、Dy、Ho、Er及びLuの少なくとも1種以上またはこれらの酸化物である、(1)〜(4)のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(6)有機脱水アルコールを接触させる前に、封入空間内を洗浄する工程を含む、(1)〜(5)のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(7)前記触媒は、粒子状であり、かつ、該粒子の1つから単層カーボンナノチューブが成長する確率が60%以上である、(1)〜(6)のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(8)単層カーボンナノチューブの長さが、50nm以上である、(1)〜(7)のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(9)前記触媒が、基板上に設けられている(1)〜(8)のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
(10)垂直合成可能である、(9)に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
本発明のSWCNTの製造方法を採用することにより、成長効率および成長率に優れたSWCNTを製造することが可能になった。また、本発明の製造方法を採用することにより、基板に対して垂直な方向に成長させることが可能になった。
以下において、本発明の内容について詳細に説明する。尚、本願明細書において「〜」とはその前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味で使用される。
本発明のSWCNTの製造方法は、真空、かつ、600〜900℃の温度の封入空間で、触媒に有機脱水アルコールを接触させることを特徴とする。
すなわち、本発明における封入空間は、有機脱水アルコールを接触させる時点では、真空となっている。このように真空の状態とすることにより、残留気体、物質等を容易に除去でき、品質の高いSWCNTを得ることができる。
ここで、真空とは、減圧、かつ、気体の流動が無い状態をいい、例えば、封入空間内を真空ポンプで真空排気することにより得られうる空間をいう。
真空空間の減圧の程度、すなわち、封入空間の有機脱水アルコールの接触時の圧力は、1×10-2Pa以下であることが好ましく、1×10-4Pa以下であることがより好ましく、1×10-5Pa以下であることがさらに好ましい。
このような封入空間としては、石英管が挙げられる。また、真空空間は、真空の度合いに応じて、1つまたは2つ以上の真空ポンプを用いて構成することができる。
ここで、真空とは、減圧、かつ、気体の流動が無い状態をいい、例えば、封入空間内を真空ポンプで真空排気することにより得られうる空間をいう。
真空空間の減圧の程度、すなわち、封入空間の有機脱水アルコールの接触時の圧力は、1×10-2Pa以下であることが好ましく、1×10-4Pa以下であることがより好ましく、1×10-5Pa以下であることがさらに好ましい。
このような封入空間としては、石英管が挙げられる。また、真空空間は、真空の度合いに応じて、1つまたは2つ以上の真空ポンプを用いて構成することができる。
また、本発明における封入空間内の温度は、有機脱水アルコールからSWCNTが形成される温度に設定されるが、好ましくは、600〜900℃であり、より好ましくは700〜800℃である。このような温度条件は、通常、封入空間に金属触媒を導入した状態で昇温することにより設定する。
本発明では、有機脱水アルコールを金属触媒に接触させる。有機脱水アルコールの脱水度は、水分が完全に除かれているもののみならず、通常、脱水アルコールとして取り扱われている程度の微量の水分が含まれているものも含む趣旨である。例えば、0.005重量%以下の水分を含むものが本発明でいう有機脱水アルコールに含まれる。
本発明で用いる有機脱水アルコールは、その種類等は特に定めるものではなく、また2種類以上の混合アルコールであってもよい。本発明で用いる有機脱水アルコールとしては、例えば、メタノール、エタノール、n−プロパノール、iso−プロパノール、n−ブタノール、iso−ブタノール、sec−ブタノール、tert−ブタノール、n−ペンタノール、iso−ペンタノール、n−アミルアルコール、iso−アミルアルコール、n−ヘキサノール、n−ヘプタノール、n−オクタノール、n−ノナノール、及びn−デカノールなどを挙げることができる。この中でも、メタノール、エタノール、iso−プロパノールを主成分とするものが好ましく、エタノールを主成分とするものがより好ましい。ここで、主成分とは、重量換算における含量割合が最も多いものをいい、好ましくは99.5重量%以上をしめることをいう。
