JPH0989997A - 基板検査装置用吸引式基板固定具 - Google Patents
基板検査装置用吸引式基板固定具Info
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- JPH0989997A JPH0989997A JP7267738A JP26773895A JPH0989997A JP H0989997 A JPH0989997 A JP H0989997A JP 7267738 A JP7267738 A JP 7267738A JP 26773895 A JP26773895 A JP 26773895A JP H0989997 A JPH0989997 A JP H0989997A
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- Japan
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- suction
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- mounting plate
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 プラスチック基板のスルホール位置等に合わ
せた専用部材を使用する必要がなく、セラミック基板に
も対応可能にし、優れた基板吸着力を発揮する。 【解決手段】 基板装着面42とその相対する面に各口
がそれぞれ臨む多数の吸引用小径貫通孔を配設してなる
基板装着板34を備え、その基板装着板34で閉じる空
気室を有し、その空気室壁に外部の真空ポンプと通じる
吸引用大径貫通孔を設ける。そして、基板装着板34の
上に無数の空気透過性微孔を有する多孔質板40を重ね
て備え、その多孔質板40を検査時に基板46と基板装
着板34との間に介在する。
せた専用部材を使用する必要がなく、セラミック基板に
も対応可能にし、優れた基板吸着力を発揮する。 【解決手段】 基板装着面42とその相対する面に各口
がそれぞれ臨む多数の吸引用小径貫通孔を配設してなる
基板装着板34を備え、その基板装着板34で閉じる空
気室を有し、その空気室壁に外部の真空ポンプと通じる
吸引用大径貫通孔を設ける。そして、基板装着板34の
上に無数の空気透過性微孔を有する多孔質板40を重ね
て備え、その多孔質板40を検査時に基板46と基板装
着板34との間に介在する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はベアボードテスタ、
インサーキットテスタ、ファンクションテスタ等の基板
検査装置に使用する吸引式の基板固定具に関する。
インサーキットテスタ、ファンクションテスタ等の基板
検査装置に使用する吸引式の基板固定具に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、実装基板即ち多数の電子部品等を
半田付けしたプリント基板に対してはインサーキットテ
スタを用いて、その基板の必要な測定点に適宜コンタク
トプローブを接触させ、それ等の各部品の有無を電気的
に検出し、或いは各部の特性値を電気的に測定して基板
の良否の判定を行っている。その際、測定台上に吸引式
では、図5に示すような基板固定具を設置して使用す
る。図中、10が箱状の基板固定具、12がその基板を
載せる長方形状の基板装着板、14がその基板装着板1
2を載せる本体部、16がその基板装着板12で上面を
閉じられた本体部14の空気室、18がその空気室16
の底中央の壁に開けた吸引用貫通孔である。この基板装
着板12には図6に示すようにその基板装着面20の中
央部に各吸引口がそれぞれ臨む多数の吸引用小径貫通孔
22を例えば5行4列に均等に分配して設ける。なお、
空気室壁に設ける吸引用貫通孔18は吸引用小径貫通孔
22に比べて大径にする。
半田付けしたプリント基板に対してはインサーキットテ
スタを用いて、その基板の必要な測定点に適宜コンタク
トプローブを接触させ、それ等の各部品の有無を電気的
に検出し、或いは各部の特性値を電気的に測定して基板
の良否の判定を行っている。その際、測定台上に吸引式
