JP2007178318A - 基板検査装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】高密度の配線パターンに対してもより効率よく四端子測定を行うことのできる基板検査装置を提供する。
【解決手段】そのための基板検査装置は、被検査基板の配線の被検査点に夫々接触し、一方が電圧測定用のプローブとして用いられ、他方が電流供給用のプローブとして用いられる第1及び第2プローブからなり、第1及び第2プローブが被検査点に接触する検査用プローブを複数用いて配線の抵抗値を算出する基板検査装置であって、電流供給用のプローブへ電流を供給する電流供給手段と、電圧測定用のプローブ間の電圧を測定する電圧測定手段と、電流供給手段により供給される電流値と電圧測定手段により測定される電圧値により配線の抵抗値を算出する処理手段と、複数の電流供給用のプローブと電流供給手段を導通可能に接続するとともに複数の前記電流供給用のプローブを電気的に相互に接続する、一体的に形成された導電性の接続部材を有する。
【選択図】図2
【解決手段】そのための基板検査装置は、被検査基板の配線の被検査点に夫々接触し、一方が電圧測定用のプローブとして用いられ、他方が電流供給用のプローブとして用いられる第1及び第2プローブからなり、第1及び第2プローブが被検査点に接触する検査用プローブを複数用いて配線の抵抗値を算出する基板検査装置であって、電流供給用のプローブへ電流を供給する電流供給手段と、電圧測定用のプローブ間の電圧を測定する電圧測定手段と、電流供給手段により供給される電流値と電圧測定手段により測定される電圧値により配線の抵抗値を算出する処理手段と、複数の電流供給用のプローブと電流供給手段を導通可能に接続するとともに複数の前記電流供給用のプローブを電気的に相互に接続する、一体的に形成された導電性の接続部材を有する。
【選択図】図2
Description
本発明は基板検査装置及び方法に関し、より詳しくは、回路基板上の配線パターン間の抵抗値の測定や断線検査のために四端子測定方法を用いて行う基板検査装置及び方法に関する。
この出願書類で使用する用語の「回路基板」は、半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアに限らず、プリント配線基板、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板など種々の配線が施される基板を総称する。即ち、回路基板には、四端子測定の対象となり得る全ての基板が含まれる。
従来、半導体パッケージ基板の導通検査では、配線パターンを形成する配線の両端にそれぞれプローブを接触させて、その配線の導通のみを検出していた。しかし、近年になって、導通のみではなく、配線の抵抗値を正確に測定して導通検査を行う必要が生じたため、プローブの接触抵抗の影響を無くしながら、その抵抗値の測定のために四端子測定が一般的に使用されている。
このような四端子測定では、電圧測定用プローブと電流印加用プローブとができるだけ近接して設けられ、実質上同一検査点に確実に接触する必要があり、そのための手段が種々提案されている。
特開2004−279133号 この文献1には、保持部材によって電流供給用ニードルピン及び電圧測定用ニードルピンが一体に保持された構成が開示されており、四端子測定で利用されるプローブが示されている。
この特許文献1で示される如き四端子プローブは、比較的配線ピッチの間隔の広い配線パターンが形成されたボールグリッド面側においては利用することができたが、比較的配線ピッチが狭く高密度の配線パターンが形成されたフリップチップ面においては利用することが難しいという問題を有していた。
これは、フリップチップ面の如き比較的配線ピッチが狭く高密度の配線パターンが形成される検査面側に四端子プローブを接触させようとした場合に、単位面積当たりの四端子プローブの本数が増加することになり、十分配置することができないからであった。
このため、フリップチップ面のようにより高密度の配線パターンが形成されている面に対してもより効率よく四端子プローブを配置して、四端子測定により抵抗値の測定を行うことが望まれている。