有機脱水アルコールは、触媒に接触させる際の圧が、1Pa〜100kPaであることが好ましく、100Pa〜40kPaであることがより好ましく、1kPa〜4kPaであることがさらに好ましい。このような条件の有機脱水アルコールを接触させることにより、短時間成長においても、高い成長率が実現でき、また、成長効率をより高めることができる。
本発明で用いる有機脱水アルコールは、その種類等は特に定めるものではなく、また2種類以上の混合アルコールであってもよい。本発明で用いる有機脱水アルコールとしては、例えば、メタノール、エタノール、n−プロパノール、iso−プロパノール、n−ブタノール、iso−ブタノール、sec−ブタノール、tert−ブタノール、n−ペンタノール、iso−ペンタノール、n−アミルアルコール、iso−アミルアルコール、n−ヘキサノール、n−ヘプタノール、n−オクタノール、n−ノナノール、及びn−デカノールなどを挙げることができる。この中でも、メタノール、エタノール、iso−プロパノールを主成分とするものが好ましく、エタノールを主成分とするものがより好ましい。ここで、主成分とは、重量換算における含量割合が最も多いものをいい、好ましくは99.5重量%以上をしめることをいう。
有機脱水アルコールは、触媒に接触させる際の圧が、1Pa〜100kPaであることが好ましく、100Pa〜40kPaであることがより好ましく、1kPa〜4kPaであることがさらに好ましい。このような条件の有機脱水アルコールを接触させることにより、短時間成長においても、高い成長率が実現でき、また、成長効率をより高めることができる。
本発明では、有機脱水アルコールを触媒に接触させる。本発明で用いる触媒は、特に定めるものではなく、また、1種類のみでも2種類以上を併用してもよい。好ましくは、金属触媒であり、具体的には、Fe、Co、Ni、Mo、Pt、Pd、Rh、Ir、Y、La、Ce、Pr、Nd、Gd、Tb、Dy、Ho、Er及びLuの少なくとも1種以上またはこれらの酸化物であり、より好ましくは、Co、Feである。また、2種以上の触媒の組合せとしては、Fe/Co、Fe/Mo、Co/Mo、Fe/Ti、Fe/TiO2、Fe/Al、Fe/Al2O3、Co/Ti、Co/TiO2、Co/Al、Co/Al2O3が好ましい。
本発明で用いる触媒は、基板上に設けることが好ましい。
基板上に触媒を設ける方法としては、レジスト法、ディップコーティング法等を採用できる。
レジスト法は、ネガ型電子線レジスト(例えば、JAPP 43 (2004) 1356に記載の方法)およびポジ型電子線レジスト(例えば、J. AM. CHEM. SOC. 127 (2005) 11942に記載の方法)のいずれも好ましく、ポジ型電子線レジストがより好ましい。さらに、ポジ型電子線レジストを採用する場合、レジストを除去した部分に触媒を蒸着させるが、このときに角度をもって蒸着することが好ましい。このような手段を採用することにより、実際のパターンよりもより小さな触媒パターンを設けることができ好ましい。レジスト法は、基板上に1本のCNTを成長する場合に好ましい。
ディップコーティング法は、触媒を含む溶液中に基板を浸漬して触媒層を形成する。ディップコーティング法を採用する場合、触媒を含む溶液中の触媒の濃度を調節することにより、触媒量を調整することができる。ディップコーティング法は、基板全面に触媒微粒子を形成する場合に好ましい。
基板上に触媒を設ける方法としては、レジスト法、ディップコーティング法等を採用できる。
レジスト法は、ネガ型電子線レジスト(例えば、JAPP 43 (2004) 1356に記載の方法)およびポジ型電子線レジスト(例えば、J. AM. CHEM. SOC. 127 (2005) 11942に記載の方法)のいずれも好ましく、ポジ型電子線レジストがより好ましい。さらに、ポジ型電子線レジストを採用する場合、レジストを除去した部分に触媒を蒸着させるが、このときに角度をもって蒸着することが好ましい。このような手段を採用することにより、実際のパターンよりもより小さな触媒パターンを設けることができ好ましい。レジスト法は、基板上に1本のCNTを成長する場合に好ましい。
ディップコーティング法は、触媒を含む溶液中に基板を浸漬して触媒層を形成する。ディップコーティング法を採用する場合、触媒を含む溶液中の触媒の濃度を調節することにより、触媒量を調整することができる。ディップコーティング法は、基板全面に触媒微粒子を形成する場合に好ましい。