では、図5に示すような基板固定具を設置して使用す
る。図中、10が箱状の基板固定具、12がその基板を
載せる長方形状の基板装着板、14がその基板装着板1
2を載せる本体部、16がその基板装着板12で上面を
閉じられた本体部14の空気室、18がその空気室16
の底中央の壁に開けた吸引用貫通孔である。この基板装
着板12には図6に示すようにその基板装着面20の中
央部に各吸引口がそれぞれ臨む多数の吸引用小径貫通孔
22を例えば5行4列に均等に分配して設ける。なお、
空気室壁に設ける吸引用貫通孔18は吸引用小径貫通孔
22に比べて大径にする。
【0003】又、24が本体部14の吸引用大径貫通孔
18の付近外側に設置したL形箱状の管連結具、26が
その管嵌め込み用の突部である。この管連結具24は両
端開放の内部空間を有し、本体部14の空気室壁にねじ
止め等により固定する。そして、突部26には真空ポン
プ(図示なし)に接続された吸引管28を結合する。
18の付近外側に設置したL形箱状の管連結具、26が
その管嵌め込み用の突部である。この管連結具24は両
端開放の内部空間を有し、本体部14の空気室壁にねじ
止め等により固定する。そして、突部26には真空ポン
プ(図示なし)に接続された吸引管28を結合する。
【0004】検査時には、このような基板固定具10の
基板装着板12の上に、図7に示すように基板30を置
き、真空ポンプにて吸引し、空気室16の内部気圧を下
げる。すると、多数の吸引用小径貫通孔22を通じて基
板30を吸引し、基板装着板12に基板30を吸着して
固定できる。
基板装着板12の上に、図7に示すように基板30を置
き、真空ポンプにて吸引し、空気室16の内部気圧を下
げる。すると、多数の吸引用小径貫通孔22を通じて基
板30を吸引し、基板装着板12に基板30を吸着して
固定できる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、プラス
チック製プリント基板には通常電子部品のリードを挿入
する貫通穴、基板の両面にあるパターンを接続する貫通
穴、最終的に基板を固定する貫通穴等が設けられている
ため、それ等のスルホール等が多数あるとスルホール等
の位置と吸引用小径貫通孔22の位置が一致し易くな
り、大気が空気室16に侵入してエアリークを起こし、
吸着力が落ちるので問題がある。この点、セラミック製
プリント基板にはスルホール等はない。しかし、セラミ
ック基板は変形率が大きくゆがみ易いため、吸引用小径
貫通孔の一部が基板で覆われずにエアリークを起こし易
くなり、やはり問題がある。なお、プラスチック基板は
変形率が小さくほとんどゆがまない。
チック製プリント基板には通常電子部品のリードを挿入
する貫通穴、基板の両面にあるパターンを接続する貫通
穴、最終的に基板を固定する貫通穴等が設けられている
ため、それ等のスルホール等が多数あるとスルホール等
の位置と吸引用小径貫通孔22の位置が一致し易くな
り、大気が空気室16に侵入してエアリークを起こし、
吸着力が落ちるので問題がある。この点、セラミック製
プリント基板にはスルホール等はない。しかし、セラミ
ック基板は変形率が大きくゆがみ易いため、吸引用小径
貫通孔の一部が基板で覆われずにエアリークを起こし易
くなり、やはり問題がある。なお、プラスチック基板は
変形率が小さくほとんどゆがまない。
【0006】そこで、検査時には基板の下にスルホール
等に対応する介在部分を有するエアマットを敷いて吸着
力の減少を防止していた。或いは、基板に設けられてい
るスルホール等の位置を考慮して、基板装着板に設ける
吸引用小径貫通孔の位置をスルホールの位置等と一致し
ないように形成して用いていた。なお、セラミック基板
に対しては吸引式ではほとんど対応できないため、プレ
ス式によっていた。
等に対応する介在部分を有するエアマットを敷いて吸着
力の減少を防止していた。或いは、基板に設けられてい
るスルホール等の位置を考慮して、基板装着板に設ける
吸引用小径貫通孔の位置をスルホールの位置等と一致し
ないように形成して用いていた。なお、セラミック基板
に対しては吸引式ではほとんど対応できないため、プレ
ス式によっていた。
【0007】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであり、請求項1記載の発明はプラスチ