上記課題を解決するために、本発明に係る基板検査装置は、被検査基板の配線の被検査点に夫々接触し、一方が電圧測定用のプローブとして用いられ、他方が電流供給用のプローブとして用いられる第1及び第2プローブからなり、第1及び第2プローブが被検査点に接触する検査用プローブを複数用いて配線の抵抗値を算出する基板検査装置であって、電流供給用のプローブへ電流を供給する電流供給手段と、電圧測定用のプローブ間の電圧を測定する電圧測定手段と、電流供給手段により供給される電流値と電圧測定手段により測定される電圧値により配線の抵抗値を算出する処理手段と、複数の電流供給用のプローブと電流供給手段を導通可能に接続するとともに複数の前記電流供給用のプローブを電気的に相互に接続する、一体的に形成された導電性の接続部材を有することを特徴とする。
本発明に係る基板検査方法は、一方が電圧測定用のプローブとして用いられ、他方が電流供給用のプローブとして用いられる第1及び第2プローブからなる検査用プローブの第1及び第2プローブを被検査基板の配線の被検査点に接触するように配置する配置工程と、電流供給用のプローブへ電流を供給する供給工程と、電圧測定用のプローブ間の電圧を測定する測定工程と、供給工程によって供給した電流の値と、測定工程によって測定した電圧の値とにより配線の抵抗値を算出する処理工程とを含み、配置工程において一体的に形成された導電性の接続部材を用いて複数の検査用プローブを電気的に相互に接続して配置するとともに、供給工程において接続部材を介して複数の検査用プローブに対し同時に電流を供給することを特徴とする。
本発明によれば、フリップチップ面のようにより高密度の配線パターンに対しても四端子測定を行うことのできる基板検査装置及び方法を提供することができる。
また、本発明によれば、より効率よく四端子測定を行うことのできる基板検査装置及び方法を提供する。
以下、本発明に係るプローブの望ましい実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。なお、図中、同じ要素に対しては同じ符号を付して、重複した説明を省略している。
[四端子測定装置]
図1は、四端子測定装置の概念を説明するための図である。その装置は、電流発生部10と電圧測定部12とを備える。電流発生部10には電流供給用の第1及び第2電流プローブ10F1,10F2が接続され、電圧測定部12には電圧測定用の第1及び第2電圧プローブ12S1,12S2が接続されている。
[四端子測定装置]
図1は、四端子測定装置の概念を説明するための図である。その装置は、電流発生部10と電圧測定部12とを備える。電流発生部10には電流供給用の第1及び第2電流プローブ10F1,10F2が接続され、電圧測定部12には電圧測定用の第1及び第2電圧プローブ12S1,12S2が接続されている。
図1に示すように、回路基板16の配線の抵抗14を測定する場合には、第1及び第2電圧プローブ12S1,12S2と第1及び第2電流プローブ10F1,10F2とを、その配線の抵抗14の両端に接触するように配置し、第1及び第2電流プローブ10F1,10F2を経由して、電流発生部10から配線の抵抗14に測定用の所定の大きさの電流を供給する。それにより配線の抵抗14の両端部には電位差が発生するので、第1及び第2電圧プローブ12S1,12S2を介してその両端部の電位差を電圧測定部12で測定する。その電位差の値、つまり電圧値が求まると、測定用の電流値及びその測定した電圧値から配線の抵抗14の抵抗値を求めることができる。
[基板検査装置の構成]
図2(a)は、四端子測定によって基板の配線パターンの検査を行うための本発明に係る基板検査装置23の望ましい実施形態を示す。その装置による検査対象は、図2(a)においては、基板24の表側(図2に向かって上側)に形成された比較的配線ピッチが狭く高密度の配線パターン部のランド21a、21b・・・21nの中の所定のランドと、その基板の裏側(図2に向かって下側)に形成された配線パターン部のランド25との間の配線28の抵抗値及び断線の有無とする。
