JP2007201433A

JP2007201433A - 基板保持台

Info

Publication number: JP2007201433A
Application number: JP2006340911A
Authority: JP
Inventors: Norihiro Ota; 憲宏太田
Original assignee: Nidec Read Corp
Current assignee: Nidec Advance Technology Corp
Priority date: 2005-12-27
Filing date: 2006-12-19
Publication date: 2007-08-09

Abstract

【課題】検査対象となる被検査基板に付与される識別子を読み取ることを可能にする基
板保持台の提供。
【解決手段】表面に被検査基板の識別情報が格納される識別子が付与される被検査基板
を保持する基板保持台であって、上側表面において開口するとともに真空吸引手段に接続
される複数の吸引穴を有する透光性の保持部と、前記保持部の下側下方に配置されるとと
もに該保持部へ光を照射する光源部と、前記保持部の上側表面に配置されて前記被検査基
板の載置面を有し、前記光源部からの光を拡散させるとともに表面から裏面に貫通する通
気孔を有するシート部材からなることを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板保持台に関し、より詳しくは、検査対象となる被検査基板に付与される
識別子を読み取ることを可能にする基板保持台に関する。
尚、この発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基
板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパ
ッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に適用でき、
この明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」と称する。特に、フレキシブ
ル基板のように薄く光を透過させることができる基板に対して好適に使用される。

従来、プリント配線基板等の基板上に形成された配線パターンにおける配線の導通や、
各配線間の短絡不良の有無、あるいは配線間の抵抗値を検査する基板検査を行うために、
配線パターン上に形成されたパッドやランド等の複数の検査点に、例えば移動式の検査用
接触子や多針状に保持された複数の検査用接触子等を接触させ、当該検査対象配線パター
ン上の検査点間における電気抵抗等を測定することにより、基板検査を行う基板検査装置
が数多く知られている。

このような基板検査装置は、検査対象である被検査基板の配線パターンに応じて検査が
行われるため、被検査基板を特定するための識別子が基板上に付与されていた。この識別
子を検査前に読み取ることにより、被検査基板を特定して、その配線パターンに応じた検
査が行われていた。
このような識別子には、一次元コード（例えば、バーコード）又は二次元コード（例え
ば、ＱＲコード（QR Code）やデータマトリクス（Data Matrix））が利用され、被検査基
板の表面や裏面に付与されている。

一方、所望の処理を行うために対象となる基板を保持するとともにその処理に好適に利
用される保持台が、従来から多数提案され、実用化されている。
例えば、特許文献１に開示される保持台は、マスク板のパターンを転写する露光装置に
用いられ、ガラス基板の中心点に関して対象的に且つ所定間隔を有して該中心より外側へ
拡散するように配列された方形の溝が形成されている。この保持台を用いることによって
、ガラス基板が載置された際に、中心点近い方形溝から遠い方形溝に順番にエア吸着（真
空吸引）することによりガラス基板を確実に保持するよう構成されている。
また、特許文献２に開示される保持台は、基板保持部下方が開口部とされるとともに内
部に真空吸引装置と連結される真空吸引路を有する金属台と、この金属台の上に載置され
るガラス台とから構成されている。この保持台は、半導体チップをボンディング処理する
場合に、ボンディングの熱の損失を減少させることができるとともに、ガラス台の下から
認識カメラにより撮影することができる効果を有している。

しかしながら、従来の如き特許文献１又は２に記載される基板保持台では、被検査基板
の識別子を正確に読み取ることができない問題点を有していた。
これは、上記の如く、識別子（一又は二次元コード）に被検査基板の識別情報が格納さ
れる被検査基板を、基板保持台で保持するためには、被検査基板に付与される識別子を正
確に読み取ることが必要であるが、これら特許文献１及び２に記載される装置には、識別
子を読み取るための構成を全く有していないからであった。

特開平７−１８３３６６号公報特開平６−３４９８９６号公報

本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、被検査基板の識別情報を格納した
識別子を有する被検査基板を、この識別子を確実に読み取ることを可能にして被検査基板
を保持することができる基板保持台を提供する。