ック基板のスルホール位置等に合わせた専用部材を使用
する必要がなく、セラミック基板にも対応でき、優れた
基板装着力を発揮できる共通部材を備えた基板検査装置
用吸引式基板固定具を提供することを目的とする。又、
請求項2の記載の発明は請求項1記載の発明の目的に加
えて、共通部材の交換容易性を高めた基板検査装置用吸
引式基板固定具を提供することを目的とする。又、請求
項3の記載の発明は請求項1記載の発明の目的に加え
て、一層優れた基板吸着力を発揮できる基板検査装置用
吸引式基板固定具を提供することを目的とする。
てなされたものであり、請求項1記載の発明はプラスチ
ック基板のスルホール位置等に合わせた専用部材を使用
する必要がなく、セラミック基板にも対応でき、優れた
基板装着力を発揮できる共通部材を備えた基板検査装置
用吸引式基板固定具を提供することを目的とする。又、
請求項2の記載の発明は請求項1記載の発明の目的に加
えて、共通部材の交換容易性を高めた基板検査装置用吸
引式基板固定具を提供することを目的とする。又、請求
項3の記載の発明は請求項1記載の発明の目的に加え
て、一層優れた基板吸着力を発揮できる基板検査装置用
吸引式基板固定具を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のうち請求項1記載の発明による基板検査装
置用吸引式基板固定具では、基板装着板の基板装着面上
に無数の空気透過性微孔を有する多孔質板を重ねて備
え、その多孔質板を検査時に基板と基板装着板間に介在
することを特徴とする。
に、本発明のうち請求項1記載の発明による基板検査装
置用吸引式基板固定具では、基板装着板の基板装着面上
に無数の空気透過性微孔を有する多孔質板を重ねて備
え、その多孔質板を検査時に基板と基板装着板間に介在
することを特徴とする。
【0009】又、請求項2記載の発明による基板検査装
置用吸引式基板固定具では、基板装着板の基板装着面上
に多孔質板を分離可能に重ねることを特徴とする。又、
請求項3記載の発明による基板検査装置用吸引式基板固
定具では、基板装着板の基板装着面上に多孔質板を一体
に結合して重ねることを特徴とする。
置用吸引式基板固定具では、基板装着板の基板装着面上
に多孔質板を分離可能に重ねることを特徴とする。又、
請求項3記載の発明による基板検査装置用吸引式基板固
定具では、基板装着板の基板装着面上に多孔質板を一体
に結合して重ねることを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて、本発
明の実施の形態を説明する。図1は本発明を適用したイ
ンサーキットテスタ用吸引式基板固定具の基板装着板と
多孔質板、更に基板との位置関係を示す正面図である。
図中、32は基板固定具、34はその基板装着板、36
は本体部、38は管連結具、40は多孔質板である。こ
れ等の基板装着板34、本体部36、管連結具38等の
構造等は従来の基板固定具10の各対応部分12、1
4、24とそれぞれ同一である。それ故、基板装着板3
4には基板装着面42とその相対する面に各口がそれぞ
れ臨む多数の吸引用小径貫通孔を配設してある。又、本
体部36にはその内部に基板装着板34で上面を閉じる
空気室を有し、その空気室壁に外部の真空ポンプと通じ
る吸引用大径貫通孔を設けてある。又、管連結具38に
は両端開放の内部空間があり、管嵌め込み用突部があ
る。
明の実施の形態を説明する。図1は本発明を適用したイ
ンサーキットテスタ用吸引式基板固定具の基板装着板と
多孔質板、更に基板との位置関係を示す正面図である。
図中、32は基板固定具、34はその基板装着板、36
は本体部、38は管連結具、40は多孔質板である。こ
れ等の基板装着板34、本体部36、管連結具38等の
構造等は従来の基板固定具10の各対応部分12、1
4、24とそれぞれ同一である。それ故、基板装着板3
4には基板装着面42とその相対する面に各口がそれぞ
れ臨む多数の吸引用小径貫通孔を配設してある。又、本
体部36にはその内部に基板装着板34で上面を閉じる
空気室を有し、その空気室壁に外部の真空ポンプと通じ
る吸引用大径貫通孔を設けてある。又、管連結具38に