[基板検査装置の構成]
図2(a)は、四端子測定によって基板の配線パターンの検査を行うための本発明に係る基板検査装置23の望ましい実施形態を示す。その装置による検査対象は、図2(a)においては、基板24の表側(図2に向かって上側)に形成された比較的配線ピッチが狭く高密度の配線パターン部のランド21a、21b・・・21nの中の所定のランドと、その基板の裏側(図2に向かって下側)に形成された配線パターン部のランド25との間の配線28の抵抗値及び断線の有無とする。
基板検査装置23は、検査用プローブ20−1、20−2、20−nと、検査用プローブ26とを用いて四端子測定を実施する。検査用プローブ20−1、20−2、20−nは測定対象の一方の端部に配置されるプローブであり、すべて同じ構造である。このため、代表的に検査用プローブ20−1について説明すると、検査用プローブ20−1は、電圧測定用の円柱状の電圧プローブ20S1と、それを囲むように同軸的に配置された電流供給用の電流プローブ20Fとからなる。それらの間には絶縁層(図示せず)が形成されている。
図2(b)は、図2(a)において破線Aで囲んだ検査用プローブ20−nの先端部を拡大した図である。その図に示すように、検査用プローブ20−nの先端部は、電圧プローブ20Snのとがった先端部を囲むように、円環状の電流プローブ20Fのとがった先端部が配置されるように構成されていて、それらの両方ともがランド21aに当接している。
また、図2(a)に示すように、検査用プローブ20−1、20−2、20−nは、中間板22を貫通してそれに保持されている。中間板22は、導電性材料、例えば、導電性ゴムを板状に一体的に形成したもので、電流発生部12と電流プローブ20Fとを電気的に接続する接続部材として機能する。
図3は、その中間板22のみを上面から見た平面図である。中間板22には、ほぼ等間隔に多数の貫通孔34が形成されている。各々の貫通孔の大きさは検査用プローブ20−1、20−2、20−nの外径に対応する大きさであり、所定の貫通孔34に検査用プローブ20−1、20−2、20−nが挿入されると、それらの検査用プローブの電流プローブ20Fが、その貫通孔34を形成する中間板22に密接し、それにより、電流供給用の電流プローブ20Fと中間板22との間に電気的接続が形成される。
図2に戻って説明を続けると、検査用プローブ20−1、20−2、20−nは中間板22に挿入されて固定されていて、中間板22は電流発生部12に接続されている。また、それぞれの検査用プローブの電圧プローブ20S1、20S2、20Snは、電圧測定部10に接続されている。このように、基板の表面側のすべての電圧測定用の電圧プローブを同じ電圧測定部に接続するようにしてもよいが、個々に又はいくつかのグループごとに別々の電圧測定部に接続するようにしてもよい。同一の電圧測定部にすべての電圧プローブを接続したときには、測定時間をずらしてそれぞれの電圧プローブの電圧測定を行えばよく、別々の電圧測定部を用いた場合には測定を同時に行うこともできる。
一方、図2においては、基板の裏側には、基板の表側で用いた検査用プローブ20−1、20−2、20−nと異なる構造の検査用プローブ26を用いている。その検査用プローブ26は、反対側に配置されるプローブで、電流供給用の電流プローブ26Fと電圧測定用の電圧プローブ26Sとを備え、それらが一体に固定されている。ただし、検査用プローブ26として検査用プローブ20−1、20−2、20−nと同じ構造のものを用いてもよい。
検査用プローブ26の電流プローブ26Fと電圧測定用の電圧プローブ26Sとのそれぞれの先端部(図2に向かって上側の位置にある部位)は、ともにランド25に当接している。また、電流プローブ26Fは、電流発生部12に接続され、電圧プローブ26Sは、電圧測定部10に接続されている。
また、図示していないが、電流発生部12及び電圧測定部10には演算処理装置が接続されていて、電流発生部12から供給される電流の値及び電圧測定部10によって測定する電圧値のそれぞれのデータを受信して、それらの値から抵抗値を算出する処理を行う。また、その演算処理装置に表示装置が接続されていて、その算出した抵抗値等のデータを表示する(図示せず)。