請求項１記載の発明は、表面に被検査基板の識別情報が格納される識別子が付与される
被検査基板を保持する基板保持台であって、上側表面において開口するとともに真空吸引
手段に接続される複数の吸引穴を有する透光性の保持部と、前記保持部の下側下方に配置
されるとともに該保持部へ光を照射する光源部と、前記保持部の上側表面に配置されて前
記被検査基板の載置面を有し、前記光源部からの光を拡散させるとともに表面から裏面に
貫通する通気孔を有するシート部材からなることを特徴とする基板保持台を提供する。

請求項２記載の発明は、前記シート部材が、多孔質の樹脂又は繊維素材から形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板保持台を提供する。

請求項３記載の発明は、前記複数の吸引穴が、前記保持部にグリッド状に形成されてい
ることを特徴とする請求項1又は２に記載の基板保持台を提供する。

請求項４記載の発明は、前記保持部は、所定数の吸引穴を連結する複数の流路が形成さ
れていることを特徴とする請求項1乃至３にいずれかに記載の基板保持台を提供する。

請求項５記載の発明は、前記保持部が、有色であることを特徴とする請求項１乃至４い
ずれかに記載の基板保持台を提供する。

請求項６記載の発明は、前記光源部が複数の発光ダイオードからなることを特徴とする
請求項１乃至５いずれかに記載の基板保持台を提供する。

請求項１記載の発明によれば、真空吸引手段に接続される複数の吸引穴を有する透光性
の保持部と、保持部の下側下方に配置される光源部と保持部の上側表面に光を拡散させる
とともに通気孔を有するシート部材が載置されてなる基板保持台であるので、真空吸引手
段からの負圧（吸引力）により被検査基板をこの基板保持台に安定感を有して固着するこ
とができるとともに、光源部からの光を拡散させて被検査基板に照射させることができる
ので、被検査基板に付与される識別子を明確に照らし出すことになり、被検査基板の表面
の模様（識別子が付与されていない部分）と識別子のコントラストをはっきりさせること
ができる。このため、検査基板装置に備えられる撮影カメラ等の認識手段によって、識別
子を確実に認識することができるようになり、被検査基板の識別を確実に行うことができ
る。

請求項２記載の発明によれば、シート部材が多孔質の樹脂又は繊維素材から形成されているので、より確実に負圧をシート部材上側表面に伝えることができるとともに、より確実に光を拡散させることができるようになる。
特に、負圧となる吸引力がシート部材の微細な孔から発せられることになり、空気が通
過する面積を小さくすることができ、被検査基板を吸着する吸着力を向上させることがで
きる。また、シート部材が多孔質性樹脂又は繊維素材で形成されているので、光源部からの光が通過する際に、乱反射や拡散を効果的に発生させることができる。

請求項３記載の発明によれば、吸引穴が保持部にグリッド状に形成されるので、吸引力
をシート部材に均一に伝達することができ、被検査基板に対して均一的な負圧をかけるこ
とができる。

請求項４記載の発明によれば、所定数の吸引穴を連結する複数の流路が形成されている
ので、真空吸引手段による吸引力を均一的に分散して保持部表面へ伝達することができる
。このことによって、被検査基板を安定的に保持することができる。

請求項５記載の発明によれば、保持部が有色であるので光の拡散を増長することができ
る。

請求項６記載の発明によれば、光源部が複数のLEDを用いて形成されているので、光源
の光に指向性を有した光を用いることにより、効率良く保持部を照射することができる。

本発明を実施するための最良の形態を説明する。
本発明の基板保持台は、被検査基板を所定の載置面に載置して、載置面の下方に配置さ
れる光源部から光を照射し、この照射された光を拡散させて、被検査基板に付与される識
別子を照らすことによって、被検査基板の表面の模様（識別子が付与されていない部分）
と識別子のコントラストを明確に浮き彫りにし、撮影カメラ等の認識手段によりこの識別
子を確実に認識しようとするものである。また、この基板保持台は、その載置面の表面に
対して、真空吸引手段による均一的な吸引力を供給することができるので、安定感を有し
て被検査基板を載置面に固着する。
尚、本発明の基板保持台は、フレキシブル基板のような光を透過することのできる基板
に対してより効果を奏することができる。