ここで、基板は、製造するSWCNTの用途等に応じて適宜定めることができるが、好ましくは、シリコン、SiO2、Al2O3等である。基板の表面は、触媒を設ける前に酸化処理を行ってもよい。このような手段を採用することにより、触媒金属のシリサイド化を抑止できる傾向にあり好ましい。
また、基板と触媒の間に何らかの担持体を設けてもよい。
また、基板と触媒の間に何らかの担持体を設けてもよい。
本発明の製造方法では、有機脱水アルコールを接触させる前に、前記封入空間内を洗浄することが好ましい。このような手段を採用することにより、残留不純物質を除去でき、より効果的にSWCNTを成長させることができる。
封入空間の洗浄は、酸素ガスを用いたクリーニング、オゾンクリーニング、プラズマクリーニング、真空熱処理クリーニング等を用いて洗浄することが好ましく、酸素ガスを用いたクリーニング、オゾンクリーニングまたはプラズマクリーニングがより好ましい。
酸素ガスを用いたクリーニング、オゾンクリーニングまたはプラズマクリーニングを行う時の洗浄ガスの圧は、1〜100kPaであることが好ましく、1〜3kPaであることがより好ましい。
一方、真空熱処理クリーニングを行う場合の洗浄ガスの圧は、1Pa以下であることが好ましく、6.6×10-4Pa以下であることがより好ましい。
洗浄時の温度は、好ましくは500〜1000℃、より好ましくは800〜1000℃である。
封入空間の洗浄は、酸素ガスを用いたクリーニング、オゾンクリーニング、プラズマクリーニング、真空熱処理クリーニング等を用いて洗浄することが好ましく、酸素ガスを用いたクリーニング、オゾンクリーニングまたはプラズマクリーニングがより好ましい。
酸素ガスを用いたクリーニング、オゾンクリーニングまたはプラズマクリーニングを行う時の洗浄ガスの圧は、1〜100kPaであることが好ましく、1〜3kPaであることがより好ましい。
一方、真空熱処理クリーニングを行う場合の洗浄ガスの圧は、1Pa以下であることが好ましく、6.6×10-4Pa以下であることがより好ましい。
洗浄時の温度は、好ましくは500〜1000℃、より好ましくは800〜1000℃である。
本発明の製造方法では、粒子の1つから単層カーボンナノチューブが成長する確率(本明細書において、「成長率」と示すことがある)が高い状態で、SWCNTを製造することができる。本発明の製造方法では成長率が、好ましくは50%以上、より好ましくは80%以上、さらに好ましくは100%とすることができる。
本発明の製造方法では、1本のSWCNTを長く成長させることができる。尚、本明細書では、1本のSWCNTの長くなりやすさを成長効率ということがある。本発明の製造方法では、好ましくは50nm以上、より好ましくは1000nm以上、さらに好ましくは3000nm以上のSWCNTを得ることができる。
また、本発明の製造方法により、SWCNTの直径は、0.5〜1.7mmとすることができ、さらには、0.5〜1.2nmとすることができる。
さらに、本発明の製造方法では、基板に対し、垂直に合成することが可能である。
加えて、本発明では、得られるSWCNTの形態のバラツキをすくなくすることができる。例えば、得られるSWCNTの60%以上(好ましくは80%以上)が、直径0.5〜1.5nmの範囲に含まれるようにすることができる。
さらに、本発明の製造方法では、基板に対し、垂直に合成することが可能である。
加えて、本発明では、得られるSWCNTの形態のバラツキをすくなくすることができる。例えば、得られるSWCNTの60%以上(好ましくは80%以上)が、直径0.5〜1.5nmの範囲に含まれるようにすることができる。
本発明の方法により成長させたSWCNTは、電界効果トランジスタ等のポストシリコン材料、走査型プローブ顕微鏡の探針、電解放出型電子源などに好ましく利用することができる。
特に、本発明の方法では、SWCNTを、基板状の担持体に対し垂直に成長させることができるので、電界放出型電子源への応用が期待できる。
特に、本発明の方法では、SWCNTを、基板状の担持体に対し垂直に成長させることができるので、電界放出型電子源への応用が期待できる。
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。
[実施例1]
触媒パターンの形成
表面を熱酸化処理したシリコン基板(以下「シリコン熱酸化基板」と言うことがある)の表面上に、電子線ポジ型レジストであるポリメタクリル酸メチル(PMMA)をスピンコート法により塗布して、約50nmの薄膜を形成した。次に、電子ビームリソグラフィにより、20〜60nmの矩形パターンを形成した。その後、真空蒸着法により厚さ平均0.1nmのCoを堆積させ、アセトンによるリフトオフを行うことによりCoパターンを形成した。
触媒パターンの形成