[基板検査装置の動作]
図4は、例えば、図2に示すように、検査用プローブ20−1と検査用プローブ26とを用いる基板検査装置23によって、基板の表側のランド21aと基板の裏側のランド25との間の配線28を検査する場合の動作の流れを示す。
[基板検査装置の動作]
図4は、例えば、図2に示すように、検査用プローブ20−1と検査用プローブ26とを用いる基板検査装置23によって、基板の表側のランド21aと基板の裏側のランド25との間の配線28を検査する場合の動作の流れを示す。
ステップS41では、まず、検査用プローブ20−1を中間板22ともにランド21aの位置まで移動して検査用プローブ20−1の先端をそのランド21aの表面に当接させる。この場合、基板の表面と平行な面内に沿ってX軸方向及びそれに直交するY軸方向と、その面と直交する鉛直方向のZ軸方向とを規定して、それらの座標によってランド21aの位置を特定し、図示せぬプローブ移動装置を用いて検査用プローブ20−1をランド21aの位置に移動してその検査用プローブの先端をそれに当接させるようにしてもよい。
ステップS42では、次に、検査用プローブ26をランド25の位置まで移動して、その検査用プローブ26の先端をランド25の表面に当接させる。この場合、上記の検査用プローブ20−1の位置決めの場合と同様に、検査用プローブ26の位置決めのために図示せぬプローブ移動装置を用いてもよい。
それらの検査用プローブの位置決めが完了すると、ステップS43では、電流発生部12から、中間板22に所定の大きさの電流を供給する。中間板は導電性材料から構成されているので、その中間板22に供給された電流はその中間板を経由して貫通孔34の周縁から電流プローブ20Fに伝わり、さらに電流プローブ20Fを経由してランド21aに供給される。電流はそのランド21aから配線28を経由して他方のランド25に到達し、そこから、検査用プローブ26の電流プローブ26Fを伝わって電流発生部12の他方の端子に流れ込む。この電流の流れの向きは逆でもよい。そのように、電流がランド21aから配線28を経由して他方のランド25に流れると、配線28の両端の位置、つまり、ランド21aとランド25との間に電位差が発生する。
ステップS44では、その電位差が電圧プローブ20S1と電圧プローブ26Sとの間に発生するので、それ電圧測定部10によって電圧値として測定する。
次に、ステップS45では、演算処理装置によって、電流発生部12から供給した電流の値及びその測定した電圧値から抵抗値を算出してその値を保存する。
続いて、ステップS46では、その算出した抵抗値を既定の抵抗値のrオームと比較する。算出した抵抗値が既定の抵抗値より小さい場合には、ステップS48において、その算出した抵抗値を求める抵抗値として表示装置に表示する。一方、算出した抵抗値がその既定の抵抗値より大きい場合には、ステップS47において、配線28は断線していると判断して、その旨を表示装置に表示する。
[複数の検査用プローブを用いた場合の基板検査の流れ]
図5は、図2に示す基板検査装置23において、複数の検査用プローブを用いて、順に、所定の箇所の抵抗値等を求める場合の処理の流れを示す。この場合には、中間板22に、複数の検査用プローブ20−1、20−2、20−n・・・20−mを予め所定の貫通孔34に挿入して取り付けておく。
[複数の検査用プローブを用いた場合の基板検査の流れ]
図5は、図2に示す基板検査装置23において、複数の検査用プローブを用いて、順に、所定の箇所の抵抗値等を求める場合の処理の流れを示す。この場合には、中間板22に、複数の検査用プローブ20−1、20−2、20−n・・・20−mを予め所定の貫通孔34に挿入して取り付けておく。
まず、ステップS51では、中間板22を移動してそれに取り付けられた複数の検査用プローブ20−1、20−2、20−n・・・20−mが、測定対象の一方の側にある所定のランドと接触するようにそれらの位置決めを行う。
