JPH0918200A - 吸着ヘッドの吸着漏れ検知装置 - Google Patents
吸着ヘッドの吸着漏れ検知装置Info
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- JPH0918200A JPH0918200A JP18869295A JP18869295A JPH0918200A JP H0918200 A JPH0918200 A JP H0918200A JP 18869295 A JP18869295 A JP 18869295A JP 18869295 A JP18869295 A JP 18869295A JP H0918200 A JPH0918200 A JP H0918200A
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- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 吸着漏れの検知手段として光源と光感知セン
サを用い、光源の光が吸着穴を通過したことを光感知セ
ンサにて検知することにより、吸着漏れを検知し、低コ
ストにて確実に吸着漏れの検知ができる。 【構成】 移送対象物を吸着ヘッド２の吸着穴５に吸着
して、移送する装置で、吸着ヘッドの移動路に、第１検
知手段として光源６又は、光感知センサ７を設ける。吸
着穴以外の吸着ヘッド部分は遮光性を有する。吸着ヘッ
ドの内部に第１の検知手段と対応する光感知センサ又は
光源からなる第２の検知手段を配置する。そして、一方
の検知手段から発せられる光源の光が吸着穴を通過した
ことを他方の検知手段である光感知センサにて検知す
る。
サを用い、光源の光が吸着穴を通過したことを光感知セ
ンサにて検知することにより、吸着漏れを検知し、低コ
ストにて確実に吸着漏れの検知ができる。 【構成】 移送対象物を吸着ヘッド２の吸着穴５に吸着
して、移送する装置で、吸着ヘッドの移動路に、第１検
知手段として光源６又は、光感知センサ７を設ける。吸
着穴以外の吸着ヘッド部分は遮光性を有する。吸着ヘッ
ドの内部に第１の検知手段と対応する光感知センサ又は
光源からなる第２の検知手段を配置する。そして、一方
の検知手段から発せられる光源の光が吸着穴を通過した
ことを他方の検知手段である光感知センサにて検知す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、吸着ヘッドに吸着され
る移送対象物の吸着漏れの有無を検出する検知装置に関
するもので、主としてボール供給ユニットより、ハンダ
ボールを吸着ヘッドの吸着穴に吸着して、ＢＧＡ（ボー
ルグリッドアレー）用基板へと移載するハンダボール供
給装置において、吸着ヘッドの吸着穴にハンダボールが
吸着されていない状態の検知に利用されるものである。
る移送対象物の吸着漏れの有無を検出する検知装置に関
するもので、主としてボール供給ユニットより、ハンダ
ボールを吸着ヘッドの吸着穴に吸着して、ＢＧＡ（ボー
ルグリッドアレー）用基板へと移載するハンダボール供
給装置において、吸着ヘッドの吸着穴にハンダボールが
吸着されていない状態の検知に利用されるものである。
【０００２】
【従来の技術】ハンダボール供給装置における吸着ヘッ
ドには、ＢＧＡ用基板に合わせてハンダボールが入るべ
き吸着穴が所定数開けられており、該吸着穴にハンダボ
ールを吸着してＢＧＡ用基板へと移載するが、吸着され
るべきハンダボールが一つでも欠けると、その部分のＢ
ＧＡ用基板上には電極ができず、不良基板となってしま
う。従って、ハンダボールの吸着漏れは確実に検知さ
れ、吸着漏れがあった場合、再度の吸着動作に戻らなけ
ればならない。
ドには、ＢＧＡ用基板に合わせてハンダボールが入るべ
き吸着穴が所定数開けられており、該吸着穴にハンダボ
ールを吸着してＢＧＡ用基板へと移載するが、吸着され
るべきハンダボールが一つでも欠けると、その部分のＢ
ＧＡ用基板上には電極ができず、不良基板となってしま
う。従って、ハンダボールの吸着漏れは確実に検知さ
れ、吸着漏れがあった場合、再度の吸着動作に戻らなけ
ればならない。
【０００３】従来、ハンダボールの吸着漏れの検知は、
画像処理装置を利用することにより行われるもので、ハ
ンダボールを吸着する吸着穴の開けられた吸着ヘッドを
光が透過するガラス等の素材で製作し、反射手段や回折
手段を用いて吸着されたハンダボールの影を画像処理装
置で検出するものであった。しかし、反射手段や回折手
段等の機構が必要なほか、画像処理装置はコストがかか
るものであり、さらに、吸着ヘッドがガラス等の透明な
材質に限定されてしまうといった問題点を有していた。
画像処理装置を利用することにより行われるもので、ハ
ンダボールを吸着する吸着穴の開けられた吸着ヘッドを
光が透過するガラス等の素材で製作し、反射手段や回折
手段を用いて吸着されたハンダボールの影を画像処理装
置で検出するものであった。しかし、反射手段や回折手
段等の機構が必要なほか、画像処理装置はコストがかか
るものであり、さらに、吸着ヘッドがガラス等の透明な