本発明の基板保持台が載置する被検査基板は、上記の如く、識別子が付与されている被
検査基板に好適に使用されるが、その被検査基板の中でも、特に、絶縁体基板に柔軟性の
ある材料を用いたフレキシブル基板に高い効果を奏することができる。また、フレキシブ
ル基板の識別子がその裏側面に付与されていても、認識手段により読み取ることができる
。識別子は、認識手段が撮影することによりその格納される情報を読み取ることができれ
ば特に限定されないが、例えば、一次元コード（バーコード）や二次元コード（Data Mat
rixやＱＲコード）を用いることができる。この識別子に格納される情報は、識別子が付
与される被検査基板を識別することのできる情報であり、例えば、配線の数や模様等の配
線パターンに関する情報、また、この被検査基板の製作者、製作場所や製作日時等の属性
情報が格納される。

図１は、本発明に係る一実施例を示す斜視図であり、図２は、本発明に係る一実施例の
保持部の平面図であり、図３は、図２で示される一実施例の保持部のＡ−Ａ線断面図であ
り、図４は、本発明に係る一実施例のシート部材と保持部の断面図であり、図５は、本発
明に係る一実施例のシート部材と保持部と光源部の断面図である。
本発明の一実施例である基板保持台１は、シート部材２、保持部３、光源部４、真空吸引
手段（図示せず）を有してなる。この基板保持台１は、シート部材２、保持部３と光源部
４がこの順に積層されてなる。真空吸引手段は、後述する保持部３の流路と連通連結され
ており、その取り付けられ位置は使用者により適宜決定される。

保持部３は、上側表面３ａにおいて開口するとともに真空吸引手段に接続される複数の
吸引穴３１を有する透光性の素材で形成されている。
この吸引穴３１は、図２で示される如く、保持部３の上側表面３ａでグリッド状に複数
形成されている。このように保持部３の上側表面３ａでグリッド状に形成されることによ
って、保持部３の上側表面３ａからの吸引力（吸引による負圧）を表面において均一化す
ることができる。このグリッド間隔は、特に限定されるものではなく適宜調整されるが、
例えば、0.5〜2.5ｃｍ間隔で形成される。この吸引穴３１の直径は適宜調整して形成され
るが、例えば、2〜4ｍｍに形成することができる。

この吸引穴３１は、保持部３内部に形成される流路３２に連通連結されている。吸引穴
３１が、図３で示される如く、保持部３の表面３ａに直角に形成されているのに対して、
この流路３２はこの表面３ａに対して平行となるように形成されている。このように流路
３２が形成されるので、複数の吸引穴３１が一つの通風孔に連結されることになる。この
流路３２は、図２の点線で示される如く、グリッド状に複数形成されている吸引穴３１の
うち縦方向に配列された吸引穴３１を連結するように、複数設けられている。
流路３２の一端は、真空吸引手段に接続される吸引接続部３３が設けられており、流路
３２と連通連結されている。この吸引接続部３３は、図２で示される如く、複数の流路３
２と連結されている。

空間部３４は、流路３２の下方に形成されるとともに、天井板部３５と側壁板部３６と
底板部３７により形成されている（図３参照）。この空間部３４を形成することによって
、天井板部３５により流路３２から下方に漏れ出る空気の流出を防止することができる。
更に、この空間部３４を設けることによって、後述する光源部４からの光が媒質の相違
する光路を通過することになり、光が広がって進むことを促進させる。
この空間部３４の大きさは特に限定されず、使用者により適宜決定される。

図３に示す本発明の一実施例では、吸引接続部３３の吸引量を調整するために、バルブ
のような流量調整弁が設けられている。
尚、図３で示される一実施例では、空間部３４を形成するための側壁板部３６が保持部
３として一体的に固定されるためのビス留め用穴部３９が形成されている。

この保持部３を形成する透光性の素材は、後述する光源部４からの光を通過させること
のできる素材であれば適宜選択され用いることができる。
この保持部３は、更に、有色であることが好ましい。このように保持部３を有色に形成
することによって、光源部４からの光の拡散を増長させることができるからである。光を
確実に透過させることができる色であれば適宜色の設定を行うことができ、例えば、白色
又は乳白色に設定することができる。