次に、ステップS53では、所定の測定対象の他端に配置するために、検査用プローブ26を移動して基板の裏側のその測定対象に関連するランドに接触するように、その位置決めを行う。
それらの検査用プローブの位置決めが完了したら、ステップS54において、電流発生部10から中間板22に所定の値の電流を供給する。中間板22は導電性の材料で形成されているので、その中間板22に電流を供給すると、その中間板から貫通孔34を経由して各検査用プローブの電流プローブ20Fに電流が供給される。その電流はそれらの先端からそのランド21a等、配線28等及び他方のランド25等を経由し、さらに、検査用プローブ26の電流プローブ26F等を伝わって電流発生部12の他方の端子に流れ込む。
ステップS55では、検査用プローブ20−1が接続されたランド21aと電流プローブ26が接続されたランド25との間に発生した電圧を測定する。
ステップS56では、演算処理装置によってその電圧値及び電流発生部12から供給した電流の値から抵抗値を算出してその値を保存する。
それに続いて、基板検査装置は、次の測定対象を測定するように作動する。
そこでは、ステップS53において、基板の裏側の検査用プローブ26を次の測定対象に関連するランドに移動してそれと接触するようにその位置決めを行う。
ステップS54では、その位置決めが完了すると、電流発生部10から中間板22に所定の値の電流を供給する。その電流は、中間板から貫通孔34を経由して、次の測定対象に関連するランドに接触する例えば検査用プローブ20−2に流れ、さらに、測定対象の配線を経由して検査用プローブ26が新たに接触しているランドからその検査用プローブ26の電流プローブ26Fを伝わって電流発生部12の他方の端子に流れ込む。
ステップS55では、そのときに、測定対象の両端に発生する電圧を検査用プローブ20−2の電圧プローブ20S2及び検査用プローブ26の電圧プローブ26Sを経由して電圧測定部10によって測定する。
ステップS56では、その電圧値及び供給した電流の値から演算処理装置が抵抗値を算出してその値を保存する。
上記のように、この後は、測定対象を順次選択してそれに関連する電圧プローブ間の電圧測定を行うように、工程S53からS56までを繰り返す。
[検査用プローブの他の実施例]
図6は、他の実施例に係る検査用プローブ60を示す。
[検査用プローブの他の実施例]
図6は、他の実施例に係る検査用プローブ60を示す。
図6に示すように、検査用プローブ80は、電圧測定用の円柱状の電圧プローブ60Sと、それを囲むように同軸的に配置された円筒状の電流プローブ60Fとを備える。電圧プローブ60Sの表面には絶縁膜(図示せず)が形成されており、電圧プローブ60Sは電流プローブ60Fの内部を移動することができる。図6から明らかなように、電流プローブ60Fの長さは、電圧プローブ60Sの長さよりも短く、電圧プローブ60Sの先端部の接触部63は、電圧プローブ60Fから突出している。また、電流プローブ60F及び電圧プローブ60Sは、可撓性及び弾性を有する材料から形成されている。これにより、後述するように、電流プローブ60F及び電圧プローブ60Sは、ベースプレートと測定対象の回路基板との間で撓んで湾曲するとともにそれらの先端部を回路基板に適切に当接させることができる。
図7は、図6に示すプローブ60と同じ構造のプローブ60−1,60−2,60−3を備えた検査装置70を示す。その検査装置70では、各々のプローブ60−1,60−2,60−3の電流プローブ60Fの上端近くの部分は中間プレート74に固定されているが、その下端近くは、ガイドプレート72に形成された孔に移動自在に挿入されている。中間プレート74は、電流プローブ60Fを固定するだけでなく、導電性の材料から形成することによってそれに固定された電流プローブ60Fのすべてに共通に電流を供給するための電極として機能させてもよい。
次に、図7に基づいて、検査用プローブ60−1,60−2,60−3の先端部を測定対象の配線回路パターン66に当接させる際の検査装置70の動作を説明する。