材質に限定されてしまうといった問題点を有していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、吸着漏れの
検知手段として光源と光感知センサを用い、吸着ヘッド
を吸着穴以外は遮光性を有する素材とし、光源の光が吸
着穴を通過したことを光感知センサにて検知することに
より、低コストにて確実に吸着漏れの検知ができる装置
とすることを目的とする。
検知手段として光源と光感知センサを用い、吸着ヘッド
を吸着穴以外は遮光性を有する素材とし、光源の光が吸
着穴を通過したことを光感知センサにて検知することに
より、低コストにて確実に吸着漏れの検知ができる装置
とすることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、移送対象物を吸着ヘッドの吸着穴に吸着し
て、移送する装置において、吸着ヘッドの移動路に、第
１の検知手段として光源又は、光感知センサを設け、吸
着穴以外は遮光性を有する吸着ヘッドの内部に第１の検
知手段と対応する光感知センサ又は光源からなる第２の
検知手段を配置し、一方の検知手段から発せられる光源
の光が吸着穴を通過したことを他方の検知手段である光
感知センサにて検知することを特徴とする吸着ヘッドの
吸着漏れ検知装置を提供する。
決するため、移送対象物を吸着ヘッドの吸着穴に吸着し
て、移送する装置において、吸着ヘッドの移動路に、第
１の検知手段として光源又は、光感知センサを設け、吸
着穴以外は遮光性を有する吸着ヘッドの内部に第１の検
知手段と対応する光感知センサ又は光源からなる第２の
検知手段を配置し、一方の検知手段から発せられる光源
の光が吸着穴を通過したことを他方の検知手段である光
感知センサにて検知することを特徴とする吸着ヘッドの
吸着漏れ検知装置を提供する。
【０００６】
【実施例】以下図示の実施例に従い説明する。図１は、
本発明の一実施例が用いられているハンダボール供給装
置の概略外観を示す斜視図であり、図２が、吸着漏れ検
知状態を示す説明図であり、図３が、吸着漏れの無い状
態を示す説明図である。図１中１が、ボール供給ユニッ
トであり、２が吸着ヘッド、３がＢＧＡ用基板である。
ハンダボール供給装置は、ボール供給ユニット１より、
図３のようにハンダボール４を吸着ヘッド２の吸着穴５
に吸着して、ＢＧＡ用基板３へと移載するものである。
本発明の一実施例が用いられているハンダボール供給装
置の概略外観を示す斜視図であり、図２が、吸着漏れ検
知状態を示す説明図であり、図３が、吸着漏れの無い状
態を示す説明図である。図１中１が、ボール供給ユニッ
トであり、２が吸着ヘッド、３がＢＧＡ用基板である。
ハンダボール供給装置は、ボール供給ユニット１より、
図３のようにハンダボール４を吸着ヘッド２の吸着穴５
に吸着して、ＢＧＡ用基板３へと移載するものである。
【０００７】本発明での吸着漏れ検知手段は、外部に設
置される第１検知手段と吸着ヘッド２内に設置される第
２検知手段よりなり、図１の実施例では、第１検知手段
が光源６であり、第２検知手段が光感知センサ７であ
る。光源６は、常時一定光量のものを利用する。実施例
としてはタングステンライトやハロゲンライト、ライト
ガイド等が用いられる。光源６は、吸着ヘッド２の移動
路上の外部に、吸着ヘッド２の吸着穴形成面８に向かっ
て配置されている。
置される第１検知手段と吸着ヘッド２内に設置される第
２検知手段よりなり、図１の実施例では、第１検知手段
が光源６であり、第２検知手段が光感知センサ７であ
る。光源６は、常時一定光量のものを利用する。実施例
としてはタングステンライトやハロゲンライト、ライト
ガイド等が用いられる。光源６は、吸着ヘッド２の移動
路上の外部に、吸着ヘッド２の吸着穴形成面８に向かっ
て配置されている。
【０００８】吸着ヘッド２は、図２及び図３に示される
ように、遮光性ある素材で作製され、下面（光源６と対
面する面）が吸着穴形成面８とされた密閉された箱状の
もので、該吸着穴形成面８に、光の通過可能な吸着穴５
が所定数開けられている。尚、側方の開口部はバキュー
ム装置（図示されていない。）との連結口１２であり、
連結口１２には遮光性ある素材の接続チューブが接続さ
れ、連結口１２からの光の進入はない。
ように、遮光性ある素材で作製され、下面（光源６と対
面する面）が吸着穴形成面８とされた密閉された箱状の
もので、該吸着穴形成面８に、光の通過可能な吸着穴５
が所定数開けられている。尚、側方の開口部はバキュー
ム装置（図示されていない。）との連結口１２であり、
連結口１２には遮光性ある素材の接続チューブが接続さ
れ、連結口１２からの光の進入はない。
【０００９】吸着ヘッド２の内部の連結口１２より上方
位置には、真空遮閉と光を拡散する目的の拡散板９が設
けられている。実施例での拡散板９は、乳白色のガラス
板又はアクリル板で作製されている。尚、光源６の光量
が大きい場合、拡散板９は使用しなくてもよい。吸着ヘ
ッド２内の天井部には、微弱な光も検知可能な光感知セ
ンサ７が設けられている。光感知センサ７は、フォトダ
イオードが用いられている。光感知センサ７は、１個の
みでも良いが、幅広い範囲の正確な検知のため数個使用
