JP2007218779A - 半導体テスター用テストボード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体テスター用テストボードにおいて、DCテストとファンクションテストのそれぞれの手法に適した信号配線を用い、切り替え回路を備えることにより、テスト手法に応じ信号配線の切り替えを行う。また、切り替え回路としてDCテスト用信号配線103に接続されたローパスフィルター回路110、ファンクションテスト用信号配線104に接続されたハイパスフィルター回路111を用いることで、機械的なスイッチ動作無しで信号配線を切り替えることができる。
【選択図】図2
Description
Zo=(L/C)1/2
ここで、Lは配線の単位長さあたり(1m)のインダクタンス、Cは配線の単位長さあたり(1m)のキャパシタンスである。
(第1の実施の形態)
発明の構成図を図1に示す。半導体テスター106はテストボード102を介して、半導体集積回路101に接続されている。テストボード102内にはDCテスト信号用配線103、ファンクションテスト信号用配線104、切り替え回路105が設けられている。DCテスト用信号配線103の導体幅はファンクションテスト用信号配線104の導体幅よりも広く取ることにより、導体抵抗を低くしている。ファンクションテスト用信号配線104は半導体テスター106に搭載される測定回路基板(不図示)に用いられる信号配線の特性インピーダンスと整合していることが望ましい。本実施の形態では、測定回路基板に用いられる信号配線の特性インピーダンスは50Ωであるため、ファンクションテスト用信号配線の特性インピーダンスも50Ωとしている。
以下、第2の実施の形態について、図面を用いて説明する。本実施の形態は、信号配線の切り替えをスイッチングリレーを用いて行う点で、第1の実施の形態と異なる。第1の実施の形態に比べ、回路構成が簡易的であるため、テストボード上の実効面積を減らせるメリットがある。
102 テストボード
103 DCテスト用信号配線
104 ファンクションテスト用信号配線
105 切り替え回路
106 半導体テスター
107 DCテスト用信号
108 ファンクションテスト用信号(低周波信号)
109 ファンクションテスト用信号(高周波信号)
110 ローパスフィルター回路
111 ハイパスフィルター回路
112 スイッチングリレー
113 ファンクションテスト用信号
114 信号配線
Claims (7)
- 半導体テスターに接続され、かつ複数の信号配線を有するテストボードにおいて、
第1の信号配線と前記第1の信号配線よりも導体抵抗の低い第2の信号配線を備え、
かつテスト手法に応じた前記第1の信号配線と前記第2の信号配線の切り替え回路を備えることを特徴とする半導体テスター用テストボード。 - 前記第1の信号配線がパルス信号を用いたファンクションテスト用の信号配線であり、前記第2の信号用配線がDCテスト用の信号配線であることを特徴とする請求項1に記載の半導体テスター用テストボード。
- 前記第1の信号配線が前記半導体テスター内の測定回路に用いられる信号配線の特性インピーダンスに整合していることを特徴とする請求項1に記載の半導体テスター用テストボード。
- 前記切り替え回路として、前記第1の信号配線に接続されたハイパスフィルター回路、
または前記第2の信号配線に接続されたローパスフィルター回路、
を備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体テスター用テストボード。 - 前記ハイパスフィルター回路のカットオフ周波数が前記第2の信号配線に伝送される信号周波数よりも高く、かつ前記第1の信号配線に伝送される信号周波数よりも低いことを特徴とする請求項4に記載の半導体テスター用テストボード。
- 前記ローパスフィルター回路のカットオフ周波数が前記第2の信号配線に伝送される信号周波数よりも高く、かつ前記第1の信号配線に伝送される信号周波数よりも低いことを特徴とする請求項4に記載の半導体テスター用テストボード。
- 前記切り替え回路において、スイッチングリレーを用いることを特徴とする請求項1に記載の半導体テスター用テストボード。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009115647A (ja) * | 2007-11-07 | 2009-05-28 | Yokogawa Electric Corp | 直流試験装置及び半導体試験装置 |
JP2011081000A (ja) * | 2009-10-09 | 2011-04-21 | Dspace Digital Signal Processing & Control Engineering Gmbh | 電気部品のテスト装置 |
WO2011132226A1 (ja) * | 2010-04-22 | 2011-10-27 | 株式会社アドバンテスト | ピンカードおよびそれを用いた試験装置 |
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2006
- 2006-02-17 JP JP2006040787A patent/JP2007218779A/ja not_active Withdrawn
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