まず、電圧プローブ60Sが固定されたベースプレート62と、電流プローブ60Fの上端部が固定された中間プレート74とをそれらの距離を一定に保持したまま同時に下降させて、電圧プローブ60Sの接触部63を回路基板68上の配線回路パターン66に当接させる。このときは、電流プローブ60F及び電圧プローブ60Sはまっすぐである。破線で示す部分60S’、60F’は、各プローブが撓んでいない状態を示す。
次に、接触部63を配線回路パターン66に当接させた状態で、さらにベースプレート62及び中間プレート74を下降させて接触部63を配線回路パターン66に押し続ける。そうすると、ベースプレート62と配線回路パターン66との間の距離が、電圧プローブ60Sの長さより小さくなるので、弾性を有する電圧プローブ60Sが撓み始める。ベースプレート62及び中間プレート74の下降が続くと、電流プローブ60Fの先端部が配線回路パターン66に当接するようになる。その状態が図7における検査用プローブ60−1の状態に対応しており、電流プローブ60Fはまっすぐのままである。
一方、基板68又は配線回路パターン66の表面に凹凸があることがある。このため、検査用プローブ60−1の先端が、配線回路パターン66の表面に当接する前に、既に、他の検査用プローブの先端が、対応する配線回路パターン66の表面に既に当接している場合がある。その場合に、ベースプレート62及び中間プレート74の下降を続けると、既に先端が当接している検査用プローブは、可撓性を有するため撓んで湾曲し始める。その後、全ての検査用のプローブの電圧プローブ60S及び電流プローブ60Fの先端が、対応する配線回路パターン66の表面に当接すると、ベースプレート62及び中間プレート74の下降が止められる。そのときは、図7に示すように、先に配線回路パターン66に当接していた検査用プローブ60−2及び60−3の電流プローブ60Fは、撓んで湾曲している。このように電流プローブ60Fが撓むのは、電流プローブ60Fが取り付けられた中間プレート74と、それに対応する配線回路パターン66の表面との間隔が、複数の検査用プローブの間で相違することがあるため、その相違を吸収するためである。
図6及び図7の実施例に係る検査用プローブ60−1等を用いて、配線の検査を行う場合には、電流発生部12を中間板74に接続するとともに、電圧測定部10を検査用プローブ60−1,60−2,60−3等に接続して、図2に示す検査装置と同様に、図4及び図5に示す手順に基づいて配線の抵抗値の測定を行う。つまり、検査用プローブ60−1等を配線(ランド)に接触させて、電流供給部12から中間板74を経由して電流プローブ60Fに電流を供給し、さらにその電流プローブから配線に電流を供給する。その電流の供給によって、検査対象の配線の2つの被接触点の間には電圧が発生する。それらの被接触点には電圧プローブ60Sが接触しているので、電圧測定部10を用いてそれらの一対の電圧プローブ60Sの間に発生した電圧を測定する。次に測定した電圧の値及び供給電流の値から配線の抵抗値を算出して配線の状態を検査する。
図6及び図7の実施例に係る検査用プローブ60−1等を用いて、配線の検査を行う場合には、電流発生部12を中間板74に接続するとともに、電圧測定部10を検査用プローブ60−1,60−2,60−3等に接続して、図2に示す検査装置と同様に、図4及び図5に示す手順に基づいて配線の抵抗値の測定を行う。つまり、検査用プローブ60−1等を配線(ランド)に接触させて、電流供給部12から中間板74を経由して電流プローブ60Fに電流を供給し、さらにその電流プローブから配線に電流を供給する。その電流の供給によって、検査対象の配線の2つの被接触点の間には電圧が発生する。それらの被接触点には電圧プローブ60Sが接触しているので、電圧測定部10を用いてそれらの一対の電圧プローブ60Sの間に発生した電圧を測定する。次に測定した電圧の値及び供給電流の値から配線の抵抗値を算出して配線の状態を検査する。
図6及び図7の実施例によると、電流プローブ60Fを測定対象に押し付けるだけで、電圧プローブ60S及び電流プローブ60Fの両方の先端部を測定対象にしっかりと接触させることができる。