表面を熱酸化処理したシリコン基板(以下「シリコン熱酸化基板」と言うことがある)の表面上に、電子線ポジ型レジストであるポリメタクリル酸メチル(PMMA)をスピンコート法により塗布して、約50nmの薄膜を形成した。次に、電子ビームリソグラフィにより、20〜60nmの矩形パターンを形成した。その後、真空蒸着法により厚さ平均0.1nmのCoを堆積させ、アセトンによるリフトオフを行うことによりCoパターンを形成した。
装置概要
化学気相成長装置(Chemical Vapor Deposition、CVD装置)は、図1に示すように石英管、電気炉、ロータリーポンプ、ターボ分子ポンプから構成されているものを用いた。
化学気相成長装置(Chemical Vapor Deposition、CVD装置)は、図1に示すように石英管、電気炉、ロータリーポンプ、ターボ分子ポンプから構成されているものを用いた。
石英管のクリーニング
石英管内部及び石英ボートをクリーニングするために、酸素ガスを流しながら熱処理を行った。ロータリーポンプにて石英管を2Paまで真空排気(粗引き)し、その後酸素ガスを0.5l/minの流速で流しながら800℃まで加熱し、800℃で10分の熱処理を行った。このときの石英管内の圧力は、約2.7kPaとなるようにニードルバルブに切り替えて調整した。クリーニング後は、酸素ガスを止め、ターボ分子ポンプにて真空排気しながら石英管を冷却した。使用した酸素ガスはG1グレード(99.99995%)である。クリーニングは、酸素プラズマクリーニングやオゾンクリーニング等でも可能である。
石英管内部及び石英ボートをクリーニングするために、酸素ガスを流しながら熱処理を行った。ロータリーポンプにて石英管を2Paまで真空排気(粗引き)し、その後酸素ガスを0.5l/minの流速で流しながら800℃まで加熱し、800℃で10分の熱処理を行った。このときの石英管内の圧力は、約2.7kPaとなるようにニードルバルブに切り替えて調整した。クリーニング後は、酸素ガスを止め、ターボ分子ポンプにて真空排気しながら石英管を冷却した。使用した酸素ガスはG1グレード(99.99995%)である。クリーニングは、酸素プラズマクリーニングやオゾンクリーニング等でも可能である。
成長
石英ボート上にCo触媒金属を離散的に形成したシリコン熱酸化基板を置き、加熱炉の石英管内に入れ、石英管内部をロータリーポンプとターボ分子ポンプを用いて6.6×10-4Paまで真空排気し、室温から800℃になるまで約15分かけて昇温した。成長温度に到達した後、10分の温度の安定待ちをした。このときの石英管内部の圧力は、6.0×10-5Paであった。続いて、脱水処理が施されている有機合成用エタノール(水分含有50ppm以下、和光純薬製)(導入時の圧:6.6×10-5Pa)を導入し、石英管内圧力1.5kPaで1分間の封入成長を行った。この後、石英管内部をロータリーポンプとターボ分子ポンプにて真空排気しながら炉を冷却し、基板を取り出しSWCNTを得た。試料取り出し直前の石英管内部の圧力は、9.3×0-5Paであった。
石英ボート上にCo触媒金属を離散的に形成したシリコン熱酸化基板を置き、加熱炉の石英管内に入れ、石英管内部をロータリーポンプとターボ分子ポンプを用いて6.6×10-4Paまで真空排気し、室温から800℃になるまで約15分かけて昇温した。成長温度に到達した後、10分の温度の安定待ちをした。このときの石英管内部の圧力は、6.0×10-5Paであった。続いて、脱水処理が施されている有機合成用エタノール(水分含有50ppm以下、和光純薬製)(導入時の圧:6.6×10-5Pa)を導入し、石英管内圧力1.5kPaで1分間の封入成長を行った。この後、石英管内部をロータリーポンプとターボ分子ポンプにて真空排気しながら炉を冷却し、基板を取り出しSWCNTを得た。試料取り出し直前の石英管内部の圧力は、9.3×0-5Paであった。
得られたSWCNTは、原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope、AFM)にて写真を撮影した。結果を図2〜図4に示す。図2の一部拡大写真が図3であり、図3の拡大写真が図4である。
観測した結果からSWCNTの収率は60〜100%であり非常に高効率成長であることが確認された。また、最大長さが少なくとも3μm以上で直径が0.5〜1.2nm程度の比較的狭い範囲に分布していることが確認された(図5)。さらに、得られたSWCNTの1本のラマン分光分析(励起波長:488nm)の結果を図6および図7に示す。図6において1590cm-1付近のピーク高さと1350cm-1付近のピーク高さの比(G/D)が9.2であり、また図7において164cm-1付近にピークが観測されたことから高品質な1本のSWCNTが合成されたことが確認された。