シート部材２は、保持部３の上側表面３ａに接して設けられる（図４参照）。このシー
ト部材２は、光源部４からの光を拡散させるとともに、その表面２ａから裏面２ｂへ貫通
する通気孔（図示せず）を有している。
このシート部材２が光源部４からの光を拡散して、シート部材２の表面である被検査基
板が載置される載置面（表面）２ａに照明することができる。また、このシート部材２は
、表面２ａから裏面２ｂへ貫通する通気孔を有しているので、保持部３の吸引穴３１から
の吸引力をこの通気孔を介して、シート部材２の載置面２ａへ伝達することができ、被検
査基板を吸着固定することができる。

このシート部材２は、表と裏の両表面を平滑に形成することが好ましい。シート部材２
の両表面を平滑に仕上げることによって、シート部材２の表面２ａ及び裏面２ｂの凹凸を
平滑化して、光の拡散をより向上させることができるからである。

このシート部材２は、連続気孔を有する多孔質の樹脂又は繊維素材を用いることができる。このように連続気孔を有する多孔質性樹脂又は繊維素材を用いることによって、シート部材２の表面２ａと裏面２ｂを貫通するように通気孔（多孔質）が形成されることになり、保持部３からの吸引力を裏面２ｂから表面２ａへ伝達することができる。また、多孔質の樹脂又は繊維素材を用いることで、裏面２ｂからシート部材２へ入射する光源部２の光が、シート部材２内部で拡散しながら、表面２ａへ進行することになり、シート部材２が透光性を有することもできるからである。

多孔質性樹脂は、合成樹脂の粉末を表層付近のみを融着させて、内部に空隙を残して成形する焼結成形により得られるものを用いることができる。このように焼結成形される合成樹脂としては、熱可塑性樹脂パウダーの樹脂を用いることができ、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合樹脂（ＥＶＡ樹脂）等のポリオレフィン系樹脂等が用いられる。
尚、この熱可塑性樹脂パウダーは、粒径が15〜500μｍのものを用いるのが好ましい。
粒径が500μｍを超えると、気孔が大きくなり良好な吸着力が得られ難くなり、また、15
μｍ未満では微小化するのに要するコストが高いものとなるからである。
このシート部材２の物性として、上記２つの効果（吸着性及び光拡散性）を奏すること
が重要である。このような物性の例として、気孔率（平均）が25〜55％で、気孔径（平均
）が20〜40μｍの物性を示すものを用いることができ、例えば、気孔径（平均）36μｍ、
気孔率（平均）42％のポリオレフィン系親水性多孔質焼結体を挙げることができる。

繊維素材とは、細い糸状の繊維を密に絡み合わせて形成された素材をさし、この繊維素材をシート状に形成したものをシート部材２として用いることができる。
この繊維素材としては、例えば、紙素材や布素材を挙げることができる。
これらの紙素材や布素材は、被検査基板を吸着固定するための通気孔を有しており、また、この通気孔によって、光源部４からの光を透過させることができるからである。
さらに、このシート部材２は、光源部４からの光を効率よく拡散させるために、表面が平滑でほぼ均一な組成を有し、表裏面の凸凹の差がほぼ無いものが好ましい。このため、紙素材であることが好ましい。また、紙素材は、多孔質の樹脂に比して柔軟性がある等加工性に優れた点を有しており、比較的廉価であるため利用し易い。
なお、紙素材や布素材をシート部材２に適用する場合には、その厚みを光の透過を許容する範囲内の厚みにする必要がある。

光源部４は、保持部３の下側下方に配置されるとともに保持部３へ光を照射する。この
光源部４は、図５で示される如く、保持部３の下面に当接して形成されている。この図５
で示される光源部４では、光源部４の光源が収容される空間４１が形成され、この空間４
１の内部に複数の発光体４２が複数収容されて、配置されている。
この発光体４２は、発光ダイオード（LED）を用いることが好ましい。発光体４２にLED
を用いることによって、光源の光に指向性を有する光を用いることができ、効率良く保持
部３を照射することができるからである。また、LEDを用いることで、廉価に光源部４を
形成することができるとともに耐久性に優れた光源部４とすることができる。
尚、この図１で示される一実施例の保持部３の底板部３７には採光用穴が形成されてい
てもよい。この採光用穴が形成されることにより光源部４から光を取り込むことができる
。