は両端開放の内部空間があり、管嵌め込み用突部があ
る。
【0011】多孔質板40は紙、布、スポンジ、素焼き
セラミック等の多孔性物質からなる薄板であり、全面に
無数の空気透過性微孔を有するものである。そして、基
板装着板34の基板装着面42の上に重ねて備え付け
る。その際、多孔質板40の周辺部例えば4コーナ部に
接着テープを貼り付けて、基板装着面42に多孔質板4
0を固定するとよい。何故なら、一般的に多孔性物質か
らなるのものは強度が劣り、傷付き、穴が開き易いた
め、多孔質板40を基板装着板34より分離可能にして
おく方が交換し易く、メンテナンスの点から好ましいか
らである。なお、44は真空ポンプに接続された吸引管
である。
セラミック等の多孔性物質からなる薄板であり、全面に
無数の空気透過性微孔を有するものである。そして、基
板装着板34の基板装着面42の上に重ねて備え付け
る。その際、多孔質板40の周辺部例えば4コーナ部に
接着テープを貼り付けて、基板装着面42に多孔質板4
0を固定するとよい。何故なら、一般的に多孔性物質か
らなるのものは強度が劣り、傷付き、穴が開き易いた
め、多孔質板40を基板装着板34より分離可能にして
おく方が交換し易く、メンテナンスの点から好ましいか
らである。なお、44は真空ポンプに接続された吸引管
である。
【0012】検査時、基板例えばプラスチック基板46
を多孔質板40の中央部上に重ねて載せる。すると、多
孔質板42が基板46と基板装着板34との間に介在す
る。そこで、真空ポンプにて管44、管連結具38を経
て、本体部36の空気室内の空気を吸引すると、内部気
圧が下がる。それ故、図2に示すように多数の各吸引用
小径貫通孔48、それ等の各吸引孔48に連なる多数の
微孔50を通じて基板46を吸引し、基板装着板34に
多孔質板40を介して基板46を吸着して固定できる。
を多孔質板40の中央部上に重ねて載せる。すると、多
孔質板42が基板46と基板装着板34との間に介在す
る。そこで、真空ポンプにて管44、管連結具38を経
て、本体部36の空気室内の空気を吸引すると、内部気
圧が下がる。それ故、図2に示すように多数の各吸引用
小径貫通孔48、それ等の各吸引孔48に連なる多数の
微孔50を通じて基板46を吸引し、基板装着板34に
多孔質板40を介して基板46を吸着して固定できる。
【0013】その際、各吸引用小径貫通孔48に通じる
多数の微孔50は吸引口51の面積より広い範囲に亘っ
て基板46の下面に達するので、基板46の被吸引面積
が広くなる。しかも、基板46に設けたスルホール52
等の位置と吸引用小径貫通孔48の位置とが一致して
も、それ等の間には多孔質板40が介在しており、直接
スルホール52等と吸引用小径貫通孔48とが連通状態
になることがない。結局、基板46の各スルホール52
等に対し、多孔質板40が蓋の役目をし、スルホール5
2等からのエアリーク量が減少する。それ故、多孔質板
40を使用すると、基板40に対し優れた吸着力を発揮
できる。
多数の微孔50は吸引口51の面積より広い範囲に亘っ
て基板46の下面に達するので、基板46の被吸引面積
が広くなる。しかも、基板46に設けたスルホール52
等の位置と吸引用小径貫通孔48の位置とが一致して
も、それ等の間には多孔質板40が介在しており、直接
スルホール52等と吸引用小径貫通孔48とが連通状態
になることがない。結局、基板46の各スルホール52
等に対し、多孔質板40が蓋の役目をし、スルホール5
2等からのエアリーク量が減少する。それ故、多孔質板
40を使用すると、基板40に対し優れた吸着力を発揮
できる。
【0014】このような多孔質板40は分離可能とせ
ず、図3に示すように例えば多孔質板40の周辺部等を
基板装着板34の上に貼り合わせ、一体に結合して使用
してもよい。この場合には、多孔質板40と基板装着板
34との密着度が高まるため、両板34、40の合わせ
目からのエアリーク量が一層減少する。それ故、基板4
6に対し、一層優れた吸着力を発揮できる。
ず、図3に示すように例えば多孔質板40の周辺部等を
基板装着板34の上に貼り合わせ、一体に結合して使用
してもよい。この場合には、多孔質板40と基板装着板
34との密着度が高まるため、両板34、40の合わせ