観測した結果からSWCNTの収率は60〜100%であり非常に高効率成長であることが確認された。また、最大長さが少なくとも3μm以上で直径が0.5〜1.2nm程度の比較的狭い範囲に分布していることが確認された(図5)。さらに、得られたSWCNTの1本のラマン分光分析(励起波長:488nm)の結果を図6および図7に示す。図6において1590cm-1付近のピーク高さと1350cm-1付近のピーク高さの比(G/D)が9.2であり、また図7において164cm-1付近にピークが観測されたことから高品質な1本のSWCNTが合成されたことが確認された。
[実施例2]
触媒パターンの形成
Chem. Phys. Lett. 403 (2005) 320.に記載の方法に従って、触媒パターンを形成した。具体的には、酢酸コバルト四水和物及び酢酸モリブデンをエタノール溶液に対してそれぞれ0.01重量%になるように溶解させた2種類の溶液(酢酸モリブデン溶液、酢酸コバルト溶液)を用意した。シリコン熱酸化基板を、酢酸モリブデン溶液に浸漬し、その後空気中400℃にて5分間熱処理を行い、続いて酢酸コバルト溶液に浸漬し、空気中400℃にて5分間熱処理を行って、基板表面にCo/Mo触媒を高密度に堆積した触媒パターンを得た。
触媒パターンの形成
Chem. Phys. Lett. 403 (2005) 320.に記載の方法に従って、触媒パターンを形成した。具体的には、酢酸コバルト四水和物及び酢酸モリブデンをエタノール溶液に対してそれぞれ0.01重量%になるように溶解させた2種類の溶液(酢酸モリブデン溶液、酢酸コバルト溶液)を用意した。シリコン熱酸化基板を、酢酸モリブデン溶液に浸漬し、その後空気中400℃にて5分間熱処理を行い、続いて酢酸コバルト溶液に浸漬し、空気中400℃にて5分間熱処理を行って、基板表面にCo/Mo触媒を高密度に堆積した触媒パターンを得た。
次に、実施例1と同様に石英管のクリーニングを行った後、実施例1と同様にSWCNTを成長させた。
得られたSWCNTは、走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope、SEM)にて断面を写真撮影した。結果を図8〜図9に示す。
また、図9より明らかなとおり、長さが最大4μmのSWCNTが基板に垂直な方向に配向して成長していることが確認された。
得られたSWCNTは、走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope、SEM)にて断面を写真撮影した。結果を図8〜図9に示す。
また、図9より明らかなとおり、長さが最大4μmのSWCNTが基板に垂直な方向に配向して成長していることが確認された。
[比較例1]
実施例2において、有機合成用エタノールを、最大0.4%の水分を含んでいる特級エタノール(関東化学株式会社製)に変え、他は同様に行ってSWCNTを成長させた。得られたSWCNTの断面写真をSEMにより撮影したところ、基板と垂直な方向に成長しておらず、図10〜図11のように基板を這うように成長し、本発明のように垂直な成長が認められなかった。
実施例2において、有機合成用エタノールを、最大0.4%の水分を含んでいる特級エタノール(関東化学株式会社製)に変え、他は同様に行ってSWCNTを成長させた。得られたSWCNTの断面写真をSEMにより撮影したところ、基板と垂直な方向に成長しておらず、図10〜図11のように基板を這うように成長し、本発明のように垂直な成長が認められなかった。
[実施例3]
実施例2において、石英管内のクリーニングを行わなかったこと以外は同様に行い、SWCNTを成長させた。得られたSWCNTは、実施例2よりは劣るものの、比較例1や2に比して良好なSWCNTが得られていることが確認された。
実施例2において、石英管内のクリーニングを行わなかったこと以外は同様に行い、SWCNTを成長させた。得られたSWCNTは、実施例2よりは劣るものの、比較例1や2に比して良好なSWCNTが得られていることが確認された。
[比較例2]
実施例2において、6.6×10-4Paまで真空排気するのに代えて、石英管内にアルゴンガスを、0.3SLM、圧力40kPaとなるように調節しながら昇温し、さらに、成長前に一端石英管内をロータリーポンプで2Paまで真空排気した後SWCNTを成長させた。得られたSWCNTの断面写真をSEMにより撮影したところ、基板と垂直な方向に成長しておらず、図12〜図13のように基板を這うように成長し、本発明のように垂直な成長が認められなかった。