上記の測定装置70の動作の説明においては、ベースプレート62と中間プレート74との間を一定に保持して、電圧プローブ60Sの先端を最初に配線回路パターン66の表面に当接させ、次に、電流プローブ60Fの先端を配線回路パターン66に当接させた。それに代えて、次のように測定装置70を動作させるようにしてもよい。
つまり、測定装置70において、まず、中間プレート74とそれに上端部が固定された電流プローブ60Fを下降させて、電流プローブ60Fの先端部を配線回路パターン66の表面に当接させる。その際、基板68又は配線回路パターン66の表面に凹凸があることがあるため、すべての電流プローブ60Fの先端部が、配線回路パターン66の表面に同時に当接しない場合がある。そのため、すべての電流プローブ60Fの先端部が、配線回路パターン66の表面に当接するまで中間プレート74の下降が続けられる。その下降に伴い、先に配線回路パターン66の表面に当接した電流プローブ60Fは、中間プレート74の下降に伴って湾曲することになる。すべての電流プローブ60Fの先端部が配線回路パターン66の表面に当接した段階で、中間プレート74の下降は止められる。
次に、電圧プローブ60Sとともにベースプレート62を下降させる。それにより、電圧プローブ60Sの先端部が、配線回路パターン66の表面に当接するようになる。その際、基板68又は配線回路パターン66の表面の凹凸のために、電流プローブ60Fの場合と同様に、複数の電圧プローブ60Sの先端部が同時に配線回路パターン66の表面に当接しなことがあるので、すべての電圧プローブ60Sの先端部が、配線回路パターン66の表面に当接するまでベースプレート62の下降が続けられる。その下降に伴い、先に配線回路パターン66の表面に当接した電圧プローブ60Sは湾曲することになる。すべての電圧プローブ60Sの先端部が配線回路パターン66の表面に当接した段階で、ベースプレート62の下降が止められる。
上述のように、測定装置70を動作させると、電流プローブ60F及び電圧プローブ60Sの撓みによって、測定対象の面の凹凸による高さの相違やプローブの長さの相違等が吸収されてすべてのプローブの先端が適切に測定対象の面に接することができるとともに、それらの先端が適切な力でその面に押し付けられて良好な電気的接触を形成することができる。
[代替例等]
以上、本発明の係るプローブのいくつかの実施形態を説明したが、本発明はこれらの実施形態に拘束されるものではない。当業者が容易になしえる追加、削除、改変等は、本発明に含まれることを承知されたい。本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められる。
[代替例等]
以上、本発明の係るプローブのいくつかの実施形態を説明したが、本発明はこれらの実施形態に拘束されるものではない。当業者が容易になしえる追加、削除、改変等は、本発明に含まれることを承知されたい。本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められる。
例えば、図2において、電流プローブ20Fと電圧プローブ20S1,20S2,20nとを入れ替えて、各検査用プローブ20−1,20−2,20−nを、中心に位置する円柱状の電流プローブ20Fの周囲に、それを囲むように電圧プローブ20S1,20S2,20nを形成するように構成してもよい。そのようなプローブを用いた場合には、各検査用プローブの内側に位置する電流プローブ20Fには電流発生部12を接続し、また、各電流プローブ20Fを囲むように形成された電圧プローブ20S1,20S2,20nには、中間板22を経由して電圧測定部10を接続する。この状態で、電流を各電流プローブ20Fと電流プローブ26Fとに流して、電圧プローブ26Sと、電圧プローブ20S1,20S2,20nとの間に発生した電圧を中間板22を経由して電圧測定部10で測定する。この後の処理装置での計算処理は図5で説明した場合と同じである。