している。
位置には、真空遮閉と光を拡散する目的の拡散板９が設
けられている。実施例での拡散板９は、乳白色のガラス
板又はアクリル板で作製されている。尚、光源６の光量
が大きい場合、拡散板９は使用しなくてもよい。吸着ヘ
ッド２内の天井部には、微弱な光も検知可能な光感知セ
ンサ７が設けられている。光感知センサ７は、フォトダ
イオードが用いられている。光感知センサ７は、１個の
みでも良いが、幅広い範囲の正確な検知のため数個使用
している。
【００１０】以下、実施例でのハンダボール吸着漏れ検
知状態を説明する。まず、ボール供給ユニット１内のハ
ンダボール４を吸着ヘッド２にて、吸着穴５に真空吸着
する。図２及び図３上部左方に示された太い矢印は真空
吸引を示している。ハンダボール４を吸着した吸着ヘッ
ド２は、Ｙ軸駆動モータ（図示されていない。）にて左
右に、Ｚ軸駆動モータ１０にて上下に移動し、ＢＧＡ用
基板３上にハンダボール４を移動させる。
知状態を説明する。まず、ボール供給ユニット１内のハ
ンダボール４を吸着ヘッド２にて、吸着穴５に真空吸着
する。図２及び図３上部左方に示された太い矢印は真空
吸引を示している。ハンダボール４を吸着した吸着ヘッ
ド２は、Ｙ軸駆動モータ（図示されていない。）にて左
右に、Ｚ軸駆動モータ１０にて上下に移動し、ＢＧＡ用
基板３上にハンダボール４を移動させる。
【００１１】吸着ヘッド２が、Ｙ軸移動ガイド１１に沿
ってＢＧＡ用基板３方向へ移動中に、この移動路に設置
された光源６の上を通過する。この際、ハンダボール４
の吸着漏れの有無を検知する。ハンダボール４の吸着漏
れの検知は、吸着ヘッド２の移動中でもよく、光源６上
にて停止して行ってもよい。
ってＢＧＡ用基板３方向へ移動中に、この移動路に設置
された光源６の上を通過する。この際、ハンダボール４
の吸着漏れの有無を検知する。ハンダボール４の吸着漏
れの検知は、吸着ヘッド２の移動中でもよく、光源６上
にて停止して行ってもよい。
【００１２】この時１つでもハンダボール４の吸着漏れ
があると、光が漏れ、検知可能となる。図２が、この状
態を示す。すなわち、吸着ヘッド２が光源６上を通過す
る時、吸着漏れの吸着穴１５が存在すると吸着漏れの吸
着穴１５から光が、図２で上方へ伸びる矢印のように吸
着ヘッド２内部に侵入し、拡散板９にて拡散され、該光
をフォトダイオードよりなる光感知センサ７にて検出す
る。検出された光は電気信号へ変換され、アンプ部にて
ＮＧと判断され、制御装置へＮＧ信号が送られる。これ
によりハンダボール供給装置は、吸着ヘッド２がＢＧＡ
用基板３への移動を停止し、再度吸着動作へと戻ること
になる。
があると、光が漏れ、検知可能となる。図２が、この状
態を示す。すなわち、吸着ヘッド２が光源６上を通過す
る時、吸着漏れの吸着穴１５が存在すると吸着漏れの吸
着穴１５から光が、図２で上方へ伸びる矢印のように吸
着ヘッド２内部に侵入し、拡散板９にて拡散され、該光
をフォトダイオードよりなる光感知センサ７にて検出す
る。検出された光は電気信号へ変換され、アンプ部にて
ＮＧと判断され、制御装置へＮＧ信号が送られる。これ
によりハンダボール供給装置は、吸着ヘッド２がＢＧＡ
用基板３への移動を停止し、再度吸着動作へと戻ること
になる。
【００１３】他方、総ての吸着穴５にハンダボール４が
吸着されている場合、図３に示されるように、光源６か
らの光は吸着ヘッド５内に進入することはできず、光感
知センサ７は、光を感知せず、制御装置へＮＧ信号も発
信されない。従って、吸着ヘッド２は、そのままＢＧＡ
用基板３に向かう。本実施例では、かようにして吸着漏
れを検知し、ハンダボール４の正確な供給を可能として
いるのである。
吸着されている場合、図３に示されるように、光源６か
らの光は吸着ヘッド５内に進入することはできず、光感
知センサ７は、光を感知せず、制御装置へＮＧ信号も発
信されない。従って、吸着ヘッド２は、そのままＢＧＡ
用基板３に向かう。本実施例では、かようにして吸着漏
れを検知し、ハンダボール４の正確な供給を可能として
いるのである。
【００１４】図示の実施例は、外部に設置する第１検知
手段を光源６とし、吸着ヘッド２内に設置する第２検知
手段を光感知センサ７とするが、他実施例として、外部
設置の第１検知手段を光感知センサとし、吸着ヘッド２
内設置の第２検知手段を光源とすることも可能である。
この場合、光感知センサの設置される外部は暗室とされ
る。
手段を光源６とし、吸着ヘッド２内に設置する第２検知
手段を光感知センサ７とするが、他実施例として、外部
設置の第１検知手段を光感知センサとし、吸着ヘッド２
内設置の第２検知手段を光源とすることも可能である。
この場合、光感知センサの設置される外部は暗室とされ
る。
【００１５】
【発明の効果】本発明の効果につき説明する。第１に、
本発明は、吸着穴の吸着漏れの検知を光源と光感知セン
サにより行うものであるので、従来の画像処理装置に比
べ極めて低価格で検知可能となった。
本発明は、吸着穴の吸着漏れの検知を光源と光感知セン
サにより行うものであるので、従来の画像処理装置に比
べ極めて低価格で検知可能となった。