実施例2において、6.6×10-4Paまで真空排気するのに代えて、石英管内にアルゴンガスを、0.3SLM、圧力40kPaとなるように調節しながら昇温し、さらに、成長前に一端石英管内をロータリーポンプで2Paまで真空排気した後SWCNTを成長させた。得られたSWCNTの断面写真をSEMにより撮影したところ、基板と垂直な方向に成長しておらず、図12〜図13のように基板を這うように成長し、本発明のように垂直な成長が認められなかった。
[実施例4]
実施例2において、石英管内をロータリーポンプで真空排気して、2Pa程度に保ちながら800℃まで昇温し、さらに、2Paの状態で、SWCNTを成長させた。得られたSWCNTの断面写真をSEM撮影したところ、得られたSWCNTは、実施例2よりは劣るものの、比較例1や2に比して良好なSWCNTが得られていることが確認された。
実施例2において、石英管内をロータリーポンプで真空排気して、2Pa程度に保ちながら800℃まで昇温し、さらに、2Paの状態で、SWCNTを成長させた。得られたSWCNTの断面写真をSEM撮影したところ、得られたSWCNTは、実施例2よりは劣るものの、比較例1や2に比して良好なSWCNTが得られていることが確認された。
Claims (10)
- 真空、かつ、600〜900℃の封入空間下にある触媒に、有機脱水アルコールを接触させることを含む、単層カーボンナノチューブの製造方法。
- 封入空間の有機脱水アルコール接触時の圧力は、1×10-2Pa以下である、請求項1に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
- 触媒に接触させるときの有機脱水アルコールの圧は、1Pa〜100kPaである、請求項1または2に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
- 有機脱水アルコールは、エタノールを主成分とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
- 前記触媒は、Fe、Co、Ni、Mo、Pt、Pd、Rh、Ir、Y、La、Ce、Pr、Nd、Gd、Tb、Dy、Ho、Er及びLuの少なくとも1種以上またはこれらの酸化物である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
- 有機脱水アルコールを接触させる前に、封入空間内を洗浄する工程を含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
- 前記触媒は、粒子状であり、かつ、該粒子の1つから単層カーボンナノチューブが成長する確率が60%以上である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
- 単層カーボンナノチューブの長さが、50nm以上である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
- 前記触媒が、基板上に設けられている請求項1〜8のいずれか1項に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
- 垂直合成可能である、請求項9に記載の単層カーボンナノチューブの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006160690A JP2007326751A (ja) | 2006-06-09 | 2006-06-09 | 単層カーボンナノチューブの製造方法 |
US11/808,208 US20080279752A1 (en) | 2006-06-09 | 2007-06-07 | Method for producing a single-wall carbon nanotube |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006160690A JP2007326751A (ja) | 2006-06-09 | 2006-06-09 | 単層カーボンナノチューブの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007326751A true JP2007326751A (ja) | 2007-12-20 |
Family
ID=38927490
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006160690A Pending JP2007326751A (ja) | 2006-06-09 | 2006-06-09 | 単層カーボンナノチューブの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080279752A1 (ja) |