図６は、上記実施例の分解斜視図である。
この図６で示される斜視図では、シート部材２、保持部３を形成する吸引穴３１と流路
３２が形成されるプレート３Ａと、流路３２の端部と吸引接続部３３を接続する接続部が
形成されるプレート３Ｂと、複数の吸引接続部３３を有する側部プレート３Ｃと、空間部
３４を有する下部プレート３Ｄを有している。
このように図６に示される各部位を組み立てることにより、シート部材２と保持部３を
組み立てることができる。
尚、図６では示されていないが、保持部３の下部プレート３Ｄの下には光源部４が配置
されることになる。

図７は、本発明に係る一実施例の基板保持台の実施を示す斜視図である。
この図７では、シート部材２の載置面２ａに、識別子Ｃが裏面に付与された被検査基板
Ｔが載置されている状態を示す図である。
この図７では示されていないが、識別子Ｃの上方には、この識別子Ｃを読み取ることの
できる認識手段が配置されている。

次に、本発明に係る一実施例である基板保持台１を用いた被検査基板の識別子を識別す
る場合を説明する。
基板保持台１の載置面２ａに被検査基板Ｔを載置する。このとき、被検査基板Ｔを安定
して固着するために、真空吸引手段により真空吸引が行われ、吸引接続部３３から流路３
２を介して吸引穴３１から吸引力が付加される。そして、吸引穴３１に吸引力が付加され
ると、シート部材２の連続気孔を介してシート部材２の表面２ａにも吸引力が付加され、
負圧が生じる。この負圧によって、載置面２ａに載置された被検査基板Ｔは、安定して固
着されることになる。
次に、この被検査基板Ｔの識別情報を読み込むために、認識手段が配置され、識別子Ｃ
を読み込むことのできる所定位置にこの基板保持台１が元の位置から移動する。
所定位置に基板保持台１が移動すると、光源部４の発光体４２が発光する。このとき、
発光体４２の光は、空間部３４を介して保持部３の下方から照射され、保持部３を介して
シート部材２へ光が到達する。この到達した光は、シート部材２の連続気孔を通過しなが
ら拡散して広がり、シート部材２の表面２ａに到達する。この場合、この光は十分拡散し
て、シート部材２の表面２ａに到達することになるので、被検査基板Ｔの裏側に所望の拡
散光を照射し、識別子Ｃと被検査基板Ｔのコントラストを明確にすることができる。
そして、認識手段により識別子Ｃを明確に読み込むことができ、被検査基板Ｔに関する
識別情報を読み出すことができる。
なお、シート部材２は多孔質の樹脂又は繊維素材を用いることができ、いずれも表裏面に貫通する通気孔が形成されていることによって、吸着性、光拡散性を奏することができる。

本発明に係る一実施例を示す斜視図である。本発明に係る一実施例の保持部の平面図である。図２で示される一実施例の保持部のＡ−Ａ線断面図である。本発明に係る一実施例のシート部材と保持部の断面図である。本発明に係る一実施例のシート部材と保持部と光源部の断面図である。本発明の一実施例の組み立て分解図である。本発明に係る一実施例の基板保持台の実施を示す斜視図である。

符号の説明

１・・・・・基板保持台
２・・・・・シート部材
２ａ・・・・表面（載置面）
３・・・・・保持部
３１・・・・吸引穴
３２・・・・流路
４・・・・・光源部
４２・・・・発光体
Ｃ・・・・・識別子
Ｔ・・・・・被検査基板

Claims

表面に被検査基板の識別情報が格納される識別子が付与される被検査基板を保持する基
板保持台であって、
上側表面において開口するとともに真空吸引手段に接続される複数の吸引穴を有する透
光性の保持部と、
前記保持部の下側下方に配置されるとともに該保持部へ光を照射する光源部と、
前記保持部の上側表面に配置されて前記被検査基板の載置面を有し、前記光源部からの
光を拡散させるとともに表面から裏面に貫通する通気孔を有するシート部材からなること
を特徴とする基板保持台。
前記シート部材が、多孔質の樹脂又は繊維素材から形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板保持台。
前記複数の吸引穴が、前記保持部にグリッド状に形成されていることを特徴とする請求
項1又は２に記載の基板保持台。
前記保持部は、所定数の吸引穴を連結する複数の流路が形成されていることを特徴とす
る請求項1乃至３にいずれかに記載の基板保持台。
前記保持部が、有色であることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の基板保持
台。
前記光源部が複数の発光ダイオードからなることを特徴とする請求項１乃至５いずれか
に記載の基板保持台。