【００１６】第２に、ハンダボールの影を検出するもの
ではないので、画像処理装置だけでなく、従来必要だっ
た反射手段や回折手段が不必要となり、構造がシンプル
なものとなった。
ではないので、画像処理装置だけでなく、従来必要だっ
た反射手段や回折手段が不必要となり、構造がシンプル
なものとなった。
【図１】本発明の一実施例が利用されたハンダボール供
給装置の概略外観を示す斜視図
給装置の概略外観を示す斜視図
【図２】本発明にて吸着漏れ検知状態を示す説明図
【図３】本発明にて吸着漏れの無い状態を示す説明図
１．．．ボール供給ユニット ２．．．吸着ヘッド ３．．．ＢＧＡ用基板 ４．．．ハンダボール ５．．．吸着穴 ６．．．光源 ７．．．光感知センサ ８．．．吸着穴形成面 ９．．．拡散板 １０．．．Ｚ軸駆動モータ １１．．．Ｙ軸移動ガイド １２．．．連結口 １５．．．吸着漏れの吸着穴
Claims (1)
- 【請求項１】移送対象物を吸着ヘッドの吸着穴に吸着し
て、移送する装置において、吸着ヘッドの移動路に、第
１の検知手段として光源又は、光感知センサを設け、吸
着穴以外は遮光性を有する吸着ヘッドの内部に第１の検
知手段と対応する光感知センサ又は光源からなる第２の
検知手段を配置し、一方の検知手段から発せられる光源
の光が吸着穴を通過したことを他方の検知手段である光
感知センサにて検知することを特徴とする吸着ヘッドの
吸着漏れ検知装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18869295A JP4029362B2 (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 吸着ヘッドの吸着漏れ検知装置 |
| US08/667,808 US5742048A (en) | 1995-06-30 | 1996-06-20 | Sucking failure detecting device |
| TW085107471A TW314483B (ja) | 1995-06-30 | 1996-06-21 | |
| MYPI96002523A MY114718A (en) | 1995-06-30 | 1996-06-21 | Sucking failure detecting device |
| KR1019960023284A KR100345928B1 (ko) | 1995-06-30 | 1996-06-24 | 흡착누설검지장치 및 땜납볼공급장치 |
| SG1996010153A SG65611A1 (en) | 1995-06-30 | 1996-06-25 | Sucking failure detecting device |
| SG1999003914A SG78381A1 (en) | 1995-06-30 | 1996-06-25 | Sucking failure detecting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18869295A JP4029362B2 (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 吸着ヘッドの吸着漏れ検知装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0918200A true JPH0918200A (ja) | 1997-01-17 |
| JP4029362B2 JP4029362B2 (ja) | 2008-01-09 |
Family
ID=16228160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18869295A Expired - Fee Related JP4029362B2 (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 吸着ヘッドの吸着漏れ検知装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5742048A (ja) |
| JP (1) | JP4029362B2 (ja) |
| KR (1) | KR100345928B1 (ja) |
| MY (1) | MY114718A (ja) |
| SG (2) | SG78381A1 (ja) |
| TW (1) | TW314483B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007201433A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-08-09 | Nidec-Read Corp | 基板保持台 |
| GB2592482A (en) * | 2020-01-28 | 2021-09-01 | Flexopack Sa | Oven skin packaging film |