JP (1) | JP2007326751A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010030837A (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-12 | Denso Corp | Cnt合成用基板、cnt、及びそれらの製造方法 |
JP2010208918A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Hitachi Zosen Corp | Cvd副生物の除去方法 |
JP2011519809A (ja) * | 2008-05-01 | 2011-07-14 | 本田技研工業株式会社 | 成長した単層ナノチューブの効率および品質に炭化水素および輸送ガス材料が与える効果 |
US9174847B2 (en) | 2008-05-01 | 2015-11-03 | Honda Motor Co., Ltd. | Synthesis of high quality carbon single-walled nanotubes |
JP2020029385A (ja) * | 2018-08-23 | 2020-02-27 | 学校法人 名城大学 | 単層カーボンナノチューブの製造方法 |
CN111841561A (zh) * | 2020-07-09 | 2020-10-30 | 江西铜业技术研究院有限公司 | 一种生长碳纳米管的高效催化剂及其制备和使用方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8128900B2 (en) * | 2002-02-13 | 2012-03-06 | Toudai Tlo, Ltd. | Process for producing single-walled carbon nanotube, single-walled carbon nanotube, and composition containing single-walled carbon nanotube |
US20060024227A1 (en) * | 2003-10-16 | 2006-02-02 | Shigeo Maruyama | Array of single-walled carbon nanotubes and process for preparaton thereof |
-
2006
- 2006-06-09 JP JP2006160690A patent/JP2007326751A/ja active Pending
-
2007
- 2007-06-07 US US11/808,208 patent/US20080279752A1/en not_active Abandoned
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011519809A (ja) * | 2008-05-01 | 2011-07-14 | 本田技研工業株式会社 | 成長した単層ナノチューブの効率および品質に炭化水素および輸送ガス材料が与える効果 |
US9174847B2 (en) | 2008-05-01 | 2015-11-03 | Honda Motor Co., Ltd. | Synthesis of high quality carbon single-walled nanotubes |
JP2016164122A (ja) * | 2008-05-01 | 2016-09-08 | 本田技研工業株式会社 | 高品質なカーボン単層ナノチューブの合成 |
JP2017222565A (ja) * | 2008-05-01 | 2017-12-21 | 本田技研工業株式会社 | 高品質なカーボン単層ナノチューブの合成 |
US10850984B2 (en) | 2008-05-01 | 2020-12-01 | Honda Motor Co., Ltd. | Synthesis of high quality carbon single-walled nanotubes |
JP2010030837A (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-12 | Denso Corp | Cnt合成用基板、cnt、及びそれらの製造方法 |
JP2010208918A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Hitachi Zosen Corp | Cvd副生物の除去方法 |