目からのエアリーク量が一層減少する。それ故、基板4
6に対し、一層優れた吸着力を発揮できる。
【0015】又、多孔質板40を使用すると、セラミッ
ク基板を検査する場合、図4に示すようにその基板52
の一部54が湾曲状態になって多孔質板40と密着して
いなくても、その付近にある吸引用小径貫通孔48の吸
引口51は多孔質板40によって塞がれる。それ故、エ
アリーク量が著しく増加することもなく、セラミック基
板52に対し優れた吸着力を発揮できる。なお、56は
空気室、58は吸引用大径貫通孔、60は管嵌め込み用
突部である。
ク基板を検査する場合、図4に示すようにその基板52
の一部54が湾曲状態になって多孔質板40と密着して
いなくても、その付近にある吸引用小径貫通孔48の吸
引口51は多孔質板40によって塞がれる。それ故、エ
アリーク量が著しく増加することもなく、セラミック基
板52に対し優れた吸着力を発揮できる。なお、56は
空気室、58は吸引用大径貫通孔、60は管嵌め込み用
突部である。
【0016】このようにして、各種の基板固定に際し、
多孔質板40を共通部材として使用すると、基板装着板
34に設ける多数の吸引用小径貫通孔48を基板に合わ
せて特別に配置する等の必要がなく、基板装着板34の
基板重ね箇所となる中央部に適宜均等に分配して設けて
おけばよい。
多孔質板40を共通部材として使用すると、基板装着板
34に設ける多数の吸引用小径貫通孔48を基板に合わ
せて特別に配置する等の必要がなく、基板装着板34の
基板重ね箇所となる中央部に適宜均等に分配して設けて
おけばよい。
【0017】
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、請求項1
記載の発明では基板装着面上に多孔質板を重ねて備え、
その多孔質板を基板と基板装着板間に介在するため、多
孔質板に備えられている無数の空気透過性微孔の存在に
より基板の被吸引面積を広くし、多孔質板の蓋としての
働きによりスルホール等からのエアリーク量を少なくで
きる。それ故、多孔質板を共通部材として用い、各種の
基板に対して優れた吸着力を発揮できる。
記載の発明では基板装着面上に多孔質板を重ねて備え、
その多孔質板を基板と基板装着板間に介在するため、多
孔質板に備えられている無数の空気透過性微孔の存在に
より基板の被吸引面積を広くし、多孔質板の蓋としての
働きによりスルホール等からのエアリーク量を少なくで
きる。それ故、多孔質板を共通部材として用い、各種の
基板に対して優れた吸着力を発揮できる。
【0018】又、請求項2記載の発明では基板装着板上
に多孔質板を分離可能に重ねるため、多孔質板を交換し
易く、メンテナンスに優れたものになる。又、請求項3
記載の発明では基板装着板上に多孔質板を一体に結合し
て重ねるため、多孔質板の密着度が高まり、合わせ目か
らのエアリーク量が一層減少するので、各種の基板に対
して一層優れた吸着力を発揮できる。
に多孔質板を分離可能に重ねるため、多孔質板を交換し
易く、メンテナンスに優れたものになる。又、請求項3
記載の発明では基板装着板上に多孔質板を一体に結合し
て重ねるため、多孔質板の密着度が高まり、合わせ目か
らのエアリーク量が一層減少するので、各種の基板に対
して一層優れた吸着力を発揮できる。
【図1】本発明を適用したインサーキットテスタ用吸引
式基板固定具の基板装着板と多孔質板、更にプラスチッ
ク基板との位置関係を示す正面図である。
式基板固定具の基板装着板と多孔質板、更にプラスチッ
ク基板との位置関係を示す正面図である。
【図2】同吸引式基板固定具にプラスチック基板を装着
した状態を示す拡大部分断面図である。
した状態を示す拡大部分断面図である。
【図3】本発明を適用した他のインサーキットテスタ用
吸引式基板固定具における基板装着板に対する多孔質板
の設置状態を示す正面図である。
吸引式基板固定具における基板装着板に対する多孔質板
の設置状態を示す正面図である。
【図4】本発明を適用したインサーキットテスタ用吸引
式基板固定具にセラミック基板を装着した状態を示す部
分断面図である。
式基板固定具にセラミック基板を装着した状態を示す部
分断面図である。
【図5】従来のインサーキットテスタ用吸引式基板固定
具の構造を示す部分断面図である。