また、上記の図5における基板検査装置の動作の説明では、電圧の測定ごとに基板の裏側の検査用プローブを次の測定対象の位置に移動させたが、その基板の裏側においても、中間板に取り付けた複数の検査用プローブを用いて、それらの複数の検査用プローブの位置決めは最初に一度だけ行い、次に、基板の表側の検査用プローブ及び基板の裏側の検査用プローブのそれぞれの電圧プローブ間の電圧を測定することによって、同時にすべての測定対象の検査を行ってもよい。または、基板の表側の検査用プローブ及び基板の裏側の検査用プローブのそれぞれの電圧プローブ間の電圧を測定する際に、電圧測定装置と電圧プローブ対との間の接続の切り換えを行うことによって、所定の測定対象の電圧測定を順に行うようにしてもよい。
さらに、上記の図2及び図3の実施例では、中間板を板状の部材で構成してそれによって複数の検査用プローブを支持した構成を説明したが、複数の電流プローブの支持は他の部材によって行い、中間板は導電性のソフトなフィルム上の部材で構成して、それに複数の電流プローブへ電流を供給する機能のみを持たせるようにしてもよい。
10:電圧測定部、 12:電流発生部、 20−1,20−2,20−n,26:検査用プローブ、 20S1,20S2,20Sn:電圧プローブ、 20F,26F:電流プローブ、 22,74:中間板、 34:貫通孔、 60:検査用プローブ、 70:基板検査装置
Claims (7)
- 被検査基板の配線の被検査点に夫々接触し、一方が電圧測定用のプローブとして用いられ、他方が電流供給用のプローブとして用いられる第1及び第2プローブからなり、前記第1及び第2プローブが前記被検査点に接触する検査用プローブを複数用いて前記配線の抵抗値を算出する基板検査装置であって、
前記電流供給用のプローブへ電流を供給する電流供給手段と、
前記電圧測定用のプローブ間の電圧を測定する電圧測定手段と、
前記電流供給手段により供給される電流値と前記電圧測定手段により測定される電圧値により前記配線の抵抗値を算出する処理手段と、
複数の前記電流供給用のプローブと前記電流供給手段を導通可能に接続するとともに複数の前記電流供給用のプローブを電気的に相互に接続する、一体的に形成された導電性の接続部材を有することを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1の基板検査装置において、前記接続部材が、前記被検査基板の表側又は裏側に配置される複数の前記電流供給用プローブを電気的に相互に接続している、基板検査装置。
- 請求項1又は2の基板検査装置において、前記接続部材が、前記表面又は前記裏面に配置される前記電流供給用プローブ全てを電気的に相互に接続している、基板検査装置。
- 請求項1乃至3いずれかの基板検査装置において、前記第1プローブが、絶縁層を介して前記第2プローブの周縁に配置される、基板検査装置。
- 請求項4の基板検査装置において、前記第1プローブと前記第2プローブが同心状に形成される、基板検査装置。
- 請求項1乃至5いずれかの基板検査装置において、前記接続部材が導電性材料から形成される板状部材であり、該板状部材に複数の貫通孔が形成され、該貫通孔に前記電流供給用のプローブが導通可能に固着されている、基板検査装置。
- 一方が電圧測定用のプローブとして用いられ、他方が電流供給用のプローブとして用いられる第1及び第2プローブからなる検査用プローブの該第1及び第2プローブを被検査基板の配線の被検査点に接触するように配置する配置工程と、
前記電流供給用のプローブへ電流を供給する供給工程と、
前記電圧測定用のプローブ間の電圧を測定する測定工程と、
前記供給工程によって供給した電流の値と、前記測定工程によって測定した電圧の値とにより前記配線の抵抗値を算出する処理工程とを含み、
前記配置工程において、一体的に形成された導電性の接続部材を用いて複数の前記検査用プローブを電気的に相互に接続して配置するとともに、前記供給工程において前記接続部材を介して前記複数の検査用プローブに対し同時に電流を供給することを特徴とする基板検査方法。
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