JP2020029385A (ja) * | 2018-08-23 | 2020-02-27 | 学校法人 名城大学 | 単層カーボンナノチューブの製造方法 |
CN111841561A (zh) * | 2020-07-09 | 2020-10-30 | 江西铜业技术研究院有限公司 | 一种生长碳纳米管的高效催化剂及其制备和使用方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080279752A1 (en) | 2008-11-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6048591B2 (ja) | カーボンナノチューブ | |
Lee et al. | Synthesis of uniformly distributed carbon nanotubes on a large area of Si substrates by thermal chemical vapor deposition | |
US9045344B2 (en) | Method for producing aligned carbon nanotube aggregate | |
US20060083674A1 (en) | Method for forming catalyst metal particles for production of single-walled carbon nanotube | |
JP2007268319A (ja) | カーボンナノチューブ合成用触媒及びその製造方法、触媒分散液、並びに、カーボンナノチューブの製造方法 | |
Liu et al. | The growth of single-walled carbon nanotubes on a silica substrate without using a metal catalyst | |
JP2007326751A (ja) | 単層カーボンナノチューブの製造方法 | |
JP4706852B2 (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
JP2007254271A (ja) | 炭素材料の製造方法、炭素材料および電子素子の製造方法 | |
JP2010173862A (ja) | 微細構造材料の製造方法 | |
JPWO2004060800A1 (ja) | 単層カーボンナノチューブの製造方法および製造装置 | |
JP2012153540A (ja) | カーボンナノチューブ集合体及びその製造方法 | |
JP2007197306A (ja) | 単層カーボンナノチューブの製造方法、単層カーボンナノチューブおよび電子素子の製造方法 | |
JP4977982B2 (ja) | 線状炭素材料の製造方法及び機能デバイスの製造方法 | |
JP2010077007A (ja) | カーボンナノチューブ形成用基材及び該基材に配向成長したカーボンナノチューブ並びにこれらの製造方法 | |
JP2006298684A (ja) | 炭素系一次元材料およびその合成方法ならびに炭素系一次元材料合成用触媒およびその合成方法ならびに電子素子およびその製造方法 | |
JP6623512B2 (ja) | 炭素ナノ構造体集合物およびその製造方法 | |
JP2006240932A (ja) | カーボンナノチューブ | |
KR20160136045A (ko) | 정렬된 담형태의 탄소나노튜브 구조체, 그 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 전자소자 | |
Prasek et al. | Chemical vapor depositions for carbon nanotubes synthesis | |
JP6476759B2 (ja) | カーボンナノチューブ配向集合体の製造方法 | |
Lu et al. | Synthesis and characterization of well-aligned quantum silicon nanowires arrays | |
JP2018083169A (ja) | カーボンナノチューブ集合体製造用触媒基材とカーボンナノチューブ集合体の製造方法 | |
Jeon et al. | Synthesis of gallium-catalyzed silicon nanowires by hydrogen radical-assisted deposition method | |
JP6762005B2 (ja) | カーボンナノチューブ集合体の製造方法 |