具の構造を示す部分断面図である。
【図6】同吸引式基板固定具を構成する基板装着板の平
面図である。
面図である。
【図7】同吸引式基板固定具に基板を装着した状態を示
す正面図である。
す正面図である。
32…吸引式基板固定具 34…基板装着板 36…本
体部 38…管連結具 40…多孔質板 42…基板装着面 44…吸引管 4
6…プラスチック基板 48…吸引用小径貫通孔 50…微孔 52…セラミッ
ク基板 54…湾曲部 56…空気室 58…吸引用大径貫通孔 60…管嵌め
込み用突部
体部 38…管連結具 40…多孔質板 42…基板装着面 44…吸引管 4
6…プラスチック基板 48…吸引用小径貫通孔 50…微孔 52…セラミッ
ク基板 54…湾曲部 56…空気室 58…吸引用大径貫通孔 60…管嵌め
込み用突部
Claims (3)
- 【請求項1】 基板装着面とその相対する面に各口がそ
れぞれ臨む多数の吸引用小径貫通孔を配設してなる基板
装着板を備え、その基板装着板で閉じる空気室を有し、
その空気室壁に外部の真空ポンプと通じる吸引用大径貫
通孔を設けてなる基板検査装置用吸引式基板固定具にお
いて、上記基板装着板の基板装着面上に無数の空気透過
性微孔を有する多孔質板を重ねて備え、その多孔質板を
検査時に基板と基板装着板間に介在することを特徴とす
る基板検査装置用吸引式基板固定具。 - 【請求項2】 基板装着板の基板装着面上に多孔質板を
分離可能に重ねることを特徴とする請求項1記載の基板
検査装置用吸引式基板固定具。 - 【請求項3】 基板装着板の基板装着面上に多孔質板を
一体に結合して重ねることを特徴とする請求項1記載の
基板検査装置用吸引式基板固定具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7267738A JPH0989997A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 基板検査装置用吸引式基板固定具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7267738A JPH0989997A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 基板検査装置用吸引式基板固定具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0989997A true JPH0989997A (ja) | 1997-04-04 |
Family
ID=17448892
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7267738A Pending JPH0989997A (ja) | 1995-09-20 | 1995-09-20 | 基板検査装置用吸引式基板固定具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0989997A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002202335A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
JP2007201433A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-08-09 | Nidec-Read Corp | 基板保持台 |
JP2008177562A (ja) * | 2007-12-28 | 2008-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ウェハカセット装置 |
JP2010185733A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Hioki Ee Corp | 吸着装置、検査装置および載置状態判別方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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