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| JPH1068759A (ja) * | 1996-05-31 | 1998-03-10 | Advantest Corp | 吸着物検知装置、該装置を用いた吸着物検知方法、該装置を用いた位置ずれ検知方法、および該装置を用いた清掃方法 |
| JP4143788B2 (ja) * | 1999-08-04 | 2008-09-03 | 澁谷工業株式会社 | ボールマウント装置及びマウント方法 |
| US9243726B2 (en) | 2012-10-03 | 2016-01-26 | Aarne H. Reid | Vacuum insulated structure with end fitting and method of making same |
| CN103801786B (zh) * | 2014-01-17 | 2017-06-20 | 浙江田中精机股份有限公司 | 一种直线焊锡机的机械臂机构 |
| US9463918B2 (en) | 2014-02-20 | 2016-10-11 | Aarne H. Reid | Vacuum insulated articles and methods of making same |
| US10497908B2 (en) | 2015-08-24 | 2019-12-03 | Concept Group, Llc | Sealed packages for electronic and energy storage devices |
| US10065256B2 (en) * | 2015-10-30 | 2018-09-04 | Concept Group Llc | Brazing systems and methods |
| EP3423854A4 (en) | 2016-03-04 | 2020-01-01 | Concept Group LLC | IMPROVED VACUUM INSULATING ARTICLES WITH REFLECTIVE MATERIAL |
| WO2018093781A1 (en) | 2016-11-15 | 2018-05-24 | Reid Aarne H | Enhanced vacuum-insulated articles with microporous insulation |
| EP3541722A4 (en) | 2016-11-15 | 2020-07-08 | Concept Group LLC | MULTIPLE INSULATION ASSEMBLIES |
| JP2020531764A (ja) | 2017-08-25 | 2020-11-05 | コンセプト グループ エルエルシー | 複合的ジオメトリおよび複合的材料の断熱部品 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5615823A (en) * | 1994-07-26 | 1997-04-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Soldering ball mounting apparatus and method |
| JP2814934B2 (ja) * | 1994-07-26 | 1998-10-27 | 松下電器産業株式会社 | 半田ボールの搭載装置および搭載方法 |
| JP3079921B2 (ja) * | 1994-11-28 | 2000-08-21 | 松下電器産業株式会社 | 半田ボールの搭載装置および搭載方法 |
-
1995
- 1995-06-30 JP JP18869295A patent/JP4029362B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-06-20 US US08/667,808 patent/US5742048A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-06-21 TW TW085107471A patent/TW314483B/zh not_active IP Right Cessation
- 1996-06-21 MY MYPI96002523A patent/MY114718A/en unknown
- 1996-06-24 KR KR1019960023284A patent/KR100345928B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-06-25 SG SG1999003914A patent/SG78381A1/en unknown
- 1996-06-25 SG SG1996010153A patent/SG65611A1/en unknown
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|---|---|---|---|---|
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